RU2695111C1 - Miniature measuring instrument of parameters of electric power supply of spacecrafts with microsystem vibration electric field modulator - Google Patents

Miniature measuring instrument of parameters of electric power supply of spacecrafts with microsystem vibration electric field modulator Download PDF

Info

Publication number
RU2695111C1
RU2695111C1 RU2018107594A RU2018107594A RU2695111C1 RU 2695111 C1 RU2695111 C1 RU 2695111C1 RU 2018107594 A RU2018107594 A RU 2018107594A RU 2018107594 A RU2018107594 A RU 2018107594A RU 2695111 C1 RU2695111 C1 RU 2695111C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
parameters
electrode
electrification
spacecraft
young
Prior art date
Application number
RU2018107594A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Андрей Сергеевич Корпухин
Виктор Львович Семенов
Роман Юрьевич Дорофеев
Игорь Петрович Смирнов
Андрей Александрович Жуков
Наталья Васильевна Смирнова
Original Assignee
Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по космической деятельности "РОСКОСМОС"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по космической деятельности "РОСКОСМОС" filed Critical Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по космической деятельности "РОСКОСМОС"
Priority to RU2018107594A priority Critical patent/RU2695111C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2695111C1 publication Critical patent/RU2695111C1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R29/00—Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/00 - G01R27/00
    • G01R29/12—Measuring electrostatic fields or voltage-potential

Abstract

FIELD: astronautics.
SUBSTANCE: invention can be used for detection of electric field intensity on surface of spacecraft structure. Essence of the invention consists in the fact that the miniature meter of the spacecraft electrification parameters includes the following: microsystem vibratory modulator consisting of metal frame, printed circuit boards, inductance coils, movable shielding electrode, sensitive electrode, and electrical conversion circuit consisting of in-series connected current amplifier and analogue-to-digital converter, wherein input of current amplifier is connected to sensitive electrode, material of movable shielding electrode is selected from ratio E = E0k, where E is Young's modulus, E0 - Young's modulus in normal conditions, k is coefficient characterizing change of Young's modulus of used material in temperature range from -150 °C to +150 °C, coefficient value is within 1.0 ≤ k ≤ 1.1.
EFFECT: technical result is enabling possibility of reduction of weight and size parameters, reduction of power consumption of device, increase of system serviceability in conditions of open space, and also resistance to rigid temperature conditions of operation.
6 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано при создании и изготовлении микромеханических датчиков, обеспечивающих детектирование напряженности электрического поля на поверхности конструкции космического аппарата.The invention relates to the field of microsystem technology and can be used to create and manufacture micromechanical sensors that detect the electric field strength on the surface of a spacecraft structure.

Из уровня техники известны различные ротационные измерители напряженности электрического поля [1-6], действие которых основано на детектировании электрического поля при вращении двигателем измерительного электрода, при этом экранирующий электрод неподвижен.From the prior art there are known various rotary meters for the electric field strength [1-6], the action of which is based on the detection of the electric field when the motor rotates the measuring electrode, while the shielding electrode is stationary.

Из уровня техники также известны флюксметры [7-13], в устройстве которых двигатель производит вращение экранирующий электрод, при котором измерительный электрод неподвижен, а также вибрационные датчики, в которых измерительный или экранирующий электроды совершают колебательное, возвратно-поступательное движение.Fluxmeters [7-13] are also known in the prior art, in which the engine rotates a shielding electrode in which the measuring electrode is stationary, as well as vibration sensors in which the measuring or shielding electrodes perform an oscillating reciprocating motion.

Недостатками известных конструкций является невозможность длительной работы в условиях вакуума при воздействии значительных перепадов температуры, вибрации, ударов из-за нестабильности скорости вращения двигателя, приводящей к ошибкам измерений. Кроме того, двигатель создает значительные помехи в измерительной системе. Другими недостатками известных технических решений, являются невозможность длительных непрерывных измерений, довольно низкая их чувствительность и крупногабаритность конструкции.The disadvantages of the known structures is the impossibility of long-term operation under vacuum conditions when exposed to significant temperature drops, vibrations, shocks due to the instability of the rotation speed of the engine, leading to measurement errors. In addition, the motor creates significant disturbances in the measuring system. Other disadvantages of the known technical solutions are the impossibility of long-term continuous measurements, their rather low sensitivity and large size of the structure.

Измерители параметров электризации космических аппаратов на основе датчиков вибрационного типа [14-21], в которых измерительный или экранирующий электрод колеблются в области неоднородного поля под действием электромагнитного возбудителя, свободны от большинства недостатков приборов первых двух классов.Measuring instruments for electrifying spacecraft based on vibration-type sensors [14-21], in which a measuring or screening electrode oscillates in the field of a non-uniform field under the influence of an electromagnetic pathogen, are free from most of the shortcomings of the instruments of the first two classes.

Однако они имеют недостаточную чувствительность вследствие того, что размеры и амплитуда перемещения электродов в них меньше чем в флюксметрах и ротационных датчиках.However, they have insufficient sensitivity due to the fact that the size and amplitude of movement of the electrodes in them is less than in fluxmeters and rotary sensors.

Ближайшим аналогом предлагаемого технического решения является является датчик электростатического поля, описанный в авторском свидетельстве СССР №881628. В данном техническом решении датчик содержит чувствительный электрод, подключенный к блоку регистрации и две катушки индуктивности, расположенные соосно и подключенные к генератору переменного напряжения, при этом чувствительный электрод расположен под углом 3-10° к оси катушек индуктивности.The closest analogue of the proposed technical solution is the electrostatic field sensor, described in the author's certificate of the USSR No. 881628. In this technical solution, the sensor contains a sensitive electrode connected to the registration unit and two inductors coaxially and connected to an alternating voltage generator, while the sensitive electrode is located at an angle of 3-10 ° to the axis of the inductors.

Его недостатком являются существенные массогабаритные параметры.Its disadvantage is significant weight and size parameters.

Техническим результатом, на достижение которого направлено предлагаемое изобретение, является снижение массогабаритных характеристик измерителей параметров электризации космических аппаратов.The technical result, the achievement of which the invention is directed, is to reduce the weight and size characteristics of the measuring instruments for the electrification of spacecraft.

Миниатюрный измеритель параметров электризации космических аппаратов содержит микросистемный вибрационный модулятор электрического поля, усилитель тока и аналого-цифровой преобразователь.The miniature meter for the parameters of the electrification of spacecraft contains a microsystem vibration modulator of the electric field, a current amplifier and an analog-to-digital converter.

Конструкция предлагаемого микросистемного вибрационного модулятора электрических полей представлена на фиг. 1 а, б.The design of the proposed microsystem vibration modulator of electric fields is shown in FIG. 1 a, b.

На фиг. 1 а, б обозначено ссылочными позициями следующее:FIG. 1 a, b are indicated by reference numerals the following:

1 - катушки индуктивности;1 - inductors;

2 - чувствительный электрод;2 - sensitive electrode;

3 - подвижный экранирующий электрод;3 - mobile shielding electrode;

4 - печатные платы;4 - printed circuit boards;

5 - металлический каркас;5 - metal frame;

К металлическому каркасу (5) прикреплены печатные платы (4) и подвижный экранирующий электрод (3). К печатным платам (4) приклеены катушки индуктивности (1). На нижнюю печатную плату (4) припаян чувствительный электрод (2). Подвижный экранирующий электрод (3) с помощью катушек индуктивности (1), располагающимися под и над ним, приводится магнитными силами в колебательное движение на частоте механического резонанса. На нижней печатной плате (4) в центре отверстия подвижного экранирующего электрода (3) располагается закрепленный чувствительный электрод (2).Printed circuit boards (4) and a movable shielding electrode (3) are attached to the metal frame (5). The inductor coils (1) are glued to the printed circuit boards (4). A sensitive electrode (2) is soldered to the bottom printed circuit board (4). The movable screening electrode (3) with the help of inductors (1) located below and above it is driven by magnetic forces into an oscillatory motion at the frequency of mechanical resonance. On the bottom printed circuit board (4), in the center of the hole of the movable shielding electrode (3), there is a fixed sensitive electrode (2).

Катушки выполнены по технологии SMD (элемент, монтируемый на поверхность) и содержат ферритовые Н-образные сердечники и расположены симметрично относительно экранирующего электрода.The coils are made using SMD technology (an element mounted on the surface) and contain ferrite H-shaped cores and are arranged symmetrically with respect to the shielding electrode.

Подвижный экранирующий электрод выполнен из твердого материала, обладающего свойствами ферромагнетика с высокой магнитной проницаемостью, и расположен так, что ось симметрии чувствительного электрода равноудалена от внутреннего края отверстия подвижного экранирующего электрода.The movable shielding electrode is made of a solid material with the properties of a ferromagnet with high magnetic permeability, and is located so that the axis of symmetry of the sensing electrode is equidistant from the inner edge of the hole of the movable shielding electrode.

Чувствительный электрод, сформирован на нижней печатной плате, содержит подвижный экранирующий электрод, выполненный в виде плоской одноконсольной балки с толщиной, в виде тонкой пластинки с большим прогибом, определяемой выражением h=(0,01-0,02)*b, где b - ширина балки, при этом диаметр чувствительного электрода меньше диаметра отверстия подвижного экранирующего электрода поз. 2 на фиг. 1 а, б; материал подвижного экранирующего электрода выбирают из соотношения Е=E0k, где Е - модуль Юнга, Е0 - модуль Юнга в н.у., к - коэффициент характеризующий изменение модуля Юнга используемого материала в диапазоне температур от -150°С до +150°С, при этом значение коэффициента находится в пределах 1,0≤к≤1,1.The sensitive electrode, formed on the lower printed circuit board, contains a mobile shielding electrode, made in the form of a flat single-console beam with a thickness, in the form of a thin plate with a large deflection, defined by the expression h = (0.01-0.02) * b, where b - beam width, while the diameter of the sensing electrode is less than the diameter of the hole of the movable shielding electrode pos. 2 in FIG. 1 a, b; the material of the mobile shielding electrode is chosen from the relation E = E 0 k, where E is the Young's modulus, E 0 is the Young's modulus in NU, and k is a coefficient characterizing the change in the Young's modulus of the material used in the temperature range from -150 ° C to +150 ° C, while the value of the coefficient is within 1.0≤k≤1.1.

На фиг. 2 представлена структурная схема миниатюрного датчика параметров элекризации космического аппарата в составе микромеханического вибрационного модулятора и схемы преобразования, состоящей из усилителя тока (6) и аналого-цифрового преобразователя (7).FIG. 2 shows a block diagram of a miniature sensor for the parameters of the electrolysis of a spacecraft as part of a micromechanical vibration modulator and a conversion circuit consisting of a current amplifier (6) and an analog-to-digital converter (7).

Датчик параметров электризации космического аппарата работает следующим образом. При колебаниях подвижного экранирующего электрода (3) чувствительный электрод (2) углубляется внутрь отверстия подвижного экранирующего электрода (3) или выдвигается из отверстия. При наличии внешнего электрического поля это приводит к изменению потенциала чувствительного электрода (2). Сигнал с выхода микромеханического вибрационного модулятора усиливается усилителем тока и преобразуется аналого-цифровым преобразователем в сигнал, пропорциональный напряженности электрического поля, который затем поступает на передающее устройство.Sensor parameters electrification of the spacecraft operates as follows. When the movable shielding electrode (3) oscillates, the sensitive electrode (2) goes deeper into the orifice of the movable shielding electrode (3) or extends from the orifice. In the presence of an external electric field, this leads to a change in the potential of the sensing electrode (2). The signal from the output of the micromechanical vibration modulator is amplified by a current amplifier and converted by an analog-digital converter into a signal proportional to the electric field, which is then fed to a transmitting device.

Заявленное изобретение обеспечивает создание миниатюрных измерителей параметров электрических полей космических аппаратов, образовавшихся в результате накопления поверхностью космических аппаратов электростатических зарядов. Данный вид устройств может изготовляться для различных пороговых значений электрических полей в широком диапазоне значений детектируемых электрических полей.The claimed invention provides for the creation of miniature measuring instruments for the parameters of the electric fields of spacecraft, resulting from the accumulation of electrostatic charges by the surface of spacecraft. This type of device can be manufactured for different threshold values of electric fields in a wide range of detected electric fields.

Кроме снижения массогабаритных характеристик миниатюрных измерителей параметров электрических полей космических аппаратов, разработанная конструкция позволяет уменьшить мощность потребления устройства (не менее 10%), повысить работоспособность в условиях открытого космоса, а также устойчивость к жестким климатическим условиям эксплуатации.In addition to reducing the weight and size characteristics of miniature measuring instruments for the parameters of the electric fields of spacecraft, the developed design makes it possible to reduce the power consumption of the device (at least 10%), improve performance in open space, as well as resistance to harsh climatic conditions of operation.

Источники информации, принятые во вниманиеSources of information taken into account

1. Авторское свидетельство 580525 от 15.11.77 «Датчик электростатического поля».1. Copyright certificate 580525 from 11/15/77 "Sensor of an electrostatic field".

2. Авторское свидетельство 593165 от 15.02.78 «Датчик для регистрации плотности статистического электричества».2. Copyright certificate 593165 from 02.15.78 "Sensor for recording the density of statistical electricity."

3. Патент RU 2199761 от 27.02.2003 «Устройство для измерения напряженности статического и квазистатического электрического поля».3. Patent RU 2199761 of February 27, 2003, “A device for measuring static and quasistatic electric field strengths”.

4. Патент США на изобретение US 6483223 "Method to prevent charging effects in electrostatic devices". Victor Donald Samper, Uppili Sridhar, Olaf Knueppel, Feng Han Hua, Hui Wing, Cheong. Institute of Microelectronics. 19.11.2002.4. US patent for the invention of US 6483223 "Method to prevent charging effects in electrostatic devices". Victor Donald Samper, Uppili Sridhar, Olaf Knueppel, Feng Han Hua, Hui Wing, Cheong. Institute of Microelectronics. 11.19.2002.

5. Авторское свидетельство 653583 от 11.05.77 «Датчик электростатического поля».5. Copyright certificate 653583 from 11.05.77 "Electrostatic field sensor".

6. Авторское свидетельство 769455 от 26.12.78 «Датчик электростатического поля».6. Copyright certificate 769455 from 12.26.78 "Electrostatic field sensor".

7. Авторское свидетельство 629513 от 28.08.78 «Датчик электростатического поля».7. Copyright certificate 629513 from 08.28.78 "Electrostatic field sensor".

8. Авторское свидетельство 718809 от 28.02.80 «Измеритель напряженности электростатического поля».8. Copyright certificate 718809 from 02.28.80 "Measuring the strength of the electrostatic field."

9. Авторское свидетельство 1116399 от 21.04.83 «Устройство для измерения напряженности электрического поля».9. Copyright certificate 1116399 of 04/21/83 "A device for measuring the electric field intensity".

10. Авторское свидетельство 1201784 от 16.12.83 «Устройство для измерения напряженности электрического поля СВЧ».10. Copyright certificate 1201784 from 16.12.83 "Device for measuring the electric field strength of the microwave".

11. Патент RU 2020497 от 30.09.1994 «Датчик электростатического поля»11. Patent RU 2020497 of 09/30/1994 “Electrostatic Field Sensor”

12. Патент RU 2028636 от 09.02.1995 «Устройство для измерения напряженности электростатического поля».12. Patent RU 2028636 of 02/09/1995 "A device for measuring the strength of an electrostatic field".

13. Патент RU 2442183 от 10.02.2012 «Датчик измерителя напряженности электростатического поля».13. Patent RU 2442183 of February 10, 2012, “Sensor for measuring the strength of an electrostatic field”.

14. Авторское свидетельство 845119 от 20.03.78 «Датчик электростатического поля».14. Copyright certificate 845119 from 03.20.78 "Electrostatic field sensor".

15. Авторское свидетельство 881628 от 05.10.79 Датчик электростатического поля».15. Copyright certificate 881628 from 05.10.79 Electrostatic field sensor ".

16. Авторское свидетельство 1709246 от 07.04.88 «Датчик электростатического поля».16. Copyright certificate 1709246 from 07.04.88 "Electrostatic field sensor".

17. Патент RU 2212678 от 20.09.2003 «Устройство для измерения напряженности электростатического поля».17. Patent RU 2212678 of September 20, 2003, “A device for measuring the strength of an electrostatic field”.

18. Патент RU 2414717 от 20.03.2011 «Датчик электростатического поля и способ измерения электростатического поля».18. Patent RU 2414717 dated 03/20/2011 "Sensor of an electrostatic field and a method of measuring an electrostatic field".

19. Патент RU 2445639 от 20.03.2012 «Способ измерения напряженности электрического поля».19. Patent RU 2445639 of 03/20/2012 "Method for measuring the electric field intensity".

20. Заявка США на изобретение US 2009/0273337 «Electric field sensor with electrode interleaving vibration». Shanhong XIA, Chao YE, Chao GONG, Xianxiang CHEN, Qiang BAI, Shaofeng CHEN, 5.11.2009.20. US application for the invention US 2009/0273337 "Electric field sensor with electrode interleaving vibration". Shanhong XIA, Chao YE, Chao GONG, Xianxiang CHEN, Qiang BAI, Shaofeng CHEN, November 5, 2009.

21. Патент WO 2014045406 от 27.03.2014 «Potential measuring device»21. Patent WO 2014045406 of 03/27/2014 "Potential measuring device"

Claims (10)

1. Миниатюрный измеритель параметров электризации космических аппаратов, характеризующийся тем, что включает в свой состав микросистемный вибрационный модулятор, состоящий из металлического каркаса, печатных плат, катушек индуктивности, подвижного экранирующего электрода и чувствительного электрода, а также электрическую схему преобразования, состоящую из последовательно соединенных усилителя тока и аналого-цифрового преобразователя, при этом вход усилителя тока подключен к чувствительному электроду, материал подвижного экранирующего электрода выбирается из соотношения1. A miniature meter for the parameters of electrification of spacecraft, characterized by the fact that it includes a microsystem vibration modulator consisting of a metal frame, printed circuit boards, inductance coils, a moving shielding electrode and a sensitive electrode, as well as an electrical circuit of a conversion consisting of series-connected amplifiers current and analog-to-digital converter, while the input of the current amplifier is connected to the sensitive electrode, the material of the moving screen conductive electrode is selected from the relation Е=Е0k,E = E 0 k, где Е - модуль Юнга,where E is Young's modulus, Е0 - модуль Юнга в н.у.,E 0 - Young's modulus in n., k – коэффициент, характеризующий изменение модуля Юнга используемого материала в диапазоне температур от -150°С до +150°С, значение коэффициента находится в пределах 1,0≤k≤1,1.k is a coefficient characterizing the change in the Young's modulus of the material used in the temperature range from -150 ° C to + 150 ° C, the value of the coefficient is within 1.0≤k≤1.1. 2. Миниатюрный измеритель параметров электризации космических аппаратов по п. 1, отличающийся тем, что микросистемный вибрационный модулятор содержит две катушки индуктивности, расположенные на двух печатных платах, прикрепленных к металлическому каркасу.2. A miniature meter for the parameters of electrification of spacecraft under item 1, characterized in that the microsystem vibration modulator contains two inductors located on two printed circuit boards attached to the metal frame. 3. Миниатюрный измеритель параметров электризации космических аппаратов по п. 2, отличающийся тем, что электромагнитные катушки содержат ферритовые Н-образные сердечники.3. A miniature meter measuring the electrification of spacecraft under item 2, characterized in that the electromagnetic coils contain ferrite H-shaped cores. 4. Миниатюрный измеритель параметров электризации космических аппаратов по п. 2, отличающийся тем, что электромагнитные катушки расположены симметрично относительно экранирующего электрода.4. A miniature meter for the parameters of the electrification of spacecraft according to claim 2, characterized in that the electromagnetic coils are arranged symmetrically with respect to the screening electrode. 5. Миниатюрный измеритель параметров электризации космических аппаратов по п. 1, отличающийся тем, что микросистемный вибрационный модулятор содержит подвижный экранирующий электрод, выполненный в виде плоской одноконсольной балки, в виде тонкой пластинки с большим прогибом, определяемой выражением h=(0,01-0,02)×b, где b - ширина балки.5. A miniature meter for the parameters of electrification of spacecraft under item 1, characterized in that the microsystem vibration modulator contains a mobile shielding electrode, made in the form of a flat single-cantilever beam, in the form of a thin plate with a large deflection, defined by the expression h = (0.01-0 , 02) × b, where b is the width of the beam. 6. Миниатюрный измеритель параметров электризации космических аппаратов по п. 1, отличающийся тем, что экранирующий электрод выполнен из твердого материала, обладающего свойствами ферромагнетика с высокой магнитной проницаемостью.6. A miniature meter for the parameters of the electrification of spacecraft under item 1, characterized in that the shielding electrode is made of a solid material possessing the properties of a ferromagnet with high magnetic permeability.
RU2018107594A 2018-03-01 2018-03-01 Miniature measuring instrument of parameters of electric power supply of spacecrafts with microsystem vibration electric field modulator RU2695111C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018107594A RU2695111C1 (en) 2018-03-01 2018-03-01 Miniature measuring instrument of parameters of electric power supply of spacecrafts with microsystem vibration electric field modulator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018107594A RU2695111C1 (en) 2018-03-01 2018-03-01 Miniature measuring instrument of parameters of electric power supply of spacecrafts with microsystem vibration electric field modulator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2695111C1 true RU2695111C1 (en) 2019-07-19

Family

ID=67309512

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018107594A RU2695111C1 (en) 2018-03-01 2018-03-01 Miniature measuring instrument of parameters of electric power supply of spacecrafts with microsystem vibration electric field modulator

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2695111C1 (en)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3852667A (en) * 1973-05-10 1974-12-03 Trek Inc Probe for electrostatic voltmeter
RU2020497C1 (en) * 1992-07-06 1994-09-30 Валерий Николаевич Таисов Transducer of electrostatic field
US6014028A (en) * 1995-03-31 2000-01-11 Ricoh Company, Ltd. Surface potential sensing device
RU2414717C1 (en) * 2010-01-18 2011-03-20 Федеральное агентство по образованию Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Новосибирский государственный университет (НГУ) Electrostatic field sensor and measuring method of electrostatic field
RU2442183C1 (en) * 2010-10-07 2012-02-10 Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации Sensor for measuring of the electrostatic field
CN202177668U (en) * 2011-06-30 2012-03-28 上海谷昊电子科技有限公司 Experiment instrument for directly measuring electrostatic field
RU2623690C1 (en) * 2016-08-03 2017-06-28 Акционерное общество "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем" (АО "Российские космические системы") Electrostatic field sensor

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3852667A (en) * 1973-05-10 1974-12-03 Trek Inc Probe for electrostatic voltmeter
RU2020497C1 (en) * 1992-07-06 1994-09-30 Валерий Николаевич Таисов Transducer of electrostatic field
US6014028A (en) * 1995-03-31 2000-01-11 Ricoh Company, Ltd. Surface potential sensing device
RU2414717C1 (en) * 2010-01-18 2011-03-20 Федеральное агентство по образованию Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Новосибирский государственный университет (НГУ) Electrostatic field sensor and measuring method of electrostatic field
RU2442183C1 (en) * 2010-10-07 2012-02-10 Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации Sensor for measuring of the electrostatic field
CN202177668U (en) * 2011-06-30 2012-03-28 上海谷昊电子科技有限公司 Experiment instrument for directly measuring electrostatic field
RU2623690C1 (en) * 2016-08-03 2017-06-28 Акционерное общество "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем" (АО "Российские космические системы") Electrostatic field sensor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101154832B1 (en) A magnetic field sensor device and a compass
US9222805B2 (en) Circuit system and method for evaluating a sensor
CN105444872B (en) A kind of vibrating sensor based on nano particle dot array Quantum Transport Properties
RU2676059C1 (en) Microsystem indicator of electric fields of space apparatus
JP2015072277A (en) Mems gyroscope with lowered magnetism sensitivity
RU2414717C1 (en) Electrostatic field sensor and measuring method of electrostatic field
JP6617788B2 (en) Permeability detection method
Zhang et al. A horseshoe micromachined resonant magnetic field sensor with high quality factor
RU2695111C1 (en) Miniature measuring instrument of parameters of electric power supply of spacecrafts with microsystem vibration electric field modulator
KR100919478B1 (en) Load measuring transducer using induced voltage for overcoming eccentric error and load measurement system using the same
RU2643701C1 (en) Electrostatic field intensity meter
RU2477501C1 (en) Seismometer
CN109342799B (en) Quartz resonance type current sensor
KR100934217B1 (en) Microsensor for vibration measurement
Bulsara et al. Exploiting nonlinear dynamics in a coupled-core fluxgate magnetometer
JP6645171B2 (en) Magnetic permeability sensor and magnetic permeability detection method
RU2473929C1 (en) Seismometer
JP6613599B2 (en) Permeability / dielectric constant sensor and permeability / dielectric constant detection method
Umapathy et al. Piezoelectric based resonance displacement sensor
Chistyakov Portable seismic sensor
JP2018119830A (en) Eddy current metal sensor and method for detecting eddy current
RU2623690C1 (en) Electrostatic field sensor
US3522531A (en) Electric field intensity indicator employing a vibratory conductor sensor
Sujan et al. Thickness sensor for ferromagnetic sheets
JPH09281167A (en) Apparatus for measuring surface potential