RU2676059C1 - Microsystem indicator of electric fields of space apparatus - Google Patents

Microsystem indicator of electric fields of space apparatus Download PDF

Info

Publication number
RU2676059C1
RU2676059C1 RU2018107591A RU2018107591A RU2676059C1 RU 2676059 C1 RU2676059 C1 RU 2676059C1 RU 2018107591 A RU2018107591 A RU 2018107591A RU 2018107591 A RU2018107591 A RU 2018107591A RU 2676059 C1 RU2676059 C1 RU 2676059C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
electrode
movable shielding
shielding electrode
microsystem
indicator
Prior art date
Application number
RU2018107591A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Роман Юрьевич Дорофеев
Original Assignee
Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по космической деятельности "РОСКОСМОС"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по космической деятельности "РОСКОСМОС" filed Critical Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по космической деятельности "РОСКОСМОС"
Priority to RU2018107591A priority Critical patent/RU2676059C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2676059C1 publication Critical patent/RU2676059C1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R29/00—Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/00 - G01R27/00
    • G01R29/12—Measuring electrostatic fields or voltage-potential

Abstract

FIELD: electrical engineering.SUBSTANCE: usage for the manufacture of micromechanical sensors. Essence of the invention lies in the fact that the microsystem indicator of the electric fields of spacecraft includes: a) a micromechanical actuating element consisting of a substrate; rolling shielding electrode with a hole in the center; at least four elastic flexible suspensions symmetrically fixed relative to each other and the sensing electrode on the substrate and holding the movable shielding electrode; sensitive electrode formed on the substrate in the center of the hole of the movable shielding electrode, the diameter of the sensing electrode is smaller than the diameter of the opening of the movable shielding electrode; metallized tracks with contact pads on the substrate for electrical contact of the current amplifier with one end with one of four elastic flexible suspensions, and the other with a sensitive electrode; movable shielding electrode located so that the axis of symmetry of the sensing electrode is equidistant from the inner edge of the opening of the movable shielding electrode; b) inductance coil; c) current amplifier; d) analog-to-digital converter, with a movable screening electrode using an inductor coil driven in an oscillatory motion at a frequency of mechanical resonance, the sensing electrode is connected to a current amplifier, the output of a current amplifier is connected to an input of an analog-digital converter, the output of which is the output of the microsystem indicator of electric fields, which ensure the detection of the electric field intensity on the surface of the structure of the spacecraft.EFFECT: providing the possibility of reducing the weight and size characteristics of the device.5 cl, 5 dwg

Description

Изобретение относится к области микросистемной измерительной техники и может быть использовано для детектирования напряженности электрического поля на поверхности конструкции космического аппарата.The invention relates to the field of microsystem measurement technology and can be used to detect electric field strength on the surface of a spacecraft structure.

Из уровня техники известен ротационный измеритель напряженности электрического поля [1-6], действие которого основано на детектировании электрического поля при вращении двигателем измерительного электрода, при этом экранирующий электрод неподвижен.The prior art rotary electric field meter [1-6], the action of which is based on the detection of an electric field when the engine rotates the measuring electrode, while the shielding electrode is stationary.

Из уровня техники также известен флюксметр [7-13], в устройстве которого двигатель производит вращение экранирующего электрода, при котором измерительный электрод неподвижен, а также вибрационные датчики приборы, в которых измерительный или экранирующий электроды совершают колебательное, возвратно-поступательное движение.The fluxmeter [7-13] is also known in the prior art, in the device of which the motor rotates the shielding electrode, in which the measuring electrode is stationary, and also vibration sensors, devices in which the measuring or shielding electrodes oscillate, reciprocate.

Недостатками вышеуказанных конструкций является невозможность длительной работы в условиях вакуума при воздействии значительных перепадов температуры, вибрации, ударов. Из-за нестабильности скорости вращения двигателя, приводящей к ошибкам измерений. Кроме того, двигатель создает значительные помехи в измерительной системе. Другими недостатками известных технических решений, являются невозможность длительных непрерывных измерений, довольно низкая их чувствительность и крупногабаритность конструкции.The disadvantages of the above structures is the impossibility of prolonged operation in a vacuum when exposed to significant changes in temperature, vibration, shock. Due to the instability of the engine speed, leading to measurement errors. In addition, the engine creates significant interference in the measuring system. Other disadvantages of the known technical solutions are the impossibility of long-term continuous measurements, their rather low sensitivity and large design.

Известны датчики вибрационного типа [14-21], в которых измерительный или экранирующий электрод колеблются в области неоднородного поля под действием электромагнитного возбудителя. Приборы данного вида свободны от большинства недостатков приборов первых двух классов, однако они имеют недостаточную чувствительность вследствие того, что размеры и амплитуда перемещения электродов в них меньше чем в флюксметрах и ротационных датчиках.Sensors of a vibrational type are known [14-21], in which a measuring or shielding electrode oscillates in an inhomogeneous field under the action of an electromagnetic pathogen. Devices of this type are free from most of the disadvantages of the devices of the first two classes, however, they have insufficient sensitivity due to the fact that the size and amplitude of the movement of the electrodes in them are smaller than in fluxmeters and rotational sensors.

Наиболее близким аналогом предлагаемого технического решения является датчик электростатического поля, описанный в авторском свидетельстве СССР №881628. В данном техническом решении датчик содержит чувствительный электрод, подключенный к блоку регистрации и две катушки индуктивности, расположенные соосно и подключенные к генератору переменного напряжения, при этом чувствительный электрод расположен под углом 3-10° к оси катушек индуктивности.The closest analogue of the proposed technical solution is the electrostatic field sensor described in USSR author's certificate No. 881628. In this technical solution, the sensor contains a sensitive electrode connected to the registration unit and two inductors located coaxially and connected to an alternating voltage generator, while the sensitive electrode is located at an angle of 3-10 ° to the axis of the inductors.

Недостатком ближайшего аналога являются существенные массогабаритные параметры.The disadvantage of the closest analogue is the significant weight and size parameters.

Техническим результатом, на достижение которого направлено предлагаемое техническое решение, является уменьшение массогабаритных характеристик прибора по сравнению с известными аналогами.The technical result, the achievement of which the proposed technical solution is aimed at, is to reduce the overall dimensions of the device in comparison with the known analogues.

Предлагаемый микросистемный индикатор электрических полей космических аппаратов состоит из последовательно соединенных микромеханического исполнительного элемента на подложке, усилителя тока, и аналого-цифрового преобразователя.The proposed microsystem indicator of the electric fields of spacecraft consists of a serially connected micromechanical actuating element on a substrate, a current amplifier, and an analog-to-digital converter.

Признаки и сущность заявленного изобретения поясняются чертежами, где показано следующее.The features and essence of the claimed invention are illustrated by drawings, which show the following.

На фиг. 1а, 6 представлен вид сверху и вид в аксонометрии варианта конструкции микромеханического исполнительного элемента на подложке, где ссылочными позициями обозначено следующее:In FIG. 1a, 6 are a plan view and a perspective view of a design variant of a micromechanical actuating element on a substrate, where the reference numerals indicate the following:

1 - подложка;1 - substrate;

2 - отверстие в подвижном экранирующем электроде;2 - hole in the movable shielding electrode;

3 - чувствительный электрод;3 - sensitive electrode;

4 - подвижный экранирующий электрод;4 - movable shielding electrode;

5 - упругие гибкие подвесы подвижного экранирующего электрода;5 - elastic flexible suspensions of a movable shielding electrode;

6 - контактные площадки;6 - contact pads;

7 - металлизированные дорожки.7 - metallized tracks.

Конструкция имеет минимум четырех упругих гибких подвеса, симметрично закрепленных относительно друг друга и чувствительного электрода на подложке и удерживающих подвижный экранирующий электрод.The design has a minimum of four elastic flexible suspensions, symmetrically fixed relative to each other and the sensitive electrode on the substrate and holding the movable shielding electrode.

Подвижный экранирующий электрод с отверстием по центру расположен так, что ось симметрии чувствительного электрода равноудалена от внутреннего края отверстия подвижного экранирующего электрода. Диаметр подвижного экранирующего электрода составляет не менее 1/3 габаритного размера микромеханического исполнительного элемента. Подвижный экранирующий электрод выполнен из магнитомягкого материала.A movable shielding electrode with a hole in the center is located so that the axis of symmetry of the sensitive electrode is equidistant from the inner edge of the hole of the movable shielding electrode. The diameter of the movable shielding electrode is at least 1/3 of the overall size of the micromechanical actuator. The movable shielding electrode is made of soft magnetic material.

Чувствительный электрод, сформирован на подложке в центре отверстия подвижного экранирующего электрода, при этом диаметр чувствительного электрода меньше диаметра отверстия подвижного экранирующего электрода. Чувствительный электрод имеет возможность углубления внутрь или выдвижения из отверстия подвижного экранирующего электрода при его колебаниях. Чувствительный электрод выполнен из твердого материала, обладающего свойствами ферромагнетика с высокой магнитной проницаемостью.A sensitive electrode is formed on the substrate in the center of the hole of the movable shielding electrode, while the diameter of the sensitive electrode is smaller than the diameter of the hole of the movable shielding electrode. The sensitive electrode has the ability to deepen inward or extend from the hole of the movable shielding electrode when it vibrates. The sensitive electrode is made of a solid material having the properties of a ferromagnet with high magnetic permeability.

Чувствительный и экранирующий электроды изготовлены в едином цикле на подложке с помощью технологии поверхностной микрообработки линейного перемещения подвижного элемента в одной плоскости.Sensitive and shielding electrodes are made in a single cycle on the substrate using surface microprocessing technology of linear movement of the moving element in one plane.

Металлизированные дорожки с контактными площадками на подложке для электрического контакта усилителя тока одним выводом соединены с одним из четырех упругих гибких подвесов, а другим выводом с чувствительным электродом.Metallized tracks with pads on the substrate for electrical contact of the current amplifier with one terminal connected to one of four elastic flexible suspensions, and the other terminal with a sensitive electrode.

На фиг. 2 представлено поперечное сечение (А-А) микромеханического исполнительного элемента на подложке, где 8 - катушка индуктивности.In FIG. 2 shows a cross section (AA) of a micromechanical actuator on a substrate, where 8 is an inductor.

На фиг. 3 приведены основные размеры составных частей исполнительного элемента сформированного на подложке:In FIG. 3 shows the main dimensions of the components of the actuator formed on the substrate:

а - габаритные размеры исполнительного элемента микросистемного индикатора электрических полей - не более 1,2⋅103 мкм; a - overall dimensions of the actuating element of the microsystem indicator of electric fields - not more than 1.2⋅10 3 μm;

b - диаметр подвижного экранирующего электрода - не более 4⋅102 мкм;b - diameter of the movable shielding electrode - not more than 4⋅10 2 microns;

с - габаритные размеры опор - не более 10 мкм.C - overall dimensions of the supports - not more than 10 microns.

На фиг. 4 представлена структурная схема микросистемного индикатора электрических полей, где:In FIG. 4 is a structural diagram of a microsystem indicator of electric fields, where:

9 - усилитель тока;9 - current amplifier;

10 - аналого-цифровой преобразователь (АЦП).10 - analog-to-digital Converter (ADC).

На фиг. 5 представлена электрическая схема микросистемного индикатора электрических полей, отражающая взаимосвязь исполнительного элемента с усилителем и аналого-цифровым преобразователем.In FIG. 5 is an electrical diagram of a microsystem indicator of electric fields, reflecting the relationship of the actuator with an amplifier and an analog-to-digital converter.

Устройство работает следующим образом.The device operates as follows.

Входящий в состав микромеханического исполнительного элемента экранирующий электрод (3) находится под влиянием магнитного поля катушки индуктивности. При колебаниях экранирующего электрода (4) под влиянием магнитного поля катушки индуктивности, чувствительный электрод (3) имеет постоянное значение потенциала. При появлении электрического поля порового уровня, значение потенциала чувствительного электрод (3) изменится. Чувствительный электрод (3) подключен к входному усилителю тока. Сигнал об изменении потенциала чувствительного электрода (3) поступает на усилитель (9). После усиления сигнала, происходит детектирование сигнала аналого-цифровым преобразователем (10). После усиления и синхронного детектирования на выходе получается напряжение, пропорциональное напряженности электрического поля, имеющее соответствующий знак. Напряжение с выхода микросистемного индикатора электрических полей поступает на передающее устройство.The shielding electrode (3), which is part of the micromechanical actuator, is influenced by the magnetic field of the inductor. When the shielding electrode (4) oscillates under the influence of the magnetic field of the inductor, the sensitive electrode (3) has a constant potential value. When the electric field of the pore level appears, the value of the potential of the sensitive electrode (3) will change. The sensitive electrode (3) is connected to the input current amplifier. The signal about the change in the potential of the sensitive electrode (3) is supplied to the amplifier (9). After amplification of the signal, the signal is detected by an analog-to-digital converter (10). After amplification and synchronous detection at the output, a voltage is obtained proportional to the electric field with a corresponding sign. The voltage from the output of the microsystem indicator of electric fields is supplied to the transmitting device.

Заявленное изобретение обеспечивает создание миниатюрных устройств для детектирования электрических полей, образовавшихся в результате накопления поверхностью космических аппаратов электростатических зарядов.The claimed invention provides the creation of miniature devices for detecting electric fields formed as a result of the accumulation of electrostatic charges by the surface of spacecraft.

Кроме снижения массогабаритных характеристик разработанная конструкция позволяет повысить радиационную стойкость до 106 рад, вследствие слабой чувствительности исполнительных элементов микросистемной техники к данному типу воздействия, уменьшить мощность потребления устройства (не менее 10%), повысить работоспособность в условиях открытого космоса, а также устойчивость к жестким климатическим условиям эксплуатации.In addition to reducing the overall dimensions, the developed design makes it possible to increase radiation resistance to 10 6 rad, due to the low sensitivity of the executive elements of microsystem technology to this type of exposure, reduce the power consumption of the device (at least 10%), increase efficiency in open space, as well as resistance to harsh climatic conditions of operation.

Взаимодействие индикаторов электрических полей с активными системами защиты от электростатических зарядов космических аппаратов позволит существенно повысить надежность бортовой аппаратуры КА.The interaction of electric field indicators with active systems of protection against electrostatic charges of spacecraft will significantly increase the reliability of spacecraft onboard equipment.

Источники информацииInformation sources

1. Авторское свидетельство 580525 от 15.11.77 «Датчик электростатического поля».1. Copyright certificate 580525 of 11/15/77 "Electrostatic field sensor".

2. Авторское свидетельство 593165 от 15.02.78 «Датчик для регистрации плотности статистического электричества».2. Copyright certificate 593165 of 02.15.78 “Sensor for recording the density of statistical electricity”.

3. Патент RU 2199761 от 27.02.2003 «Устройство для измерения напряженности статического и квазистатического электрического поля».3. Patent RU 2199761 of 02.27.2003 “Device for measuring the strength of static and quasistatic electric fields”.

4. Патент США на изобретение US 6483223 "Method to prevent charging effects in electrostatic devices". Victor Donald Samper, Uppili Sridhar, Olaf Knueppel, Feng Han Hua, Hui Wing, Cheong. Institute of Microelectronics. 19.11.2002.4. US patent for the invention US 6483223 "Method to prevent charging effects in electrostatic devices". Victor Donald Samper, Uppili Sridhar, Olaf Knueppel, Feng Han Hua, Hui Wing, Cheong. Institute of Microelectronics. 11/19/2002.

5. Авторское свидетельство 653583 от 11.05.77 «Датчик электростатического поля».5. Copyright certificate 653583 dated 05/11/77 "Electrostatic field sensor".

6. Авторское свидетельство 769455 от 26.12.78 «Датчик электростатического поля».6. Copyright certificate 769455 of 12/26/78 "Sensor of the electrostatic field."

7. Авторское свидетельство 629513 от 28.08.78 «Датчик электростатического поля».7. Copyright certificate 629513 dated 08/28/78 "Sensor of the electrostatic field."

8. Авторское свидетельство 718809 от 28.02.80 «Измеритель напряженности электростатического поля».8. Copyright certificate 718809 of 02.28.80 “Electrostatic field strength meter”.

9. Авторское свидетельство 1116399 от 21.04.83 «Устройство для измерения напряженности электрического поля».9. Copyright certificate 1116399 of 04/21/83 "Device for measuring electric field strength."

10. Авторское свидетельство 1201784 от 16.12.83 «Устройство для измерения напряженности электрического поля СВЧ».10. Copyright certificate 1201784 of December 16, 83 “Device for measuring the microwave electric field”.

11. Патент RU 2020497 от 30.09.1994 «Датчик электростатического поля»11. Patent RU 2020497 dated 09/30/1994 "Sensor of an electrostatic field"

12. Патент RU 2028636 от 09.02.1995 «Устройство для измерения напряженности электростатического поля».12. Patent RU 2028636 of 02/09/1995 "Device for measuring the intensity of the electrostatic field."

13. Патент RU 2442183 от 10.02.2012 «Датчик измерителя напряженности электростатического поля».13. Patent RU 2442183 dated 02/10/2012 “Sensor of an electrostatic field strength meter”.

14. Авторское свидетельство 845119 от 20.03.78 «Датчик электростатического поля».14. Copyright certificate 845119 of 03/20/78 "Sensor of the electrostatic field."

15. Авторское свидетельство 881628 от 05.10.79 Датчик электростатического поля».15. Copyright certificate 881628 of 05.10.79 Electrostatic field sensor. "

16. Авторское свидетельство 1709246 от 07.04.88 «Датчик электростатического поля».16. Copyright certificate 1709246 of 04/07/08 "Sensor of the electrostatic field."

17. Патент RU 2212678 от 20.09.2003 «Устройство для измерения напряженности электростатического поля».17. Patent RU 2212678 of 09/20/2003 "Device for measuring the intensity of the electrostatic field."

18. Патент RU 2414717 от 20.03.2011 «Датчик электростатического поля и способ измерения электростатического поля».18. Patent RU 2414717 dated 03/20/2011 "Electrostatic field sensor and a method for measuring the electrostatic field."

19. Патент RU 2445639 от 20.03.2012 «Способ измерения напряженности электрического поля».19. Patent RU 2445639 dated 03/20/2012 "Method for measuring electric field strength."

20. Заявка США на изобретение US 2009/0273337 «Electric field sensor with electrode interleaving vibration». Shanhong XIA, Chao YE, Chao GONG, Xianxiang CHEN, Qiang BAI, Shaofeng CHEN, 5.11.2009.20. Application for US invention US 2009/0273337 "Electric field sensor with electrode interleaving vibration". Shanhong XIA, Chao YE, Chao GONG, Xianxiang CHEN, Qiang BAI, Shaofeng CHEN, 11/5/2009.

21. Патент WO 2014045406 от 27.03.2014 «Potential measuring device»21. Patent WO 2014045406 dated 03/27/2014 "Potential measuring device"

Claims (16)

1. Микросистемный индикатор электрических полей космических аппаратов, характеризующийся тем, что включает:1. A microsystem indicator of the electric fields of spacecraft, characterized in that it includes: а) микромеханический исполнительный элемент, состоящий из:a) micromechanical actuator, consisting of: - подложки;- substrates; - подвижного экранирующего электрода с отверстием по центру;- a movable shielding electrode with a hole in the center; - как минимум четырех упругих гибких подвесов, симметрично закрепленных относительно друг друга и чувствительного электрода на подложке и удерживающих подвижный экранирующий электрод;- at least four elastic flexible suspensions, symmetrically fixed relative to each other and the sensitive electrode on the substrate and holding a movable shielding electrode; - чувствительного электрода, сформированного на подложке в центре отверстия подвижного экранирующего электрода, при этом диаметр чувствительного электрода меньше диаметра отверстия подвижного экранирующего электрода;- a sensitive electrode formed on the substrate in the center of the hole of the movable shielding electrode, while the diameter of the sensitive electrode is less than the diameter of the hole of the movable shielding electrode; - металлизированных дорожек с контактными площадками на подложке для электрического контакта усилителя тока одним выводом с одним из четырех упругих гибких подвесов, а другим выводом с чувствительным электродом;- metallized tracks with pads on the substrate for electrical contact of the current amplifier with one output with one of four elastic flexible suspensions, and the other with a sensitive electrode; - подвижного экранирующего электрода, расположенного так, что ось симметрии чувствительного электрода равноудалена от внутреннего края отверстия подвижного экранирующего электрода;- a movable shielding electrode arranged so that the axis of symmetry of the sensitive electrode is equidistant from the inner edge of the hole of the movable shielding electrode; б) катушку индуктивности;b) inductor; в) усилитель тока;c) current amplifier; г) аналого-цифровой преобразователь,g) analog-to-digital Converter при этом подвижный экранирующий электрод с помощью катушки индуктивности приводится в колебательное движение на частоте механического резонанса, чувствительный электрод соединен с усилителем тока, выход усилителя тока соединен с входом аналого-цифрового преобразователя, выход которого является выходом микросистемного индикатора электрических полей.the movable shielding electrode is driven by an inductor in oscillatory motion at a frequency of mechanical resonance, the sensitive electrode is connected to a current amplifier, the output of the current amplifier is connected to the input of an analog-to-digital converter, the output of which is the output of a microsystem indicator of electric fields. 2. Микросистемный индикатор электрических полей по п. 1, характеризующийся тем, что чувствительный электрод выполнен из твердого материала, обладающего свойствами ферромагнетика с высокой магнитной проницаемостью.2. The microsystem indicator of electric fields according to claim 1, characterized in that the sensitive electrode is made of a solid material having the properties of a ferromagnet with high magnetic permeability. 3. Микросистемный индикатор электрических полей по п. 1, характеризующийся тем, что подвижный экранирующий электрод выполнен из магнитомягкого материала.3. The microsystem indicator of electric fields according to claim 1, characterized in that the movable shielding electrode is made of soft magnetic material. 4. Микросистемный индикатор электрических полей по п. 3, характеризующийся тем, что диаметр подвижного экранирующего электрода составляет не менее 1/3 габаритного размера микромеханического исполнительного элемента.4. The microsystem indicator of electric fields according to claim 3, characterized in that the diameter of the movable shielding electrode is at least 1/3 of the overall size of the micromechanical actuator. 5. Микросистемный индикатор электрических полей по пп. 1-4, характеризующийся тем, что чувствительный электрод имеет возможность углубления внутрь или выдвижения из отверстия подвижного экранирующего электрода при его колебаниях.5. The microsystem indicator of electric fields according to paragraphs. 1-4, characterized in that the sensitive electrode has the ability to deepen inward or extend from the hole of the movable shielding electrode when it vibrates.
RU2018107591A 2018-03-01 2018-03-01 Microsystem indicator of electric fields of space apparatus RU2676059C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018107591A RU2676059C1 (en) 2018-03-01 2018-03-01 Microsystem indicator of electric fields of space apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018107591A RU2676059C1 (en) 2018-03-01 2018-03-01 Microsystem indicator of electric fields of space apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2676059C1 true RU2676059C1 (en) 2018-12-25

Family

ID=64753861

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018107591A RU2676059C1 (en) 2018-03-01 2018-03-01 Microsystem indicator of electric fields of space apparatus

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2676059C1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU194630U1 (en) * 2019-07-08 2019-12-17 Евгений Юрьевич Николаев Device for measuring the intensity and potential of the electrostatic field in environmental conditions
RU2719274C1 (en) * 2019-05-27 2020-04-17 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова" (МГУ) Three-phase cavitation sensing element of electric field, method of its production and application
RU2719271C1 (en) * 2019-05-27 2020-04-17 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова" (МГУ) Bubble sensor for detecting weak electric fields

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2020497C1 (en) * 1992-07-06 1994-09-30 Валерий Николаевич Таисов Transducer of electrostatic field
US5986629A (en) * 1996-10-02 1999-11-16 Xerox Corporation Electrostatic discharge indicator
WO2011008872A1 (en) * 2009-07-14 2011-01-20 Amfit, Inc. Electrostatic sensor device and matrix
US8339131B2 (en) * 2005-06-09 2012-12-25 Institute Of Electronics, Chinese Academy Of Sciences Electric field sensor with electrode interleaving vibration
US20140167732A1 (en) * 2012-12-12 2014-06-19 Lutz Mueller Micromechanical Electric Field Meter as a Thunderstorm Warning Device
RU2606927C1 (en) * 2015-08-10 2017-01-10 Акционерное общество "Научно-производственное объединение измерительной техники" Electrostatic field intensity meter

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2020497C1 (en) * 1992-07-06 1994-09-30 Валерий Николаевич Таисов Transducer of electrostatic field
US5986629A (en) * 1996-10-02 1999-11-16 Xerox Corporation Electrostatic discharge indicator
US8339131B2 (en) * 2005-06-09 2012-12-25 Institute Of Electronics, Chinese Academy Of Sciences Electric field sensor with electrode interleaving vibration
WO2011008872A1 (en) * 2009-07-14 2011-01-20 Amfit, Inc. Electrostatic sensor device and matrix
US20140167732A1 (en) * 2012-12-12 2014-06-19 Lutz Mueller Micromechanical Electric Field Meter as a Thunderstorm Warning Device
RU2606927C1 (en) * 2015-08-10 2017-01-10 Акционерное общество "Научно-производственное объединение измерительной техники" Electrostatic field intensity meter

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2719274C1 (en) * 2019-05-27 2020-04-17 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова" (МГУ) Three-phase cavitation sensing element of electric field, method of its production and application
RU2719271C1 (en) * 2019-05-27 2020-04-17 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова" (МГУ) Bubble sensor for detecting weak electric fields
RU194630U1 (en) * 2019-07-08 2019-12-17 Евгений Юрьевич Николаев Device for measuring the intensity and potential of the electrostatic field in environmental conditions

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2676059C1 (en) Microsystem indicator of electric fields of space apparatus
US9354283B2 (en) Sensor and method of controlling the same
JP6835724B2 (en) Inductive displacement sensor
CN105444872B (en) A kind of vibrating sensor based on nano particle dot array Quantum Transport Properties
US9322839B2 (en) Magnetic inertial sensor and method for operating the same
JP2013524253A (en) Electromagnetic method for detecting the relative position of two objects using a coupled tuning circuit
CN102253236A (en) Sectional magnetic encoding method and system for mMeasuring rotating shaft parameters
JP2015072277A (en) Mems gyroscope with lowered magnetism sensitivity
Todaro et al. Magnetic field sensors based on microelectromechanical systems (MEMS) technology
CN109282879B (en) A kind of contactless EMAT detection method and its system of micro-mass sensor
Alzgool et al. Self-powered triboelectric MEMS accelerometer
RU2477501C1 (en) Seismometer
TW201211516A (en) Contactless vibration meter
CN105277769B (en) A kind of oscillatory type satellite surface floating potential detection device
KR100934217B1 (en) Microsensor for vibration measurement
RU2410703C1 (en) Linear microaccelerometre
RU2490754C1 (en) Microelectromechanical magnetic field sensor
RU2473929C1 (en) Seismometer
RU2695111C1 (en) Miniature measuring instrument of parameters of electric power supply of spacecrafts with microsystem vibration electric field modulator
Benabdellah et al. New Electromagnetic Force-Displacement Sensor
RU2623690C1 (en) Electrostatic field sensor
Sung et al. Mems above cmos process for single proof-mass 3-axis lorentz-force resonant magnetic sensor
Gong et al. Design and simulation of miniature vibrating electric field sensors
Wen et al. A characterization of the performance of MEMS vibratory gyroscope in different fields
RU2489722C1 (en) Sensitive element of angular accelerometre