RU2692120C1 - Способ определения толщины покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования - Google Patents

Способ определения толщины покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования Download PDF

Info

Publication number
RU2692120C1
RU2692120C1 RU2018138701A RU2018138701A RU2692120C1 RU 2692120 C1 RU2692120 C1 RU 2692120C1 RU 2018138701 A RU2018138701 A RU 2018138701A RU 2018138701 A RU2018138701 A RU 2018138701A RU 2692120 C1 RU2692120 C1 RU 2692120C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
coating
thickness
electrolytic oxidation
voltage
pulsed
Prior art date
Application number
RU2018138701A
Other languages
English (en)
Inventor
Денис Михайлович Лазарев
Азамат Раисович Фаткуллин
Евгений Владимирович Парфенов
Рузиль Галиевич Фаррахов
Original Assignee
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" filed Critical федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет"
Priority to RU2018138701A priority Critical patent/RU2692120C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2692120C1 publication Critical patent/RU2692120C1/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

Использование: для определения толщины покрытия в процессе плазменно-электролитического оксидирования. Сущность изобретения заключается в том, что способ определения толщины покрытия при плазменно-электролитическом оксидировании включает измерение остаточного значения напряжения, отличающийся тем, что измеряют остаточное значение напряжения Uв момент непосредственно перед подачей положительного импульса напряжения после паузы в импульсном униполярном режиме и в момент непосредственно перед подачей отрицательного импульса напряжения после паузы в импульсном биполярном режиме, при этом толщину покрытия определяют по заданной формуле. Технический результат: обеспечение возможности повышения точности определения толщины покрытия, и, как следствие, уменьшения количества энергопотребления. 2 табл., 7 ил.

Description

Изобретение относится к области электрохимической обработки, в частности, к плазменно-электролитическому оксидированию поверхностей и может быть использовано для определения толщины покрытия в процессе плазменно-электролитического оксидирования вентильных металлов, в частности магния, алюминия, титана, циркония, и сплавов на их основе.
Известен способ определения толщины покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования, заключающийся в том, что в ходе процесса измеряют напряжения обработки Uф выше некоторого критического значения Uкp, при котором на обрабатываемом образце начинают протекать микроплазменные процессы, а толщину покрытия h определяют по формуле:
Figure 00000001
где hкp - толщина покрытия в начале стадии искрения;
k - коэффициент корреляции, зависящий от природы электролита;
Uф - напряжение обработки;
Uкp - напряжение возникновения искровых разрядов.
[Формирование покрытий на вентильных металлах и сплавах в электролитах с емкостным регулированием энергии при микродуговом оксидировании / П.С. Гордиенко, О.С. Василенко, Е.С. Панин и др. // Защита металлов, 2006, т. 42, №5, с. 500-505].
Недостатком аналога является невысокая точность определения толщины покрытия при плазменно-электролитическом оксидировании, так как напряжение возникновения микроплазменных процессов в гальваностатическом режиме может варьироваться в широком диапазоне значений в зависимости от условий обработки и типа сплава. Кроме того, невысокая точность определения толщины покрытия в начале обработки обусловлена существенными различиями в наклоне линейных участков формовочной кривой напряжения и кривой роста толщины покрытия, причем в ходе обработки угол наклона изменяется и в конце обработки на интервале линейности хвосты кривых параллельны друг другу. Поэтому при определении толщины покрытия возможен существенный разброс за счет разброса технологических параметров, что недопустимо, так как при неверном определении толщины покрытия и, соответственно, передержке, возможно разрушение сформированного покрытия мощными дуговыми разрядами.
Известен также способ определения толщины оксидного покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования, заключающийся в том, что измеряют среднее и амплитудное значение напряжения обработки, затем находят их отношение, а толщину покрытия h определяют по формуле:
Figure 00000002
где k1 и k2 - эмпирические коэффициенты, зависящие от природы обрабатываемого материала и состава электролита, определяемые по тарировочным кривым. [Патент РФ №2668344, кл. G01B 11/06. Публ. 28.09.2018].
Недостатком данного способа является ее ограниченная применимость, так как предложенный способ может быть использован только при плазменно-электролитическом оксидировании в униполярном импульсном режиме.
Известен также способ определения момента окончания процесса плазменно-электролитического оксидирования (ПЭО) на основе измерения толщины покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования, заключающийся в том, что в ходе процесса измеряют переменную составляющую тока и анализируют ее изменение во времени, измеряют и анализируют переменную составляющую напряжения, которая периодически или постоянно изменяется с частотой 200-20000 Гц. При этом переменные составляющие тока и напряжения поступают на полосовые фильтры с граничными частотами 200-18000 и 500-20000 Гц, которые измеряют сдвиг фаз между отфильтрованными сигналами тока и напряжения. Момент окончания процесса определяется по достижении значения сдвига фаз 20-80 градусов [Патент РФ №2366765, кл. C25D 11/00. Публ. 10.09.2009].
Недостатком данного аналога является сложность его практической реализации, которая заключается в необходимости использования дополнительных модуляторов частоты для измерения частотных характеристик электролизера, частотной фильтрации сигналов тока и напряжения, а также использования фазометров для измерения угла сдвига фаз между отфильтрованными сигналами тока и напряжения.
Наиболее близким по технической сущности является способ определения толщины покрытия при плазменно-электролитическом оксидировании, включающий измерение амплитуды поляризующего импульса напряжения. В данном способе происходит измерение длительности τ спада напряжения UM до порогового значения напряжения U1=(0,2…0,8)⋅UM, а толщина покрытия определяется по формуле:
h=k1+k2⋅τ,
где k1 и k2 - эмпирические коэффициенты, зависящие от природы обрабатываемого материала и состава электролита, определяемые по тарировочным кривым.
τ - длительность спада напряжения UM до порогового значения напряжения.
[Патент РФ №2540239, кл. G01B 7/06. Публ. 10.02.2015].
Недостатком ближайшего аналога является необходимость измерения в процессе плазменно-электролитического оксидирования в быстроменяющемся сигнале длительности спада напряжения, что приводит к усложнению аппаратной реализации способа.
Задачей, решаемой заявляемым изобретением, является снижение энергопотребления при плазменно-электролитическом оксидировании вследствие исключения передержки за счет своевременного отключения технологического источника тока при достижении заданной толщины покрытия.
Задачей, решаемой заявляемым изобретением, является определение толщины покрытия в процессе плазменно-электролитического оксидирования за счет использования значений остаточного напряжения UOCT - значение напряжения на нагрузке в момент непосредственно перед подачей положительного импульса напряжения после паузы в импульсном униполярном режиме и в момент непосредственно перед подачей отрицательного импульса напряжения после паузы в импульсном биполярном режиме.
Техническим результатом является повышение точности определения толщины покрытия и, как следствие, уменьшение количества энергопотребления, которое обеспечивается благодаря использованию при измерении толщины покрытия значений остаточного напряжения UOCT.
Поставленная задача решается, а технический результат достигается тем, что в способе определения толщины покрытия при плазменно-электролитическом оксидировании, включающим измерение остаточного значения напряжения, согласно изобретению, измеряют остаточное значение напряжения на нагрузке в момент непосредственно перед подачей положительного импульса напряжения после паузы в импульсном униполярном режиме и в момент непосредственно перед подачей отрицательного импульса напряжения после паузы в импульсном биполярном режиме, при этом толщину покрытия определяют по формуле:
h=k1+k2⋅UOCT,
где k1 и k2 - эмпирические коэффициенты, зависящие от природы обрабатываемого материала, состава электролита, частоты и скважности импульсного напряжения, определяемые по тарировочным кривым;
UOCT - значение напряжения на нагрузке в момент непосредственно перед подачей положительного импульса напряжения после паузы в импульсном униполярном режиме и в момент непосредственно перед подачей отрицательного импульса напряжения после паузы в импульсном биполярном режиме.
Существо способа поясняется чертежами. На Фиг. 1, Фиг. 2 показаны импульсы напряжения и его спады при отключении от нагрузки при плазменно-электролитическом оксидировании в импульсном униполярном и импульсном биполярном режимах. На осциллограммах напряжения (Фиг. 1 и Фиг. 2), сделанных в импульсном униполярном и импульсном биполярном режимах видны кривые спада напряжения, которые возникают в результате переходного процесса. На Фиг. 3 показана динамика роста толщины покрытия h от времени t для двух различных магниевых сплавов кривая 1 сплав Mg-1%Ca и кривая 2 сплав Mg-2%Sr соответственно. На Фиг. 4 представлены динамики увеличения значений остаточного напряжения UOCT от времени t для двух различных магниевых сплавов кривая 1 сплав Mg-1%Ca и кривая 2 сплав Mg-2%Sr соответственно в процессе плазменно-электролитического оксидирования. На рисунках видно, что при увеличении толщины покрытия также увеличивается значение остаточного напряжения UOCT.
Примеры конкретной реализации способа для магниевого сплава Mg-1%Са.
Образцы из алюминия обрабатывали методом плазменно-электролитического оксидирования в растворе, содержащем 12 г/л Na3PO4*12H2O+2 г/л Са(ОН)2 при температуре 20°С в течение 1…10 минут в импульсном униполярном режиме при напряжении +470 В. Регистрируются осциллограммы напряжения на положительном импульсе спада через интервалы времени Δtn а толщину покрытия h определяют по формуле:
h=k1+k2⋅UOCT,
где k1 и k2 - эмпирические коэффициенты, зависящие от природы обрабатываемого материала, состава электролита, частоты и скважности импульсного напряжения, определяемые по тарировочным кривым (Фиг. 5).
UOCT - значение напряжения на нагрузке в момент непосредственно перед подачей положительного импульса напряжения после паузы.
где k1=-0,7129±0,02 мкм;
k2=0,08±0,001 мкм⋅с-1;
Δt n =1 мин для всех интервалов n;
Т=10 мин.
Примеры конкретной реализации способа для магниевого сплава Mg-2%Sr.
Образцы из алюминия обрабатывали методом плазменно-электролитического оксидирования в растворе, содержащем 12 г/л Na3PO4*12H2O+2 г/л Са(ОН)2 при температуре 20°С в течение 1…10 минут в импульсном униполярном режиме при напряжении +470 В. Регистрируются осциллограммы напряжения на положительном импульсе спада через интервалы времени Δtn, а толщину покрытия h определяют по формуле:
h=k1+k2⋅UOCT,
где k1 и k2 - эмпирические коэффициенты, зависящие от природы обрабатываемого материала, состава электролита, частоты и скважности импульсного напряжения, определяемые по тарировочным кривым (Фиг. 6).
UOCT - значение напряжения на нагрузке в момент непосредственно перед подачей положительного импульса напряжения после паузы.
где k1=-0,99±0,05 мкм;
k2=0,1428±0,007 мкм⋅с-1;
Δt n =1 мин для всех интервалов n;
T=10 мин.
После обработки толщину покрытия на образцах также измеряли вихретоковым толщиномером и усредняли данные по 10 измерениям.
Результаты приведены в таблице 1 (сплав Mg-1%Ca) и в таблице 2 (сплав Mg-2%Sr), из которой видно, что толщина покрытия, определенная в процессе плазменно-электролитического оксидирования с помощью заявляемого способа, в пределах погрешности совпадает с толщиной, определенной с помощью независимых измерений после обработки (Фиг. 3, Фиг. 7). Между толщиной покрытия и остаточным напряжением UOCT наблюдается высокая степень корреляции (R2>0,95).
Таким образом, заявляемое изобретение имеет простое техническое исполнение, позволяет определять толщину покрытия в процессе плазменно-электролитического оксидирования, а также снижать энергоемкость процесса за счет исключения передержки.
Figure 00000003
Figure 00000004

Claims (4)

  1. Способ определения толщины покрытия при плазменно-электролитическом оксидировании, включающий измерение остаточного значения напряжения, отличающийся тем, что измеряют остаточное значение напряжения UOCT в момент непосредственно перед подачей положительного импульса напряжения после паузы в импульсном униполярном режиме и в момент непосредственно перед подачей отрицательного импульса напряжения после паузы в импульсном биполярном режиме, при этом толщину покрытия определяют по формуле:
  2. h=k1+k2⋅UOCT,
  3. где k1 и k2 - эмпирические коэффициенты, зависящие от природы обрабатываемого материала, состава электролита, частоты и скважности импульсного напряжения, определяемые по тарировочным кривым;
  4. UOCT - значение напряжения на нагрузке в момент непосредственно перед подачей положительного импульса напряжения после паузы в импульсном униполярном режиме и в момент непосредственно перед подачей отрицательного импульса напряжения после паузы в импульсном биполярном режиме.
RU2018138701A 2018-11-01 2018-11-01 Способ определения толщины покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования RU2692120C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018138701A RU2692120C1 (ru) 2018-11-01 2018-11-01 Способ определения толщины покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018138701A RU2692120C1 (ru) 2018-11-01 2018-11-01 Способ определения толщины покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2692120C1 true RU2692120C1 (ru) 2019-06-21

Family

ID=67038033

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018138701A RU2692120C1 (ru) 2018-11-01 2018-11-01 Способ определения толщины покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2692120C1 (ru)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6244613A (ja) * 1985-08-22 1987-02-26 Toshiba Corp 膜厚測定装置
RU2158897C1 (ru) * 1999-11-04 2000-11-10 Воронежская государственная технологическая академия Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его реализации
RU2366765C1 (ru) * 2008-10-02 2009-09-10 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Уфимский государственный авиационный технический университет Способ определения момента окончания процесса плазменно-электролитического оксидирования
RU2435134C1 (ru) * 2010-07-15 2011-11-27 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Способ определения толщины покрытия при плазменно-электролитическом оксидировании
RU2540239C1 (ru) * 2013-10-17 2015-02-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Способ определения толщины покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6244613A (ja) * 1985-08-22 1987-02-26 Toshiba Corp 膜厚測定装置
RU2158897C1 (ru) * 1999-11-04 2000-11-10 Воронежская государственная технологическая академия Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его реализации
RU2366765C1 (ru) * 2008-10-02 2009-09-10 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Уфимский государственный авиационный технический университет Способ определения момента окончания процесса плазменно-электролитического оксидирования
RU2435134C1 (ru) * 2010-07-15 2011-11-27 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Способ определения толщины покрытия при плазменно-электролитическом оксидировании
RU2540239C1 (ru) * 2013-10-17 2015-02-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Способ определения толщины покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Dehnavi et al. Corrosion properties of plasma electrolytic oxidation coatings on an aluminium alloy–The effect of the PEO process stage
Dubé et al. High-accuracy measurement of the differential scalar polarizability of a Sr+ 88 clock using the time-dilation effect
Liu et al. The correlation between the coating structure and the corrosion behavior of the plasma electrolytic oxidation coating on aluminum
Hwang et al. Correlation between current frequency and electrochemical properties of Mg alloy coated by micro arc oxidation
US20150083598A1 (en) Plasma-Chemical Method For Production Of Black Oxide-Ceramic Layers And Correspondingly Coated Object
CN103983201A (zh) 一种检测冷轧板磷化膜厚度的方法
RU2692120C1 (ru) Способ определения толщины покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования
JP2009228069A (ja) 陽極酸化処理方法および装置
Lochynski et al. Improvement of the stainless steel electropolishing process by organic additives
RU2540239C1 (ru) Способ определения толщины покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования
CN104280445A (zh) 同时分析电镀槽液中至少两种抑制剂的方法
Bastos et al. Influence of aliasing in time and frequency electrochemical noise measurements
RU2668344C1 (ru) Способ измерения толщины покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования
RU2366765C1 (ru) Способ определения момента окончания процесса плазменно-электролитического оксидирования
RU2807242C1 (ru) Способ мониторинга и управления процессом микродугового оксидирования с использованием метода акустической эмиссии
RU2440445C1 (ru) Способ плазменно-электролитического оксидирования металлов и сплавов
RU2611632C2 (ru) Способ определения толщины покрытия в ходе процесса твердого анодирования
RU2091706C1 (ru) Способ измерения площади поверхности электропроводного изделия
RU2360045C1 (ru) Способ определения момента окончания процесса электролитно-плазменного удаления покрытия
RU2211121C2 (ru) Способ регулирования межэлектродного зазора при электрохимической обработке
KR101333408B1 (ko) 통전용 마그네슘 산화박층의 제조방법
RU2667688C2 (ru) Устройство для регистрации электропроводности жидкостей
RU2240500C1 (ru) Способ измерения шероховатости поверхности
RU2284517C2 (ru) Способ определения электрических параметров сильнотоковых импульсных процессов в растворах электролитов и компьютерная система измерения
RU2119975C1 (ru) Способ определения момента окончания процесса электролитно-плазменного удаления покрытия