RU2686508C1 - Инструмент-электрод для электрохимического полирования пространственно сложных поверхностей - Google Patents

Инструмент-электрод для электрохимического полирования пространственно сложных поверхностей Download PDF

Info

Publication number
RU2686508C1
RU2686508C1 RU2018110781A RU2018110781A RU2686508C1 RU 2686508 C1 RU2686508 C1 RU 2686508C1 RU 2018110781 A RU2018110781 A RU 2018110781A RU 2018110781 A RU2018110781 A RU 2018110781A RU 2686508 C1 RU2686508 C1 RU 2686508C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
model
gap
fixed
tool
electrode
Prior art date
Application number
RU2018110781A
Other languages
English (en)
Inventor
Олег Иванович Драчев
Александр Викторович Бобровский
Олег Владимирович Авдеев
Original Assignee
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тольяттинский государственный университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тольяттинский государственный университет" filed Critical федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тольяттинский государственный университет"
Priority to RU2018110781A priority Critical patent/RU2686508C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2686508C1 publication Critical patent/RU2686508C1/ru

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H3/00Electrochemical machining, i.e. removing metal by passing current between an electrode and a workpiece in the presence of an electrolyte
    • B23H3/04Electrodes specially adapted therefor or their manufacture
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25FPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
    • C25F7/00Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic removal of material from objects; Servicing or operating

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области электрохимической обработки металлов. Инструмент-электрод содержит корпус с зафиксированным на нем симметрично относительно вертикальной оси пустотелым коробом, на котором крепится модель из отвердевшего неметаллического, стойкого к воздействию электролита, материала, на наружной объемной поверхности которой смонтирована металлическая безъячеистая сетка, подключаемая к отрицательному полюсу источника питания. В основании корпуса установлены штифты и регулировочные винты, обеспечивающие установку зазора между моделью и заготовкой детали. Модель изготовлена по внутренней рабочей поверхности мастер-модели, которой является обрабатываемая заготовка детали, с учетом величины зазора для прокачки электролита и диаметра проволоки упомянутой сетки. Инструмент-электрод оснащен волноводным резонатором комплексных колебаний и электромагнитным вибратором, при этом волноводный резонатор комплексных колебаний выполнен пустотелым с винтовыми пазами, причем одним концом он жестко закреплен на дне упомянутого короба, а на другом закреплена прямоугольная плита, которая смонтирована с зазором относительно электромагнитного вибратора, закрепленного во внутренней части короба на торце корпуса соосно с осью волноводного резонатора, при этом на вход электромагнитного вибратора подключен выход усилителя мощности, а на вход последнего подключен выход с генератора частоты. Изобретение обеспечивает снижение расхода материала при изготовлении инструмента-электрода сложной формы, позволяющего осуществлять электрохимическую обработку пространственно сложных поверхностей с равномерным зазором по всей поверхности, а также повышение производительности и качества обработанной поверхности. 3 ил.

Description

Изобретение относится к области электрохимической обработки металлов и может применяться для электрохимического полирования пространственно-сложных поверхностей, т.е. поверхностей имеющих нерегулярный сложный профиль, имеющийся сразу в трех координатах и представляющий собой совокупность выпуклых, вогнутых, сферических, цилиндрических, конических и плоских участков.
Известно устройство, содержащее электрод-инструмент для электрохимической обработки (полирования) пространственно-сложных поверхностей различной кривизны, содержащее корпус с отверстиями, расположенными через равный шаг, при этом корпус образует полость, внутри которой соосно с отверстиями расположены разрезные втулки, стержневые электроды, подключенные к электрическим проводам и выполненные с возможностью свободного перемещения вдоль своей оси по внутренним поверхностям разрезных втулок для самоустанавливания по обрабатываемой поверхности [А.с. СССР №1710239, кл. В23Н 7/22. 1992].
Приведенный аналог имеет недостаток. После самоустанавливания стержневых электродов по обрабатываемой поверхности образованная ими ответная поверхность не может быть зафиксирована, так как аналог не содержит устройств или элементов для фиксирования стержневых электродов. При перемещении электрода-инструмента стержневые электроды будут продолжать свободно перемещаться вдоль разрезных втулок и между ними и обрабатываемой поверхностью не будет сформирован равномерный зазор, необходимый для выполнения электрохимического полирования.
Известно устройство содержащее корпус с отверстиями, расположенными через равный шаг, при этом корпус образует полость, внутри которой соосно с отверстиями расположены разрезные втулки со стержневыми электродами, которые подключены к электрическим проводам и выполнены с возможностью свободного перемещения вдоль своей оси по внутренним поверхностям разрезных втулок для самоустанавливания по обрабатываемой поверхности детали. Отверстия в корпусе выполнены сквозными, его полость заполнена гидропластом, а в стенке корпуса расположен зажимной винт, воздействующий на гидропласт, обжимающий разрезные втулки, для закрепления стержневых электродов и фиксирования их с образованием ими поверхности, ответной по отношению к обрабатываемой поверхности детали [Патент РФ №2338013, кл. C25F 7/00. 2008].
Приведенный аналог имеет недостаток. Процесс полирования можно проводить только по двум координатам, т.е. в одной плоскости. Расстояние между электродами превышает 2-3 мм, что не позволяет качественно, т.е. равномерно, полировать обрабатываемую поверхность. Устройство имеет сложную конструкцию и требует настройку на каждую обрабатываемую деталь.
Известно устройство выбранного в качестве прототипа, в котором инструмент-электрод содержит корпус с зафиксированным на нем симметрично относительно вертикальной оси пустотелым коробом, на котором крепится модель из отвердевшего неметаллического, стойкого к воздействию электролита материала, на наружной поверхности, которой смонтирована металлическая безячеистая сетка, подключенная к отрицательному полюсу источника питания. В основании корпуса установлены штифты ирегулировочные винты, обеспечивающие установку зазора между моделью и заготовкой детали, причем упомянутая модель изготовлена по внутренней поверхности мастер-модели, которой является обрабатываемая заготовка детали, с учетом величины зазора для прокачки электролита и диаметра проволоки упомянутой сетки. [Патент РФ №2561556, кл. C25F 7/00, В23Н 3/04. 2015].
Приведенный прототип имеет недостатки - неудовлетворительная производительность и качество обрабатываемой поверхности.
Задачей изобретения является получение пространственно-сложных поверхностей электродов, применяемых на операциях электрохимического полирования. Эта задача решается тем, что инструмент-электрод для электрохимического полирования пространственно-сложных поверхностей детали, подключаемой к положительному полюсу источника питания, содержащий корпус с зафиксированным на нем симметрично относительно вертикальной оси пустотелым коробом, на котором крепится модель из отвердевшего неметаллического, стойкого к воздействию электролита, материала, на наружной объемной поверхности которой смонтирована металлическая безъячеистая сетка, подключаемая к отрицательному полюсу источника питания, при этом в основании корпуса установлены штифты и регулировочные винты, обеспечивающие установку зазора между моделью и заготовкой детали, а упомянутая модель изготовлена по внутренней рабочей поверхности мастер-модели, которой является обрабатываемая заготовка детали, с учетом величины зазора для прокачки электролита и диаметра проволоки упомянутой сетки, отличающийся тем, что он оснащен волноводным резонатором комплексных колебаний и электромагнитным вибратором, при этом волноводный резонатор комплексных колебаний выполнен пустотелым с винтовыми пазами, причем одним концом он жестко закреплен на дне упомянутого короба, а на другом закреплена прямоугольная плита, которая смонтирована с зазором относительно электромагнитного вибратора, закрепленного во внутренней части короба на торце корпуса соосно с осью волноводного резонатора, при этом на вход электромагнитного вибратора подключен выход усилителя мощности, а на вход последнего подключен выход с генератора частоты.
Фиксация на корпусе симметрично относительно вертикальной оси пустотелого короба, на котором крепится модель из отвердевшего неметаллического, стойкого к воздействию электролита, материала снижает расход дорогого материала для изготовления электродов, традиционно используемого для изготовления, уменьшает массу, повышает технологичность инструмента и снижает затраты на изготовление.
Монтаж на наружной объемной поверхности модели металлической безячеистой сетки, подключаемой к отрицательному полюсу источника питания, обеспечивает быстрое и мало затратное изготовление электродов любой конфигурации с качественным протеканием процесса электрохимической обработки.
Установка в основании корпуса штифтов и регулировочных винтов обеспечивает установку зазора между моделью и заготовкой детали заданной величины.
Изготовление модели по внутренней поверхности мастер-модели, которой является обрабатываемая заготовка детали, с учетом величины зазора для прокачки электролита и диаметра упомянутой сетки, создает равномерный зазор по всей, любой по конфигурации, сложной поверхности.
Оснащение инструмента-электрода вибратором и волноводным резонатором комплексных колебаний (продольных и крутильных) позволяет противодействовать отрицательному воздействию обломков и рабочих неровностей, что позволяет использовать зазоры меньшего размера и, соответственно, обеспечить более точные границы обработки.
Комплексные колебания инструмента-электрода высокой частоты вызывают кавитацию в электролите между катодом и обрабатываемой заготовкой, которая вытесняет обломки и может вести работу с меньшими зазорами на больших площадях, не требуя высоких уровней тока из-за блокирующего эффекта пузырьков. Кавитация также может способствовать удалению пленки оксида металла и тем самым, обеспечивать активацию обработки на окисленных металлах.
Зацепление нижнего торца волновода к дну корпуса короба инструмента-электрода позволяет оптимально провести настройку на резонанс его продольных или крутильных колебаний.
Предлагаемое изобретение иллюстрируется чертежами, где на фиг. 1 показана конструктивная схема инструмента - электрода, на фиг. 2 приведена форма продольных колебаний инструмента-электрода с указанием места приложения внешних сил воздействия и зоны пучности на торце волновода, на фиг. 3 пример развертки для технологического изготовления наклонных винтовых пазов волновода.
Устройство содержит корпус 1 с зафиксированными на нем симметрично относительно вертикальной оси пустотелым коробом 2, на которых крепится модель 3, состоящая из отвердевшего неметаллического материала (например, полиуретана), на наружной объемной поверхности которой смонтирована металлическая безъячеистая сетка 4. Последняя присоединена проводом 5 к отрицательному полюсу источника питания. В основании корпуса установлены штифты 6 и регулировочные винты 7.3аготовка 8 подключается проводом 9 к положительному полюсу источника питания, между заготовкой 8 и корпусом 1 система каналов подвода 10 и отвода 11 электролита. На дне корпуса короба установлен волноводный резонатор комплексных колебаний 12 на втором торце, которого закреплена пластина 13. Во внутренней части короба на торце корпуса 1 закреплен электро-магнитный вибратор 14, а на его вход подключен канал управления частотой последовательно соединенных усилителя 15 и генератора частот 16.
Длина волноводного резонатора комплексных колебаний 12 выбирается из условия обеспечения стабильности возбуждения, высокочастотных комплексных колебаний инструмента-электрода и по длине кратна полуволне продольных колебаний. Изготовление винтовых пазов на длине, равной полуволне продольных колебаний, с радиусом, равным полуволне крутильных колебаний, позволяет проводить на единой частоте возбуждения их согласование и усиление.
Винтовые пазы фиг. 3 выполняют с радиусом, равным длине полуволны крутильных колебаний и определяемым по формуле:
Figure 00000001
где
Figure 00000002
- длина волны крутильных колебаний;
Ссд - скорость распространения сдвиговых волн в стали;
ω0 - собственная частота колебаний волнового резонатора,
при этом частота возмущений силы поступающей от электромагнитного вибратора должна быть равна собственной частоте корпуса короба 2 и инструмента-электрода. Пазы располагаются последовательно и имеют разные радиусы, а ось симметрии начала одного паза повернута относительно симметрии другого на 90 для максимальной изгибной жесткости волнового резонатора, паз с большим радиусом R фиг. 3 используется для меньшей частоты колебаний инструмента электрода. Собственная частота корпуса короба 2 определяется по формуле:
Figure 00000003
где
Figure 00000004
- момент инерции корпуса короба; с - крутильная жесткость корпуса короба.
Устройство работает следующим образом: корпус 1 с моделью 3, на поверхности которой смонтирована сетка 4, устанавливается на торце заготовки 8. С помощью штифтов 6 и регулировочных винтов 7 обеспечивают установку зазора между моделью 3 и заготовкой8.
При изготовлении модели 3 на заготовку 8, которая является мастер-моделью для модели 3, наносят тонким слоем силиконовую жидкость или техническое масло и устанавливают на торце заготовки 8 корпус 1 с пустотелым кожухом 2 на штифты 6 без зазора относительно рабочей внутренней поверхности заготовки 8. Далее объем между внутренней поверхностью матрицы 8 и корпусом 1 с пустотелым кожухом 2" заполняют жидким неэлектропроводящим материалом, например эпоксидной смолой с отвердителем или другим полимерным материалом, стойким к действию электролита.
После затвердевания корпус 1, пустотелый кожух 2 и модель 3 представляют собой монолитный инструмент-электрод, трехкоординатная пространственно сложная поверхность которого механически обрабатывается на фрезерном станке. Глубина снимаемого поверхностного слоя эквидистантна величине z3, которая включает зазор z1 для прокачки электролита, необходимой для процесса электрохимического полирования (0,2…2 мм), и глубине z2 равной диаметру проволоки сетки (0,5…1 мм). Проволока сетка может быть изготовлена из меди, коррозионно-стойкой стали и т.д. сетка изготавливаются по выкройке с учетом объемной конфигурации обрабатываемой полости. Соединяют сетку путем пайки.
Для выполнения электрохимического полирования на заготовку 8, которая прошла механическую обработку, и качество поверхности которой не соответствует требованиям, представленным на чертежах, устанавливают на штифты модуль-пуансон с зазором z3 с помощью регулировочных винтов 6. Далее заполняют зазор между обрабатываемой заготовкой 8 и моделью 3 электролитом. В качестве электролита используют водные растворы солей, кислот, щелочей, например поваренная соль.
Затем плюс источника постоянного тока соединяют с заготовкой 8 через провод 9, минус к проводу 5. В процессе электрохимического полирования заготовка 8 и инструмент-электрод неподвижны. Между инструмент-электродом и заготовкой равномерный зазор по всей поверхности заготовки.
В качестве электролита используют водный раствор поваренной соли (NaCl), при растворении которой в воде образуются положительные ионы натрия Na+ и отрицательно заряженные ионы хлора Cl-.
Далее волноводный резонатор комплексных колебаний 12 настраивают на резонансный режим относительно переменной возбуждающей силы от электромагнитного вибратора 14, который установлен с зазором Δ относительно пластины 13 жестко закрепленной на верхнем торце волноводного резонатора 12 с винтовыми пазами. Происходит закручивание корпуса короба 2 под действием внешней силы создаваемой электромагнитом 14, а за счет упругой усадки волноводного резонатора 12 происходит продольное смещение корпуса короба. Электрод-инструмент совершает комплексные колебания. При включении источника питания между инструментом-электродом и обрабатываемой деталью возникает постоянный ток, а в электролите происходит химическая реакция.
Так как зазор между инструментом-электродом и обрабатываемой поверхностью является равномерным, то и обработка происходит равномерно по всей поверхности, а введение в процесс ЭХО комплексных колебаний повышает производительность и качество обрабатываемой поверхности. Для поддержания равномерности процесса электрохимического полирования и удаления осадков из рабочей зоны электролит прокачивают. Для предотвращения коррозии обрабатываемой детали в электролит добавляют химические вещества - ингибиторы коррозии, например нитрид натрия Na2N. После полирования инструмент-электрод извлекается из заготовки 8 путем съема со штифтов и промывается водой полированная поверхность детали сложных поверхностей.

Claims (1)

  1. Инструмент-электрод для электрохимического полирования пространственно-сложных поверхностей детали, подключаемой к положительному полюсу источника питания, содержащий корпус с зафиксированным на нем симметрично относительно вертикальной оси пустотелым коробом, на котором крепится модель из отвердевшего неметаллического, стойкого к воздействию электролита, материала, на наружной объемной поверхности которой смонтирована металлическая безъячеистая сетка, подключаемая к отрицательному полюсу источника питания, при этом в основании корпуса установлены штифты и регулировочные винты, обеспечивающие установку зазора между моделью и заготовкой детали, а упомянутая модель изготовлена по внутренней рабочей поверхности мастер-модели, которой является обрабатываемая заготовка детали, с учетом величины зазора для прокачки электролита и диаметра проволоки упомянутой сетки, отличающийся тем, что он оснащен волноводным резонатором комплексных колебаний и электромагнитным вибратором, при этом волноводный резонатор комплексных колебаний выполнен пустотелым с винтовыми пазами, причем одним концом он жестко закреплен на дне упомянутого короба, а на другом закреплена прямоугольная плита, которая смонтирована с зазором относительно электромагнитного вибратора, закрепленного во внутренней части короба на торце корпуса соосно с осью волноводного резонатора, при этом на вход электромагнитного вибратора подключен выход усилителя мощности, а на вход последнего подключен выход с генератора частоты.
RU2018110781A 2018-03-26 2018-03-26 Инструмент-электрод для электрохимического полирования пространственно сложных поверхностей RU2686508C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018110781A RU2686508C1 (ru) 2018-03-26 2018-03-26 Инструмент-электрод для электрохимического полирования пространственно сложных поверхностей

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018110781A RU2686508C1 (ru) 2018-03-26 2018-03-26 Инструмент-электрод для электрохимического полирования пространственно сложных поверхностей

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2686508C1 true RU2686508C1 (ru) 2019-04-29

Family

ID=66430313

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018110781A RU2686508C1 (ru) 2018-03-26 2018-03-26 Инструмент-электрод для электрохимического полирования пространственно сложных поверхностей

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2686508C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2796389C1 (ru) * 2022-04-19 2023-05-22 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный технический университет" Инструмент и способ комбинированной анодно-механической чистовой обработки теплозащитных многокомпонентных покрытий

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1710239A1 (ru) * 1989-12-05 1992-02-07 Самарский авиационный институт им.акад.С.П.Королева Электрод-инструмент дл электрической обработки
RU2338013C2 (ru) * 2006-11-10 2008-11-10 Тольяттинский государственный университет Инструмент-электрод для электрохимического полирования пространственно-сложных поверхностей
EP1640099B1 (de) * 2004-08-19 2013-10-09 MTU Aero Engines GmbH Elektrode zum elektrochemischen Senken
RU2552204C2 (ru) * 2013-09-17 2015-06-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тольяттинский государственный университет" Инструмент-электрод для электрохимического полирования пространственно-сложных поверхностей
RU2561556C2 (ru) * 2013-09-17 2015-08-27 Федеральное государственное бюджетное образовательно учреждение высшего профессионального образования "Тольяттинский государственный университет" Инструмент-электрод для электрохимического полирования пространственно-сложных поверхностей
EP1607497B1 (en) * 2004-06-14 2017-04-19 United Technologies Corporation Apparatus and method for white layer and recast removal

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1710239A1 (ru) * 1989-12-05 1992-02-07 Самарский авиационный институт им.акад.С.П.Королева Электрод-инструмент дл электрической обработки
EP1607497B1 (en) * 2004-06-14 2017-04-19 United Technologies Corporation Apparatus and method for white layer and recast removal
EP1640099B1 (de) * 2004-08-19 2013-10-09 MTU Aero Engines GmbH Elektrode zum elektrochemischen Senken
RU2338013C2 (ru) * 2006-11-10 2008-11-10 Тольяттинский государственный университет Инструмент-электрод для электрохимического полирования пространственно-сложных поверхностей
RU2552204C2 (ru) * 2013-09-17 2015-06-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тольяттинский государственный университет" Инструмент-электрод для электрохимического полирования пространственно-сложных поверхностей
RU2561556C2 (ru) * 2013-09-17 2015-08-27 Федеральное государственное бюджетное образовательно учреждение высшего профессионального образования "Тольяттинский государственный университет" Инструмент-электрод для электрохимического полирования пространственно-сложных поверхностей

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2796389C1 (ru) * 2022-04-19 2023-05-22 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный технический университет" Инструмент и способ комбинированной анодно-механической чистовой обработки теплозащитных многокомпонентных покрытий
RU2809681C1 (ru) * 2022-07-11 2023-12-14 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный технический университет" Электрод-инструмент и способ электроабразивной обработки внутренней поверхности полузакрытой полости детали

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2744860A (en) Electroplating method
Bhattacharyya et al. Influence of tool vibration on machining performance in electrochemical micro-machining of copper
Wang et al. Micro wire electrode electrochemical cutting with low frequency and small amplitude tool vibration
CN108136441B (zh) 朗之万型超声波振子的振动激励方法以及超声波加工方法和超声波发送方法
US10603731B2 (en) Method and apparatus for polishing metal parts with complex geometries
JP2017071860A (ja) 金属部材残留応力を局部的に調整する方法及びシステム
CN105269094A (zh) 超声振动辅助微细电解电火花线切割加工方法及装置
CN205129104U (zh) 超声振动辅助微细电解电火花线切割加工装置
RU2686508C1 (ru) Инструмент-электрод для электрохимического полирования пространственно сложных поверхностей
Xianghe et al. A high efficiency approach for wire electrochemical micromachining using cutting edge tools
JP5126713B2 (ja) 微細軸形成方法、この方法により形成される微細軸、及び微細軸形成装置
CN110899077B (zh) 一种基于二维振动的用于大型零件加工的单向超声振动平台及其操作方法
CN110561627A (zh) 应用于碳化硼的切割加工装置及方法
Rathore et al. Experimental investigations and its dimensional analysis–based modeling of the UAECDM process
US4424433A (en) Method and apparatus for electrically machining a conductive workpiece with isotropic ultrasonic-waves radiation
CN104741980A (zh) 一种基于介电泳效应的超声波研磨微小凹模加工方法
Kumar et al. Review paper on ECM, PECM and ultrasonic assisted PECM
CN110026628A (zh) 一种基于磁致变形电极的电化学加工装置及其电化学加工方法
JP2020028873A (ja) ランジュバン型超音波振動子とその支持方法
RU2561556C2 (ru) Инструмент-электрод для электрохимического полирования пространственно-сложных поверхностей
RU2293012C2 (ru) Комбинированный способ обработки отверстий и устройство для его осуществления
Ruszaj et al. Electrochemical machining supported by electrode ultrasonic vibrations
Gehlot et al. Microchannel Fabrication on Silica Glass and Experimental Investigation of MHD Convection in ECDM Process
RU2492422C2 (ru) Способ изготовления упругого подвеса динамически настраиваемого гироскопа
SE456971B (sv) Ultraljudsinstrument

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20210327