RU2686454C1 - Cathode-mesh assembly with spatially-developed axially symmetric field-emission cathode - Google Patents

Cathode-mesh assembly with spatially-developed axially symmetric field-emission cathode Download PDF

Info

Publication number
RU2686454C1
RU2686454C1 RU2018129838A RU2018129838A RU2686454C1 RU 2686454 C1 RU2686454 C1 RU 2686454C1 RU 2018129838 A RU2018129838 A RU 2018129838A RU 2018129838 A RU2018129838 A RU 2018129838A RU 2686454 C1 RU2686454 C1 RU 2686454C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cathode
thickness
grid
electrode
grid electrode
Prior art date
Application number
RU2018129838A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Василий Иванович Шестеркин
Original Assignee
Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Алмаз" (АО "НПП "Алмаз")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Алмаз" (АО "НПП "Алмаз") filed Critical Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Алмаз" (АО "НПП "Алмаз")
Priority to RU2018129838A priority Critical patent/RU2686454C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2686454C1 publication Critical patent/RU2686454C1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02Main electrodes
    • H01J1/30Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
    • H01J1/304Field-emissive cathodes

Abstract

FIELD: electrical engineering.SUBSTANCE: invention relates to electronic engineering, in particular to cathode-mesh assemblies for vacuum electronic devices, including high-power microwave devices with microsecond readiness time. Cathode-grid assembly includes a plurality of cells consisting of a space-developed annular field-emission cathode with a large aspect ratio of dimensions, and a grid electrode with holes. Peripheral part of the mesh electrode in the cell, which limits the slot hole, has thickness H greater than the thickness of the central part of the mesh electrode h, which limits the slot hole from the inner side. Thickness of the peripheral part of the mesh electrode and the thickness of the central part of the mesh electrode are related by ratio 3h>H>1.5h. Top of the circular field-emission cathode is shifted in radial direction from the peripheral boundary of the slot to the axis of symmetry of the CMA at distance l>L/2.EFFECT: reduced angle of divergence of trajectories of electrons at the outlet of the grid electrode due to reduced defocusing action of the electrostatic lens.1 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится к электронной технике, в частности, к катодно-сеточным узлам для вакуумных электронных устройств, в том числе мощных приборов СВЧ-диапазона с микросекундным временем готовности.The invention relates to electronic equipment, in particular, to cathode-grid nodes for vacuum electronic devices, including high-power microwave devices with microsecond readiness.

Известна конструкция катодно-сеточного узла (КСУ), содержащая автоэмиссионный катод с матрицей вертикально ориентированных острийных автоэмиттеров и управляющую сетку с отверстиями, размещенную над вершинами острийных автоэмиттеров и отделенную от них вакуумным зазором [Н.А. Бушуев, В.И. Шестеркин, А.А. Бурцев, Ю.А. Григорьев, В.П. Кудряшов, П.Д. Шалаев. Матричные автоэмиссионные катоды из стеклоуглерода: современное состояние и перспективы использования в СВЧ-приборах // Электронная техника. Сер. СВЧ-техника. Вып. 4 (519), 2013. С. 175-183]. Недостатком конструкции является большой перехват тока катода (до 70%), эмитированного в основном с острий, расположенных под перемычками сетки. Мощность, рассеиваемая на сетке, приводит к термическому нагреву ее перемычек, ухудшению вакуума и снижению эмиссионного тока катода. При малом аспектном отношении размеров острийных автоэмиттеров (не более 10) требуется большое напряжение на управляющей сетке (несколько киловольт) для отбора тока с катода плотностью более 1 А/см2. Вследствие провисания потенциала в отверстиях сетки создается рассеивающая электронный поток электростатическая линза, формирующая электронный поток, что приводит к увеличению амплитуды магнитного поля для его фокусировки в пространстве взаимодействия прибора.Known design cathode-grid node (KSU), containing the autoemission cathode with a matrix of vertically oriented tip autoemitters and a control grid with holes placed above the tops of the tip autoemitters and separated from them by a vacuum gap [N.A. Bushuev, V.I. Shesterkin, A.A. Burtsev, Yu.A. Grigoriev, V.P. Kudryashov, P.D. Shalaev. Carbon matrix glass emission cathodes: current state and prospects for use in microwave devices // Electronic equipment. Ser. Microwave technology. Issue 4 (519), 2013. p. 175-183]. The disadvantage of the design is a large interception of the cathode current (up to 70%), emitted mainly from the edges located under the jumpers of the grid. The power dissipated on the grid leads to thermal heating of its jumpers, deterioration of the vacuum and reduction of the emission current of the cathode. With a small aspect ratio of the size of the pointed autoemitters (no more than 10), a large voltage on the control grid (several kilovolts) is required to select the current from the cathode with a density of more than 1 A / cm 2 . Due to the potential sagging in the grid holes, an electrostatic lens-dissipating electron flow is created, which forms the electron flow, which leads to an increase in the amplitude of the magnetic field to focus it in the interaction space of the device.

Известна также конструкция КСУ, состоящего из множества автоэмиссионных ячеек, каждая из которых содержит ограниченное число острийных автоэмиттеров конусообразной формы, размещенных на «пьедестале» в форме прямого цилиндра, и сетку с отверстиями, размещенную над вершинами автоэмиттеров и отделенную от них вакуумным зазором [Н.А. Бушуев, О.Е. Глухова, Ю.А. Григорьев, Д.В. Иванов, А.С. Колесникова, А.А. Николаев, П.Д. Шалаев, В.И. Шестеркин. Исследование эмиссионных характеристик многолучевой электронной пушки с автоэмиссионным катодом из стеклоуглерода // ЖТФ, 2016, том 86, вып. 2, с. 134-139]. С целью уменьшения прямого перехвата тока перемычками сетки в данной конструкции КСУ острия напротив перемычек удаляют с помощью технологии электроискрового фрезерования. В результате на катодном диске формируются «пьедесталы» в форме прямого цилиндра высотой до 500 мкм и диаметром 200-400 мкм, на вершинах которых размещается матрица конусообразных автоэмиттеров. Недостатком этой конструкции является столь же большой (как и в аналоге) угол расходимости электронного потока на выходе из ячеек вследствие провисания потенциала в отверстиях сетки и большой потенциал (более 6 кВ) на управляющей сетке, обусловленный малым аспектным отношением автоэмиттеров.Also known is a KSU design consisting of a set of autoemission cells, each of which contains a limited number of pointed cone-shaped autoemitters placed on the “pedestal” in the form of a straight cylinder, and a grid with holes placed above the tops of the autoemitters and separated from them by a vacuum gap [N. BUT. Bushuev, O.E. Glukhova, Yu.A. Grigoriev, D.V. Ivanov, A.S. Kolesnikova, A.A. Nikolaev, P.D. Shalaev, V.I. Shesterkin. Study of the emission characteristics of a multibeam electron gun with a glass-made carbon-emitting cathode // ZhTF, 2016, vol. 86, vol. 2, s. 134-139]. In order to reduce the direct interception of current by the grid bridges in this design, the CGU of the tip opposite the bridges are removed using electric spark milling technology. As a result, “pedestals” are formed on the cathode disk in the form of a straight cylinder up to 500 μm in height and 200-400 μm in diameter, on the tops of which a matrix of cone-shaped autoemitters is placed. The disadvantage of this design is as large (as in the analog) the divergence angle of the electron beam at the outlet of the cells due to the potential sagging in the grid holes and a large potential (more than 6 kV) on the control grid, due to the low aspect ratio of autoemitters.

Наиболее близким к изобретению техническим решением является конструкция КСУ, содержащего автоэмиссионный катод в форме иглы с большим аспектным отношением размеров (более 1000) и сетку с круглым отверстием, отделенную от катода вакуумным зазором [Vasily I. Shesterkin. Large-sized field-emission cells with high aspect ratio of tip sizes made of carbon glass composed of electron guns for microwave devices // 11th Internationale Vacuum Electron Sources Conference. IVESC 2016. Seoul. 18 -20 October. 2016. PP. 119-120]. Достоинством данной конструкции является меньший по сравнению с предыдущими конструкциями КСУ потенциал управляющей сетки (2350 В) при плотности тока, усредненной по диаметру отверстия сетки, более 4,4 А/см2. Ток единичной автоэмиссионной ячейки с катодом в форме иглы составляет ~ 14 мА. Данная конструкция позволяет использование автоэмиссионного катода, состоящего из множества игольчатых автоэмиттеров, размещенных в ячейках на окружностях, либо выполненного в форме лезвия, свернутого в цилиндр [А.И. Петросян, В.И. Роговин. Расчет электронно-оптической системы ЛБВО с полевой эмиссией. // Прикладная физика.. №2. 2008. С. 86-91].The closest technical solution to the invention is a KSU design that contains a needle-shaped autoemission cathode with a large aspect ratio (over 1000) and a grid with a round hole separated from the cathode by a vacuum gap [Vasily I. Shesterkin. It has been shown that it can be used for microwave devices // 11 th Internationale Vacuum Electron Conference. IVESC 2016. Seoul. 18 -20 October. 2016. pp. 119-120]. The advantage of this design is less than the potential of the control grid (2350 V) compared to the previous designs of the CSU with a current density averaged over the diameter of the grid opening, more than 4.4 A / cm 2 . The current of a single field emission cell with a needle-shaped cathode is ~ 14 mA. This design allows the use of an autoemission cathode consisting of a set of needle autoemitters placed in cells on circles, or made in the form of a blade, rolled into a cylinder [A.I. Petrosyan, V.I. Rogovin. Calculation of electron-optical system LBVO with field emission. // Applied Physics .. 2. 2008. p. 86-91].

Недостатком данной конструкции КСУ является большой угол расходимости (до 140 градусов) электронного потока на выходе из отверстия сетки.The disadvantage of this design KSU is a large angle of divergence (up to 140 degrees) of the electron beam at the outlet of the grid.

Задача настоящего изобретения заключается в формировании электронного потока с меньшим углом расходимости траекторий электронов на выходе из отверстия сеточного электрода за счет уменьшения расфокусирующего действия электростатической линзы.The present invention is to form an electron flow with a smaller angle of divergence of the trajectories of electrons at the exit of the hole of the grid electrode by reducing the defocusing action of the electrostatic lens.

Поставленная задача решается путем использования сеточного электрода с кольцевым отверстием специальной формы, внутри которого размещены вершины острийных автоэмиттеров, сформированных на окружности диаметром D, либо вершина кольцевого цилиндрического катода того же диаметра. Конструкция сеточного электрода, согласно предлагаемому решению, отличается тем, что периферийная часть сеточного электрода, ограничивающая щелевое отверстие, имеет толщину H больше, чем толщина h центральной части сеточного электрода, ограничивающая щелевое отверстие в центральной области. В результате в щелевом отверстии создается «перекошенная» электростатическая линза, создающая распределение электростатического поля с вектором напряженности, направленным к оси щелевого отверстия. Уменьшение угла расходимости электронного потока достигается также за счет смещения вершин острийных автоэмиттеров или вершины кольцевого цилиндрического катода от центра щели к оси симметрии КСУ.The problem is solved by using a grid electrode with an annular hole of a special shape, inside of which are placed the tops of the pointed autoemitters formed on a circle with diameter D, or the top of an annular cylindrical cathode of the same diameter. The design of the grid electrode, according to the proposed solution, is different in that the peripheral part of the grid electrode, which bounds the slotted opening, has a thickness H greater than the thickness h of the central part of the grid electrode, bounding the slotted hole in the central region. As a result, a “skewed” electrostatic lens is created in the slit hole, creating an electrostatic field distribution with a strength vector directed toward the axis of the slit hole. A decrease in the divergence angle of the electron flux is also achieved due to the displacement of the vertices of the pointed autoemitters or the vertex of the annular cylindrical cathode from the center of the slit to the axis of symmetry of the CSU.

Предлагаемое изобретение поясняется чертежами.The invention is illustrated by drawings.

На фигуре 1 представлено сечение аксиально симметричной конструкции КСУ ячейки прототипа, где щелевое отверстие образовано сеточным электродом одинаковой толщины на обоих краях щелевого отверстия, а вершины автоэмиттеров размещены по его центру.The figure 1 presents the cross section of the axially symmetric design of the CSU cell prototype, where the slotted hole formed by a grid electrode of the same thickness at both edges of the slotted hole, and the tops of the autoemitters placed at its center.

Позициями на фиг. 1 обозначены:The positions in FIG. 1 marked:

1 - катодный диск;1 - cathode disk;

2 - кольцевой катод, состоящий из отдельно размещенных на окружности диаметром D острийных автоэмиттеров, либо выполненный в форме лезвийного катода цилиндрической формы диаметром D с большим аспектным отношением (сечение КСУ);2 - an annular cathode consisting of pointed autoemitters placed on a circle with a diameter D, or made in the form of a cylindrical blade cathode with a diameter D with a large aspect ratio (cross-section of the CSU);

3 - линии равного потенциала (эквипотенциали);3 - lines of equal potential (equipotential);

4 - центральная часть сеточного электрода толщиной h;4 - the central part of the grid electrode with a thickness h;

5 - траектории электронов;5 - electron trajectories;

6 - периферийная часть сеточного электрода толщиной h.6 - peripheral part of the grid electrode with thickness h.

В данной конструкции КСУ кольцевой катод размещен по центру щелевого отверстия. Толщина сеточного электрода одинакова с обеих сторон кольцевой щели. Распределение электростатического поля, так же как и угол расходимости электронного потока, симметричны относительно центра щели в любом сечении, проходящем через ось симметрии КСУ.In this design KSU ring cathode is placed in the center of the slot. The thickness of the grid electrode is the same on both sides of the annular gap. The distribution of the electrostatic field, as well as the angle of divergence of the electron beam, are symmetric about the center of the slit in any section passing through the symmetry axis of the CSU.

На фигуре 2 представлена конструкция ячейки КСУ (сечение) согласно предлагаемому решению, где:The figure 2 presents the design of the cell KSU (section) according to the proposed solution, where:

1 - катодный диск;1 - cathode disk;

2 - кольцевой катод, состоящий из отдельно размещенных на окружности диаметром D острийных автоэмиттеров, либо выполненный в форме лезвийного катода цилиндрической формы диаметром D с большим аспектным отношением;2 - an annular cathode consisting of pointed autoemitters placed on a circle with a diameter D, or made in the form of a cylindrical edge cathode of diameter D with a large aspect ratio;

3 - линии равного потенциала (эквипотенциали);3 - lines of equal potential (equipotential);

4 - центральная часть сеточного электрода толщиной h;4 - the central part of the grid electrode with a thickness h;

5 - траектории электронов;5 - electron trajectories;

6 - периферийная часть сеточного электрода толщиной Н.6 - the peripheral part of the grid electrode N. thickness

КСУ с пространственно-развитым аксиально-симметричным автоэмиссионным катодом содержит катодный диск (1), на котором сформирован пространственно-развитый аксиально-симметричный кольцевой катод (2), состоящий либо из отдельных острийных автоэмиттеров в форме иголок, размещенных на окружности диаметром D, либо выполненный в форме лезвия, свернутого в цилиндрическую поверхность диаметром D. Вершина кольцевого катода размещена в кольцевой щели шириной L, вырезанной в сеточном электроде и ограниченной центральным электродом сетки (4) и его периферийной частью (6). Вершина кольцевого катода смещена относительно периферийной границы щели к оси симметрии КСУ на расстояние l>L/2. Толщина периферийной части сетки (6) превышает толщину сетки (4) в центральной ее области.A CSU with a spatially developed axially symmetric autoemission cathode contains a cathode disk (1), on which a spatially developed axially symmetric ring cathode (2) is formed, consisting either of separate tip-shaped autoemitters located on a circle with diameter D, or made in the form of a blade rolled into a cylindrical surface with a diameter D. The top of the annular cathode is placed in an annular gap of width L cut in the grid electrode and bounded by the central electrode of the grid (4) and its iferiynoy part (6). The top of the annular cathode is shifted relative to the peripheral boundary of the slit to the symmetry axis of the LCP by a distance of l> L / 2. The thickness of the peripheral part of the grid (6) exceeds the thickness of the grid (4) in its central region.

Катодно-сеточный узел с пространственно-развитым аксиально-симметричным автоэмиссионным катодом работает следующим образом.Cathode-grid node with a spatially developed axially symmetric field emission cathode works as follows.

В соответствии с предлагаемым изобретением в данной конструкции КСУ вершина кольцевого катода смещена относительно периферийной границы щели к оси симметрии КСУ на расстояние l>L/2. Толщина сеточного электрода Н на периферии щели больше толщины сеточного электрода h в его центральной области. При такой геометрии щелевого отверстия распределение напряженности электрического поля теряет свою симметрию относительно центра щелевого отверстия, и электростатическая линза становится «перекошенной». В такой линзе вектор напряженности электрического поля направлен к оси симметрии КСУ. Угол наклона траекторий электронов с вершины автоэмиттеров к оси симметрии тем больше, чем больше разница в толщинах сеточного электрода в центральной и периферийной областях щели.In accordance with the proposed invention in this design of a CSU, the apex of the annular cathode is offset relative to the peripheral boundary of the gap to the axis of symmetry of the CSU by a distance of l> L / 2. The thickness of the grid electrode H at the periphery of the slit is larger than the thickness of the grid electrode h in its central region. With this slot-hole geometry, the distribution of the electric field strength loses its symmetry about the center of the slot-hole, and the electrostatic lens becomes “skewed”. In such a lens, the electric field intensity vector is directed to the symmetry axis of the LCP. The angle of inclination of the electron trajectories from the top of the autoemitters to the axis of symmetry is the greater, the greater the difference in the thickness of the grid electrode in the central and peripheral regions of the slit.

За счет смещения вершины кольцевого автоэмиссионного катода от центра щели к оси симметрии КСУ напряженность электрического поля между периферийной областью вершины острийного автоэмиссионного катода и периферийной поверхностью сеточного электрода ослабляется, что приводит к уменьшению автоэмиссионного тока с расходящимися от центра щелевого отверстия электронами и улучшает условия фокусировки электронного потока.Due to the displacement of the apex of the ring autoemission cathode from the center of the slit to the symmetry axis of the CSU, the electric field strength between the peripheral region of the tip of the pointed autoemission cathode and the peripheral surface of the grid electrode decreases, which leads to a decrease in the autoemission current with electrons diverging from the center of the slot hole and improving the conditions of electron flow focusing .

Источники информацииInformation sources

1. Н.А. Бушуев, В.И. Шестеркин, А.А. Бурцев, Ю.А. Григорьев, В.П. Кудряшов, П.Д. Шалаев. Матричные автоэмиссионные катоды из стеклоуглерода: современное состояние и перспективы использования в СВЧ-приборах // Электронная техника. Сер. СВЧ-техника. Вып. 4 (519), 2013. С. 175-1831. N.A. Bushuev, V.I. Shesterkin, A.A. Burtsev, Yu.A. Grigoriev, V.P. Kudryashov, P.D. Shalaev. Carbon matrix glass emission cathodes: current state and prospects for use in microwave devices // Electronic equipment. Ser. Microwave technology. Issue 4 (519), 2013. p. 175-183

2. Н.А. Бушуев, О.Е. Глухова, Ю.А. Григорьев, Д.В. Иванов, А.С. Колесникова, А.А. Николаев, П.Д. Шалаев, В.И. Шестеркин. Исследование эмиссионных характеристик многолучевой электронной пушки с автоэмиссионным катодом из стеклоуглерода //ЖТФ, 2016, том 86, вып. 2, с. 134-1392. N.A. Bushuev, O.E. Glukhova, Yu.A. Grigoriev, D.V. Ivanov, A.S. Kolesnikova, A.A. Nikolaev, P.D. Shalaev, V.I. Shesterkin. Study of the emission characteristics of a multibeam electron gun with a glass-made carbon-emitting cathode // ZhTF, 2016, vol. 86, vol. 2, s. 134-139

3. Vasily I. Shesterkin. Large-sized field-emission cells with high aspect ratio of tip sizes made of carbon glass composed of electron guns for microwave devices // 11th Internationale Vacuum Electron Sources Conference. IVESC 2016. Seoul. 18-20 October. 2016. PP. 119-1203. Vasily I. Shesterkin. It has been shown that it can be used for microwave devices // 11 th Internationale Vacuum Electron Conference. IVESC 2016. Seoul. 18-20 October. 2016. pp. 119-120

4. А.И. Петросян, В.И. Роговин. Расчет электронно-оптической системы ЛБВО с полевой эмиссией. // Прикладная физика, №2, 2008. С. 86-914. A.I. Petrosyan, V.I. Rogovin. Calculation of electron-optical system LBVO with field emission. // Applied Physics, №2, 2008. P. 86-91

Claims (1)

Катодно-сеточный узел, состоящий из ячеек, содержащих пространственно-развитый кольцевой автоэмиссионный катод с большим аспектным отношением размеров и сеточный электрод с отверстием, отличающийся тем, что периферийная часть сеточного электрода, ограничивающая щелевое отверстие, имеет толщину Н больше, чем толщина центральной части сеточного электрода h, ограничивающая щелевое отверстие с внутренней стороны, причем толщина периферийной части сеточного электрода и толщина центральной части сеточного электрода связаны соотношением 3h>H>1,5h, а вершина кольцевого автоэмиссионного катода смещена в радиальном направлении от периферийной границы щели к оси симметрии КСУ на расстояние
Figure 00000001
.
A cathode-grid assembly consisting of cells containing a spatially developed ring-emission cathode with a large aspect ratio and a grid electrode with a hole, characterized in that the peripheral part of the grid electrode, which bounds the slot, has a thickness H greater than the thickness of the central part of the grid of the electrode h, which bounds the slotted opening on the inner side, the thickness of the peripheral part of the grid electrode and the thickness of the central part of the grid electrode being related by the relation 3 h>H> 1,5h, and the top of the annular field emission cathode is shifted in the radial direction from the peripheral boundary of the gap to the axis of symmetry of the LCP by a distance
Figure 00000001
.
RU2018129838A 2018-08-15 2018-08-15 Cathode-mesh assembly with spatially-developed axially symmetric field-emission cathode RU2686454C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018129838A RU2686454C1 (en) 2018-08-15 2018-08-15 Cathode-mesh assembly with spatially-developed axially symmetric field-emission cathode

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018129838A RU2686454C1 (en) 2018-08-15 2018-08-15 Cathode-mesh assembly with spatially-developed axially symmetric field-emission cathode

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2686454C1 true RU2686454C1 (en) 2019-04-26

Family

ID=66314847

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018129838A RU2686454C1 (en) 2018-08-15 2018-08-15 Cathode-mesh assembly with spatially-developed axially symmetric field-emission cathode

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2686454C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2758584C1 (en) * 2020-12-22 2021-11-01 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Рязанский государственный радиотехнический университет" Gas-discharge current interrupter with cylindrical hole geometry in grid node

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050189859A1 (en) * 2003-11-19 2005-09-01 Canon Kabushiki Kaisha Method for aligning needle-like structures and alignment unit
US20120161607A1 (en) * 2010-12-24 2012-06-28 Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. Field emission cathode device and method for making the same
RU2586119C1 (en) * 2015-01-12 2016-06-10 Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Алмаз" (АО "НПП "Алмаз") Cathode-grid assembly with carbon field-emission cathode
RU2656879C1 (en) * 2017-02-28 2018-06-07 Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Алмаз" (АО "НПП "Алмаз") Cathode mesh assembly with field emission cathode manufacturing method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050189859A1 (en) * 2003-11-19 2005-09-01 Canon Kabushiki Kaisha Method for aligning needle-like structures and alignment unit
US20120161607A1 (en) * 2010-12-24 2012-06-28 Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. Field emission cathode device and method for making the same
RU2586119C1 (en) * 2015-01-12 2016-06-10 Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Алмаз" (АО "НПП "Алмаз") Cathode-grid assembly with carbon field-emission cathode
RU2656879C1 (en) * 2017-02-28 2018-06-07 Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Алмаз" (АО "НПП "Алмаз") Cathode mesh assembly with field emission cathode manufacturing method

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
11 th Internationale Vacuum Electron Sources Conference, IVESC 2016, Seoul, p. 119-120. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2758584C1 (en) * 2020-12-22 2021-11-01 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Рязанский государственный радиотехнический университет" Gas-discharge current interrupter with cylindrical hole geometry in grid node

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2775071B2 (en) Charged particle beam generator
Brewer High-intensity electron guns
JP2007335125A (en) Electron beam device
US4593230A (en) Dual-mode electron gun
RU2686454C1 (en) Cathode-mesh assembly with spatially-developed axially symmetric field-emission cathode
CA1201471A (en) Electron gun with improved cathode and shadow grid configuration
US3894261A (en) No-crossover electron gun
CN117612912A (en) Double focusing cold cathode electron gun for micro focus X ray tube
US6255768B1 (en) Compact field emission electron gun and focus lens
CA1063728A (en) Dual mode gridded gun
US3696261A (en) Cathode ray tube with plural beams for each color element
US3217200A (en) Internal magnetic lens for electron beams
RU2644416C2 (en) Cathode-grid knot with auto emission cathode from carbon material
US3139552A (en) Charged particle gun with nonspherical emissive surface
US2283041A (en) Electron focusing system
RU2289867C1 (en) Electron gun
CN209641620U (en) A kind of X-ray tube of controllable focus
US3045140A (en) High resolution electron discharge device
US2570208A (en) Electronic switch
RU2653694C1 (en) Cathode-grid knot with vertically oriented field emitter
US4731537A (en) Electron beam gun
CN114446738B (en) Grid structure, field emission electron gun and application thereof
Tang et al. Free electron micro-lasers
Mathias et al. On the performance of high perveance electron guns
RU184181U1 (en) Converging ribbon beam electron gun