RU2665809C2 - Устройство для измерения геометрических параметров объектов - Google Patents
Устройство для измерения геометрических параметров объектов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2665809C2 RU2665809C2 RU2016148271A RU2016148271A RU2665809C2 RU 2665809 C2 RU2665809 C2 RU 2665809C2 RU 2016148271 A RU2016148271 A RU 2016148271A RU 2016148271 A RU2016148271 A RU 2016148271A RU 2665809 C2 RU2665809 C2 RU 2665809C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- splitter
- output
- input
- adder
- fiber
- Prior art date
Links
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims abstract description 65
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 61
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 41
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 35
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 12
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 10
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 5
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 3
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 3
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000009675 coating thickness measurement Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к технике измерений толщины пленок и покрытий. В устройстве реализован частотно-интерференционный способ измерения толщины, согласно которому наведение на поверхность покрытия и на границу раздела покрытия с основанием производится интерференцией в инфракрасной области спектра, а измерение толщины производится частотным способом. Оптическая схема устройства построена на волоконной оптике и реализует измерения частоты импульсов света, формирование которых происходит в генераторе импульсов света, реализованном в схеме. Толщину покрытия h определяют по измерению частот импульсов света Fи F, формируемых в генераторе при наведениях излучения последовательно на поверхность покрытия и на границу раздела покрытия с основанием, в соответствии с формулой h=c(F-F)/2nFF, где c - скорость света, n - коэффициент преломления среды. Технический результат – повышение разрешающей способности и точности измерений. 1 ил.
Description
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к технике измерений толщины тонких пленок и покрытий, прозрачных для излучения в ближней инфракрасной области спектра, например в диапазоне длин волн 1300-1600 нанометров [1].
Наиболее близким по технической сущности к изобретению является устройство для измерения геометрических параметров объектов [2], содержащее интерферометр Майкельсона с источником монохроматического когерентного излучения (МКИ) 1.
Указанный интерферометр Майкельсона включает в себя первое полупрозрачное зеркало 6, установленное на выходе интерферометра (выполняющее функции и светоделителя, и сумматора, поступающих на него излучений), неподвижное отражающее зеркало интерферометра 8 и второе полупрозрачное зеркало интерферометра 7, направляющее образованные в интерферометре совмещенные интерферирующие лучи в индикатор интерференционной картины (ИИК) 11 и в счетчик интерференционных полос (СИП) 12.
Устройство [2] содержит также предметный стол 13, установленный в измерительной ветви интерферометра, источник инфракрасного излучения (ИКИ) 2, а также узел совмещения излучений (УСИ) 3, в который вводят излучения из 1 и 2. Устройство также содержит четыре линейных поляризатора, два из которых (4 и 5) ортогонально поляризованы и установлены: один - между МКИ 1 и УСИ 3, другой - между ИКИ 2 и УСИ 3. Совмещенное излучение, образованное в 3, с выхода 3 направлено на первое полупрозрачное зеркало интерферометра 6, выполняющее для этого излучения (поступающего от 3) функцию светоделителя, направляющего разделенные уже в нем два луча - один луч (прошедший через первое полупрозрачное зеркало 6) на отражающее зеркало интерферометра (8), а второй луч, отраженный от первого полупрозрачного зеркала 6 интерферометра, на исследуемый объект, представляющий собой покрытие 14, нанесенное на основание, и расположенный на предметном столе 13. Отраженные от 8 и 14 лучи поступают (возвращаются) на первое полупрозрачное зеркало 6 и совмещаются в этом полупрозрачном зеркале интерферометра. Это совмещенное излучение поступает на второе полупрозрачное зеркало интерферометра 7, которое тоже является светоделителем. Этот светоделитель 7 делит на два луча поступающее на него от первого полупрозрачного зеркала 6 совмещенное излучение. Эти разделенные два луча направляют: один (несущий информацию, связанную с ИКИ) на вход индикатора интерференционной картины ИИК 11, предварительно пропуская этот луч через один линейный поляризатор 9, установленный между вторым полупрозрачным зеркалом 7 и входом ИИК 11. А второй луч (несущий информацию, связанную с МКИ) направляют на вход счетчика интерференционных полос (СИП) 12, предварительно пропуская этот луч через второй линейный поляризатор 10, установленный между вторым полупрозрачным зеркалом 7 и входом 12. Эти поляризаторы тоже ортогонально ориентированы, как и линейные поляризаторы первой пары (4 и 5), и таким образом обеспечивают прохождение соответствующих лучей на ИИК и на СИП.
Толщину покрытия определяют по числу интерференционных полос МКИ, соответствующих перемещению вдоль хода лучей объекта при последовательном наведении ахроматической интерференционной полосы ИКИ на поверхность покрытия и на границу раздела покрытия с основанием.
Недостаток известного устройства [2] заключается в том, что реализованный в этом устройстве интерференционный метод измерения толщины покрытий счетом интерференционных полос МКИ не позволяет дальнейшее существенное повышение точности измерения (исчерпав возможности методов лазерной интерферометрии перемещений). Кроме того, это устройство характеризуется трудностью настройки и поддержания механической устойчивости от воздействия внешних влияющих величин (вибрация, температура, влажность, освещение и т.п.), присущих конструкциям, основанным и построенным на пространственной оптике.
Цель изобретения - повышение точности измерения толщины покрытий и устойчивости от воздействия внешних влияющих величин.
Достижение цели обеспечивается тем, что в предлагаемом устройстве реализован частотно-интерференционный способ измерения толщины покрытия, согласно которому: наведение на поверхность покрытия и на границу раздела покрытия с основанием производят с помощью интерференции ИКИ (так же, как в прототипе), а измерение толщины производят, в отличие от прототипа, частотным способом, обеспечивающим более высокую разрешающую способность и точность измерений. Кроме того, оптическая схема предлагаемого устройства построена на основе волоконной оптики [3, 4], что обеспечит более высокую устойчивость предлагаемого устройства от воздействия внешних влияющих величин и упрощение настройки устройства.
Предлагаемое устройство для измерения геометрических параметров объектов (показано на чертеже) содержит интерферометр Майкельсона с источником МКИ 1, предметный стол 13, установленный в измерительной ветви интерферометра, источник ИКИ 2, а к выходу 2 волоконно-оптически подсоединен вход волоконно-оптического разветвителя-сумматора 15, который имеет один вход и два выхода и который включен как разветвитель. К одному из двух выходов волоконно-оптического разветвителя 15 соединен вход волоконно-оптического выключателя 16, выход которого через световодный кабель связан с розеткой 17 волоконно-оптического разъемного соединителя и который (через розетку 17) обеспечивает ввод ИКИ 2 в частотный блок (точнее - блок генератора-формирователя импульсов света).
Второй выход 15 соединен через линейный поляризатор 5 с первым входом разветвителя-сумматора 3, который включен как сумматор УСИ двух входящих в него излучений. Второй вход 3 связан с МКИ через последовательно волоконно-оптически соединенные линейный поляризатор 4 и коллиматор-фокусер 18.
Выход разветвителя-сумматора 3 соединен с входом волоконно-оптического выключателя 19, с выхода которого через волоконно-оптически последовательно соединенные волоконно-оптический изолятор 20 и волоконно-оптический коллиматор-фокусер 21 с полупрозрачным зеркалом 6, которое уже делит это поступающее на него излучение на два луча: луч, прошедший через зеркало 6, и луч, отраженный от зеркала 6.
Прошедший через светоделитель 6 луч направлен на отражающее неподвижное зеркало 8 интерферометра, а отраженный от светоделителя 6 луч направлен на покрытие объекта контроля 14. Для этого этот луч пропускают через последовательно соединенные коллиматор-рефокусер 22, волоконно-оптический выключатель 23, первый входной световод 24 разветвителя-сумматора 25 и далее через последовательно соединенные выходной световод 26 разветвителя-сумматора 25 и коллиматор-рефокусер 27.
Отраженное от покрытия 14 излучение обратно направлено через коллиматор-рефокусер 27 во входной световод 26 разветвителя 25. Один из разделенных в 25 лучей, отраженного от покрытия 14 излучения, направлен через первый (в данном случае первый выходной) световод 24 и последовательно с ним включенные волоконно-оптический выключатель 23 и коллиматор-рефокусер 22 на последовательно установленные по ходу этого луча полупрозрачные зеркала 6 и 7.
Этот отраженный от покрытия 14 луч и отраженный от зеркала 8 луч совмещают на полупрозрачном зеркале 6 и направляют на вход полупрозрачного зеркала 7 для создания на его выходе интерференционной картины, используемой для выполнения действий по интерференционному наведению коллиматора-рефокусера 27 последовательно на поверхность измеряемого объекта (покрытия) и на границу раздела покрытия с основанием.
Разветвитель лучей 25 (включенный в обратном направлении как разветвитель) через второй выходной световод 28 и через последовательно соединенный с ним волоконно-оптический выключатель 29 и волоконно-оптическую розетку 30 связан с входом разветвителя-сумматора 31 (включенный как разветвитель и имеющий два выхода).
Один из двух выходных световодов разветвителя 31 соединен с входом разветвителя 32 (имеющего тоже два выхода). Второй из двух выходных световодов разветвителя 31 соединен с выходом волоконно-оптического изолятора 33, установленного в контуре генератора-формирователя импульсов.
Отметим, что волоконно-оптический изолятор (исходя из его принципа работы) не пропускает лазерное излучение в обратном направлении, поэтому излучение, отраженное от покрытия 14 и прошедшее далее через волоконно-оптический выключатель 29 с волоконно-оптической розеткой 30 и разветвитель-сумматор 31, не проходит далее в схему через 33 (включенный в обратном направлении для этого отраженного от покрытия 14 излучения). А излучение, введенное из розетки 30 в разветвитель-сумматор 31, пройдя через второй выходной световод разветвителя-сумматора 31, вводится дальше в схему устройства только через разветвитель 32.
Учтем, что вход изолятора 33 соединен (через линейный поляризатор 34) с выходом разветвитель-сумматора 35, который включен в режиме сумматора входящих в него излучений. При таком включении изолятор 33 пропускает через себя поступающее излучение из ИКИ от 35 и далее через последовательно с его выходом соединенные первый выходной световод 31, вход которого соединен с розеткой 30, и далее через нее и выключатель 29, разветвитель-сумматор 25 и коллиматор-рефокусер 27 это излучение поступает на покрытие измеряемого объекта 14.
Обратим внимание и на то, что разветвитель-сумматор 35 является узлом, в котором совмещаются лучи с ортогональными циркулярными поляризациями для последующего «поляризационного гашения», на котором основано формирование импульсов света в предлагаемом устройстве (об этом формировании кратко будет сказано ниже). Указанный разветвитель-сумматор 35 обеспечивает ввод непрерывного излучения ИКИ в контур генератора-формирователя импульсов предлагаемого устройства. Совмещенное в этом разветвителе-сумматоре 35 излучение поступает на вход линейного поляризатора 34, установленного на выходе разветвителя-сумматора 35, и в этом поляризаторе 34 осуществляется периодическое оптическое «поляризационное гашение», обеспечивающее формирование импульсов генератора.
На входы разветвителя-сумматора 35, имеющего два входа, вводят излучения следующим образом. На первый вход вводят излучение от ИКИ через волоконно-оптический выключатель 16 и розетку 17, и далее через волоконно-оптически последовательно соединенные волоконно-оптический регулируемый аттенюатор 36, линейный поляризатор 37 и четвертьволновую поляризационную пластинку 38.
Такое соединение позволяет получить на ее выходе (после четвертьволновой пластинки 38) излучение с циркулярной поляризацией (для определенности допустим, левоциркулярной).
На второй вход 35 вводят излучение из первого выхода разветвителя 32 через волоконно-оптически последовательно соединенные волоконно-оптический усилитель 39, работающий в диапазоне длин волн 1300-1600 нанометров, но с центральной длиной волны порядка 1550 нанометров, и далее через волоконно-оптический выключатель 40, волоконно-оптический регулируемый аттенюатор 41, линейный поляризатор 42, полуволновую поляризационную пластинку 43 и четвертьволновую поляризационную пластинку 44. Такое соединение позволяет получить на ее выходе (после четвертьволновой пластинки) излучение тоже с циркулярной поляризацией, но уже в этом случае правоциркулярной).
Второй выход разветвителя 32 соединен через фотоприемник 45 со входом компаратора частот 46, соединенного с синтезатором частот 47, который связан с эталоном частоты 48.
Такая схема позволяет определить толщину измеряемого объекта по результатам измерений двух частот импульсов, формируемых в генераторе-формирователе при наведениях выходного излучения из коллиматор-рефокусера 27 последовательно на поверхность покрытия 14 и на границу раздела покрытия с основанием путем сравнения этих частот (используя компаратор частот 46) с частотами сигналов синтезатора частот 47, синхронизированного от эталона частоты 48.
Поясним основы примененного в устройстве частотного метода измерений.
Частотный метод измерения геометрических параметров объектов, в данном случае толщины покрытия, реализуемый в предлагаемом устройстве, основан на измерениях изменений частоты импульсов света, формирование которых (импульсов) основано на эффекте поляризационного оптического «гашения» в генераторе (точнее формирователе) импульсов света.
Генератор построен на регулируемом по оптической длине (или, что практически то же самое по интервалу времени прохождения светом) замкнутом контуре оптической задержки, в которую входит когерентное излучение монохроматического инфракрасного света ИКИ при наведении указанного излучения из этой задержки на точки, ограничивающие эти размеры (в данном случае - измеряемой толщины покрытия) объекта [5]. При этом измеряемый объект должен быть одним из элементов этого замкнутого контура, включенным в указанный замкнутый контур последовательно с другими элементами контура. Для включения измеряемого объекта в такой контур и создания требуемого замкнутого контура оптической задержки этого генератора импульсов используют указанный выше разветвитель-сумматор 31. Повторяя вышеизложенное, в один из входов 31 (второй вход) вводят излучение ИКИ через последовательно соединенные волоконно-оптический выключатель 16 и розетку 17 и далее - через волоконно-оптически последовательно включенные волоконно-оптический регулируемый аттенюатор 36, линейный поляризатор 37, четвертьволновую поляризационную пластинку 38. Это излучение проходит последовательно далее через первый вход разветвитель-сумматора 35, линейный поляризатор 34, волоконно-оптический изолятор 33 (в его прямом направлении) и входит во второй вход разветвитель-сумматора 31. А прошедшее через этот разветвитель-сумматор 31 излучение ИКИ входит через волоконно-оптическую розетку 30, волоконно-оптический выключатель 29, второй входной световод 28 разветвителя-сумматора 25, последовательно соединенный с ним коллиматор-рефокусер 27 на измеряемый объект 14.
Замкнутый контур генератора образуется отраженным от измеряемого объекта излучением ИКИ, последовательно проходящим в обратном направлении через выход коллиматора-рефокусера 27, вход разветвителя-сумматора 25, его второй входной световод 28, последовательно соединенный через волоконно-оптический выключатель 29 и волоконно-оптическую розетку соединителя 30, со входом волоконно-оптического разветвителя 31 и далее через второй выходной световод разветвителя 31 и волоконно-оптический разветвитель 32 (через его входной световод). Это излучение из первого выхода разветвителя 32 вводят во второй вход 35 через волоконно-оптически последовательно соединенные волоконно-оптический усилитель 39, включенный волоконно-оптический выключатель 40, волоконно-оптический регулируемый аттенюатор 41, линейный поляризатор 42, полуволновую поляризационную пластинку 43 и четвертьволновую поляризационную пластинку 44. А после прохождения всех этих элементов это излучение вводят в сумматор излучений 35 через второй вход этого сумматора-разветвителя 35 (включенного как сумматор излучений). Перечисленными соединениями передаваемого излучения с выхода 35 образуется замкнутый контур оптической задержки (замыкающийся на выходном световоде сумматора 35) генератора-формирователя импульсов света предлагаемого устройства.
Формирование импульсов в замкнутом контуре генератора предлагаемого устройства основано на использовании известного из оптики эффекта поляризационного гашения света светом, который можно объяснить следующим образом. При совмещении двух равных по интенсивности циркулярно-поляризованных потоков монохроматического света, но с противоположными круговыми поляризациями, суммарное излучение становится линейно поляризованным. Если это совмещенно образованное (но уже линейно-поляризованное) излучение пропустить через линейный поляризатор, плоскость поляризации которого сориентирована перпендикулярно плоскости линейной поляризации этого совмещенного линейно-поляризованного излучения, то этот установленный по ходу совмещенного луча линейный поляризатор (на приведенной схеме устройства эту функцию выполняет линейный поляризатор 34) не пропустит через себя это совмещенное излучение.
Дополнительно отметим, что выравнивание по интенсивности совмещаемых в разветвителе 35 излучений производят аттенюаторами 36 и 41, установленными во входных цепях разветвителя-сумматора 35. После совмещения входящих в него лучей, проходящее через него совмещенное излучение «гасится» при прохождении линейного поляризатора 34, и это «гашение» продолжается до тех пор, пока продолжается в замкнутой задержке распространение излучений, вошедших, прошедших и совмещенных в 35.
С момента возникновения «гашения» в указанном замкнутом контуре, со скоростью света в контуре начинает «распространяться темнота» («освобождаться» от света, заполнившего контур задержки, определяемая этим гашением). С момента «окончания» этой «темноты», поступающей через второй вход сумматора 35 и далее на линейный поляризатор 34, контур генератора снова начинает заполняться излучением из ИКИ через розетку 17.
Для того чтобы этот процесс периодически повторялся, необходимо осуществить замыкание контура задержки, т.е. создать замкнутый контур. После прохождения излучения через линейный поляризатор 34 «замыкание» контура задержки осуществляют вводом выходного излучения из 34 через волоконно-оптический изолятор 33 в один из входных (точнее - первый выходной световод) разветвителя-сумматора 31 (световоды разветвителей-сумматоров пропускают через себя излучение в обоих направлениях из-за независимости распространения в них оптических излучений).
Отметим, что в схеме предлагаемого устройства длительность сформированного импульса света (длительность распространения в замкнутом контуре задержки) излучения, исходящего из ИКИ 2, и длительность распространения «темноты», образованной в результате «поляризационного гашения», равны между собой. Это объясняется тем, что после того, как излучение, прошедшее последовательно через 31, розетку 30, волоконно-оптический выключатель 29, второй входной световод 28 разветвителя-сумматора 25 и коллиматор-рефокусер 27, наводят на измеряемый объект - покрытие (или на границу раздела), отраженное от этого объекта излучение проходит этот же контур задержки, который был описан выше.
Так образуется замкнутый контур, одним из элементов которого является измеряемый объект (толщина покрытия), связанный последовательно с одним из выходов разветвителя-сумматора 31, включенного в режиме разветвителя и соединенного через розетку 30 с выключателем 29, и через него с разветвителем-сумматором 25, коллиматором-рефокусером 27 и далее с покрытием 14.
Розетка 17, в которую входит выходной соединитель волоконно-оптического выключателя 16 и через которую излучение ИКИ вводят в замкнутый контур генератора, связана с входом разветвителя-сумматора 35 (включенного в режиме сумматора), выход которого (35) через линейный поляризатор 34 и волоконно-оптический изолятор 33 соединен с входом сумматора-разветвителя 31 (включенного в этом случае как сумматор входных излучений) и через него с волоконно-оптической розеткой 30.
Назначение изолятора 33 состоит в обеспечении защиты ИКИ от случайного повреждения какого-либо элемента схемы в случае, например, выхода из строя какого-либо элемента в частотном блоке и в результате этого попадания на ИКИ, отраженного в каком-либо элементе этого блока излучения, с длиной волны, совпадающей с длиной волны излучения ИКИ.
Устройство работает следующим образом:
A) Включены выключатели 19 и 23, выключены выключатели 29, 16, 40.
В этом режиме устройство работает как прототип - осуществляется интерференционное наведение ИКИ на поверхность покрытия.
Б) Выключены выключатели 19 и 23, включены выключатели 29, 16 и 40.
В этом режиме устройство работает как волоконно-оптический генератор импульсов света и частотомер - определяется частота F1, соответствующая этому интерференционному наведению на поверхность покрытия.
B) Включены выключатели 19 и 23, выключены выключатели 29, 16 и 40.
В этом режиме устройство работает как прототип - осуществляется интерференционное наведение ИКИ на границу раздела покрытия с основанием.
Г) Выключены выключатели 19 и 23, включены выключатели 29, 16 и 40.
В этом режиме устройство работает как волоконно-оптический генератор импульсов света и частотомер - определяются частота F2, соответствующая этому интерференционному наведению на границу раздела покрытия с основанием.
Толщина покрытия h рассчитывается по формуле [5]: h=с(F2-F1)/2nF1F2, где c - скорость света, n - коэффициент преломления среды.
Поскольку измерения частоты в настоящее время являются самыми точными измерениями (порядка 10-15) из всех физических величин, то по предварительным оценкам в предлагаемом устройстве возможно существенное, по сравнению с прототипом, повышение точности измерений толщины покрытий и тонких пленок с разрешающей способностью порядка 0,001-0,004 нм [5].
Отметим, что в работе предлагаемого нового устройства в процессе измерения толщины покрытия не принимает участие оптическая схема, связанная с интерференцией источника МКИ, однако ее целесообразно сохранить, чтобы использовать при необходимости проверки наличия грубых погрешностей либо для проведения измерений, не требующих особо высокую чувствительность и точность.
Таким образом, предлагаемое устройство позволяет проводить измерения толщины покрытий двумя способами: интерференционным (как в прототипе), и частотно-интерференционным (как в предлагаемом устройстве).
Источники информации
1. Л.С. Бабаджанов, М.Л. Бабаджанова. Метрологическое обеспечение измерений толщины покрытий. Теория и практика. - М.: ИПК ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ», 2004.
2. Л.С. Бабаджанов, А.Г. Данелян, А.П. Оксанич, И.И. Скаковский. Авторское свидетельство №725500, кл. G01B 11/06, 1978. Устройство для измерения геометрических параметров объектов.
3. Волоконно-оптическая техника: современное состояние и новые перспективы. Сборник статей / С.А. Дмитриев, Н.Н. Слепов. - 3-е изд. - М.: Техносфера, 2010. - 608 с.
4. Лиокумович Л.Б. Волоконно-оптические интерферометрические измерения. Ч. 1. Волоконно-оптические интерферометры - С.-Петербург: Изд.-во Полиитехн. ун-та, 2007. - 110 с.
5. А.Г. Данелян, Д.И. Гарибашвили, Р.Р. Канкия, С.А. Мкртычан, С.В. Шоташвили «О некоторых возможностях улучшения метрологической прослеживаемости линейных измерений в нанометровом диапазоне / Измерительная техника №11, 2009.
Claims (1)
- Устройство для измерения геометрических параметров объектов, содержащее интерферометр Майкельсона с источником монохроматического когерентного излучения (МКИ), предметный стол с объектом измерения (покрытием), установленный в измерительной ветви интерферометра, источник инфракрасного излучения (ИКИ), узел совмещения излучений (УСИ) источников ИКИ и МКИ, установленный на выходах МКИ и ИКИ, неподвижное зеркало интерферометра, первое и второе полупрозрачные зеркала, размещенные последовательно на выходе интерферометра, четыре линейных поляризатора, один из которых установлен между источником МКИ и УСИ, а второй - между источником ИКИ и УСИ, и плоскости линейных поляризаций этих поляризаторов ортогонально ориентированы, а два других поляризатора, плоскости линейной поляризации которых ортогонально ориентированы, установлены раздельно соответственно в каждом из двух выходных потоков излучений от второго полупрозрачного зеркала интерферометра, и один из последних двух поляризаторов связан оптически с входом индикатора интерференционной картины (ИИК), расположенного за ним, а второй из второй пары указанных поляризаторов связан со счетчиком интерференционных полос (СИП), установленным за ним, а второй вход СИП соединен с выходом индикатора интерференционной картины (ИИК), отличающееся тем, что с целью повышения точности измерений совместно использованы интерференционное наведение на точки, ограничивающие измеряемый объект (покрытие), и частотный метод измерений линейных размеров, и для этого на выходе ИКИ волоконно-оптически подключен первый волоконно-оптический (ВО) разветвитель, к одному из двух выходов которого присоединен первый ВО выключатель, выход которого соединен с первой ВО розеткой, а второй выход первого ВО разветвителя соединен через первый линейный поляризатор с первым входом второго ВО разветвителя-сумматора, и при этом второй вход второго ВО разветвителя-сумматора волоконно-оптически связан с выходом источника МКИ через последовательно соединенные второй линейный поляризатор и первый ВО коллиматор-фокусер, а выход второго разветвителя-сумматора волоконно-оптически соединен (через последовательно соединенные второй ВО выключатель, первый ВО изолятор и второй ВО коллиматор-фокусер) с первым полупрозрачным зеркалом интерферометра, которое связано с покрытием через последовательно волоконно-оптически соединенные первый коллиматор-рефокусер, третий ВО выключатель, первый выходной световод третьего разветвителя-сумматора, третий разветвитель-сумматор и далее через входной световод этого третьего разветвителя-сумматора и последовательно включенный второй коллиматор-рефокусер, а второй входной световод этого третьего разветвителя-сумматора соединен последовательно с четвертым ВО выключателем, со второй ВО розеткой и далее с входом четвертого ВО разветвителя-сумматора, у которого один из двух выходных световодов соединен с входом пятого разветвителя-сумматора, а второй выходной световод четвертого разветвителя-сумматора соединен последовательно с выходом второго ВО изолятора, пятым линейным поляризатором и выходом шестого ВО разветвителя-сумматора, один из двух входов которого волоконно-оптически связан с ИКИ через волоконно-оптически последовательно соединенные первый ВО разветвитель, один из двух выходов которого соединен с входом первого ВО выключателя, выходной ВО розеткой этого первого ВО выключателя, первый ВО аттенюатор, шестой линейный поляризатор и первую четвертьволновую поляризационную пластину, а второй вход шестого разветвителя-сумматора связан с первым выходом пятого ВО разветвителя-сумматора через последовательно волоконно-оптически соединенные ВО усилитель, пятый ВО выключатель, второй ВО регулируемый аттенюатор, седьмой линейный поляризатор, вторую полуволновую пластину и четвертьволновую поляризационную пластинку, а выход шестого разветвителя-сумматора связан через пятый линейный поляризатор, второй ВО изолятор с вторым выходом четвертого ВО разветвителя, а первый выход четвертого ВО разветвителя волоконно-оптически соединен через вход пятого ВО разветвителя и далее (через второй выходной световод этого разветвителя) с входом фотоприемника, выход которого электрически связан с одним из двух входов компаратора частот, второй вход которого связан с синтезатором частот, связанным с эталоном частоты.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2016148271A RU2665809C2 (ru) | 2016-12-09 | 2016-12-09 | Устройство для измерения геометрических параметров объектов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2016148271A RU2665809C2 (ru) | 2016-12-09 | 2016-12-09 | Устройство для измерения геометрических параметров объектов |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2016148271A RU2016148271A (ru) | 2018-06-09 |
RU2016148271A3 RU2016148271A3 (ru) | 2018-06-09 |
RU2665809C2 true RU2665809C2 (ru) | 2018-09-04 |
Family
ID=62557394
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2016148271A RU2665809C2 (ru) | 2016-12-09 | 2016-12-09 | Устройство для измерения геометрических параметров объектов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2665809C2 (ru) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070038040A1 (en) * | 2005-04-22 | 2007-02-15 | The General Hospital Corporation | Arrangements, systems and methods capable of providing spectral-domain polarization-sensitive optical coherence tomography |
GB2508874A (en) * | 2012-12-13 | 2014-06-18 | Univ Huddersfield | Sample Characteristic Determining Interferometric Apparatus |
-
2016
- 2016-12-09 RU RU2016148271A patent/RU2665809C2/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070038040A1 (en) * | 2005-04-22 | 2007-02-15 | The General Hospital Corporation | Arrangements, systems and methods capable of providing spectral-domain polarization-sensitive optical coherence tomography |
GB2508874A (en) * | 2012-12-13 | 2014-06-18 | Univ Huddersfield | Sample Characteristic Determining Interferometric Apparatus |
WO2014091237A2 (en) * | 2012-12-13 | 2014-06-19 | University Of Huddersfield | Interferometric apparatus and sample characteristic determining apparatus using such apparatus |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
статья "Метрологическое обеспечение измерений геометрических паарметров изделий методами неразрушающего контроля" к журналу "Законадательная и прикладная метрология", Бабаджанов Л.С. номер 5, 2010 год, стр. 76-77. * |
статья "Метрологическое обеспечение измерений геометрических паарметров изделий методами неразрушающего контроля" к журналу "Законадательная и прикладная метрология", Бабаджанов Л.С. номер 5, 2010 год, стр. 76-77. GB 2508874 A (UNIV HUDDERSFIELDТАВ[GB] ), 18.06.2014. WO 2014091237 A2 (XIANG, JIANG C/O UNIVERSITY OF HUDDERSFIELD), 19.06.2014. US 20070038040 A1 (ABRAHAM CENSE BLOOMINGTON IN US ), 15.02.2007. * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2016148271A (ru) | 2018-06-09 |
RU2016148271A3 (ru) | 2018-06-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20130148129A1 (en) | Apparatus and method for measuring distance | |
JPH05500712A (ja) | 光学式計測装置 | |
CN104808193A (zh) | 基于非偏振分光棱镜的f-p标准具瑞利散射多普勒鉴频装置 | |
CN106940220B (zh) | 一种简易低成本的激光波长实时测量装置 | |
CN110319769B (zh) | 抗振动菲索干涉测量装置及方法 | |
CN102252764B (zh) | 激光波长实时测量装置 | |
CN106767389B (zh) | 基于棱镜分光移相的斐索型同步移相干涉测试装置 | |
CN109084904A (zh) | 一种基于三f-p标准具的高精度波长测量装置 | |
CN107764197B (zh) | 一种光学系统轴向参数测量装置及方法 | |
US4361402A (en) | Apparatus for determining the refractive-index profile of optical fibers | |
GB914038A (en) | Interferometer using a diffraction grating | |
CN208780351U (zh) | 一种基于三f-p标准具的高精度波长测量装置 | |
Merano et al. | Observation of nonspecular effects for Gaussian Schell-model light beams | |
CN109489837A (zh) | 一种基于光学干涉仪的多波长计 | |
US4929077A (en) | Interferometric range finder | |
CN105698702B (zh) | 一种基于声光低频差移相的双孔外差干涉仪 | |
CN110319939A (zh) | 偏振移相结合pzt移相的短相干光源系统及实验方法 | |
RU2458352C2 (ru) | Детектор и способ определения скорости | |
RU2665809C2 (ru) | Устройство для измерения геометрических параметров объектов | |
EP2535679A1 (en) | Improvements in or relating to interferometry | |
CN106908004B (zh) | 一种基于矢量光场的距离探测系统及其应用 | |
RU2653590C1 (ru) | Интерферометр для определения показателя преломления инфракрасной поверхностной электромагнитной волны | |
Harilal et al. | Laser plasma density measurements using interferometry | |
CN111458310A (zh) | 基于气体折射率比较技术的原油挥发气检测方法 | |
Weichert et al. | Stability of a fully fibre-coupled interferometer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
HE9A | Changing address for correspondence with an applicant | ||
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20201210 |