RU2664685C1 - Method of measurement of thin film coating thickness on thermal conducting bases - Google Patents
Method of measurement of thin film coating thickness on thermal conducting bases Download PDFInfo
- Publication number
- RU2664685C1 RU2664685C1 RU2017116375A RU2017116375A RU2664685C1 RU 2664685 C1 RU2664685 C1 RU 2664685C1 RU 2017116375 A RU2017116375 A RU 2017116375A RU 2017116375 A RU2017116375 A RU 2017116375A RU 2664685 C1 RU2664685 C1 RU 2664685C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- coating
- thickness
- liquid
- thermocapillary
- measurement
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0675—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating using interferometry
Abstract
Description
Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано для оценки толщины лакокрасочных и полимерных покрытий, защищающих поверхности твердых тепловодных материалов.The invention relates to the field of measurement technology and can be used to assess the thickness of paint and varnish and polymer coatings that protect the surface of solid warm-water materials.
Качество любого защитного или лакокрасочного покрытия определяется его целостностью и однородностью по толщине. Так, например, в микроэлектронике применяют влагозащитные покрытия для сохранения микросхем в приборах, работающих в условиях высокой влажности [1]. Важным требованием к таким покрытиям, составляющим несколько десятков микрометров, является высокая степень однородности по толщине на изделиях сложной конфигурации. В фармацевтической промышленности, при производстве таблетированных препаратов с контролируемым высвобождением активных компонентов, контроль качества покрытия (оболочки) препарата имеет решающее значение [2].The quality of any protective or paint coating is determined by its integrity and uniformity in thickness. So, for example, in microelectronics, moisture-proof coatings are used to preserve microcircuits in devices operating in high humidity conditions [1]. An important requirement for such coatings, comprising several tens of micrometers, is a high degree of uniformity in thickness on products of complex configuration. In the pharmaceutical industry, in the production of tablet preparations with controlled release of active components, quality control of the coating (coating) of the drug is crucial [2].
Известен термоволновой способ [3, 4] измерения толщины покрытия на твердой подложке, в котором подложку нагревают модулированным пучком лазера, создавая на поверхности покрытия квазидвухмерный источник тепловой волны. Проходящая вглубь волна отражается от границы с подложкой и на поверхности покрытия эти волны интерферируют. Толщину покрытия определяют по сдвигу фаз падающей и отраженной волны на поверхности пленки. Способ имеет следующие недостатки: требуется сложное и дорогое оборудование, а также необходимым условием является неравенство коэффициентов термоэффузивности материала покрытия и подложки, что существенно ограничивает применимость способа.The known thermal wave method [3, 4] for measuring the thickness of a coating on a solid substrate, in which the substrate is heated by a modulated laser beam, creates a quasi-two-dimensional heat wave source on the surface of the coating. A wave passing deeper is reflected from the boundary with the substrate and these waves interfere on the surface of the coating. The thickness of the coating is determined by the phase shift of the incident and reflected waves on the surface of the film. The method has the following disadvantages: complex and expensive equipment is required, and the necessary condition is the inequality of the thermal efficiency coefficients of the coating material and the substrate, which significantly limits the applicability of the method.
Известен фототерморадиометрический способ [5, 6] измерения толщины защитного покрытия, в котором поверхность исследуемого образца облучают модулированным источником света и в результате поглощения тепловой энергии с этой поверхности испускается ИК-излучение, обнаруживаемое ИК-детектором. Прошедший через усилитель сигнал от детектора в виде амплитуды и фазы изменения результирующей температуры на поверхности покрытия дает информацию о его толщине. Несмотря на то, что метод применим для любого вида покрытия и подложек и позволяет измерять толщины в субмикронном масштабе, при его реализации возникает ряд трудностей, а именно необходимо знать теплофизические свойства покрытия и подложки для решения задачи о распространении теплового потока, а также требуется сложное оборудование для обработки результатов.The known photothermoradiometric method [5, 6] for measuring the thickness of the protective coating, in which the surface of the test sample is irradiated with a modulated light source and, as a result of absorption of thermal energy, infrared radiation is detected from this surface, detected by the IR detector. The signal passed through the amplifier from the detector in the form of the amplitude and phase of the change in the resulting temperature on the surface of the coating gives information about its thickness. Despite the fact that the method is applicable for any type of coating and substrates and allows measuring thicknesses on a submicron scale, a number of difficulties arise in its implementation, namely, it is necessary to know the thermophysical properties of the coating and substrate to solve the problem of heat flux propagation, and complex equipment is also required to process the results.
Известен интерференционный способ [7] измерения толщины полимерного покрытия, состоящий в том, что при падении когерентного излучения на прозрачное плоскопараллельное покрытие происходит его отражение от верхней и нижней поверхности, в результате в отраженном свете возникает интерференционная картина полос равного наклона. По периоду наблюдаемых на экране полос, зная длину волны излучения, угол падения лазерного луча и показатель преломления, локально определяют толщину покрытия. К недостаткам способа можно отнести его применимость только к прозрачным покрытиям, а также необходимость знания показателей преломления материалов покрытия и покрываемой подложки.The interference method [7] for measuring the thickness of a polymer coating is known, which consists in the fact that when coherent radiation falls on a transparent plane-parallel coating, it is reflected from the upper and lower surfaces, as a result, an interference pattern of equal slope bands appears in the reflected light. Based on the period of the bands observed on the screen, knowing the radiation wavelength, the angle of incidence of the laser beam and the refractive index, the coating thickness is locally determined. The disadvantages of the method include its applicability only to transparent coatings, as well as the need for knowledge of the refractive indices of coating materials and the coated substrate.
Наиболее близким к заявленному способу относится способ, основанный на мираж-эффекте [8], в котором горизонтальную, плоскую поверхность образца, помещенного в кювету с жидкостью, нагревают модулированным пучком накачки, так что в области теплового возбуждения создается поле показателя преломления жидкости, а проходящий сквозь жидкость параллельно на небольшом расстоянии (до ~0.8 мм) от поверхности образца сфокусированный пробный пучок лазера отклоняется на небольшой угол (10-6-10-3 рад), который регистрируют позиционно-чувствительным детектором. Угол отклонения зависит от параметров экспериментальной установки, толщины покрытия, а также от теплофизических свойств материала покрытия, подложки и связующей жидкости. Однако данный способ имеет недостатки, связанные с дороговизной используемых высокочувствительных датчиков, сложностью юстировки двух пучков и необходимостью их сильной фокусировки (~150 мкм), что затрудняет применение способа в рутинных и экспресс-измерениях.Closest to the claimed method relates to a method based on the mirage effect [8], in which a horizontal, flat surface of a sample placed in a cell with a liquid is heated by a modulated pump beam, so that a field of refractive index of the liquid is created in the field of thermal excitation, and passing through the liquid in parallel at a short distance (up to ~ 0.8 mm) from the surface of the sample focused laser probe beam is deflected at a small angle (10 -6 -10 -3 rad), which register position sensitive the detector Oromo. The deflection angle depends on the parameters of the experimental setup, the thickness of the coating, and also on the thermophysical properties of the coating material, substrate, and binder fluid. However, this method has disadvantages associated with the high cost of the highly sensitive sensors used, the difficulty of alignment of the two beams and the need for their strong focusing (~ 150 μm), which complicates the application of the method in routine and rapid measurements.
Техническим результатом предлагаемого изобретения является существенное упрощение процесса измерения толщины диэлектрического и лакокрасочного покрытий уменьшением количества технических и аналитических процедур, удешевление процесса измерений, а также расширение области применения.The technical result of the invention is a significant simplification of the process of measuring the thickness of the dielectric and paint coatings by reducing the number of technical and analytical procedures, reducing the cost of the measurement process, as well as expanding the scope.
Технический результат достигается путем возбуждения пучком лазера накачки в тонком слое (менее 1 мм) жидкости на измеряемом покрытии термокапиллярного углубления, размеры которого зависят от толщины покрытия, а толщина покрытия измеряется по диаметру стационарного термокапиллярного отклика в виде концентрической интерференционной картины, которая формируется на экране отраженным от термокапиллярного углубления пробным пучком лазера.The technical result is achieved by excitation of a pump laser beam in a thin layer (less than 1 mm) of liquid on the measured coating of the thermocapillary recess, the dimensions of which depend on the coating thickness, and the coating thickness is measured by the diameter of the stationary thermocapillary response in the form of a concentric interference pattern, which is formed on the screen by the reflected from thermocapillary recesses with a probe laser beam.
Способ поясняется на Фиг. 1, которая является его принципиальной схемой. Здесь 1 - пучок лазера накачки, 2 - слой прозрачной жидкости, 3 - пленка покрытия, 4 - теплопроводная подложка, 5 - термокапиллярное углубление, 6 - пробный пучок лазера, 7 - термокапиллярный (ТК) отклик, характеризуемый стационарным диаметром Dst.The method is illustrated in FIG. 1, which is its schematic diagram. Here 1 is a pump laser beam, 2 is a transparent liquid layer, 3 is a coating film, 4 is a heat-conducting substrate, 5 is a thermocapillary recess, 6 is a probe laser beam, 7 is a thermocapillary (TC) response characterized by a stationary diameter D st .
Пучок лазера накачки направляется перпендикулярно системе «слой жидкости-покрытие-подложка» и поглощается материалом покрытия. Вследствие нагрева поверхности покрытия тепловой поток распространяется как в жидкость, так и в покрытие. Теплопроводная подложка служит тепловым стоком. Тепловой фронт, достигший свободной поверхности жидкости, локально повышает ее температуру, приводя к понижению поверхностного натяжения в зоне падения пучка. В результате на свободной поверхности жидкости возникает центробежное поле касательных сил, которое благодаря вязкости уносит жидкость из нагреваемой зоны, приводя к формированию термокапиллярного углубления [9]. Отраженный от углубления пробный лазерный пучок формирует на экране интерференционную картину в виде концентрических колец, называемую термокапиллярным (ТК) откликом [9]. При фиксированных толщине слоя жидкости, мощности пучка накачки и расстоянии до экрана диаметр ТК отклика является функцией толщины покрытия. Чем больше толщина покрытия, тем дальше тепловой сток - теплопроводная подложка и, как следствие, больше тепловой поток в жидкость, который приводит к увеличению размера термокапиллярного углубления, вызывая тем самым изменение диаметра ТК отклика. Измерение толщины покрытия любой заданной системы «жидкость-покрытие-подложка» осуществляется путем построения калибровочного графика зависимости диаметра ТК отклика от толщины покрытия.The pump laser beam is directed perpendicular to the liquid-coating-substrate system and is absorbed by the coating material. Due to heating of the coating surface, the heat flux propagates both into the liquid and into the coating. The heat-conducting substrate serves as a heat sink. The thermal front, which reaches the free surface of the liquid, locally increases its temperature, leading to a decrease in surface tension in the zone of incidence of the beam. As a result, a centrifugal field of tangential forces arises on the free surface of the liquid, which, due to viscosity, carries the liquid away from the heated zone, leading to the formation of a thermocapillary depression [9]. The test laser beam reflected from the recess forms an interference pattern on the screen in the form of concentric rings, called the thermocapillary (TC) response [9]. For a fixed liquid layer thickness, pump beam power, and distance to the screen, the diameter of the response TC is a function of the coating thickness. The thicker the coating, the farther the heat sink is the heat-conducting substrate and, as a result, the greater the heat flux into the liquid, which leads to an increase in the size of the thermocapillary recess, thereby causing a change in the diameter of the TC response. Measurement of the coating thickness of any given system “liquid-coating-substrate” is carried out by constructing a calibration graph of the dependence of the diameter of the response TC on the coating thickness.
Пример. На Фиг. 2 показана зависимость стационарного диаметра ТК отклика Dst от толщины пленки черного цапонлака (коэффициент теплопроводности kƒ=0.15…0.2 Вт/(м⋅К) [10]), покрывающей подложку из дюралюминия (kS=160 Вт/(м⋅К) [10]). Изменение толщины пленки цапонлака осуществлялось следующим образом. Сначала изготавливали сухую пленку цапонлака в виде диска диаметром 80 мм и толщиной около 30 мкм путем высушивания жидкого цапонлака в тефлоновой кювете. Затем отделяли полученную сухую пленку, вырезали из нее небольшой кусочек и, смочив его жидким цапонлаком, приклеивали к дюралюминиевой подложке. Дальнейшее увеличение толщины измеряемого покрытия на подложке производили методом послойного приклеивания вырезанных из этого же диска кусочков. В кювету, состоящую из дюралюминиевой подложки, покрытой пленкой цапонлака, наливали слой (~500 мкм) силиконового масла ПМС-5 (kl=0.13…0.17 Вт/(м⋅К)) и возбуждали пучком лазера накачки (мощность 21 мВт, диаметр 2.5 мм) термокапиллярное углубление. ТК отклик, сформированный на экране отраженным от ТК углубления пробным пучком лазера (мощность 0.3 мВт, диаметр 5 мм), измеряли линейкой.Example. In FIG. Figure 2 shows the dependence of the stationary diameter of the TC response D st on the film thickness of the black caponlac (thermal conductivity coefficient k ƒ = 0.15 ... 0.2 W / (m⋅K) [10]) covering the duralumin substrate (k S = 160 W / (m⋅K ) [10]). A change in the thickness of the zaponlak film was carried out as follows. First, a dry zaponlak film was made in the form of a disk with a diameter of 80 mm and a thickness of about 30 μm by drying liquid zaponlak in a Teflon cuvette. Then the obtained dry film was separated, a small piece was cut out of it, and, wetting it with liquid caponlac, glued to a duralumin substrate. Further increase in the thickness of the measured coating on the substrate was carried out by the method of layer-by-layer gluing of pieces cut from the same disk. A layer (~ 500 μm) of PMS-5 silicone oil (k l = 0.13 ... 0.17 W / (m⋅K)) was poured into a cuvette consisting of a duralumin substrate coated with a zaponlak film and excited by a pump laser beam (power 21 mW, diameter 2.5 mm) thermocapillary recess. The TC response formed on the screen by a probe laser beam reflected from the TC deepening (power 0.3 mW,
На Фиг. 3 для примера показаны фотографии ТК отклика на экране, соответствующего двум различным толщинам пленки цапонлака, покрывающей дюралюминиевую подложку: а - 33 мкм и б - 100 мкм.In FIG. Figure 3 shows, for example, photographs of the TC response on the screen corresponding to two different thicknesses of the zaponlak film covering the duralumin substrate: a - 33 μm and b - 100 μm.
Таким образом, предлагаемый способ, отличаясь простотой и надежностью, имеет ряд преимуществ: не требует использования высокочувствительных, дорогостоящих детекторов; не требует выполнения сложной процедуры юстировки и фокусировки лазерных пучков; не требует специальных аналитических программ, основанных на решении оптических и тепловых задач, для обработки результатов измерения. Кроме того, для возбуждения ТК эффекта в слое жидкости можно использовать любой точечный источник света (сфокусированное излучение галогеновой лампы, светодиода), достаточно лишь, чтобы излучение поглощалось материалом покрытия.Thus, the proposed method, characterized by simplicity and reliability, has several advantages: it does not require the use of highly sensitive, expensive detectors; does not require the implementation of a complex procedure for alignment and focusing of laser beams; It does not require special analytical programs based on the solution of optical and thermal problems for processing measurement results. In addition, any point light source (focused radiation of a halogen lamp, LED) can be used to excite the TC effect in the liquid layer, it is enough that the radiation is absorbed by the coating material.
ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ ИСТОЧНИКИ:USED SOURCES:
1. Ширшова В., Избушкин А., Фомченко Е. Полипараксилиленовые покрытия в технологии РЭА. Состояние перспективы. // Печатный монтаж, №1, с. 22-27, 2010.1. Shirshova V., Izbushkin A., Fomchenko E. Polyparaxylene coating in CEA technology. The state of perspective. // Printed editing, No. 1, p. 22-27, 2010.
2. Ho L., Miiller R., Gordon K.C., Kleinebudde P., Pepper M., Rades Т., Shen Y., Taday P.F., Zeitler J.A. Terahertz pulsed imaging as an analytical tool for sustained-release tablet film coating. // Eur. J. Pharm. Biopharm., Vol. 71, pp. 117-123, 2009.2. Ho L., Miiller R., Gordon K.C., Kleinebudde P., Pepper M., Rades T., Shen Y., Taday P.F., Zeitler J.A. Terahertz pulsed imaging as an analytical tool for sustained-release tablet film coating. // Eur. J. Pharm. Biopharm., Vol. 71, pp. 117-123, 2009.
3. US Patent 4522510. A. Rosencwaig A., Opsal J. Thin film thickness measurement with thermal waves. 11 June 1985.3. US Patent 4,522,510. A. Rosencwaig A., Opsal J. Thin film thickness measurement with thermal waves. June 11, 1985.
4. Moksin M.M., Almond D.P. Non-destructive examination of paint coatings using the thermal wave interferometry technique. // J. Mater. Sci., Vol.30, pp.2251-2253, 1995.4. Moksin M.M., Almond D.P. Non-destructive examination of paint coatings using the thermal wave interferometry technique. // J. Mater. Sci., Vol. 30, pp. 2251-2253, 1995.
5. Sheard S.J., Somekh M.G. Measurement of opaque coating thickness using photothermal radiometry. // Appl. Phys. Lett., Vol. 53, pp. 2715-2716, 1988.5. Sheard S.J., Somekh M.G. Measurement of opaque coating thickness using photothermal radiometry. // Appl. Phys. Lett., Vol. 53, pp. 2715-2716, 1988.
6. Wang L., Prekel H., Liu H., Deng Y., Hu J., Goch G. Thickness microscopy based on photothermal radiometry for the measurement of thin films. // Spectrochim. Acta A Mol. Biomol. Spectrosc, Vol. 72, pp. 361-365, 2009.6. Wang L., Prekel H., Liu H., Deng Y., Hu J., Goch G. Thickness microscopy based on photothermal radiometry for the measurement of thin films. // Spectrochim. Acta A Mol. Biomol. Spectrosc, Vol. 72, pp. 361-365, 2009.
7. Maniscalco В., Kaminski P.M., Walls J.M. Thin film thickness measurements using scanning white light interferometry. // Thin Solid Films, Vol. 550, pp. 10-16, 2014.7. Maniscalco B., Kaminski P.M., Walls J.M. Thin film thickness measurements using scanning white light interferometry. // Thin Solid Films, Vol. 550, pp. 10-16, 2014.
8. Fujimori H., Asakura Y., Suzuki K., Uchida S. Noncontact measurement of film thickness by the photothermal deflection method. // Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 26, pp. 1759-1764, 1987.8. Fujimori H., Asakura Y., Suzuki K., Uchida S. Noncontact measurement of film thickness by the photothermal deflection method. // Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 26, pp. 1759-1764, 1987.
9. Безуглый Б.А. Капиллярная конвекция, управляемая тепловым действием света, и ее применение в способах регистрации информации. Дисс. канд. физ.-мат. наук, Москва, МГУ, 1983.9. Bezugly B.A. Capillary convection controlled by the thermal action of light, and its application in methods of recording information. Diss. Cand. Phys.-Math. Sciences, Moscow, Moscow State University, 1983.
10. Физические величины: Справочник / А.П. Бабичев, Н.А. Бабушкина, A.M. Братковский и др. Под ред. И.С.Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с.10. Physical quantities: Reference book / A.P. Babichev, N.A. Babushkina, A.M. Bratkovsky et al. Ed. I.S. Grigoryeva, E.Z. Meilikhova. M .: Energoatomizdat, 1991. 1232 p.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017116375A RU2664685C1 (en) | 2017-05-10 | 2017-05-10 | Method of measurement of thin film coating thickness on thermal conducting bases |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017116375A RU2664685C1 (en) | 2017-05-10 | 2017-05-10 | Method of measurement of thin film coating thickness on thermal conducting bases |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2664685C1 true RU2664685C1 (en) | 2018-08-21 |
Family
ID=63286763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2017116375A RU2664685C1 (en) | 2017-05-10 | 2017-05-10 | Method of measurement of thin film coating thickness on thermal conducting bases |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2664685C1 (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4522510A (en) * | 1982-07-26 | 1985-06-11 | Therma-Wave, Inc. | Thin film thickness measurement with thermal waves |
| RU2149353C1 (en) * | 1998-07-27 | 2000-05-20 | Тюменский государственный университет | Process measuring thickness of thin layer of clear liquid |
| RU2158898C1 (en) * | 1999-03-11 | 2000-11-10 | Тюменский государственный университет | Method of contact-free test of planeness of surface |
-
2017
- 2017-05-10 RU RU2017116375A patent/RU2664685C1/en active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4522510A (en) * | 1982-07-26 | 1985-06-11 | Therma-Wave, Inc. | Thin film thickness measurement with thermal waves |
| RU2149353C1 (en) * | 1998-07-27 | 2000-05-20 | Тюменский государственный университет | Process measuring thickness of thin layer of clear liquid |
| RU2158898C1 (en) * | 1999-03-11 | 2000-11-10 | Тюменский государственный университет | Method of contact-free test of planeness of surface |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| B. A. Bezuglyi "Photothermocapillary Method for Detecting Foreign Inclusions in Solids under Paint and Varnish Coatings", TECHNICAL PHYSICS LETTERS, т. 34, No. 9, 2008 г., стр. 743-746. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Malen et al. | Optical measurement of thermal conductivity using fiber aligned frequency domain thermoreflectance | |
| US8622612B2 (en) | Method and apparatus for determining the thermal expansion of a material | |
| US4679946A (en) | Evaluating both thickness and compositional variables in a thin film sample | |
| Ristau et al. | Development of a thermographic laser calorimeter | |
| Yang et al. | Modeling optical absorption for thermoreflectance measurements | |
| Zhang et al. | A new measurement method of coatings thickness based on lock-in thermography | |
| Zeng et al. | Measurement of high-temperature thermophysical properties of bulk and coatings using modulated photothermal radiometry | |
| CN108226040A (en) | A kind of assay method and device of two-dimensional material photo-thermal effect | |
| Adams et al. | Phase analysis in solid-sample optoacoustic spectrometry | |
| US4682897A (en) | Light scattering measuring apparatus | |
| Thiel et al. | Localization of subsurface defects in uncoated aluminum with structured heating using high-power VCSEL laser arrays | |
| Bison et al. | Cross-comparison of thermal diffusivity measurements by thermal methods | |
| JPH03189547A (en) | Method and device for measuring heat diffusivity | |
| RU2664685C1 (en) | Method of measurement of thin film coating thickness on thermal conducting bases | |
| Kuriakose et al. | Improved methods for measuring thermal parameters of liquid samples using photothermal infrared radiometry | |
| JP2015225034A (en) | Measurement method of thermal diffusivity of translucent material | |
| CN108918580B (en) | Nondestructive steady-state thermal conductivity measurement method | |
| Liu et al. | Absorption measurements in optical coatings by lock-in thermography | |
| Cifuentes et al. | Thermal diffusivity measurement by lock-in photothermal shadowgraph method | |
| Chen et al. | Development of a" turn-key" system for weak absorption measurement and analysis | |
| Autrique et al. | On the use of periodic photothermal methods for materials diagnosis | |
| Cifre et al. | Absolute infrared absorption measurements in optical coatings using mirage detection | |
| WO2012172524A1 (en) | Method and photothermal apparatus for contactless determination of thermal and optical properties of material | |
| Quoc et al. | Phase lock-in thermography for metal walls characterization | |
| RU210253U1 (en) | Device for measuring the thermal diffusivity of thin plates by thermographic method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| QA4A | Patent open for licensing |
Effective date: 20210118 |