RU2659103C1 - Способ формирования планарных структур методом атомно-силовой литографии - Google Patents
Способ формирования планарных структур методом атомно-силовой литографии Download PDFInfo
- Publication number
- RU2659103C1 RU2659103C1 RU2017111918A RU2017111918A RU2659103C1 RU 2659103 C1 RU2659103 C1 RU 2659103C1 RU 2017111918 A RU2017111918 A RU 2017111918A RU 2017111918 A RU2017111918 A RU 2017111918A RU 2659103 C1 RU2659103 C1 RU 2659103C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- silver
- relief
- needle
- potential difference
- silicon
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title description 5
- 238000001459 lithography Methods 0.000 title description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 18
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 11
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical group [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 6
- 150000003378 silver Chemical class 0.000 claims abstract description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 4
- GGCZERPQGJTIQP-UHFFFAOYSA-N sodium;9,10-dioxoanthracene-2-sulfonic acid Chemical compound [Na+].C1=CC=C2C(=O)C3=CC(S(=O)(=O)O)=CC=C3C(=O)C2=C1 GGCZERPQGJTIQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 claims abstract description 3
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 claims abstract description 3
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims abstract description 3
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 claims abstract 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 238000004870 electrical engineering Methods 0.000 abstract 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 7
- JBKVHLHDHHXQEQ-UHFFFAOYSA-N epsilon-caprolactam Chemical compound O=C1CCCCCN1 JBKVHLHDHHXQEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000004621 scanning probe microscopy Methods 0.000 description 4
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N Silver ion Chemical compound [Ag+] FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CFOAUMXQOCBWNJ-UHFFFAOYSA-N [B].[Si] Chemical compound [B].[Si] CFOAUMXQOCBWNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 description 3
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000005329 nanolithography Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 101710134784 Agnoprotein Proteins 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 229910052729 chemical element Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 2
- 238000007385 chemical modification Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000008199 coating composition Substances 0.000 description 2
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 2
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 description 2
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 2
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- KRQUFUKTQHISJB-YYADALCUSA-N 2-[(E)-N-[2-(4-chlorophenoxy)propoxy]-C-propylcarbonimidoyl]-3-hydroxy-5-(thian-3-yl)cyclohex-2-en-1-one Chemical compound CCC\C(=N/OCC(C)OC1=CC=C(Cl)C=C1)C1=C(O)CC(CC1=O)C1CCCSC1 KRQUFUKTQHISJB-YYADALCUSA-N 0.000 description 1
- 238000000333 X-ray scattering Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 238000004630 atomic force microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000036039 immunity Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000002372 labelling Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000002715 modification method Methods 0.000 description 1
- 239000005543 nano-size silicon particle Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 238000004626 scanning electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N trichloroborane Chemical compound ClB(Cl)Cl FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
- G06K1/00—Methods or arrangements for marking the record carrier in digital fashion
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
Использование: для создания планарных структур. Сущность изобретения заключается в том, что способ формирования планарных серебряных структур на поверхности кремниевых пластин включает осаждение металлических частиц, которое происходит за счет локальной диссоциации соли серебра, индуцированной при приложении отрицательной разницы потенциалов между проводящей иглой атомно-силового микроскопа и поверхностью образца, на которой происходит формирование рельефа, для этого поверхность кремниевой пластины предварительно очищают и насыщают солями серебра, после чего размещают на электропроводящей подложке, игла АСМ двигается с частотой от 0,16 до 1,12 Гц при разности потенциалов от -7 до -12 В, при комнатной температуре и нормальной влажности, что позволяет формировать рельеф с топологией заданной траекторией движении иглы с шириной от 40 до 200 нм, высотой от 2 до 40 нм. Технический результат - обеспечение возможности формирования рельефа из серебряных кластеров с контролируемой морфологией на поверхности кремниевых пластин. 4 ил.
Description
Изобретение относится к способу формирования планарных структур.
Известен «Способ нанесения наномаркировок на изделия» (Патент RU №2365989, МПК G06K 1/00, В82В 1/00). Изобретение относится к области маркировки изделий путем нанесения визуально неразличимой информации на поверхность изделия и может быть использовано для защиты изделий от подделок и копирования, в том числе для предотвращения их фальсификации на потребительском рынке и полной идентификации каждой единицы изделия. Техническим результатом является обеспечение маркировки изделий без химической модификации поверхности изделия, позволяющего впоследствии выявить нанесенную наномаркировку и соответственно защитить изделие от фальсификации или несоответствующего использования. В способе для нанесения наномаркировки подготавливают участок поверхности изделия с высокой чистотой обработки, задают на нем реперные точки, включая реперную точку начала координат, положение которой фиксируют, после чего наносят наномаркировку в виде заданных знаков с нанометровым уровнем пространственного разрешения, нанесение осуществляют методом сканирующей зондовой микроскопии в литографическом режиме работы микроскопа, выявление наномаркировки осуществляют методом сканирующей зондовой микроскопии в измерительном режиме работы микроскопа, при этом для выявления наномаркировки заранее задают также количество максимальных полей сканирования относительно выбранной реперной точки.
Изобретение относится к области маркировки изделий путем нанесения визуально неразличимой информации на поверхность изделия и может быть использовано для защиты изделий от подделок и копирования, т.е. для предотвращения их фальсификации на потребительском рынке, а также для полной идентификации каждой единицы изделия.
Недостатком данного метода является ограничение видов материалов допускающих применение силовой атомно-силовой литографии и необходимость использования для данного метода модификации поверхности дорогостоящих сверхтвердых кантиливеров.
Известно изобретение «Использование неорганических частиц и способ маркировки и идентификации субстрата или изделия» (Патент RU №2222829, МПК G06K 1/12, G06K 7/00). Изобретение относится к маркировке объектов. Его использование при кодировании изделий и документов позволяет обеспечить технический результат в виде расширения возможностей и повышения помехоустойчивости кодирования, особенно пригодного для документов. Этот технический результат достигается благодаря применению маркировочного средства в среде носителя, которое представляет собой как минимум одну неорганическую частицу, включающую не менее двух химических элементов по меньшей мере в одном заранее установленном соотношении элементов, причем это соотношение является кодом или частью кода, в котором частицу выбирают из группы нестехиометрических кристаллов, причем частица остается в среде носителя для определения на месте установленного соотношения элементов. После получения этого маркировочного средства его неорганические частицы вводят в носитель, представляющий собой покровную композицию, предпочтительно печатную краску, и наносят эту покровную композицию на изделие в качестве маркировки. При идентификации локализуют положение этих частиц с помощью аналитического метода, предпочтительно сканирующей электронной микроскопии, и определяют соотношения химических элементов, входящих в состав частиц, причем это определение предпочтительно осуществляют методом рассеяния рентгеновского излучения по энергии или длине волны на сканирующем электронном микроскопе.
Недостатком данного метода является необходимость использования для детектирования метки специальных методов анализа, метку изначально необходимо обнаружить с помощью сканирующего электронного микроскопа, а после этого детектировать методом рассеяния рентгеновского излучения.
Существует «Способ изготовления резистивных масок для нанолитографии» (Патент RU №2510632, МПК H01L 21/027, В82В 3/00, B82Y 40/00). Изобретение относится к области фотолитографии, а именно к способу изготовления резистивных масок для нанолитографии. Способ включает восстановление серебра с образованием наночастиц серебра и последующую стимуляцию процесса термической полимеризации капролактама на поверхности полученных наночастиц с помощью лазерного возбуждения в них плазмонных колебаний. При этом для пространственной локализации процесса восстановления серебра используют STED-метод. Изобретение позволяет получить резистивные маски с минимальным размером элементов до 10 нм.
Способ изготовления резистивных масок для нанолитографии, включающий восстановление серебра с образованием наночастиц серебра и последующую стимуляцию процесса термической полимеризации капролактама на поверхности полученных наночастиц с помощью лазерного возбуждения в них плазмонных колебаний, отличающийся тем, что для пространственной локализации процесса восстановления серебра используют STED-метод.
Недостатком метода является использование фотовозбуждаемого термохимического разложения капролактама, являющегося токсичным материалом, при этом необходимо обеспечить локализацию данного процесса с достаточно надежным формированием слоя серебра, без его последующего окисления, что при повышении температур достаточно затруднительно.
Известен «Способ получения бор-кремнийсодержащих наночастиц» (Патент RU №2460689, МПК С01В 35/00, С01В 33/00, В82В 3/00). Изобретение относится к нанотехнологии, в частности к способу получения бор-кремнийсодержащих наночастиц, и может быть использовано в медицине. Способ получения бор-кремнийсодержащих наночастиц включает подачу в проточный реактор реакционной газовой смеси, содержащей моносилан (SiH4) с реагентом «В», и буферного газа, индуцирование реакции пиролиза газовой смеси непрерывным излучением CO2-лазера при давлении газовой смеси в реакторе ниже атмосферного. В качестве реагента «В» используют трихлорид бора (BCl3), процесс ведут при соотношении расходов газов: моносилан: реагент В.буферный газ как 1:(1,2-1,5):(45-55), при плотности мощности лазерного излучения 6000-8000 Вт/см2. Получают наночастицы с содержанием бора 55-65 ат.% и кремния остальное. Наночастицы характеризуются повышенным содержанием бора.
Недостатком метода является использование реагентов, требующих термического разложения, что будет приводить к загрязнению получаемых частиц. Таким образом, будут изменяться их физические свойства.
Существует «Способ нанесения наномаркировок на изделия» (Патент RU №2365989, МПК G06K 1/00, В82В 1/00). Изобретение относится к области маркировки изделий путем нанесения визуально не различимой информации на поверхность изделия и может быть использовано для защиты изделий от подделок и копирования, в том числе для предотвращения их фальсификации на потребительском рынке и полной идентификации каждой единицы изделия. Техническим результатом является обеспечение маркировки изделий без химической модификации поверхности изделия, позволяющего впоследствии выявить нанесенную наномаркировку и соответственно защитить изделие от фальсификации или несоответствующего использования. В способе для нанесения наномаркировки подготавливают участок поверхности изделия с высокой чистотой обработки, задают на нем реперные точки, включая реперную точку начала координат, положение которой фиксируют, после чего наносят наномаркировку в виде заданных знаков с нанометровым уровнем пространственного разрешения, нанесение осуществляют методом сканирующей зондовой микроскопии в литографическом режиме работы микроскопа, выявление наномаркировки осуществляют методом сканирующей зондовой микроскопии в измерительном режиме работы микроскопа, при этом для выявления наномаркировки заранее задают также количество максимальных полей сканирования относительно выбранной реперной точки.
Изобретение относится к области маркировки изделий путем нанесения визуально не различимой информации на поверхность изделия и может быть использовано для защиты изделий от подделок и копирования, т.е. для предотвращения их фальсификации на потребительском рынке, а также для полной идентификации каждой единицы изделия.
Недостатком данного метода является: ограничение видов материалов допускающих применение силовой атомно-силовой микроскопии и необходимость использования для данного методам модификации поверхности дорогостоящих сверхтвердых кантиливеров.
В качестве прототипа использовалась статья: «Получение нанотекстурированной поверхности кремния методом селективного химического травления, инициированного металлическими нанокластерами серебра» (УДК 539.23, 537.311.32, Х.А. Абдуллин, Н.Р. Гусейнов, Ж.К. Калкозова, А.С. Айтова, Б.Д. Торбаева, Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа (ННЛОТ), КазНУ им. аль-Фараби, Алматы, Республика Казахстан).
Нанотекстурированные поверхности кремния были получены методом селективного химического травления, инициированного металлическими нанокластерами. В качестве подложки использовались исходные полированные полупроводниковые кремниевые пластины р-типа проводимости с удельным сопротивлением 10 Ом*см. Предварительная очистка кремниевых пластин проводилась в растворе NH4OH:H2O2:H2O в объемном соотношении (1:1:4) при 80°С с последующей промывкой в деионизованной воде. Для создания текстурированной поверхности применена двухэтапная химическая обработка пластин. На первом этапе пластины погружались в водный раствор AgNO3:HF:H2O в течение 10-20 секунд, при этом на кремниевую подложку осаждался слой наночастиц серебра. При проведении экспериментов использованы растворы HF:Н2О с соотношением компонентов 1:4 и с концентрациями по AgNC3 4, 6, 8 и 10 мМ. Вторым этапом химической обработки было травление пластин кремния в растворе H2O2:HF:H2O с объемным соотношением компонентов 1:2:10. Применялись обработки с длительностью травления от 30 до 120 секунд с последующей тщательной промывкой в деионизованной воде.
Недостатком данного метода является необходимость двухстадийного процесса травления исходной пластины с применением кислот, требует тщательной последующей обработки и очистки поверхности.
Описание предлагаемого метода.
Техническим результатом данного изобретения является создание способа формирования рельефа из серебряных кластеров с контролируемой морфологией на поверхности кремниевых пластин. Такое решение приводит к осаждению металлических кластеров с существенно лучше контролируемым рельефом и топологией.
Технический результат достигается тем, что в данном способе локальный рельеф формируется за счет локальной электроиндуцированной диссоциации соли серебра в насыщенном слое кремниевой пластины при движении проводящей иглы АСМ в заданной области. Между иглой и поверхностью образца подается отрицательная разность напряжений от -7 до 012 В, частота движения иглы составляла от 0,16 до 1,12 Гц.
Для локального формирования рельефа на поверхности кремния, использовались пластины кремния, допированного бором, имеющие проводимость р-типа, начальная шероховатость рельефа составляла 0.2 нм. Поверхность кремниевых пластин очищалась за счет воздействия ультразвука в ванне с этиловым спиртом при температуре 40°С в течение 5 минут. После чего пластины помещались в предварительно подготовленный раствор на основе дистиллированной воды, спирта в соотношении 1:1 и соли серебра (AgNO3). Процесс насыщения солями серебра занимал от 30 минут до 5 часов, что влияло в дальнейшем на высоту формируемого рельефа. По истечении заданного времени образцы высушивались и помещались на специальную подложку, имеющую электрический контакт (Фиг. 1), которая фиксируется на предметном столике атомно-силового микроскопа.
Формирование рельефа осуществлялось на воздухе при комнатной температуре с помощью сканирующего зондового микроскопа на базе платформы зондовой нанолаборатории NTEGRA Aura в контактном режиме АСМ. Для проведения осаждения были использованы проводящие зонды DCP 11 с радиусом закругления 50-70 нм (Фиг. 2а) и кремниевые зонды с проводящим Pt покрытием с радиусом закругления 10 нм (Фиг. 2б).
В процессе осаждения игла атомно-силового микроскопа двигалась по заданной траектории в контактном режиме. Между иглой и поверхностью образца подавалась отрицательная разность потенциалов от -7 до -12 В, что влияло на высоту и ширину осаждаемого рельефа (Фиг. 3). Изменение количества проходов зонда по одной и той же траектории не меняет высоту рельефа, но позволяет изменять ширину рельефа (см. Фиг. 4). Изменяя разность потенциалов, возможно достижение высоты рельефа от 2 до 4 нм, а дополнительно изменяя количество проходов, варьировать ширину от 40 до 200 нм. Изменение остальных параметров, таких как влажность и температура, не приводили к изменению осаждаемого рельефа, что объясняется тем, что на поверхности образуется металлический слой, а не оксидный.
Claims (1)
- Способ формирования планарных серебряных структур на поверхности кремниевых пластин, отличающийся тем, что осаждение металлических частиц происходит за счет локальной диссоциации соли серебра индуцированной приложенной отрицательной разницей потенциалов между проводящей иглой атомно-силового микроскопа и поверхностью образца, на которой происходит формирование рельефа, для этого поверхность кремниевой пластины предварительно очищают и насыщают солями серебра, после чего размещают на электропроводящей подложке, игла АСМ двигается с частотой от 0,16 до 1,12 Гц, при разности потенциалов от -7 до -12 В, при комнатной температуре и нормальной влажности, что позволяет формировать рельеф с топологией заданной траекторией движении иглы с шириной от 40 до 200 нм, высотой от 2 до 40 нм.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017111918A RU2659103C1 (ru) | 2017-04-07 | 2017-04-07 | Способ формирования планарных структур методом атомно-силовой литографии |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017111918A RU2659103C1 (ru) | 2017-04-07 | 2017-04-07 | Способ формирования планарных структур методом атомно-силовой литографии |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2659103C1 true RU2659103C1 (ru) | 2018-06-28 |
Family
ID=62815258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2017111918A RU2659103C1 (ru) | 2017-04-07 | 2017-04-07 | Способ формирования планарных структур методом атомно-силовой литографии |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2659103C1 (ru) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001091855A1 (en) * | 2000-05-26 | 2001-12-06 | Northwestern University | Methods utilizing scanning probe microscope tips and products therefor or produced thereby |
| US20020158197A1 (en) * | 1999-01-12 | 2002-10-31 | Applied Materials, Inc | AFM-based lithography metrology tool |
| WO2004038504A2 (en) * | 2002-10-21 | 2004-05-06 | Nanoink, Inc. | Nanometer-scale engineered structures, methods and apparatus for fabrication thereof, and applications to mask repair, enhancement, and fabrication |
| WO2009052120A1 (en) * | 2007-10-15 | 2009-04-23 | Nanoink, Inc. | Lithography of nanoparticle based inks |
| EP2720040A2 (en) * | 2011-06-13 | 2014-04-16 | Korea Research Institute of Bioscience and Biotechology | Nanopositioning substrate preparation apparatus and preparation method using dip pen nanolithography with single or multiple tips using atomic force microscope (afm) |
-
2017
- 2017-04-07 RU RU2017111918A patent/RU2659103C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20020158197A1 (en) * | 1999-01-12 | 2002-10-31 | Applied Materials, Inc | AFM-based lithography metrology tool |
| WO2001091855A1 (en) * | 2000-05-26 | 2001-12-06 | Northwestern University | Methods utilizing scanning probe microscope tips and products therefor or produced thereby |
| WO2004038504A2 (en) * | 2002-10-21 | 2004-05-06 | Nanoink, Inc. | Nanometer-scale engineered structures, methods and apparatus for fabrication thereof, and applications to mask repair, enhancement, and fabrication |
| WO2009052120A1 (en) * | 2007-10-15 | 2009-04-23 | Nanoink, Inc. | Lithography of nanoparticle based inks |
| EP2720040A2 (en) * | 2011-06-13 | 2014-04-16 | Korea Research Institute of Bioscience and Biotechology | Nanopositioning substrate preparation apparatus and preparation method using dip pen nanolithography with single or multiple tips using atomic force microscope (afm) |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Kaniukov et al. | Tunable nanoporous silicon oxide templates by swift heavy ion tracks technology | |
| Acharyya et al. | Alcohol sensing performance of ZnO hexagonal nanotubes at low temperatures: A qualitative understanding | |
| Amit et al. | Semiconductor nanorod layers aligned through mechanical rubbing | |
| US20160052789A1 (en) | Techniques for fabricating diamond nanostructures | |
| Shan et al. | Mapping local quantum capacitance and charged impurities in graphene via plasmonic impedance imaging | |
| Parellada-Monreal et al. | Laser-induced periodic surface structures on ZnO thin film for high response NO2 detection | |
| Rasappa et al. | Fabrication of a sub-10 nm silicon nanowire based ethanol sensor using block copolymer lithography | |
| US9606095B2 (en) | Method of preparing graphene nanoribbon arrays and sensor comprising the same | |
| Maret et al. | Probing self-assembly of cylindrical morphology block copolymer using in situ and ex situ grazing incidence small-angle X-ray scattering: the attractive case of graphoepitaxy | |
| Suzuki et al. | Ethanol gas sensing by a Zn-terminated ZnO (0001) bulk single-crystalline substrate | |
| Aroutiounian et al. | The ethanol sensors made from α-Fe2O3 decorated with multiwall carbon nanotubes | |
| Nayfeh et al. | Silicon nanoparticles: new photonic and electronic material at the transition between solid and molecule | |
| RU2659103C1 (ru) | Способ формирования планарных структур методом атомно-силовой литографии | |
| Drapak et al. | Native oxide emerging of the cleavage surface of gallium selenide due to prolonged storage | |
| RU2502992C2 (ru) | Электрохимический сенсор и способ его получения | |
| Kuschlan et al. | Periodic Arrays of Dopants in Silicon by Ultralow Energy Implantation of Phosphorus Ions through a Block Copolymer Thin Film | |
| Davenport et al. | Ag nanotubes and Ag/AgCl electrodes in nanoporous membranes | |
| Epifani et al. | SnO2 thin films from metalorganic precursors: Synthesis, characterization, microelectronic processing and gas-sensing properties | |
| CN107884316A (zh) | 基于有序碳纳米管薄膜的液体表面张力传感器及其制备方法 | |
| Moghimi et al. | Ethanol and acetone gas sensor properties of porous silicon based on resistance response | |
| RU2732800C1 (ru) | Способ изготовления газоаналитического мультисенсорного чипа на основе наностержней оксида цинка | |
| Perumal et al. | Fabrication and characterization of metal microwire transducer for biochip application | |
| Tarasov et al. | Facile fabrication of a TiO2 NW-based glucose sensor by direct ink writing | |
| Khan | Pretreatment of ITO electrode and its physiochemical properties: Towards device fabrication | |
| Kolodin | Hydrophilization and plasmonization of polystyrene substrate with Au nanoparticle organosol |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190408 |