RU2658098C1 - Diffraction method for definition of internal defects of products implemented by additive technology - Google Patents

Diffraction method for definition of internal defects of products implemented by additive technology Download PDF

Info

Publication number
RU2658098C1
RU2658098C1 RU2017111766A RU2017111766A RU2658098C1 RU 2658098 C1 RU2658098 C1 RU 2658098C1 RU 2017111766 A RU2017111766 A RU 2017111766A RU 2017111766 A RU2017111766 A RU 2017111766A RU 2658098 C1 RU2658098 C1 RU 2658098C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
defects
diffraction
screen
point
diffraction pattern
Prior art date
Application number
RU2017111766A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Олег Владимирович Кофнов
Евгений Леонидович Лебедев
Александр Владимирович Михайленко
Original Assignee
Олег Владимирович Кофнов
Евгений Леонидович Лебедев
Александр Владимирович Михайленко
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Олег Владимирович Кофнов, Евгений Леонидович Лебедев, Александр Владимирович Михайленко filed Critical Олег Владимирович Кофнов
Priority to RU2017111766A priority Critical patent/RU2658098C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2658098C1 publication Critical patent/RU2658098C1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3581—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/359—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using near infrared light

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

FIELD: defectoscopy.
SUBSTANCE: invention relates to non-destructive methods for detecting defects in products made with additive technology of non-metallic materials transparent to electromagnetic waves with lengths of 10-4 to 10-3 meter, and can be used to automatically detect hidden structure defects. Method includes detecting fabrication defects, such as cracks, voids, cavities, pores commensurate in magnitude with the length of the monochromatic wave passing through the material under investigation. When the electromagnetic wave interacts with a defect, a diffraction effect occurs. Diffraction pattern is projected onto the screen behind the object under investigation and consists of bolometric cells sensitive to terahertz radiation. Diffraction pattern is read from the screen and converted into a computer image suitable for later analysis.
EFFECT: simplification of the procedure for fixing the presence of a defect and its safety in comparison with similar methods of X-ray tomography due to the use of non-ionizing radiation.
1 cl, 3 dwg

Description

Изобретение относится к неразрушающим способам обнаружения дефектов изделий, выполненных по аддитивной технологии из неметаллических материалов, прозрачных для электромагнитных волн с длинами 10-4 до 10-3 метра, и может быть использовано при решении вопросов автоматического контроля качества этих изделий, выявления скрытых трещин, пор и других мелкоразмерных дефектов структуры. Основным ограничением практического применения деталей, выполненных по аддитивной технологии, является наличие внутренних дефектов, которые образуются при спекании технологических слоев и являются особенностью данной технологии. Для обнаружения указанных дефектов используются ультразвуковые способы контроля, однако из-за расположения указанных дефектов один над другим данный способ не всегда позволяет обнаружить все дефекты.The invention relates to non-destructive methods for detecting defects in products made using additive technology of non-metallic materials transparent to electromagnetic waves with lengths of 10 -4 to 10 -3 meters, and can be used in solving issues of automatic quality control of these products, identifying hidden cracks, pores and other small-sized structural defects. The main limitation of the practical application of parts made by additive technology is the presence of internal defects that form during sintering of technological layers and are a feature of this technology. Ultrasonic monitoring methods are used to detect these defects, however, due to the location of these defects one above the other, this method does not always allow to detect all defects.

Известен способ рентгеновской томографии для определения дефектов в оптически непрозрачных средах [Вайнберг Э.И., Клюев В.В., Курозаев В.П. Промышленная рентгеновская вычислительная томография, в кн.: Приборы для неразрушающего контроля материалов и изделий. Справочник, под ред. В.В. Клюева, 2 изд., т. 1, М., 1986].A known method of x-ray tomography for determining defects in optically opaque media [Weinberg E.I., Klyuev V.V., Kurozaev V.P. Industrial X-ray computational tomography, in the book: Devices for non-destructive testing of materials and products. Handbook, ed. V.V. Klyueva, 2nd ed., Vol. 1, M., 1986].

Способ заключается в получении рентгеновских снимков исследуемого объекта с разных ракурсов с последующей компьютерной обработкой для получения трехмерной картины внутренней структуры материала. На полученной картине видны как отличные по цвету и яркости все дефекты внутренней структуры материала. К недостаткам этого способа относятся: необходимость выполнения нескольких снимков с разных ракурсов, что либо значительно повышает стоимость используемого оборудования, либо требует увеличения времени на поиск дефекта; необходимость использования сложного программного обеспечения для получения искомой трехмерной картины и значительные затраты вычислительных ресурсов; использование источника ионизирующего рентгеновского излучения, вредного для здоровья.The method consists in obtaining x-ray images of the test object from different angles, followed by computer processing to obtain a three-dimensional picture of the internal structure of the material. In the resulting picture, all defects in the internal structure of the material are seen as excellent in color and brightness. The disadvantages of this method include: the need to take several pictures from different angles, which either significantly increases the cost of the equipment used, or requires an increase in the time to search for a defect; the need to use complex software to obtain the desired three-dimensional picture and the significant cost of computing resources; use of a source of ionizing x-ray radiation that is harmful to health.

Наиболее близким к предлагаемому способу является способ рентгеновской томографии [патент RU 2505800 C2. Сырямкин В.И. и др. «Способ рентгеновской томографии и устройство для его осуществления», заявка №2012119065/28 от 10.05.2012, опубликовано: 27.01.2014, Бюл. №3], заключающийся в том, что облучают и воспринимают массив изображения энергетического спектра рентгеновского излучения, проходящего через объект, при этом восстанавливают изображение по теневым проекциям объекта, затем формируют, сравнивают и анализируют текущие и эталонные интегральные характеристики изображения объекта, определяют дефекты объекта и отображают результаты анализа объекта.Closest to the proposed method is a method of x-ray tomography [patent RU 2505800 C2. Syryamkin V.I. and others. "Method of x-ray tomography and a device for its implementation", application No. 2012119065/28 of 05/10/2012, published: 01/27/2014, Bull. No. 3], which consists in the fact that the image array of the energy spectrum of x-ray radiation passing through the object is irradiated and perceived, while the image is restored from the shadow projections of the object, then the current and reference integral characteristics of the image of the object are formed, compared and analyzed, the defects of the object are determined and display the results of the analysis of the object.

К недостаткам этого способа можно отнести:The disadvantages of this method include:

1. Использование опасного для здоровья рентгеновского излучения.1. Use of hazardous X-rays.

2. Необходимость вращения объекта по трем взаимно перпендикулярным осям координат.2. The need to rotate the object along three mutually perpendicular coordinate axes.

3. Сложность и высокая стоимость используемого оборудования.3. The complexity and high cost of the equipment used.

Целью настоящего изобретения является устранение этих недостатков.The aim of the present invention is to remedy these disadvantages.

Поставленная цель достигается за счет использования источника монохромного электромагнитного терагерцового излучения (длина волны λ=0,1-1 мм, частота ν=3⋅1011-3⋅1012 Гц). Волны этого диапазона свободно проникают через большинство диэлектриков, в частности пластик, керамику, полимеры, которые как раз используются при трехмерной печати (аддитивные технологии). Геометрические размеры дефектов изготовления (трещины, пустоты, полости, поры) в материале соизмеримы по величине с длиной монохромной волны, проходящей через исследуемый материал. При взаимодействии электромагнитной волны с дефектом возникает эффект дифракции, аналогичный дифракции оптических волн на щели или дифракционной решетке. Полученная дифракционная картина проецируется на экран, находящийся за исследуемым объектом и состоящий из болометрических ячеек, чувствительных к терагерцевому излучению. Дифракционная картина считывается с экрана и преобразуется в компьютерное изображение, пригодное для последующего анализа. В процессе исследования объект остается неподвижным, съемка выполняется с одного ракурса.The goal is achieved by using a source of monochrome electromagnetic terahertz radiation (wavelength λ = 0.1-1 mm, frequency ν = 3⋅10 11 -3⋅10 12 Hz). Waves of this range freely penetrate most dielectrics, in particular plastic, ceramics, polymers, which are just used in three-dimensional printing (additive technologies). The geometric dimensions of manufacturing defects (cracks, voids, cavities, pores) in the material are comparable in magnitude with the monochrome wavelength passing through the material under study. When an electromagnetic wave interacts with a defect, a diffraction effect arises, similar to the diffraction of optical waves on a slit or diffraction grating. The obtained diffraction pattern is projected onto a screen located behind the object under study and consisting of bolometric cells sensitive to terahertz radiation. The diffraction pattern is read from the screen and converted into a computer image suitable for subsequent analysis. In the process of research, the object remains motionless, shooting is carried out from one angle.

Амплитуда светового сигнала на экране в общем случае описывается выражением Релея-Зоммерфельда:The amplitude of the light signal on the screen in the General case is described by the expression of Rayleigh-Sommerfeld:

Figure 00000001
,
Figure 00000001
,

где U(P0) - комплексная амплитуда излучения в точке P0 на экране, U(P1) - комплексная амплитуда излучения в точке P1 внутри объекта, r - расстояние между точками P0 и P1, λ - длина волны излучения, θ - угол между нормалью из точки P1 к плоскости экрана и вектором r из точки P0 в точку P1, i - мнимая единица, S1 - поверхность, содержащая семейство точек P1. В точках расположения дефектов величина U(P1) будет отличаться от величины U(P1) в однородной части объекта. Интенсивность электромагнитного сигнала в точке Р0 связана с комплексной амплитудой соотношением:where U (P 0 ) is the complex radiation amplitude at point P 0 on the screen, U (P 1 ) is the complex radiation amplitude at point P 1 inside the object, r is the distance between points P 0 and P 1 , λ is the radiation wavelength, θ is the angle between the normal from the point P 1 to the plane of the screen and the vector r from the point P 0 to the point P 1 , i is the imaginary unit, S 1 is the surface containing the family of points P 1 . At the defect location points, the value of U (P 1 ) will differ from the value of U (P 1 ) in the homogeneous part of the object. The intensity of the electromagnetic signal at the point P 0 is connected with the complex amplitude by the ratio:

Figure 00000002
,
Figure 00000002
,

где U*(P0) - величина, комплексно сопряженная с величиной амплитуды U(P0).where U * (P 0 ) is the value complex conjugate to the amplitude U (P 0 ).

Таким образом, величина комплексной амплитуды и связанной с ней интенсивности сигнала в дифракционной картине на экране будут различными в зависимости от того, есть внутри исследуемого объекта дефект или нет.Thus, the magnitude of the complex amplitude and the signal intensity associated with it in the diffraction pattern on the screen will be different depending on whether there is a defect in the object under investigation or not.

Существенными отличиями заявляемого решения являются:Significant differences of the proposed solutions are:

1. «Поставленная цель достигается за счет использования источника монохромного электромагнитного терагерцового излучения». В прототипе использовалось рентгеновское излучение.1. "The goal is achieved through the use of a source of monochrome electromagnetic terahertz radiation." The prototype used x-ray radiation.

2. «При взаимодействии электромагнитной волны с дефектом возникает эффект дифракции, аналогичный дифракции оптических волн». В прототипе для выявления дефектов используются теневые проекции объекта.2. "When an electromagnetic wave interacts with a defect, a diffraction effect arises similar to the diffraction of optical waves." In the prototype, shadow projections of an object are used to identify defects.

3. «Дифракционная картина считывается с экрана и преобразуется в компьютерное изображения, пригодное для последующего анализа». В прототипе по теневым проекциям формируют, сравнивают и анализируют текущие и эталонные интегральные характеристики изображения объекта.3. "The diffraction pattern is read from the screen and converted into a computer image suitable for subsequent analysis." In the prototype, shadow projections form, compare and analyze the current and reference integrated characteristics of the image of the object.

4. «В процессе исследования объект остается неподвижным». В прототипе осуществлялось вращение и смещение объекта по трем взаимно перпендикулярным осям системы координат.4. "In the process of research, the object remains motionless." In the prototype, the object was rotated and displaced along three mutually perpendicular axes of the coordinate system.

Фиг. 1 поясняет суть предлагаемого метода. Источник когерентного терагерцового излучения 1 (терагерцевый лазер) просвечивает монохроматическим лучом 2 исследуемый объект 3. Если внутри исследуемого объекта на пути луча 2 располагается трещина, то на экране 5 отображается дифракционная картина. P0 - точка на экране 5, в которой регистрируется некоторая интенсивность электромагнитного сигнала. P1 - точка внутри исследуемого объекта, источник вторичного электромагнитного излучения в результате дифракции луча 2 на трещине 4. Радиус-вектор r из точки в точку составляет угол θ с осью Z. Экран 5 представляет собой матрицу фотоприемников, чувствительных к терагерцевому излучению, изготовленную, например, по технологии [патент RU 2545497 C1. Чесноков В.В., Чесноков Д.В., Кочкарев Д.В., Кузнецов М.В. «Способ изготовления детекторов терагерцового диапазона», заявка №2014100144/28 от 09.01.2014, опубликовано: 10.04.2015, Бюл. №10]. Картина, полученная на экране 5, фиксируется в виде цифрового изображения и обрабатывается в дальнейшем на компьютере. При наличии внутри объекта 3 дефекта 4, соизмеримого с длиной волны луча 2, она представляет собой упорядоченный набор дифракционных максимумов Mj (на Фиг. 1 обозначены белыми эллипсами в поле темного экрана 5). Среднее расстояние между соседними дифракционными максимумами может быть определено по формулеFIG. 1 explains the essence of the proposed method. The source of coherent terahertz radiation 1 (terahertz laser) shines through the monochromatic beam 2 of the object under study 3. If a crack is located on the path of beam 2 inside the object under study, then the diffraction pattern is displayed on screen 5. P 0 - a point on screen 5, in which some intensity of the electromagnetic signal is recorded. P 1 is a point inside the object under study, the source of secondary electromagnetic radiation as a result of diffraction of beam 2 on the crack 4. The radius vector r from point to point makes an angle θ with the Z axis. Screen 5 is a matrix of photodetectors sensitive to terahertz radiation, made for example, technology [patent RU 2545497 C1. Chesnokov V.V., Chesnokov D.V., Kochkarev D.V., Kuznetsov M.V. "A method of manufacturing a terahertz range of detectors", application No. 20114100144/28 of 01/09/2014, published: 04/10/2015, Bull. No. 10]. The picture obtained on screen 5 is captured in the form of a digital image and processed further on the computer. If there is a defect 4 inside the object 3, commensurate with the wavelength of beam 2, it is an ordered set of diffraction maxima M j (indicated in Fig. 1 by white ellipses in the field of the dark screen 5). The average distance between adjacent diffraction maxima can be determined by the formula

Figure 00000003
,
Figure 00000003
,

где Δj, j+1 - расстояние между соседними дифракционными максимумами Mj и Mj+1; j - индекс максимума, где j=0 - индекс центрального дифракционного максимума, jmax - индекс последнего наблюдаемого (наиболее удаленного от центрального) дифракционного максимума.where Δ j, j + 1 is the distance between adjacent diffraction maxima M j and M j + 1 ; j is the maximum index, where j = 0 is the index of the central diffraction maximum, j max is the index of the last observed (farthest from the central) diffraction maximum.

На Фиг. 2 приведены изображения, зафиксированные на экране 5 в случае исследования объекта без внутренних дефектов (а) и имеющейся внутри него трещиной (б). На Фиг. 2(б) ясно видны дифракционные максимумы, свидетельствующие о наличии внутри исследуемого объекта дефекта его структуры.In FIG. 2 shows the images captured on screen 5 in the case of examining an object without internal defects (a) and a crack inside it (b). In FIG. 2 (b), diffraction maxima are clearly visible, indicating the presence of a defect in its structure inside the object under investigation.

На Фиг. 3 приведена зависимость среднего расстояния между соседними дифракционными максимумами, расположенными на оси X, от расстояния между трещиной внутри исследуемого объекта и плоскостью XY экрана 5. Из приведенного графика следует, что с увеличением расстояния L между трещиной и экраном возрастает и среднее расстояние

Figure 00000004
между дифракционными максимумами.In FIG. Figure 3 shows the dependence of the average distance between neighboring diffraction maxima located on the X axis on the distance between the crack inside the object under study and the XY plane of screen 5. From the graph it follows that with increasing distance L between the crack and the screen, the average distance also increases
Figure 00000004
between diffraction maxima.

Приведенные экспериментальные данные свидетельствуют о том, что заявляемый метод работоспособен. Он позволяет в автоматическом режиме и с высокой скоростью, без проведения съемки с разных ракурсов и разрушения объекта исследования, не только выявлять наличие скрытого дефекта структуры в объекте, изготовленном по аддитивной технологии, но и оценивать его геометрическое положение. Для реализации метода достаточно источника когерентного излучения с фиксированной длиной волны в диапазоне от 0,1 до 1 мм и экрана, чувствительного к вышеуказанному излучению, с устройством преобразования интенсивности принятого сигнала в цифровой компьютерный формат. Заявляемый способ не требует другого специального дорогостоящего оборудования, прецизионной юстировки и квалифицированного обслуживания.The experimental data indicate that the inventive method is workable. It allows in automatic mode and at high speed, without taking pictures from different angles and destroying the object of study, not only to detect the presence of a hidden structural defect in the object made using additive technology, but also to evaluate its geometric position. To implement the method, a coherent radiation source with a fixed wavelength in the range from 0.1 to 1 mm and a screen sensitive to the above radiation with a device for converting the received signal intensity to a digital computer format are sufficient. The inventive method does not require other special expensive equipment, precision alignment and qualified service.

Claims (3)

Дифракционный способ определения внутренних дефектов изделий, выполненных по аддитивной технологии, заключающийся в том, что получают дифракционную картину, наблюдаемую при облучении исследуемого объекта, изготовленного из неметаллического материала по аддитивной технологии, терагерцевым лазером (длина волны λ=0,1-1 мм, частота ν=3⋅1011-3⋅1012 Гц), причем при наличии внутри объекта скрытых дефектов (трещин, пор и т.п.) в проецируемой на расположенный за исследуемым объектом экран дифракционной картине будут наблюдаться упорядоченные максимумы интенсивности, отличающийся тем, что используют безопасное для человека терагерцевое излучение, длина волны которого соизмерима с размерами дефектов внутренней структуры объекта, а о наличии, размерах и расположении этих дефектов судят по распределению интенсивности дифракционных максимумов I(xj,yj)=U(xj,yj)U⋅(xj,yj) в проецируемой на экран дифракционной картине, где (xj,yj) - координаты j-го дифракционного максимума, U(xj,yj) - комплексная амплитуда светового сигнала в точке i-го дифракционного максимума, U⋅(xj,yj) - комплексно сопряженная с ней величина, амплитуда светового сигнала в дифракционной картине описывается выражением Релея-ЗоммерфельдаThe diffraction method for determining the internal defects of products made by the additive technology, which consists in obtaining a diffraction pattern observed upon irradiation of the studied object made of non-metallic material by the additive technology with a terahertz laser (wavelength λ = 0.1-1 mm, frequency ν = 3⋅10 11 -3⋅10 12 Hz), and if there are hidden defects inside the object (cracks, pores, etc.), ordered maxima will be observed in the diffraction pattern projected onto the screen located behind the object under study intensity minds, characterized in that they use terahertz radiation that is safe for humans, the wavelength of which is commensurate with the size of the defects in the internal structure of the object, and the presence, size and location of these defects are judged by the distribution of the intensity of diffraction maxima I (x j , y j ) = U (x j , y j ) U⋅ (x j , y j ) in the diffraction pattern projected onto the screen, where (x j , y j ) are the coordinates of the jth diffraction maximum, U (x j , y j ) is the complex amplitude light signal at the point of the i-th diffraction maximum, U⋅ (x j , y j ) is the complex conjugate with it the magnitude, the amplitude of the light signal in the diffraction pattern is described by the Rayleigh-Sommerfeld expression
Figure 00000005
Figure 00000005
 где U(P0(x,y)) - комплексная амплитуда излучения в точке P0 на экране, U(P1) - комплексная амплитуда излучения в точке P1 внутри объекта, r - расстояние между точками P0 и P1, λ - длина волны излучения, θ - угол между нормалью из точки P1 к плоскости экрана и вектором r из точки P0 в точку P1, i - мнимая единица, S1 - поверхность, содержащая семейство точек P1, где наличие дефекта влияет на распределение величины U(P1).where U (P 0 (x, y)) is the complex radiation amplitude at point P 0 on the screen, U (P 1 ) is the complex radiation amplitude at point P 1 inside the object, r is the distance between points P 0 and P 1 , λ is the radiation wavelength, θ is the angle between the normal from the point P 1 to the screen plane and the vector r from the point P 0 to the point P 1 , i is the imaginary unit, S 1 is the surface containing the family of points P 1 , where the presence of a defect affects distribution of the quantity U (P 1 ).
RU2017111766A 2017-04-06 2017-04-06 Diffraction method for definition of internal defects of products implemented by additive technology RU2658098C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017111766A RU2658098C1 (en) 2017-04-06 2017-04-06 Diffraction method for definition of internal defects of products implemented by additive technology

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017111766A RU2658098C1 (en) 2017-04-06 2017-04-06 Diffraction method for definition of internal defects of products implemented by additive technology

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2658098C1 true RU2658098C1 (en) 2018-06-19

Family

ID=62620290

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017111766A RU2658098C1 (en) 2017-04-06 2017-04-06 Diffraction method for definition of internal defects of products implemented by additive technology

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2658098C1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001059439A1 (en) * 2000-02-11 2001-08-16 Muradin Abubekirovich Kumakhov Method for obtaining a picture of the internal structure of an object using x-ray radiation and device for the implementation thereof
EP0727671B1 (en) * 1995-02-15 2003-09-24 AT&T Corp. Method and apparatus for terahertz imaging
US20070138392A1 (en) * 2003-08-22 2007-06-21 Cole Bryan E Method and apparatus for investigating a sample
RU2505800C2 (en) * 2012-05-10 2014-01-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (ТГУ) Method for x-ray tomography and apparatus for realising said method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0727671B1 (en) * 1995-02-15 2003-09-24 AT&T Corp. Method and apparatus for terahertz imaging
WO2001059439A1 (en) * 2000-02-11 2001-08-16 Muradin Abubekirovich Kumakhov Method for obtaining a picture of the internal structure of an object using x-ray radiation and device for the implementation thereof
US20070138392A1 (en) * 2003-08-22 2007-06-21 Cole Bryan E Method and apparatus for investigating a sample
RU2505800C2 (en) * 2012-05-10 2014-01-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (ТГУ) Method for x-ray tomography and apparatus for realising said method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Zhang et al. Non-destructive investigation of paintings on canvas by continuous wave terahertz imaging and flash thermography
Ahi et al. Quality control and authentication of packaged integrated circuits using enhanced-spatial-resolution terahertz time-domain spectroscopy and imaging
KR102479862B1 (en) Particle Analysis Method
Guillet et al. Review of terahertz tomography techniques
US7119339B2 (en) Transmission mode terahertz computed tomography
Zhang Three-dimensional terahertz wave imaging
JP2002098634A (en) Electrical characteristic evaluation apparatus and method for semiconductor
JPWO2006085403A1 (en) Real-time terahertz tomography equipment and spectroscopic imaging equipment
CN109186759B (en) Grating spectrometer image quality measuring method and device
Brahm et al. Optical effects at projection measurements for terahertz tomography
WO2016016663A2 (en) System for non-destructive detection of internal defects
Koshti Assessing visual and system flaw detectability in nondestructive evaluation
Glinz et al. Non-destructive characterisation of out-of-plane fibre waviness in carbon fibre reinforced polymers by X-ray dark-field radiography
RU2522775C1 (en) Method for passive location of edges of metal rectangular parallelepiped in infrared radiation
Thiel et al. Localization of subsurface defects in uncoated aluminum with structured heating using high-power VCSEL laser arrays
RU2658098C1 (en) Diffraction method for definition of internal defects of products implemented by additive technology
Belkacemi et al. Nondestructive testing based on scanning-from-heating approach: application to nonthrough defect detection and fiber orientation assessment
US20190025231A1 (en) A method of detection of defects in materials with internal directional structure and a device for performance of the method
Zhakupov et al. Detection of hidden images based on contrast of intensity distribution of terahertz radiation
Wang et al. Effects of diffuse and specular reflections on detecting embedded defects of foams with a bifocal active imaging system at 0.22 THz
KR102623992B1 (en) Tomography apparatus for high-speed scanning
Báez-Chorro et al. Accurate beam profile characterization in THz transmission imaging systems
KR101185786B1 (en) X-ray microscopy system for tomography
JP5682952B2 (en) Wood inspection apparatus and wood inspection method
Chen et al. In-situ volumetric topography of IC chips for defect detection using infrared confocal measurement with active structured light

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20190407