RU2655045C1 - Method for sealing a cooling unit of an active element in a solid laser - Google Patents

Method for sealing a cooling unit of an active element in a solid laser Download PDF

Info

Publication number
RU2655045C1
RU2655045C1 RU2017102810A RU2017102810A RU2655045C1 RU 2655045 C1 RU2655045 C1 RU 2655045C1 RU 2017102810 A RU2017102810 A RU 2017102810A RU 2017102810 A RU2017102810 A RU 2017102810A RU 2655045 C1 RU2655045 C1 RU 2655045C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
active element
tube
clamps
cooling unit
cooling
Prior art date
Application number
RU2017102810A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Наталья Борисовна Ярулина
Роман Андреевич Бызов
Николай Валерьевич Корепанов
Сергей Викторович Пономарев
Original Assignee
Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом")
Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт технической физики имени академика Е.И. Забабахина"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом"), Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт технической физики имени академика Е.И. Забабахина" filed Critical Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом")
Priority to RU2017102810A priority Critical patent/RU2655045C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2655045C1 publication Critical patent/RU2655045C1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/04—Arrangements for thermal management
    • H01S3/0407—Liquid cooling, e.g. by water

Abstract

FIELD: laser engineering.
SUBSTANCE: invention relates to laser equipment. Method for sealing a cooling unit of an active element in a solid-state laser involves two steps: installing a tube for the active element and installing the active element in the tube, in the first stage, the tube is installed with clamps and seals, in the second stage, the active element is placed in the tube, clamps and seals of the active element. At each stage, the clamps are pressed against the body and to each other, successively heating and cooling the cooling unit.
EFFECT: technical result consists in providing the possibility of reliable sealing of the cooling unit.
1 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится к лазерам, в частности, к герметичной установке элементов конструкции систем охлаждения, используемых при изготовлении твердотельных квантовых генераторов, и может быть использовано при изготовлении лазерной техники, работающей в условиях жестких режимов эксплуатации, таких как ударные, вибрационные нагрузки, при воздействии предельных температур окружающей среды.The invention relates to lasers, in particular, to a sealed installation of structural elements of cooling systems used in the manufacture of solid-state quantum generators, and can be used in the manufacture of laser equipment operating in severe operating conditions, such as shock, vibration loads, when exposed to extreme temperatures the environment.

Хорошо известны способы герметизации активного элемента (АЭ) и трубки с помощью прижимов (например, п. РФ №2579188, МПК H01S 3/05, 3/042, опубл. 2016 г., п. Китая №204230622, МПК H01S 3/0941, 3/16, опубл. 2015 г.). Однако такие способы не отличаются высокой степенью герметичности.Well-known methods of sealing the active element (AE) and the tube using clamps (for example, p. RF No. 2579188, IPC H01S 3/05, 3/042, publ. 2016, p. China No. 204230622, IPC H01S 3/0941 , 3/16, publ. 2015). However, such methods do not have a high degree of tightness.

Известен способ герметичной установки импульсной лампы накачки в твердотельном лазере (п. РФ №2222851, H01S 3/02, F16J 15/00, опубл. 2004 г.), который включает размещение уплотнительных пакетов, выполненных в виде последовательных слоев фторопласт-индий-фторопласт, между обоими концами импульсной лампы накачки и корпусом холодильника твердотельного лазера, предварительную пластическую деформацию уплотнительных пакетов с помощью их нагрева до 75-85°С и последующее их прессование, при котором сначала осуществляют плавное наращивание усилия прессования от 0 до 50 кг сжатым газом со скоростью 1-2 кг/мин и окончательное прессование с усилием 50 кг в течение не менее 30 мин. В данном способе достигается технический результат, заключающийся в обеспечении возможности использования в твердотельных лазерах как нейтральных, так и агрессивных охлаждающих жидкостей.A known method of sealed installation of a pulsed pump lamp in a solid-state laser (p. RF No. 2222851, H01S 3/02, F16J 15/00, publ. 2004), which includes the placement of sealing bags made in the form of successive layers of fluoroplast-indium fluoroplast between both ends of the flash pump lamp and the solid-state laser refrigerator case, the preliminary plastic deformation of the sealing bags by heating them to 75-85 ° C and their subsequent pressing, at which the pressing force is gradually increased from 0 to 50 kg of compressed gas at a speed of 1-2 kg / min and final pressing with a force of 50 kg for at least 30 minutes. In this method, a technical result is achieved, which consists in providing the possibility of using solid-state lasers with both neutral and aggressive coolants.

Данный способ обладает несложностью технологического процесса герметизации, однако не может применяться в конструкциях твердотельных лазеров для герметизации трубок системы охлаждения АЭ, выполненных из материала, оптически прозрачного для накачки, а также для герметизации активного элемента по следующим причинам: температура нагрева до 75-85°С не позволяет достичь нужной пластической деформации уплотнительных прокладок, и как следствие, необходимой степени герметизации, а усилие прессования 50 кг, выдерживаемое на данном уровне в течение всего цикла прессования и составляющее не менее 30 мин, слишком велико для герметизации активного элемента и трубки (выполненной из стекла или лейкосапфира), т.к. может привести к их поломке.This method has the complexity of the sealing process, but cannot be used in solid-state laser designs to seal AE cooling system tubes made of a material optically transparent for pumping, as well as to seal the active element for the following reasons: heating temperature to 75-85 ° C does not allow to achieve the desired plastic deformation of the gaskets, and as a consequence, the necessary degree of sealing, and the pressing force of 50 kg, maintained at this level for of the total compression cycle and of not less than 30 m is too large for the active element and the sealing tube (made of glass or sapphire), as may cause them to break.

В настоящее время при изготовлении твердотельных лазеров для эксплуатации в лабораторных условиях в качестве охлаждающих жидкостей используются нейтральные жидкости, герметизация выполняется при помощи уплотнений, изготовленных из резины. Эффективно выравнивать температурные градиенты, возникающие в АЭ, позволяет прокачка теплоносителя в кольцевом канале охлаждения АЭ при использовании системы охлаждения с применением насоса. При использовании стационарной системы охлаждения АЭ (без прокачки теплоносителя), которая должна работать с высокой степенью надежности в жестких условиях эксплуатации, в твердотельных лазерах в качестве охлаждающей жидкости могут быть использованы агрессивные жидкости. В связи с этим актуальной становится задача герметизации АЭ и трубки, образующих кольцевой канал охлаждения АЭ, уплотнениями, выполненными из материалов, устойчивых к агрессивным охлаждающим средам, и методами, обеспечивающими высокую степень герметичности.Currently, in the manufacture of solid-state lasers for use in the laboratory, neutral liquids are used as coolants, and sealing is performed using seals made of rubber. Effectively equalizing the temperature gradients arising in the AE allows pumping the coolant in the ring cooling channel of the AE when using a cooling system using a pump. When using a stationary AE cooling system (without pumping coolant), which should work with a high degree of reliability in harsh operating conditions, aggressive liquids can be used as a cooling liquid in solid-state lasers. In this regard, the task of sealing the AE and the tubes forming the annular cooling channel of the AE with seals made of materials resistant to aggressive cooling media and methods providing a high degree of tightness becomes urgent.

Задача, на решение которой направлено изобретение, - возможность использования в твердотельных лазерах любых охлаждающих жидкостей.The problem to which the invention is directed is the possibility of using any cooling liquids in solid-state lasers.

Технический результат, предлагаемый при использовании предлагаемого технического решения, - надежная герметизация блока охлаждения АЭ (БОАЭ) в твердотельном лазере.The technical result proposed using the proposed technical solution is reliable sealing of the AE cooling unit (BOAE) in a solid-state laser.

Указанный технический результат достигается тем, что способ герметизации блока охлаждения активного элемента в твердотельном лазере включает два этапа: установку трубки для активного элемента и установку активного элемента в трубку. На первом этапе в корпус блока охлаждения устанавливают трубку с прижимами и уплотнениями, которые размещают между прижимами с обеих сторон трубки и корпусом блока охлаждения, прижимают указанные прижимы к корпусу, нагревают блок охлаждения до температуры 85-120°С не более 30 минут, после чего повторяют усилие прижатия прижимов трубки к корпусу, выдерживают блок охлаждения при указанной температуре не более 25 минут, повторяют усилие прижатия, охлаждают блок охлаждения и повторяют усилие прижатия. На втором этапе устанавливают активный элемент в трубку, прижимы и уплотнения активного элемента, которые размещают между прижимами трубки и активного элемента с обеих сторон активного элемента, прижимают прижимы активного элемента к прижимам трубки, нагревают блок охлаждения до температуры 85-100°С не более 30 минут, после чего повторяют усилие прижатия прижимов активного элемента к прижимам трубки, выдерживают блок охлаждения при указанной температуре не более 25 минут, повторяют усилие прижатия, охлаждают блок охлаждения и повторяют усилие прижатия. При этом все уплотнения выполнены в виде последовательных слоев фторопласт-индий-фторопласт.The specified technical result is achieved in that the method of sealing the cooling unit of the active element in a solid-state laser includes two stages: installing a tube for the active element and installing the active element in the tube. At the first stage, a tube with clamps and seals is installed in the body of the cooling unit, which is placed between the clamps on both sides of the tube and the body of the cooling unit, these clamps are pressed against the body, the cooling unit is heated to a temperature of 85-120 ° C for no more than 30 minutes, after which repeat the pressing force of the clamps of the tube to the body, withstand the cooling unit at the specified temperature for no more than 25 minutes, repeat the pressing force, cool the cooling unit and repeat the pressing force. At the second stage, the active element is installed in the tube, the clamps and seals of the active element, which are placed between the clamps of the tube and the active element on both sides of the active element, press the clamps of the active element to the clamps of the tube, heat the cooling unit to a temperature of 85-100 ° С not more than 30 minutes, after which the force of pressing the clamps of the active element to the clamps of the tube is repeated, the cooling unit is held at the indicated temperature for no more than 25 minutes, the pressing force is repeated, the cooling block is cooled and the operation is repeated pressure line. Moreover, all seals are made in the form of successive layers of fluoroplast-indium-fluoroplast.

Реализация способа указанным выше образом обеспечила необходимую степень пластической деформации уплотнений. Это дало возможность достичь надежной герметизации блока охлаждения АЭ и, таким образом, решить задачу использования в твердотельных лазерах любых охлаждающих жидкостей.The implementation of the method in the above manner provided the necessary degree of plastic deformation of the seals. This made it possible to achieve reliable sealing of the AE cooling unit and, thus, solve the problem of using any cooling liquids in solid-state lasers.

При анализе уровня техники не обнаружено аналогов, характеризующихся признаками, тождественными всем существенным признакам данного изобретения. А также не выявлено факта известности влияния признаков, включенных в формулу, на технический результат заявляемого технического решения. Следовательно, заявленное изобретение соответствует условиям «новизна» и «изобретательский уровень».When analyzing the prior art, no analogues were found that are characterized by features identical to all the essential features of this invention. And also not revealed the fact of the fame of the influence of the signs included in the formula on the technical result of the claimed technical solution. Therefore, the claimed invention meets the conditions of "novelty" and "inventive step".

Изобретение поясняется следующими чертежами.The invention is illustrated by the following drawings.

На фиг. 1 представлен общий вид.In FIG. 1 is a general view.

На фиг. 2 - вид А.In FIG. 2 - view A.

На фиг. 1, 2 представлен корпус 1 БОАЭ квантового генератора твердотельного лазера, трубка 2, выполненная из материала, оптически прозрачного для излучения накачки (например, стекло, плавленый кварц, лейкосапфир и т.д.), активный элемент 3, прижимы 4 и 5, уплотнения 6, 7, винты 8 и 9. Прижимы 4 применены для герметизации трубки 2, а прижимы 4 и 5 - для герметизации АЭ 3 и центрирования его в корпусе БОАЭ относительно трубки 2. Все уплотнения 6, 7 выполнены в виде последовательных слоев фторопласт-индий-фторопласт (6 - уплотнения трубки, 7 - уплотнения АЭ).In FIG. 1, 2 shows the case 1 of the BOAE of a quantum solid-state laser generator, a tube 2 made of a material that is optically transparent for pump radiation (for example, glass, fused quartz, leucosapphire, etc.), active element 3, clamps 4 and 5, seals 6, 7, screws 8 and 9. Clips 4 are used to seal tube 2, and clamps 4 and 5 are used to seal AE 3 and center it in the BOAE housing relative to tube 2. All seals 6, 7 are made in the form of successive layers of fluoroplast-indium -ftoroplast (6 - tube seals, 7 - AE seals).

Способ включает два этапа: установку трубки 2 для АЭ и установку самого АЭ 3 в трубку.The method includes two steps: installing the tube 2 for the AE and installing the AE 3 in the tube.

На первом этапе в корпус 1 блока охлаждения устанавливают трубку 2, прижимы 4 трубки и уплотнения 6 трубки с обеих сторон трубки, при этом, уплотнения размещаются между прижимами 4 и корпусом блока охлаждения. После этого БОАЭ помещают в технологическое приспособление, при помощи которого к поверхностям Б и В прижимов 4 к корпусу 1 через уплотнения 6 прикладывают одновременное усилие прижатия в направлениях Г и Д. Нагревают блок охлаждения до температуры 85-120°С не более 30 минут, после чего повторяют усилие прижатия прижимов 4 трубки к корпусу и выдерживают при этой температуре не более 25 минут. Повторяют усилия прижатия, охлаждают БОАЭ до комнатной температуры и повторяют усилие прижатия. Выполняют с двух сторон поочередную затяжку винтов 8 до резкого возрастания усилия.At the first stage, tube 2, tube clamps 4 and tube seals 6 on both sides of the tube are installed in the housing 1 of the cooling unit, and seals are placed between the clamps 4 and the body of the cooling unit. After that, the BOAE is placed in a technological device, with which a simultaneous pressing force is applied to surfaces B and C of the clamps 4 to the housing 1 through seals 6 in the directions G and D. The cooling block is heated to a temperature of 85-120 ° C for no more than 30 minutes, after which repeats the pressing force of the clamps 4 tubes to the body and maintain at this temperature for no more than 25 minutes. Repeat the pressing force, cool the BOAE to room temperature and repeat the pressing force. From both sides, the screws 8 are alternately tightened until the force increases sharply.

На втором этапе устанавливают АЭ в трубку 2 симметрично относительно трубки 2. Устанавливают прижимы 5 АЭ и уплотнения 7 АЭ. Уплотнения 7 размещаются между прижимами 4 трубки и прижимами 5 АЭ с обеих сторон АЭ. После этого БОАЭ помещают в технологическое приспособление, при помощи которого к поверхностям Е и Ж прижимов 5 к прижимам 4 через уплотнения 7 прикладывают одновременное усилие прижатия в направлениях Г и Д. Проводят последующий нагрев блока охлаждения до температуры 85-100°С не более 30 минут, после чего повторяют усилие прижатия прижимов 5 активного элемента к прижимам 4 трубки и выдерживают при этой температуре не более 25 минут. Повторяют усилия прижатия, охлаждают БОАЭ до комнатной температуры и повторяют усилие прижатия. Устанавливают винты 9 и выполняют поочередную затяжку до возрастания усилия.At the second stage, the AE is installed in the tube 2 symmetrically with respect to the tube 2. The clips 5 AE and the seals 7 AE are installed. Seals 7 are placed between the clamps 4 of the tube and clamps 5 AE on both sides of the AE. After this, the BOAE is placed in a technological device, with which a simultaneous pressing force is applied to the surfaces E and G of the clamps 5 to the clamps 4 through the seals 7, and the cooling unit is subsequently heated to a temperature of 85-100 ° C for no more than 30 minutes then the force of pressing the clamps 5 of the active element to the clamps 4 of the tube is repeated and held at this temperature for no more than 25 minutes. Repeat the pressing force, cool the BOAE to room temperature and repeat the pressing force. Install the screws 9 and perform alternate tightening until the increase in effort.

Предлагаемый способ герметизации реализован при создании квантрона, который был применен в твердотельном лазере с термостабилизацией диодной накачки и электрооптической модуляцией добротности с активным элементом в виде стержня из алюмо-иттриевого граната с неодимом YAG:Nd3+ (∅5×60 мм). При осуществлении способа герметизации БОАЭ были проведены испытания на герметичность при термоциклировании, при этом квантрон подвергали трехкратному циклическому воздействию температур, подобранных в соответствии с условиями эксплуатации изделия. Время выдержки в установленном режиме составило не менее 2 часов. Скорость понижения/повышения температуры была задана в диапазоне от 1 до 5°С/мин. После этого выдерживали квантрон в нормальных климатических условиях в течение времени, достаточного для установления теплового равновесия по всему объему, и проводили контроль герметичности. При контроле герметичности не допускалось наличие течи через уплотнительные соединения.The proposed sealing method was implemented to create a quantron, which was used in a solid-state laser with thermal stabilization of diode pumping and electro-optical Q-switching with an active element in the form of a rod of aluminum-yttrium garnet with YAG neodymium: Nd 3+ (∅5 × 60 mm). When implementing the sealing method of BOAE, leakproofness tests were carried out during thermal cycling, while the quantron was subjected to three times cyclic exposure to temperatures selected in accordance with the operating conditions of the product. The exposure time in the prescribed mode was at least 2 hours. The rate of decrease / increase in temperature was set in the range from 1 to 5 ° C / min. After that, the quantron was kept in normal climatic conditions for a time sufficient to establish thermal equilibrium throughout the volume, and tightness control was performed. When checking for leaks, there was no leakage through the sealing joints.

Таким образом, представленные данные свидетельствуют о выполнении при использовании способа по заявляемому изобретению следующей совокупности условий:Thus, the data presented indicate that when using the method according to the claimed invention, the following combination of conditions:

- процесс, воплощающий заявленный способ при его осуществлении, предназначен для использования в оптико-механической промышленности при изготовлении оптических усилительных головок, квантовых генераторов и т.п.;- a process embodying the claimed method in its implementation, is intended for use in the optical-mechanical industry in the manufacture of optical amplification heads, quantum generators, etc .;

- для заявляемого способа в том виде, в котором он охарактеризован в формуле изобретения, подтверждена возможность его осуществления.- for the proposed method in the form in which it is characterized in the claims, the possibility of its implementation is confirmed.

Следовательно, заявляемый способ соответствует условию «промышленная применимость».Therefore, the claimed method meets the condition of "industrial applicability".

Claims (1)

Способ герметизации блока охлаждения активного элемента в твердотельном лазере включает два этапа: установку трубки для активного элемента и установку активного элемента в трубку, на первом этапе в корпус блока охлаждения устанавливают трубку с прижимами и уплотнениями, которые размещают между прижимами с обеих сторон трубки и корпусом блока охлаждения, прижимают указанные прижимы к корпусу, нагревают блок охлаждения до температуры 85-120°C не более 30 минут, после чего повторяют усилие прижатия прижимов трубки к корпусу, выдерживают блок охлаждения при указанной температуре не более 25 минут, повторяют усилие прижатия, охлаждают блок охлаждения и повторяют усилие прижатия, на втором этапе устанавливают активный элемент в трубку, прижимы и уплотнения активного элемента, которые размещают между прижимами трубки и активного элемента с обеих сторон активного элемента, прижимают прижимы активного элемента к прижимам трубки, нагревают блок охлаждения до температуры 85-100°C не более 30 минут, после чего повторяют усилие прижатия прижимов активного элемента к прижимам трубки, выдерживают блок охлаждения при указанной температуре не более 25 минут, повторяют усилие прижатия, охлаждают блок охлаждения и повторяют усилие прижатия, при этом все уплотнения выполнены в виде последовательных слоев фторопласт-индий-фторопласт.The method of sealing the cooling unit of the active element in a solid-state laser includes two stages: installing a tube for the active element and installing the active element in the tube, at the first stage, a tube with clamps and seals is installed in the body of the cooling unit, which is placed between the clamps on both sides of the tube and the block body cooling, press the specified clamps to the body, heat the cooling block to a temperature of 85-120 ° C for no more than 30 minutes, then repeat the force of pressing the clamps of the tube to the body, hold the block cooling at the indicated temperature for no more than 25 minutes, repeat the pressing force, cool the cooling unit and repeat the pressing force, at the second stage install the active element in the tube, clamps and seals of the active element, which are placed between the clamps of the tube and the active element on both sides of the active element, press the clamps of the active element to the clamps of the tube, heat the cooling unit to a temperature of 85-100 ° C for no more than 30 minutes, after which the force of pressing the clamps of the active element to the clamps of the tube is repeated, neigh the cooling block at the indicated temperature for no more than 25 minutes, repeat the pressing force, cool the cooling block and repeat the pressing force, while all seals are made in the form of successive layers of fluoroplast-indium-fluoroplast.
RU2017102810A 2017-01-27 2017-01-27 Method for sealing a cooling unit of an active element in a solid laser RU2655045C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017102810A RU2655045C1 (en) 2017-01-27 2017-01-27 Method for sealing a cooling unit of an active element in a solid laser

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017102810A RU2655045C1 (en) 2017-01-27 2017-01-27 Method for sealing a cooling unit of an active element in a solid laser

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2655045C1 true RU2655045C1 (en) 2018-05-23

Family

ID=62202650

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017102810A RU2655045C1 (en) 2017-01-27 2017-01-27 Method for sealing a cooling unit of an active element in a solid laser

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2655045C1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020108743A1 (en) * 2000-12-11 2002-08-15 Wirtz Richard A. Porous media heat sink apparatus
RU2222851C1 (en) * 2003-05-07 2004-01-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "121 Авиационный ремонтный завод" Министерство обороны Российской Федерации Method for sealing pump flashtube when installing it in solid-state laser
US20110180238A1 (en) * 2008-10-28 2011-07-28 Jan Vetrovec Thermal interface device
RU2575673C1 (en) * 2014-09-15 2016-02-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") Optical amplifier head with diode pumping counter-reflector

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020108743A1 (en) * 2000-12-11 2002-08-15 Wirtz Richard A. Porous media heat sink apparatus
RU2222851C1 (en) * 2003-05-07 2004-01-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "121 Авиационный ремонтный завод" Министерство обороны Российской Федерации Method for sealing pump flashtube when installing it in solid-state laser
US20110180238A1 (en) * 2008-10-28 2011-07-28 Jan Vetrovec Thermal interface device
RU2575673C1 (en) * 2014-09-15 2016-02-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") Optical amplifier head with diode pumping counter-reflector

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AR071097A1 (en) INSULATION PACKING, DISPOSAL AND MANUFACTURING METHOD
RU2655045C1 (en) Method for sealing a cooling unit of an active element in a solid laser
TWI628689B (en) System and method for protection of vacuum seals in plasma processing systems
CN105276312A (en) Flange fixing structure
JP2007278341A (en) Pipe connector and substrate processing apparatus
KR20210084289A (en) Method for sealing and welding a multi-cavity vapor chamber
JP6343454B2 (en) Seal structure and sealing method
JP5423997B2 (en) Joining apparatus and joining method
WO2018186665A1 (en) Method for filling flat heat spreader with heating medium and sealing flat heat spreader
KR890002684A (en) Combined device of photovoltaic device and image tube housing and its method
WO2008124889A1 (en) Cooling system leak stopper
RU2607269C1 (en) Device for compensation of thermal expansion of cooling liquid of solid-state laser active member (versions)
KR20120017545A (en) Power module device of inverter
RU2222851C1 (en) Method for sealing pump flashtube when installing it in solid-state laser
BR112017020816A2 (en) wind turbine, liquid circuit, and method for operating a wind turbine.
KR102095864B1 (en) Piping apparatus using hybrid seal and facility for treating harmful gas having the same
RU2633666C2 (en) Method of manufacture of space apparatus thermoregulating system
Berezin Theoretical study of the effect of the surface roughness of the counterbody on the operability of fixed sealing joints
JP2011214747A (en) Method of stabilizing ice making and ice-making machine
SU1557399A1 (en) Seal
CN107975598A (en) A kind of gluing method of mechanical seal metal base and SiC sealing rings
RU2017143262A (en) The method of repairing the pipeline with a local through defect without interrupting the gas supply
RU2768364C1 (en) Vacuum post for the manufacture of an electrovacuum device
JP5385194B2 (en) Ice making stability method and ice making apparatus
JPS63188980A (en) Slab-shaped solid-state laser device