RU2649061C1 - Широкополосный ультразвуковой преобразователь - Google Patents

Широкополосный ультразвуковой преобразователь Download PDF

Info

Publication number
RU2649061C1
RU2649061C1 RU2016150597A RU2016150597A RU2649061C1 RU 2649061 C1 RU2649061 C1 RU 2649061C1 RU 2016150597 A RU2016150597 A RU 2016150597A RU 2016150597 A RU2016150597 A RU 2016150597A RU 2649061 C1 RU2649061 C1 RU 2649061C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
working surface
comb
side surfaces
piezoelectric element
broadband ultrasonic
Prior art date
Application number
RU2016150597A
Other languages
English (en)
Inventor
Игорь Вячеславович Соколов
Владимир Климентьевич Качанов
Михаил Алексеевич Караваев
Сергей Владимирович Лебедев
Максим Борисович Федоров
Original Assignee
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ" (ФГБОУ ВО "НИУ "МЭИ")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ" (ФГБОУ ВО "НИУ "МЭИ") filed Critical федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ" (ФГБОУ ВО "НИУ "МЭИ")
Priority to RU2016150597A priority Critical patent/RU2649061C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2649061C1 publication Critical patent/RU2649061C1/ru

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

Изобретение относится к акустике, в частности к широкополосным ультразвуковым преобразователям. Широкополосный ультразвуковой преобразователь содержит пьезоэлемент с плоской рабочей поверхностью, плоскопараллельные боковые поверхности и электроды, ориентированные перпендикулярно рабочей поверхности, нанесенные на боковые поверхности. Пьезоэлемент поляризован перпендикулярно поверхностям электродов и выполнен в виде гребенки с основанием в форме продолговатой прямоугольной пластины с расположенным на нем рядом разновысоких и разношироких зубцов в форме прямоугольных продолговатых пластин, ориентированных перпендикулярно основанию гребенки. В пьезоэлементе выполнены отверстия перпендикулярно рабочей поверхности на максимально возможную глубину. Технические результаты - расширение полосы частот преобразователя, уменьшение уровня излучаемых паразитных сигналов и повышение эффективности электроакустического преобразования. 3 ил.

Description

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано при построении аппаратуры для дефектоскопии, структуроскопии и толщинометрии, работающих в широком диапазоне частот, в частности, при исследовании крупноструктурных и неоднородных материалов, таких как бетоны, пластики и горные породы.
Известен широкополосный преобразователь (Ультразвуковые преобразователи для неразрушающего контроля. / Под ред. И.Н. Ермолова. М.: Машиностроение, 1986, с. 86-87), содержащий пьезоэлемент переменной толщины, одну плоскую рабочую (излучающую) поверхность и одну - сферически вогнутую или выпуклую, электроды, нанесенные на рабочие поверхности, вектор поляризации пьезоэлемента перпендикулярен плоской рабочей поверхности.
Недостатки данного преобразователя заключаются в неравномерности амплитудно-частотной характеристики вследствие неравномерности электрического поля по плотности и направленности в сечении пьезоэлемента, что снижает достоверность контроля.
Наиболее близким к предложенному технической сущности является широкополосный ультразвуковой преобразователь (АС СССР №1786685, 11.05.87, МПК: B06B 01/02, H04R 17/10, опубл. 07.01.93), содержащий пьезоэлемент с плоской рабочей и вогнутой тыльной поверхностями, поляризованный перпендикулярно поверхностям электродов, боковые поверхности пьезоэлемента выполнены плоскопараллельными и ориентированы перпендикулярно рабочей поверхности, электроды нанесены на боковые поверхности.
Однако его функциональные возможности и сфера использования ограничены рядом недостатков. Нижняя рабочая поверхность и верхняя поверхность не параллельны (за исключением приосевой области) и поэтому при возбуждении преобразователя кроме нормальных по отношению к рабочей поверхности акустических колебаний присутствует и тангенциальная компонента колебаний, которая вызывает появление паразитной подповерхностной головной волны в контролируемом объекте. Также вследствие непараллельности рабочих поверхностей для такого преобразователя, помимо нормальных по отношению к рабочей поверхности основных мод колебаний, в диапазоне частот ƒн…ƒв присутствует большое число паразитных мод колебаний, определяемых диагональными стоячими волнами в пластине, и которые являются причиной существенной неравномерности амплитудно-частотной характеристики. Чем шире рабочая полоса частот преобразователя и больше перепад высот hмакс-hмин, т.е. больше непараллельность верхней и рабочей поверхностей, тем сильнее проявляются указанные выше недостатки. Низкая эффективность электроакустического преобразования, так как каждая резонансно возбуждаемая на определенной частоте область пьезопластины оказывается механически демпфированной соседними, не резонансными по отношению к этой частоте областями пьезопреобразователя.
Технической задачей изобретения является расширение области применения и повышение эксплуатационных характеристик широкополосного ультразвукового преобразователя.
Технический результат изобретения заключается в расширении рабочей полосы частот преобразователя, уменьшении уровня излучаемых паразитных сигналов и повышении эффективности электроакустического преобразования.
Это достигается тем, что в известном широкополосном ультразвуковом преобразователе, содержащем пьезоэлемент с плоской рабочей поверхностью, плоскопараллельные боковые поверхности и электроды, ориентированные перпендикулярно рабочей поверхности, нанесены на боковые поверхности, при этом пьезоэлемент поляризован перпендикулярно поверхностям электродов, пьезоэлемент выполнен в виде гребенки с основанием в форме продолговатой прямоугольной пластины с расположенным на нем рядом разновысоких и разношироких зубцов в форме прямоугольных продолговатых пластин, ориентированных перпендикулярно основанию гребенки, при этом в пьезоэлементе выполнены отверстия перпендикулярно рабочей поверхности на максимально возможную глубину.
Сущность изобретения поясняется чертежами, где на фиг. 1 показан эскиз конструкции широкополосного ультразвукового преобразователя, на фиг. 2 приведена резонансная характеристика пьезопластины размером 14×11 мм, на фиг. 3 показана экспериментальная амплитудно-частотная характеристика изготовленного и исследованного пьезопреобразователя.
Широкополосный ультразвуковой преобразователь содержит электроды, нанесенные на боковые поверхности 1, прямоугольную продолговатую балку основания 2 размером K×D×S, в которой выполнены N-1 отверстий, перпендикулярно рабочей поверхности 3. Таким образом, преобразователь имеет N разношироких и разновысоких зубцов, имеющих форму прямоугольных продолговатых пластин, ориентированных перпендикулярно основанию 2 гребенки. Каждый из зубцов имеет размер hN×kN×S, где частотоопределяющими являются размеры h и k. При высоте основания 2 D<10% hмин акустическая связь между резонирующими пьезопластинами - зубцами минимальна и они не оказывают взаимного влияния, и потому амплитудно-частотная характеристика каждого определяется резонансными размерами h и k. Для определения значений N и размеров h и k задаются значениями ƒв и ƒн, а также значениями Сзв и Q - экспериментально определенной механической добротностью демпфированного пьезорезонатора.
Для преобразователя, состоящего из шести зубцов при заданных значениях ƒв=200 кГц, ƒн=100 кГц, Сзв=2950 м/с и Q=13 резонансные размеры зубцов равны:
Figure 00000001
Расстояние между зубцами (пластинами) ΔR, определяемое шириной фрезы, которой выполняются пропилы в пьезопластине, некритично и может составлять величину от нескольких десятков мкм и более.
Из резонансной характеристики пьезопластины размером 14×11 мм видно, что эффективность поперечного резонанса приблизительно в два раза меньше и потому в конструкции гребенки число пластин с одинаковым поперечным размером k должно быть удвоено. Таким образом, соответствующий подбор значений поперечных размером позволяет на 50% дополнительно увеличить широкополосность пьезопреобразователя.
Из экспериментально полученной амплитудно-частотной характеристики (АЧХ) изготовленного и исследованного пьезопреобразователя видно, что при допустимой равномерности амплитудно-частотной характеристики рабочий диапазон частот составил Δƒ=98 кГц при ƒв=200 кГц и ƒн=104 кГц, что достаточно хорошо согласуется с расчетными величинами.
Использование изобретения, обладающего при широкополосной АЧХ высокой эффективностью электроакустического преобразования, уменьшенным уровнем излучаемых паразитных сигналов, позволяет ему широкое применение в качестве конструктивной основы фазированных антенных решеток ультразвуковых томографов, предназначенных для толщинометрии и дефектоскопии различных изделий и конструкций из бетона в строительной индустрии.

Claims (1)

  1. Широкополосный ультразвуковой преобразователь, содержащий пьезоэлемент с плоской рабочей поверхностью, плоскопараллельные боковые поверхности и электроды, ориентированные перпендикулярно рабочей поверхности, нанесенные на боковые поверхности, при этом пьезоэлемент поляризован перпендикулярно поверхностям электродов, отличающийся тем, что пьезоэлемент выполнен в виде гребенки с основанием в форме продолговатой прямоугольной пластины с расположенным на нем рядом разновысоких и разношироких зубцов в форме прямоугольных продолговатых пластин, ориентированных перпендикулярно основанию гребенки, при этом в пьезоэлементе выполнены отверстия перпендикулярно рабочей поверхности на максимально возможную глубину.
RU2016150597A 2016-12-22 2016-12-22 Широкополосный ультразвуковой преобразователь RU2649061C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016150597A RU2649061C1 (ru) 2016-12-22 2016-12-22 Широкополосный ультразвуковой преобразователь

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016150597A RU2649061C1 (ru) 2016-12-22 2016-12-22 Широкополосный ультразвуковой преобразователь

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2649061C1 true RU2649061C1 (ru) 2018-03-29

Family

ID=61867310

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016150597A RU2649061C1 (ru) 2016-12-22 2016-12-22 Широкополосный ультразвуковой преобразователь

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2649061C1 (ru)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5099459A (en) * 1990-04-05 1992-03-24 General Electric Company Phased array ultrosonic transducer including different sized phezoelectric segments
RU1786685C (ru) * 1987-05-11 1993-01-07 Московский энергетический институт Широкополосный ультразвуковой преобразователь
US5792058A (en) * 1993-09-07 1998-08-11 Acuson Corporation Broadband phased array transducer with wide bandwidth, high sensitivity and reduced cross-talk and method for manufacture thereof
US5938612A (en) * 1997-05-05 1999-08-17 Creare Inc. Multilayer ultrasonic transducer array including very thin layer of transducer elements
WO2003024625A1 (en) * 2001-09-17 2003-03-27 Ge Parallel Design, Inc. Frequency and amplitude apodization of transducers
US6656124B2 (en) * 2001-10-15 2003-12-02 Vermon Stack based multidimensional ultrasonic transducer array
WO2014084824A1 (en) * 2012-11-29 2014-06-05 Sound Technology Inc. Ultrasound transducer
US8853918B2 (en) * 2011-09-22 2014-10-07 General Electric Company Transducer structure for a transducer probe and methods of fabricating same

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU1786685C (ru) * 1987-05-11 1993-01-07 Московский энергетический институт Широкополосный ультразвуковой преобразователь
US5099459A (en) * 1990-04-05 1992-03-24 General Electric Company Phased array ultrosonic transducer including different sized phezoelectric segments
US5792058A (en) * 1993-09-07 1998-08-11 Acuson Corporation Broadband phased array transducer with wide bandwidth, high sensitivity and reduced cross-talk and method for manufacture thereof
US5938612A (en) * 1997-05-05 1999-08-17 Creare Inc. Multilayer ultrasonic transducer array including very thin layer of transducer elements
WO2003024625A1 (en) * 2001-09-17 2003-03-27 Ge Parallel Design, Inc. Frequency and amplitude apodization of transducers
US6656124B2 (en) * 2001-10-15 2003-12-02 Vermon Stack based multidimensional ultrasonic transducer array
US8853918B2 (en) * 2011-09-22 2014-10-07 General Electric Company Transducer structure for a transducer probe and methods of fabricating same
WO2014084824A1 (en) * 2012-11-29 2014-06-05 Sound Technology Inc. Ultrasound transducer

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Синицын А.А. Разработка и создание ультразвуковых низкочастотных широкополосных мозаичных раздельно-совмещённых пьезопреобразователей с ограниченной апертурой // диссертация на соискание учёной степени кандидата технических наук. М.: МЭИ, 2013 (с. 50-55, 70). *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA1271555A (en) Biplane phased array transducer for ultrasonic medical imaging
KR100983744B1 (ko) 파라메트릭 어레이 응용을 위한 음파 발생기
Miao et al. A variable-frequency bidirectional shear horizontal (SH) wave transducer based on dual face-shear (d24) piezoelectric wafers
CN101712027B (zh) 由平面圆片元件组成的中心对称相控聚焦阵换能器
US7382082B2 (en) Piezoelectric transducer with gas matrix
KR20090075872A (ko) 초음파 트랜스듀서
KR101181188B1 (ko) 음향 재생 장치
KR20160120286A (ko) 초광대역 음향 및 초음파 트랜스듀서
Fang et al. Broadband 1–3 piezoelectric composite transducer design using Sierpinski gasket fractal geometry
RU2649061C1 (ru) Широкополосный ультразвуковой преобразователь
Toda Phase-matched air ultrasonic transducers using corrugated PVDF film with half wavelength depth
US10134973B2 (en) Ultrasonic transducer and manufacture method thereof
US20130257552A1 (en) Oscillator device and electronic instrument
Chillara et al. Collimated acoustic beams from radial modes of piezoelectric disc transducers
Sborikas et al. Piezoelectric cellular PP films with enhanced performance for low frequency ultrasound
Qiu et al. Design of a low profile array transducer in d15 mode for high angled shear wave generation
Kang et al. Design of flexural ultrasonic phased array for fluid-coupled applications
Bezanson et al. A comparison study between high-frequency kerfless and fully-kerfed ultrasonic phased arrays
Kazys et al. Development of air-coupled low frequency ultrasonic transducers and arrays with PMN-32% PT piezoelectric crystals
Kim et al. Arrayed ultrasonic transducers on arc surface for plane wave synthesis
US11039255B2 (en) Wide-passband capacitive vibrating-membrane ultrasonic transducer
RU211686U1 (ru) Пьезоэлектрический преобразователь для многоэлементной гидроакустической антенны
RU2461852C1 (ru) Способ изменения центральной частоты диапазона акустооптического анизотропного дефлектора
RU114382U1 (ru) Акустооптический элемент брэгга
Bybi et al. Numerical study of the cross-talk effects in acoustical transducer arrays and correction