RU2642847C2 - Method of increasing life of self-glowing hollow cathode in high-density discharge in axially-symmetric magnetic field - Google Patents
Method of increasing life of self-glowing hollow cathode in high-density discharge in axially-symmetric magnetic field Download PDFInfo
- Publication number
- RU2642847C2 RU2642847C2 RU2016120817A RU2016120817A RU2642847C2 RU 2642847 C2 RU2642847 C2 RU 2642847C2 RU 2016120817 A RU2016120817 A RU 2016120817A RU 2016120817 A RU2016120817 A RU 2016120817A RU 2642847 C2 RU2642847 C2 RU 2642847C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cathode
- magnetic field
- discharge
- self
- hollow cathode
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
Landscapes
- Microwave Tubes (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к технике генерации плотной плазмы в больших объемах с помощью газоразрядных систем с твердотельным катодом и может быть использовано в устройствах физического и химического нанесения покрытий с ионным сопровождением, в частности в магнетронных распылительных системах.The invention relates to techniques for generating dense plasma in large volumes using gas-discharge systems with a solid-state cathode and can be used in devices for physical and chemical coating with ionic support, in particular in magnetron sputtering systems.
Известно применение разряда с самонакаливаемым полым катодом (далее по тексту - катод) в источниках заряженных частиц и генераторах плазмы [1]. Катод был изготовлен из ниобиевой или танталовой трубки диаметром 3,2 мм и работал при токах до 8,5 А. Особенностью функционирования такого катода является неравномерное распределение температуры и плотности тока эмиссии по внутренней поверхности катодной полости [2]. Катодные процессы локализуются в области «активной зоны» с размерами, которые обычно составляют несколько диаметров катодной полости. С увеличением тока разряда и потока газа через сужение активная зона смещается в направлении выходной апертуры катода. Интенсивная ионная бомбардировка катода приводит к преимущественной эрозии катода в области активной зоны, поэтому ресурс катода определяется временем распыления катода на всю толщину стенки.It is known to use a discharge with a self-heated hollow cathode (hereinafter referred to as the cathode) in charged particle sources and plasma generators [1]. The cathode was made of a niobium or tantalum tube with a diameter of 3.2 mm and operated at currents up to 8.5 A. A feature of the operation of such a cathode is the uneven distribution of temperature and emission current density over the inner surface of the cathode cavity [2]. The cathodic processes are localized in the “core” region with dimensions that usually comprise several diameters of the cathode cavity. As the discharge current and gas flow through the constriction increase, the core shifts toward the cathode output aperture. Intensive ion bombardment of the cathode leads to predominant erosion of the cathode in the core region; therefore, the cathode resource is determined by the cathode sputtering time over the entire wall thickness.
Поскольку рост тока разряда и, соответственно, плотности тока на катоде увеличивает скорость распыления катода, для увеличения его ресурса используют катоды большого диаметра с увеличенной толщиной стенки [3]. Катод из гексаборида лантана с внутренним диаметром 15 мм и толщиной стенки 2 мм работал при токах разряда до 30 А. Ресурс такого катода увеличивается пропорционально толщине стенки и диаметру катода.Since an increase in the discharge current and, accordingly, the current density at the cathode increases the cathode sputtering rate, large diameter cathodes with increased wall thickness are used to increase its life [3]. A cathode made of lanthanum hexaboride with an internal diameter of 15 mm and a wall thickness of 2 mm operated at discharge currents of up to 30 A. The resource of such a cathode increases in proportion to the wall thickness and cathode diameter.
Одним из основных требований к генератору плазмы при его использовании в устройствах для нанесения покрытий наряду с высокой плотностью генерируемой в разряде плазмы является низкое давление рабочего газа, что обеспечивает большую длину пробега распыленных или испаренных частиц, формирующих покрытие. Снижение давления газа в разряде с самонакаливаемым катодом до 0,015 Па достигается применением осесимметричных магнитных полей [4].One of the main requirements for a plasma generator when used in coating devices, along with the high density of the plasma generated in the discharge, is the low pressure of the working gas, which provides a large path length of sprayed or vaporized particles forming the coating. A decrease in gas pressure in a discharge with a self-heated cathode to 0.015 Pa is achieved by using axisymmetric magnetic fields [4].
Наиболее близкий к заявляемому метод генерации плазмы реализован в устройстве, в котором полый катод помещен в магнитное поле, создаваемое магнитной катушкой или комбинацией магнитной катушки и кольцевых постоянных магнитов [4]. В разряде с полым катодом внутренним диаметром 4 мм и максимальной индукцией магнитного поля на оси до 100 мТл был достигнут ток до 300 А. Поскольку положение активной зоны разряда определяется ионизационными процессами в катодной полости, наложение магнитного поля должно влиять на положение активной зоны, а степень неоднородности магнитного поля - на размер активной зоны. В статье не приводится результатов исследования влияния топографии магнитного поля на размеры активной зоны, однако из проведенных авторами заявки исследований следует, что с ростом неоднородности магнитного поля продольный размер активной зоны сокращается, что уменьшает ресурс катода. Очевидно, по этой причине в способе-прототипе используется комбинация магнитной катушки и постоянного магнита, которая создает поле с меньшей неоднородностью, чем поле постоянного магнита. Поскольку наложение магнитного поля не меняет механизм эрозии катода, его ресурс также будет определяться толщиной стенки и диаметром катода и будет сокращаться примерно обратно пропорционально току разряда. Если исходить из сделанной в [5] оценки ресурса трубчатого ниобиевого катода диаметром 8 мм с толщиной стенки 1 мм при токе разряда 10 А и скорости эрозии катода 1⋅10-7 г/Кл, который составил 360 ч, то ресурс катода в устройстве-прототипе с внутренним диаметром 4 мм и толщиной стенки 4 мм при токе разряда 300 А с учетом сокращения ширины активной зоны с ростом тока разряда в магнитном поле составит менее 20 ч.Closest to the claimed method of plasma generation is implemented in a device in which a hollow cathode is placed in a magnetic field created by a magnetic coil or a combination of a magnetic coil and ring permanent magnets [4]. In a discharge with a hollow cathode with an inner diameter of 4 mm and a maximum magnetic field induction on the axis of up to 100 mT, a current of up to 300 A was reached. Since the position of the active zone of the discharge is determined by ionization processes in the cathode cavity, the application of a magnetic field should affect the position of the active zone, and the degree inhomogeneities of the magnetic field - by the size of the active zone. The article does not present the results of a study of the influence of magnetic field topography on the dimensions of the active zone, however, it follows from the studies carried out by the authors of the application that with increasing magnetic field inhomogeneity, the longitudinal size of the active zone decreases, which reduces the cathode resource. Obviously, for this reason, the prototype method uses a combination of a magnetic coil and a permanent magnet, which creates a field with less heterogeneity than the field of a permanent magnet. Since the application of a magnetic field does not change the cathode erosion mechanism, its resource will also be determined by the wall thickness and cathode diameter and will decrease approximately inversely with the discharge current. Based on the estimate made in [5] of the resource of a tubular niobium cathode with a diameter of 8 mm and a wall thickness of 1 mm at a discharge current of 10 A and a cathode erosion rate of 1⋅10 -7 g / C, which amounted to 360 h, the cathode resource in the device a prototype with an inner diameter of 4 mm and a wall thickness of 4 mm with a discharge current of 300 A, taking into account the reduction in the width of the active zone with an increase in the discharge current in a magnetic field, will be less than 20 hours
Задачей предлагаемого изобретения является увеличение ресурса самонакаливаемого полого катода в сильноточном разряде в аксиально-симметричном магнитном поле.The task of the invention is to increase the life of a self-heated hollow cathode in a high-current discharge in an axially symmetric magnetic field.
Сущность изобретения заключается в том, что при использовании неоднородного осесимметричного магнитного поля активная зона разряда локализуется в области максимума магнитного поля, в которой обеспечивается максимальная частота ионизации газа быстрыми электронами, эмитированными катодом и ускоренными в катодном слое пространственного заряда. Увеличение степени неоднородности магнитного поля, которое достигается использованием постоянных магнитов с осевой намагниченностью, создающих магнитное поле с инверсией направления поля вдоль оси, приводит к сокращению продольного размера активной зоны. При произвольном расположении активной зоны внутри катода это ускоряет эрозию катода на всю толщину стенки и резко сокращает ресурс катода. Однако при таком взаимном расположении катода и постоянных магнитов, когда кромка катода находится в области максимума магнитного поля, активная зона локализуется на кромке катода. Если по мере износа кромки катода перемещать магниты и катод относительно друг друга, то эрозия катода будет происходить не только в радиальном направлении и ограничиваться толщиной стенки, а будет определяться допустимым перемещением катода и магнитов в осевом направлении, которое может составлять значительную часть полной длины катода. Это обеспечит многократный рост ресурса катода.The essence of the invention lies in the fact that when using a non-uniform axisymmetric magnetic field, the active zone of the discharge is localized in the region of the maximum magnetic field, which ensures the maximum frequency of gas ionization by fast electrons emitted by the cathode and accelerated in the cathode layer of space charge. An increase in the degree of heterogeneity of the magnetic field, which is achieved by using permanent magnets with axial magnetization, creating a magnetic field with an inversion of the field along the axis, reduces the longitudinal size of the active zone. With an arbitrary arrangement of the core inside the cathode, this accelerates the erosion of the cathode over the entire wall thickness and sharply reduces the cathode resource. However, with such a mutual arrangement of the cathode and permanent magnets, when the cathode edge is in the region of the maximum magnetic field, the active zone is localized at the cathode edge. If, as the cathode edge is worn, the magnets and cathode are moved relative to each other, then cathode erosion will occur not only in the radial direction and will be limited by the wall thickness, but will be determined by the permissible axial movement of the cathode and magnets, which can be a significant part of the total length of the cathode. This will ensure a multiple increase in the cathode resource.
На фигуре 1 схематично показан катод (1.1) с установленным с наружной стороны катода за тепловым экраном (1.2) постоянным магнитом (1.3) и распределение продольной составляющей магнитного поля вдоль оси катода, которое характеризуется наличием двух точек инверсии поля и максимумом осевой составляющей индукции поля в точке пересечения оси катода с плоскостью симметрии магнита.Figure 1 schematically shows the cathode (1.1) with a permanent magnet (1.3) mounted on the outside of the cathode behind the heat shield (1.2) and the distribution of the longitudinal component of the magnetic field along the cathode axis, which is characterized by the presence of two field inversion points and the maximum axial component of field induction in the point of intersection of the cathode axis with the plane of symmetry of the magnet.
Предложенный способ был реализован в электродной системе (фигура 2) с катодом из нитрида титана в форме трубки длиной 50 мм с внутренним диаметром 12 мм и толщиной стенки 2,5 мм. Катод (2.1) был установлен внутри водоохлаждаемого корпуса (2.2). На внешней поверхности корпуса располагались два постоянных магнита (2.3) из самарий-кобальтового сплава с размерами 50×36×8 мм. Напротив одного торца катода установлена система поджига разряда и подачи газа, с противоположной стороны катода, напротив его выходной апертуры, устанавливали экранный электрод (2.4) под плавающим потенциалом и цилиндрический анод (2.5). Через катодную полость прокачивали поток газа 40-100 см3/мин (азот, аргон или их смесь). После подачи импульса поджига (5 кВ, 50 мкс) зажигается слаботочный высоковольтный тлеющий разряд с полым катодом, который по мере разогрева термоизолированного катода переходит в сильноточный (до 80 А) низковольтный (30-40 В) режим горения, обеспечиваемый термоэлектронной эмиссией катода. Испытания подтвердили, что активная зона располагается в области максимума поля и может быть перемещена на расстояния порядка 20 мм при изменении положения магнитов. При размещении центра магнитной системы в плоскости кромки катода разряд на катоде локализуется в кольцевой области шириной 5 мм вблизи кромки катода. Испытания показали, что вывод активной зоны из катодной полости на кромку катода не нарушает стабильного устойчивого горения разряда. Укорочение катода на 50 мм не повлияло на стабильность горения разряда. Прямоугольная форма кромки катода после длительных испытаний катода трансформируется в остроугольную, что показано на фиг. 3, и такая форма рабочей кромки сохраняется при длительной работе катода, обеспечиваемой перемещением постоянных магнитов.The proposed method was implemented in an electrode system (figure 2) with a titanium nitride cathode in the form of a tube 50 mm long with an inner diameter of 12 mm and a wall thickness of 2.5 mm. The cathode (2.1) was installed inside the water-cooled housing (2.2). Two permanent magnets (2.3) of a samarium-cobalt alloy with dimensions of 50 × 36 × 8 mm were located on the outer surface of the casing. A system of ignition of the discharge and gas supply was installed opposite one end of the cathode; on the opposite side of the cathode, opposite its output aperture, a screen electrode (2.4) was installed under the floating potential and a cylindrical anode (2.5). A gas flow of 40-100 cm 3 / min (nitrogen, argon or a mixture thereof) was pumped through the cathode cavity. After the ignition pulse is supplied (5 kV, 50 μs), a low-current high-voltage glow discharge with a hollow cathode is ignited, which, as the thermally insulated cathode is heated, switches to the high-current (up to 80 A) low-voltage (30-40 V) combustion mode, which is provided by the thermionic emission of the cathode. Tests have confirmed that the active zone is located in the region of the maximum field and can be moved to distances of the order of 20 mm with a change in the position of the magnets. When the center of the magnetic system is placed in the plane of the cathode edge, the discharge on the cathode is localized in an
Гравиметрические испытания показали, что магнитное поле практически не влияет на скорость уноса массы катода из нитрида титана, которая составляла 2,3⋅10-7 г/Кл при расположении активной зоны внутри катодной полости, однако ресурс катода в магнитном поле (20 ч) был на порядок ниже, чем в разряде без магнитного поля из-за уменьшения ширины активной зоны и роста скорости распыления в максимуме плотности тока. Измеренная скорость уноса массы для катода из нитрида титана с локализованной на кромке катода активной зоной составила 1,6⋅10-6 г/Кл, что может быть обусловлено выносом материала катода с торцевой поверхности в разрядный промежуток, в отличие от обычного разряда, в котором распыленные атомы преимущественно осаждаются на противоположной стенке катодной полости. Измеренная линейная скорость эрозии катода в экспериментах с размещением активной зоны на торце катода составила 0,5 мм/ч при токе разряда 50 А. При рабочей длине катода, в пределах которой было возможно относительное перемещение катода и магнитов, равной 50 мм, соответствующий расчетный ресурс катода составил 100 ч.Gravimetric tests showed that the magnetic field practically does not affect the ablation rate of the cathode of titanium nitride, which was 2.3 × 10 -7 g / C when the core was located inside the cathode cavity, but the cathode resource in the magnetic field (20 h) was an order of magnitude lower than in a discharge without a magnetic field due to a decrease in the core width and an increase in the sputtering rate at the maximum current density. The measured rate of mass ablation for a cathode made of titanium nitride with a core located on the cathode edge was 1.6⋅10 -6 g / C, which may be due to the transfer of cathode material from the end surface to the discharge gap, in contrast to a conventional discharge in which atomized atoms are predominantly deposited on the opposite wall of the cathode cavity. The measured linear cathode erosion rate in experiments with the core at the end of the cathode was 0.5 mm / h at a discharge current of 50 A. At a working length of the cathode within which a relative movement of the cathode and magnets of 50 mm was possible, the corresponding calculated life the cathode was 100 hours
В результате, несмотря на повышение скорости эрозии торцевого катода в неоднородном магнитном поле, за счет большой длины относительного перемещения катода и магнитов и реализации условий износа катода не только в радиальном, но и в продольном направлении ресурс самонакаливаемого полого катода в сильноточном разряде в аксиально-симметричном магнитном поле может быть повышен в несколько раз.As a result, despite the increase in the erosion rate of the end cathode in an inhomogeneous magnetic field, due to the large length of the relative displacement of the cathode and magnets and the implementation of the cathode wear conditions not only in the radial, but also in the longitudinal direction, the self-heated hollow cathode resource in a high-current discharge in axially symmetric magnetic field can be increased several times.
Таким образом, изобретение существенно расширяет возможности способа генерации плазмы в разряде с полым самонакаливаемым катодом, позволяя многократно увеличить время работы генератора плазмы без замены дорогостояшего катода или повысить ток разряда и плотность плазмы без существенного сокращения ресурса катода. Это позволит повысить производительность устройств нанесения покрытий с ионным сопровождением и улучшить качество покрытий.Thus, the invention significantly expands the possibilities of a method for generating plasma in a discharge with a hollow self-incandescent cathode, making it possible to significantly increase the operating time of a plasma generator without replacing an expensive cathode or to increase the discharge current and plasma density without significantly reducing the cathode resource. This will improve the performance of ion-coating coating devices and improve the quality of coatings.
Сущность изобретения демонстрируется фигурами.The invention is illustrated by the figures.
Фигура 1. Распределение продольной составляющей магнитного поля вдоль оси разрядной системы, где 1.1 - катод, 1.2 - тепловой экран, 1.3 - магниты, 1.4 - цилиндрический анод.Figure 1. The distribution of the longitudinal component of the magnetic field along the axis of the discharge system, where 1.1 is the cathode, 1.2 is the heat shield, 1.3 is the magnets, 1.4 is the cylindrical anode.
Фигура 2. Электродная схема разрядной системы, где 2.1 - катод, 2.2 - водоохлаждаемый корпус, 2.3 - кольцевые магниты, 2.4 - экранный электрод, 2.5 - цилиндрический анод, 2.6 - поджигающий электрод, 2.7 - тепловой экран.Figure 2. The electrode circuit of the discharge system, where 2.1 is the cathode, 2.2 is the water-cooled casing, 2.3 is ring magnets, 2.4 is the screen electrode, 2.5 is the cylindrical anode, 2.6 is the ignition electrode, 2.7 is the heat shield.
Фигура 3. Профиль кромки катода: а) до испытаний, б) после испытаний.Figure 3. The profile of the cathode edge: a) before testing, b) after testing.
Источники информации, принятые во внимание при составлении заявки на изобретение:Sources of information taken into account when drawing up an application for an invention:
1. Gushenets V.I., Bugaev A.S., Oks Е.М., Schanin Р.М, and Goncharov A.A. Self-heated hollow cathode discharge system for charged particle sources and plasma generators. Review of Scientific Instruments. - 2010. - V. 81, 02B305.1. Gushenets V.I., Bugaev A.S., Oks E.M., Schanin R.M., and Goncharov A.A. Self-heated hollow cathode discharge system for charged particle sources and plasma generators. Review of Scientific Instruments. - 2010 .-- V. 81, 02B305.
2. Delcroix J.L., Trindade A.R. Hollow cathode arc. Advances in Electronics and Electron Physics. - V. 37. - 1974. - p. 87-190.2. Delcroix J.L., Trindade A.R. Hollow cathode arc. Advances in Electronics and Electron Physics. - V. 37. - 1974. - p. 87-190.
3. Child D., Gibson D., Placido F., Waddell E. Enhanced hollow cathode plasma source for assisted low pressure electron beam deposition processes. Surface & Coatings Technology. - 2015. - V. 267. - P. 105-110.3. Child D., Gibson D., Placido F., Waddell E. Enhanced hollow cathode plasma source for assisted low pressure electron beam deposition processes. Surface & Coatings Technology. - 2015. - V. 267. - P. 105-110.
4. Fietzke F., Morgner H., Gunther S. Magnetically enhanced hollow cathode - a new plasma source for high-rate deposition processes. Plasma Process. Polym. 2009, 6, S242-S246.4. Fietzke F., Morgner H., Gunther S. Magnetically enhanced hollow cathode - a new plasma source for high-rate deposition processes. Plasma Process. Polym. 2009, 6, S242-S246.
5. Гаврилов H.В., Меньшаков А.И. Источник широких электронных пучков с самонакаливаемым полым катодом для плазменного азотирования нержавеющей стали. Приборы и техника эксперимента. - 2011. - №5. - С. 140-148.5. Gavrilov H.V., Menshakov A.I. A source of wide electron beams with a self-heated hollow cathode for plasma nitriding of stainless steel. Instruments and experimental technique. - 2011. - No. 5. - S. 140-148.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2016120817A RU2642847C2 (en) | 2016-05-26 | 2016-05-26 | Method of increasing life of self-glowing hollow cathode in high-density discharge in axially-symmetric magnetic field |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2016120817A RU2642847C2 (en) | 2016-05-26 | 2016-05-26 | Method of increasing life of self-glowing hollow cathode in high-density discharge in axially-symmetric magnetic field |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2016120817A RU2016120817A (en) | 2017-11-30 |
| RU2642847C2 true RU2642847C2 (en) | 2018-01-29 |
Family
ID=60580612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2016120817A RU2642847C2 (en) | 2016-05-26 | 2016-05-26 | Method of increasing life of self-glowing hollow cathode in high-density discharge in axially-symmetric magnetic field |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2642847C2 (en) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05266991A (en) * | 1992-03-16 | 1993-10-15 | Nippon Steel Corp | Magnetic drive plasma reaction device |
| WO2011037488A1 (en) * | 2009-09-22 | 2011-03-31 | Inano Limited | Plasma ion source |
| JP5266991B2 (en) * | 2008-09-11 | 2013-08-21 | コニカミノルタビジネステクノロジーズ株式会社 | Electrophotographic photosensitive member and image forming apparatus using the same |
| RU2513119C2 (en) * | 2012-06-20 | 2014-04-20 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт электрофизики Уральского отделения Российской академии наук (ИЭФ УрО РАН) | Method of forming self-incandescent hollow cathode from titanium nitride for nitrogen plasma generating system |
| US20150223314A1 (en) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | Monolith Materials, Inc. | Plasma torch design |
-
2016
- 2016-05-26 RU RU2016120817A patent/RU2642847C2/en active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05266991A (en) * | 1992-03-16 | 1993-10-15 | Nippon Steel Corp | Magnetic drive plasma reaction device |
| JP5266991B2 (en) * | 2008-09-11 | 2013-08-21 | コニカミノルタビジネステクノロジーズ株式会社 | Electrophotographic photosensitive member and image forming apparatus using the same |
| WO2011037488A1 (en) * | 2009-09-22 | 2011-03-31 | Inano Limited | Plasma ion source |
| RU2513119C2 (en) * | 2012-06-20 | 2014-04-20 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт электрофизики Уральского отделения Российской академии наук (ИЭФ УрО РАН) | Method of forming self-incandescent hollow cathode from titanium nitride for nitrogen plasma generating system |
| US20150223314A1 (en) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | Monolith Materials, Inc. | Plasma torch design |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| Fietzke F. Magnetically enhanced hollow cathode - a new plasma source for high-rate deposition processes. Plasma Process. Polym. 2009, N6, c. 242-S246. * |
| Приборы и техника эксперимента, 2011. N 5, c. 140-148. * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2016120817A (en) | 2017-11-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Burdovitsin et al. | Fore-vacuum plasma-cathode electron sources | |
| Oks et al. | Development of plasma cathode electron guns | |
| US10539122B2 (en) | Plasma accelerating apparatus and plasma accelerating method | |
| US6870321B2 (en) | High-frequency electron source | |
| RU2631553C2 (en) | Magnetron spray system with electron injection | |
| US6870164B1 (en) | Pulsed operation of hall-current ion sources | |
| Smirnov et al. | Controlling the plasma flow in the miniaturized cylindrical Hall thruster | |
| Burdovitsin et al. | A plasma-cathode electron source for focused-beam generation in the fore-pump pressure range | |
| RU2642847C2 (en) | Method of increasing life of self-glowing hollow cathode in high-density discharge in axially-symmetric magnetic field | |
| Denisov et al. | Low-temperature plasma source based on a cold hollow-cathode arc with increased service life | |
| Yushkov et al. | A forevacuum plasma source of pulsed electron beams | |
| Dudnikov et al. | Ion source with closed drift anode layer plasma acceleration | |
| CN105448630A (en) | Ion source for generating aluminum ion beam | |
| WO2001093293A1 (en) | Plasma ion source and method | |
| EP4362058A1 (en) | Hollow cathode arc plasma device | |
| Bakeev et al. | Operation Features of a Nonself-Sustained Glow Discharge in a Tube Initiated by a Focused Electron Beam in the Forevacuum Pressure Range | |
| Akhmadeev et al. | Plasma sources based on a low-pressure arc discharge | |
| RU159300U1 (en) | ELECTRONIC SOURCE WITH PLASMA EMITTER | |
| Raitses et al. | Experimental Study of the Acceleration Region in a 2 kW Hall Thruster | |
| RU2792344C9 (en) | Gas-discharge electron gun controlled by an ion source with closed electron drift | |
| RU2792344C1 (en) | Gas-discharge electron gun controlled by an ion source with closed electron drift | |
| RU2801364C1 (en) | Method for generating solid state ion fluxes | |
| RU2116707C1 (en) | Device for generation of low-temperature gas- discharge plasma | |
| RU2371803C1 (en) | Plasma ion source | |
| RU2796652C1 (en) | Device for forming a beam of cluster or atomic ions of gas |