RU2609729C1 - Superconducting single-photon detector having controlled memory effect - Google Patents

Superconducting single-photon detector having controlled memory effect Download PDF

Info

Publication number
RU2609729C1
RU2609729C1 RU2015147036A RU2015147036A RU2609729C1 RU 2609729 C1 RU2609729 C1 RU 2609729C1 RU 2015147036 A RU2015147036 A RU 2015147036A RU 2015147036 A RU2015147036 A RU 2015147036A RU 2609729 C1 RU2609729 C1 RU 2609729C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
strip
superconducting
detector
meander
contact pads
Prior art date
Application number
RU2015147036A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Андрей Владимирович Антипов
Юрий Борисович Вахтомин
Александр Валерьевич Дивочий
Вадим Викторович Ковалюк
Роман Викторович Ожегов
Константон Владимирович Смирнов
Original Assignee
Закрытое акционерное общество "Сверхпроводниковые нанотехнологии"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Закрытое акционерное общество "Сверхпроводниковые нанотехнологии" filed Critical Закрытое акционерное общество "Сверхпроводниковые нанотехнологии"
Priority to RU2015147036A priority Critical patent/RU2609729C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2609729C1 publication Critical patent/RU2609729C1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N60/00Superconducting devices
    • H10N60/30Devices switchable between superconducting and normal states

Landscapes

  • Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

FIELD: physics.
SUBSTANCE: superconducting single-photon detector comprises a substrate, contact pads arranged thereon, a sensitive element in the form of a meander made of superconducting material, arranged between the contact pads, the ends of which are connected to the latter, wherein the sensitive element is connected in series to a stripline resistor whose resistance is greater than the resistance of the contact pads, arranged with spacing from the substrate, at a distance which is not greater than the value obtained using the following expression: L=V×(t/2), where V is the propagation speed of the signal in the line; t is pulse duration.
EFFECT: providing indefinite storage of information on the incidence of a single photon on a detector, high quantum efficiency of the detector.
9 cl, 2 dwg, 1 tbl

Description

Предлагаемое изобретение относится к устройствам для регистрации отдельных фотонов видимого и инфракрасного диапазонов и может быть использовано в системах оптической волоконной связи на больших расстояниях, телекоммуникационных технологиях, в системах интегральной оптики и нанофотоники, в системах защиты передаваемой информации с помощью систем квантовой криптографии, диагностике и тестировании больших интегральных схем (БИС) в электронике, в спектроскопии одиночных молекул, анализе излучения квантовых точек в полупроводниковых наноструктурах, астрономии и медицине.The present invention relates to devices for detecting individual photons of the visible and infrared ranges and can be used in optical fiber communication systems at long distances, telecommunication technologies, integrated optical and nanophotonic systems, in the protection of transmitted information using quantum cryptography systems, diagnostics and testing large integrated circuits (LSI) in electronics, in the spectroscopy of single molecules, the analysis of quantum dot radiation in semiconductor nanostructures, astronomy and medicine.

Из уровня техники известен быстродействующий сверхпроводниковый однофотонный детектор с полосковыми резисторами (см. RU 2327253, кл. H01L 39/16, публ. 20.06.2008 г.).The prior art known high-speed superconducting single-photon detector with strip resistors (see RU 2327253, CL H01L 39/16, publ. 06/20/2008).

Известный сверхпроводниковый однофотонный детектор содержит подложку, контактные площадки, размещенные на ней, полоску, выполненную из пленки сверхпроводника, толщина которой порядка длины когерентности, а ширина меньше глубины проникновения магнитного поля, расположенную на подложке между контактными площадками.Known superconducting single-photon detector contains a substrate, contact pads placed on it, a strip made of a superconductor film, the thickness of which is of the order of the coherence length, and the width is less than the penetration depth of the magnetic field located on the substrate between the contact pads.

Недостатком известного сверхпроводникового однофотонного детектора является заметная величина кинетической индуктивности, ограничивающая быстродействие детектора.A disadvantage of the known superconducting single-photon detector is a significant kinetic inductance, limiting the speed of the detector.

Из уровня техники известен сверхпроводниковый однофотонный детектор с антиотражающим покрытием (см. US 6812464, кл. H01L 39/00, публ. 02.11.2004 г.).The prior art single-photon superconducting detector with an antireflection coating is known (see US 6812464, class H01L 39/00, publ. 02.11.2004).

Известный детектор содержит подложку, контактные площадки, размещенные на подложки, полоску, выполненную в форме меандра из сверхпроводника, расположенную на подложке между контактными площадками и концы которой подсоединены к контактным площадкам.The known detector contains a substrate, contact pads placed on the substrate, a strip made in the form of a meander made of a superconductor, located on a substrate between the contact pads and the ends of which are connected to the contact pads.

Преимуществом данного устройства является то, что квантовый детектор обеспечивает достаточный сигнал при поглощении одного фотона.The advantage of this device is that a quantum detector provides a sufficient signal when absorbing one photon.

В известном устройстве применяется зеркало, а кванты излучения могут регистрироваться только после прохождения излучения через подложку. Чувствительный элемент в известном устройстве представляет собой узкую полоску длиной 500 мкм из тонкой пленки сверхпроводника, изогнутой в форме меандра и заполняющей прямоугольную площадку. Толщина пленки выбрана порядка длины когерентности, а ширина полоски - меньше глубины проникновения магнитного поля. Использование полоски, выполненной в форме меандра из сверхпроводника, позволяет увеличить чувствительность устройства. В альтернативном варианте исполнения устройства использована прямолинейная полоска из сверхпроводника, что позволяет повысить быстродействие устройства, но при этом значительно снижается его чувствительность.In the known device, a mirror is used, and radiation quanta can be registered only after radiation passes through the substrate. The sensing element in the known device is a narrow strip 500 microns long from a thin film of a superconductor, curved in the shape of a meander and filling a rectangular area. The film thickness is chosen on the order of the coherence length, and the strip width is less than the penetration depth of the magnetic field. The use of a strip made in the form of a meander from a superconductor allows to increase the sensitivity of the device. In an alternative embodiment of the device, a rectilinear strip of superconductor is used, which allows to increase the speed of the device, but its sensitivity is significantly reduced.

В связи с чем недостатком известного устройства можно считать низкие технико-эксплуатационные характеристики.In this connection, the disadvantage of the known device can be considered low technical and operational characteristics.

Наиболее близким аналогом предлагаемого сверхпроводникового однофотонного детектора является сверхпроводниковый однофотонный детектор (см. RU 2346357, кл. H01L 39/02, публ. 10.02.2009 г.).The closest analogue of the proposed superconducting single-photon detector is a superconducting single-photon detector (see RU 2346357, CL H01L 39/02, publ. 10.02.2009).

Известный сверхпроводниковый однофотонный детектор содержит подложку, контактные площадки, размещенные на ней, чувствительный элемент, выполненный в форме меандра из сверхпроводящего материала и расположенный на подложке между контактными площадками, концы которого подсоединены к ним, при этом к упомянутому чувствительному элементу последовательно подключен полосковый резистор, а фактор k заполнения чувствительного элемента составляет более 0,75 и определяется из следующего соотношения:Known superconducting single-photon detector contains a substrate, contact pads placed on it, a sensing element made in the form of a meander made of superconducting material and located on a substrate between contact pads, the ends of which are connected to them, while a strip resistor is connected in series to said sensitive element, and the filling factor k of the sensitive element is more than 0.75 and is determined from the following ratio:

k=а/b,k = a / b,

где а - ширина полоски меандра;where a is the width of the meander strip;

b - период меандра.b is the meander period.

Недостатком наиболее близкого аналога является отсутствие возможности бессрочно сохранять информацию о попадании одиночного фотона.The disadvantage of the closest analogue is the lack of the ability to indefinitely save information about a single photon.

Задачей предлагаемого изобретения является создание сверхпроводникового однофотонного детектора с повышенными технико-эксплуатационными характеристиками.The objective of the invention is the creation of a superconducting single-photon detector with enhanced technical and operational characteristics.

Техническим результатом предлагаемого сверхпроводникового однофотонного детектора, который объективно проявляется при его использовании, является бессрочное сохранение информации о попадании одиночного фотона в детектор, а также повышение квантовой эффективности детектора.The technical result of the proposed superconducting single-photon detector, which is objectively manifested when it is used, is the indefinite storage of information about a single photon entering the detector, as well as increasing the quantum efficiency of the detector.

Указанный технический результат, обеспечивающий решение поставленной перед изобретением задачи, достигается тем, что сверхпроводниковый однофотонный детектор, содержит подложку, контактные площадки, размещенные на ней, чувствительный элемент, выполненный в форме меандра из сверхпроводящего материала, расположенный между контактными площадками, концы которого подсоединены к последним, при этом к упомянутому чувствительному элементу последовательно подключен полосковый резистор, сопротивление которого превышает сопротивление упомянутых контактных площадок, расположенный с зазором относительно подложки, на расстоянии от нее, не превышающем числовое значение, получаемое из следующего выражения:The specified technical result, which ensures the solution of the problem posed by the invention, is achieved by the fact that the superconducting single-photon detector contains a substrate, contact pads placed on it, a sensing element made in the form of a meander of superconducting material located between the contact pads, the ends of which are connected to the latter while a strip resistor is connected in series to said sensor element, the resistance of which exceeds the resistance of said removed contact pads, located with a gap relative to the substrate, at a distance from it not exceeding a numerical value obtained from the following expression:

L=V×(t/2), гдеL = V × (t / 2), where

V - скорость распространения сигнала в линии;V is the signal propagation velocity in the line;

t - длительность импульса.t is the pulse duration.

Фактор k заполнения чувствительного элемента может составлять более 0,75 и определяться из следующего соотношения:The filling factor k of the sensitive element can be more than 0.75 and is determined from the following ratio:

k=а/b, гдеk = a / b, where

а - ширина полоски меандра; a is the width of the meander strip;

b - период меандра.b is the meander period.

Является предпочтительным, если полосковый резистор выполнен прямолинейным.It is preferred if the strip resistor is rectilinear.

По одному из частных вариантов исполнения изобретение полосковый резистор выполнен в виде меандра.In one particular embodiment, the strip resistor is in the form of a meander.

Является целесообразным, если полосковый резистор выполняется из металлической пленки.It is advisable if the strip resistor is made of a metal film.

Является предпочтительным, если полосковый резистор выполняется из сверхпроводниковой пленки.It is preferred if the strip resistor is made of a superconducting film.

Как правило, ширина чувствительного элемента и полоскового резистора выбирается из диапазона 80-120 нм.As a rule, the width of the sensing element and the strip resistor is selected from the range of 80-120 nm.

По одному из частных вариантов выполнения изобретения контактные площадки изготовлены из нитрида ниобия и покрыты золотом для улучшения электрического контакта.In one particular embodiment of the invention, the contact pads are made of niobium nitride and coated with gold to improve electrical contact.

Чувствительный элемент в форме меандра с указанным фактором k может быть заключен в воображаемый квадрат 7×7 мм, или 10×10 мм, или 20×20 мм.A meander-shaped sensing element with the indicated factor k can be enclosed in an imaginary square of 7 × 7 mm, or 10 × 10 mm, or 20 × 20 mm.

Используемые в предлагаемом сверхпроводниковом однофотонном детекторе контактные площадки являются высокочастотными линиями съема сигналов, которая также называется копланарной линией (один центральный и два общих боковых проводника). Копланарная линия обладает волновым сопротивлением. Взаимные размеры контактных площадок (ширина и зазоры между ними) подбирается таким образом, чтобы их волновое сопротивление было приблизительно равно 50 Ом. Дополнительно введенный полосковый резистор обладает сопротивлением, значительно превышающим показатель в 50 Ом. Такое сопротивление может быть и иным в зависимости от конфигурации контактных площадок, но существенно именно то, что оно меньше сопротивления полоскового резистора.The pads used in the proposed superconducting single-photon detector are high-frequency signal pick-up lines, which is also called the coplanar line (one central and two common side conductors). The coplanar line has wave resistance. The mutual dimensions of the contact pads (width and gaps between them) are selected so that their wave impedance is approximately equal to 50 Ohms. Additionally introduced strip resistor has a resistance that is significantly higher than 50 ohms. Such resistance may be different depending on the configuration of the contact pads, but it is precisely the fact that it is less than the resistance of the strip resistor.

Благодаря введенному в электрическую цепь полосковому резистору, сопротивление которого превышает сопротивление контактных площадок однофотонного детектора, и вызванному этим джоулеву нагреву сверхпроводящей полоски, превышающему теплоотвод из нее, электрическое сопротивление полоски не исчезает, а система остается в нормальном состоянии неограниченно долго.Due to the strip resistor introduced into the electric circuit, the resistance of which exceeds the resistance of the contact pads of the single-photon detector, and the Joule heating of the superconducting strip caused by this, exceeding the heat sink from it, the electrical resistance of the strip does not disappear, and the system remains in normal condition for an unlimited time.

Возвратить детектор обратно в сверхпроводящее состояние возможно посредством перевода специального ключа.It is possible to return the detector back to the superconducting state by transferring a special key.

Электрический ток в цепи однофотонного детектора стекает на землю, перестает выделяться джоулево тепло, и вся система возвращается в исходное сверхпроводящее состояние.An electric current in the circuit of a single-photon detector flows to the ground, the Joule heat ceases to be released, and the entire system returns to its original superconducting state.

Управляемый эффект предлагаемого однофотонного детектора обеспечивается за счет его возвращения в исходное (сверхпроводящее) состояние переводом специального ключа из одного положения в другое.The controlled effect of the proposed single-photon detector is ensured by returning it to its original (superconducting) state by transferring a special key from one position to another.

В предлагаемом изобретении используется технический прием, заключающийся в том, что дополнительно введенный полосковый резистор располагают с зазором относительно подложки, на расстоянии от нее, не превышающим значение, получаемое из выражения: L=V×(t/2). Расположение полоскового резистора на одной подложке с чувствительным элементом, выполненным в виде меандра, приведет к тому, что будет существенно снижена эффективность согласования одномодового волокна с чувствительным элементом, выполненным в виде меандра. В этом случае не будет задействована вся эффективная площадь чувствительного элемента, выполненного в виде меандра при поглощении падающего излучения из одномодового волокна, поскольку часть меандра будет занята полосковым резистором. Кроме того, технологически довольно сложно качественно изготовить и расположить полосковый резистор без зазора по отношению к подложке, в особенности полосковый резистор на основе Au. В данном случае является важным, что придется осаждать на подложку два разных материала непосредственно примыкающих друг к другу, что усиливает вероятность повреждения меандра за счет применения дополнительных технологических операций при изготовлении такой комплексной структуры, и, как следствие, будет существенно снижен объем выхода качественных образцов продукции.In the present invention, a technical technique is used, namely, that an additionally introduced strip resistor is positioned with a gap relative to the substrate, at a distance from it, not exceeding the value obtained from the expression: L = V × (t / 2). The location of the strip resistor on the same substrate with the sensor element made in the form of a meander will lead to the fact that the efficiency of matching a single-mode fiber with a sensor element made in the form of a meander will be significantly reduced. In this case, the entire effective area of the sensitive element, made in the form of a meander when absorbing incident radiation from a single-mode fiber, will not be involved, since part of the meander will be occupied by a strip resistor. In addition, it is technologically quite difficult to qualitatively manufacture and position a strip resistor without a gap with respect to the substrate, in particular a strip resistor based on Au. In this case, it is important that you have to deposit two different materials directly adjacent to each other on the substrate, which increases the likelihood of damage to the meander due to the use of additional technological operations in the manufacture of such a complex structure, and, as a result, the yield of high-quality product samples will be significantly reduced .

В связи с чем, в предлагаемом детекторе предложен вариант пространственного разделения полоскового резистора и подложки. В этом случае напыление контактов и полоскового резистора может быть проведено в разных технологических процессах с применением оптической литографии при формировании рисунков и с использованием одного и того же элемента Au.In this connection, the proposed detector proposed a spatial separation of the strip resistor and the substrate. In this case, the sputtering of the contacts and the strip resistor can be carried out in different technological processes using optical lithography in the formation of patterns and using the same Au element.

При этом условие L<V×(t/2) означает, что в период срабатывания сверхпроводникового однофотонного детектора при поглощении первого фотона электрический сигнал успеет достичь полоскового резистора и вернуться обратно, чтобы перевести его в нерабочее состояние, тем самым максимально быстро переведя его в управляемый режим. Таким образом, в зависимости от поставленной задачи, с данного момента появляется возможность возвращения детектора в исходное состояние (за счет срабатывания ключа) либо удержания его в нерабочем состоянии неограниченное количество времени.In this case, the condition L <V × (t / 2) means that during the operation of the superconducting single-photon detector when the first photon is absorbed, the electric signal has time to reach the strip resistor and return back to put it into an idle state, thereby transferring it to the controlled state as quickly as possible mode. Thus, depending on the task, from this moment it becomes possible to return the detector to its original state (due to the key being triggered) or to keep it inoperative for an unlimited amount of time.

Предлагаемое изобретение поясняется конкретным примером выполнения, который, однако, не является единственно возможным, но при этом наглядным образом демонстрирует достижение заданной совокупностью существенных признаков указанного технического результата, обеспечивающего поставленную перед изобретением задачу, используя ссылки на прилагаемые фигуры.The invention is illustrated by a specific example of implementation, which, however, is not the only possible one, but at the same time demonstrates the achievement by a given set of essential features of the specified technical result, which provides the task set for the invention, using references to the attached figures.

На фиг. 1 представлен внешний вид заявленного сверхпроводникового однофотонного детектора;In FIG. 1 shows the appearance of the claimed superconducting single-photon detector;

На фиг. 2 представлена электрическая цепь с включенным в нее заявленным устройством.In FIG. 2 shows an electric circuit with the claimed device included in it.

На представленных чертежах представлены следующие средства и элементы:In the drawings presented the following tools and elements:

1 - сверхпроводниковый однофотонный детектор;1 - superconducting single-photon detector;

2 - подложка2 - substrate

3 - контактные площадки3 - pads

4 - чувствительный элемент, выполненный в форме меандра4 - a sensitive element made in the form of a meander

5 - полосковый резистор5 - strip resistor

6 - вольтметр6 - voltmeter

7 - ключ7 - key

8 - источник постоянного тока8 - direct current source

Сверхпроводниковый однофотонный детектор поз. 1 содержит подложку поз. 2, контактные площадки поз. 3, размещенные на ней, чувствительный элемент 4, выполненный в форме меандра из сверхпроводящего материала.Superconducting single-photon detector pos. 1 contains a substrate pos. 2, pads pos. 3, placed on it, a sensing element 4, made in the form of a meander of superconducting material.

Чувствительный элемент 4 расположен между контактными площадками 3 и концы его подсоединены к контактным площадкам 3.The sensing element 4 is located between the pads 3 and its ends are connected to the pads 3.

К чувствительному элементу последовательно подключен полосковый резистор 5, сопротивление которого превышает сопротивление контактных площадок 3.A strip resistor 5 is connected in series to the sensitive element, the resistance of which exceeds the resistance of the contact pads 3.

Полосковый резистор 5 расположен с зазором по отношению к подложке, на расстоянии от нее, не превышающем значение, получаемое из следующего выражения:The strip resistor 5 is located with a gap with respect to the substrate, at a distance from it not exceeding the value obtained from the following expression:

L=V×(t/2),L = V × (t / 2),

где V - скорость распространения сигнала в линии;where V is the speed of signal propagation in the line;

t - длительность импульса.t is the pulse duration.

Фактор k заполнения чувствительного элемента 4 составляет более 0,75 и определяется из следующего соотношения:The filling factor k of the sensing element 4 is more than 0.75 and is determined from the following ratio:

k=а/b,k = a / b,

где а - ширина полоски чувствительного элемента 4 в форме меандра;where a is the width of the strip of the sensing element 4 in the form of a meander;

b - период чувствительного элемента 4 в форме меандра.b - period of the sensing element 4 in the form of a meander.

Полосковый резистор 5 выполнен прямолинейным из сверхпроводниковой пленки.The strip resistor 5 is made rectilinear from a superconducting film.

Ширина чувствительного элемента 4 в форме меандра и полоскового резистора 5 выбрана в диапазоне 80-120 нм.The width of the sensor element 4 in the form of a meander and a strip resistor 5 is selected in the range of 80-120 nm.

Работает предлагаемый сверхпроводниковый однофотонный детектор следующим образом (см. фиг. 1 и 2).The proposed superconducting single-photon detector operates as follows (see Figs. 1 and 2).

В рабочем режиме детектор имеет температуру ниже температуры сверхпроводящего перехода (например, температура жидкого гелия 4,2 К).In operating mode, the detector has a temperature below the temperature of the superconducting transition (for example, the temperature of liquid helium is 4.2 K).

При поглощении сверхпроводником фотона происходит разрушение куперовской пары. Сверхпроводимость на короткое время подавляется в малой по сравнению с шириной части полоски чувствительного элемента 4, выполненного в форме меандра, и образуется "горячее пятно". В этой области появляется сопротивление, величина которого соответствует сопротивлению пленки, из которой выполнен чувствительный элемент 4 в нормальном состоянии. Если в это время через чувствительный элемент 4 в форме меандра и дополнительный полосковый резистор 5 пропущен ток, близкий к критическому току распаривания, то происходит его перераспределение по оставшейся в сверхпроводящем состоянии части пленки, и величина плотности тока в сверхпроводящей области начинает превышать критическую. В результате все сечение полоски чувствительного элемента 4, выполненного в форме меандра, переходит в нормальное состояние и в детекторе появляется электрическое сопротивление, которое сопровождается импульсом напряжения.When a photon is absorbed by a superconductor, a Cooper pair is destroyed. Superconductivity is suppressed for a short time in a small compared to the width of the strip of the sensing element 4, made in the form of a meander, and a "hot spot" is formed. In this area, a resistance appears, the value of which corresponds to the resistance of the film from which the sensing element 4 is made in the normal state. If at this time a current close to the critical vaporization current is passed through the meander-shaped sensing element 4 and the additional strip resistor 5, then it is redistributed over the part of the film remaining in the superconducting state, and the current density in the superconducting region begins to exceed the critical value. As a result, the entire cross section of the strip of the sensitive element 4, made in the form of a meander, goes into a normal state and an electrical resistance appears in the detector, which is accompanied by a voltage pulse.

Благодаря введенному в электрическую цепь полосковому резистору 5, сопротивление которого превышает сопротивление контактных площадок 3, и вызванному этим джоулеву нагреву чувствительного элемента 4, превышающему теплоотвод из него, электрическое сопротивление чувствительного элемента 4 в форме меандра не исчезает, а система остается в нормальном состоянии неограниченно по времени.Due to the strip resistor 5 introduced into the electric circuit, the resistance of which exceeds the resistance of the contact pads 3, and the Joule heating of the sensor 4 caused by this, which exceeds the heat sink from it, the electric resistance of the sensor 4 in the form of a meander does not disappear, and the system remains in a normal state unlimitedly time.

Возвращение детектора в исходное (сверхпроводящее) состояние осуществляется переводом ключа 7 из положения а в положение b (фиг. 2). Электрический ток в цепи детектора стекает на землю, перестает выделяться джоулево тепло, и система возвращается в исходное сверхпроводящее состояние.The detector is returned to its initial (superconducting) state by transferring the key 7 from position a to position b (Fig. 2). The electric current in the detector circuit flows to the ground, the Joule heat ceases to be released, and the system returns to its original superconducting state.

Предлагается такая конструкция детектора, которая позволяет переводить его в нерабочее состояние (чувствительный элемент 4 переводится в нормальное состояние - несверхпроводящее), предельно быстро после поглощения сверхпроводниковой структурой первого фотона. После этого детектор перестает поглощать (детектировать) все последующие фотоны ровно до тех пор, пока он не будет переведен в рабочее состояние (сверхпроводниковое).A detector design is proposed that allows it to be turned into a non-working state (sensitive element 4 is transferred to its normal state — non-superconducting), extremely quickly after the absorption of the first photon by the superconducting structure. After that, the detector ceases to absorb (detect) all subsequent photons exactly until it is transferred to the working state (superconducting).

Управление заключается в выборе такого интервала времени (в зависимости от поставленных задач в эксперименте), в течение которого система остается нечувствительной к вновь пришедшим фотонам. Это время может варьироваться от предельно минимального (ограничено длиной подводящих электрических линий) до неограниченного.The control consists in choosing a time interval (depending on the tasks set in the experiment) during which the system remains insensitive to newly arrived photons. This time can vary from the very minimum (limited by the length of the power lines) to unlimited.

Для получения высокой чувствительности в видимом и инфракрасном диапазонах волн чувствительный элемент 4 представляет собой полоску из тонкой пленки сверхпроводника, изогнутой в форме меандра и заполняющей прямоугольную или квадратную площадку. Толщина пленки полоски чувствительного элемента 4 выполнена порядка длины когерентности, а ширина полоски - меньше глубины проникновения магнитного поля.To obtain high sensitivity in the visible and infrared wavelength ranges, the sensitive element 4 is a strip of a thin film of a superconductor curved in the shape of a meander and filling a rectangular or square area. The film thickness of the strip of the sensing element 4 is made of the order of the coherence length, and the strip width is less than the depth of penetration of the magnetic field.

Предлагаемое изобретение характеризуется тем, что способно бессрочно сохранять информацию о попадании в него одиночного фотона и при необходимости способно управлять этим "эффектом памяти", кроме того, из-за отсутствия антиотражающего покрытия детектор не обладает ярко выраженной спектральной селективностью, допускает регистрацию фотонов, падающих непосредственно на подложку 2, а не проходящих через нее, что обеспечивает регистрацию падающих на чувствительный элемент 4 фотонов в диапазоне волн от 04-4 мкм.The present invention is characterized by the fact that it is able to indefinitely store information about a single photon entering it and, if necessary, is able to control this "memory effect", in addition, due to the lack of antireflection coating, the detector does not have a pronounced spectral selectivity, allows registration of photons incident directly on the substrate 2, but not passing through it, which ensures registration of photons incident on the sensitive element 4 in the wavelength range from 04-4 microns.

Предлагаемый детектор обладает эффектом "памяти" с возможностью управления "памятью" при одновременном сохранении высокой чувствительности во всем заявленном диапазоне волн, при выборе фактора k заполнения более 0,75.The proposed detector has the effect of "memory" with the ability to control the "memory" while maintaining high sensitivity in the entire declared wavelength range, when choosing a filling factor k of more than 0.75.

Как показали проведенные эксперименты, чувствительность детектора при выборе фактора k заполнения более 0,75 увеличивается в 1,5 раза по сравнению с ближайшим аналогом.As the experiments showed, the sensitivity of the detector when choosing a filling factor k of more than 0.75 increases by 1.5 times compared with the closest analogue.

Чувствительный элемент 4 (полоска) в форме меандра изготовлена из пленки NbN толщиной 4 нм. Подложка 2 выполнена сапфира или кремния. Чувствительный элемент 4 (полоска) выполняется шириной 80-120 нм, изогнутой в форме меандра с расстоянием между полосками внутри меандра около 100 нм, например, также в диапазоне 80-120 нм, и заполняющей воображаемый квадрат со стороной 10 мкм. Дополнительный полосковый резистор 5 представляет собой прямоугольник из сверхпроводниковой пленки, находящейся в нормальном состоянии. Контактные площадки 3 изготавливаются из NbN и покрываются золотом для улучшения электрического контакта.The sensing element 4 (strip) in the form of a meander is made of an NbN film 4 nm thick. The substrate 2 is made of sapphire or silicon. The sensing element 4 (strip) is made with a width of 80-120 nm, curved in the shape of a meander with a distance between the strips inside the meander of about 100 nm, for example, also in the range of 80-120 nm, and filling an imaginary square with a side of 10 μm. An additional strip resistor 5 is a rectangle of a superconducting film in a normal state. The pads 3 are made of NbN and coated with gold to improve electrical contact.

Однофотонный детектор работает при температурах ниже 10 К (приблизительная температура сверхпроводящего перехода для тонких пленок NbN, например - 4,2 К). При указанном размере чувствительного элемента 4 (полоски) величина критического тока Iс составляет около 30 мкА при температуре 4,2 К. Величина транспортного тока составляет 0,8-0,9 от Iс.A single-photon detector operates at temperatures below 10 K (approximate superconducting transition temperature for thin NbN films, for example, 4.2 K). At the indicated size of the sensitive element 4 (strip), the critical current I s is about 30 μA at a temperature of 4.2 K. The value of the transport current is 0.8-0.9 of I s .

Схематическое изображение электрической цепи с включенным в нее предлагаемым детектором показано на фиг. 2.A schematic illustration of an electric circuit with the proposed detector included in it is shown in FIG. 2.

Предлагаемое устройство 1 подключается к источнику постоянного тока 8 и высокочастотному тракту (коаксиальной линии) с сопротивлением RL. Однако в отличие от наиболее близкого аналога, в высокочастотный тракт не включены адаптер смещения и СВЧ-усилители. Импульсы напряжения, возникающие при поглощении чувсвительным элементом 4 (полоской) в форме меандра одиночных фотонов, поступают непосредственно в цифровой вольтметр 6.The proposed device 1 is connected to a direct current source 8 and a high-frequency path (coaxial line) with resistance R L. However, unlike the closest analogue, the bias adapter and microwave amplifiers are not included in the high-frequency path. Voltage pulses arising upon absorption by the sensing element 4 (strip) in the form of a meander of single photons enter directly into a digital voltmeter 6.

Величина импульса напряжения, измеренного цифровым вольтметром 6, оказывается равной разности напряжений:The magnitude of the voltage pulse measured by a digital voltmeter 6, is equal to the voltage difference:

ΔU=U1-U0,ΔU = U 1 -U 0 ,

где U0=I×Rs - напряжение в электрической цепи в исходном состоянии, с фиксированным током I, где Rs - сопротивление дополнительного полоскового резистора 5,where U 0 = I × R s is the voltage in the electric circuit in the initial state, with a fixed current I, where R s is the resistance of the additional strip resistor 5,

U0=I×(Rs+Rd) - напряжение в электрической цепи при попадании фотона и переводе пленки в резистивное состояние с сопротивлением Rd.U 0 = I × (R s + R d ) is the voltage in the electric circuit when a photon hits and the film is put into a resistive state with resistance R d .

Перевод однофотонного детектора в исходное (сверхпроводящее) состояние осуществляется переводом ключа 7 из положения а в положение b. Электрический ток в цепи, в которую включен детектор, перестает течь. Кроме того, использование ключа 7 для перевода цепи в закороченное состояние на землю позволяет избежать возникновения импульса напряжения при следующем цикле измерений.The transfer of a single-photon detector to its initial (superconducting) state is carried out by transferring the key 7 from position a to position b. The electric current in the circuit into which the detector is connected ceases to flow. In addition, the use of key 7 to put the circuit in a shorted state to earth allows you to avoid the occurrence of a voltage pulse in the next measurement cycle.

Для автоматизации перевода ключа из положения а в положение b источник постоянного тока 8 и ключ 7 может быть заменен генератором напряжения специальной формы.To automate the transfer of the switch from position a to position b, the direct current source 8 and switch 7 can be replaced by a special-purpose voltage generator.

Основные характеристики предлагаемого сверхпроводникового однофотонного детектора (фиг. 1 и 2) приведены в следующей таблице.The main characteristics of the proposed superconducting single-photon detector (Fig. 1 and 2) are shown in the following table.

Figure 00000001
Figure 00000001

Последовательное включение дополнительного полоскового резистора 5 в электрическую цепь позволяет реализовать устройство, сохраняющее информацию о попадании одиночного фотона в предлагаемый детектор.The sequential inclusion of an additional strip resistor 5 in the electrical circuit allows you to implement a device that stores information about a single photon entering the proposed detector.

Наиболее успешно заявленный сверхпроводниковый однофотонный детектор, сохраняющий информацию о попадании в него одиночного фотона, промышленно применим для регистрации отдельных фотонов видимого и инфракрасного диапазонов в системах оптической волоконной связи, телекоммуникационных технологиях, в системах защиты передаваемой информации с помощью систем квантовой криптографии, в электронике для диагностики и тестирования больших интегральных схем (БИС), в спектроскопии одиночных молекул, анализе излучения квантовых точек в полупроводниковых наноструктурах, астрономии и медицине.The most successfully declared superconducting single-photon detector, which stores information about a single photon entering it, is industrially applicable for detecting individual photons of the visible and infrared ranges in optical fiber communication systems, telecommunication technologies, in systems for protecting transmitted information using quantum cryptography systems, in electronics for diagnostics and testing large integrated circuits (LSI), in single-molecule spectroscopy, analysis of quantum dot radiation in half-wavelengths Vodnikova nanostructures, astronomy and medicine.

Claims (15)

1. Сверхпроводниковый однофотонный детектор, содержащий подложку, контактные площадки, размещенные на ней, чувствительный элемент, выполненный в форме меандра из сверхпроводящего материала, расположенный между контактными площадками, концы которого подсоединены к последним, при этом к упомянутому чувствительному элементу последовательно подключен полосковый резистор, сопротивление которого превышает сопротивление упомянутых контактных площадок, расположенный с зазором относительно подложки, на расстоянии от нее, не превышающем значение, получаемое из следующего выражения:1. A superconducting single-photon detector containing a substrate, contact pads placed on it, a sensing element made in the form of a meander of superconducting material, located between the contact pads, the ends of which are connected to the latter, while a strip resistor is connected in series to the said sensing element, resistance which exceeds the resistance of the said contact pads, located with a gap relative to the substrate, at a distance from it not exceeding chenie obtained from the following expression: L=V×(t/2),L = V × (t / 2), где V - скорость распространения сигнала в линии;where V is the speed of signal propagation in the line; t - длительность импульса.t is the pulse duration. 2. Детектор по п. 1, отличающийся тем, что фактор k заполнения чувствительного элемента составляет более 0,75 и определяется из следующего соотношения:2. The detector according to claim 1, characterized in that the filling factor k of the sensitive element is more than 0.75 and is determined from the following ratio: k=а/b,k = a / b, где а - ширина полоски чувствительного элемента;where a is the width of the strip of the sensing element; b - период чувствительного элемента.b - period of the sensitive element. 3. Детектор по п. 1, отличающийся тем, что полосковый резистор выполнен прямолинейным.3. The detector according to claim 1, characterized in that the strip resistor is made rectilinear. 4. Детектор по п. 1, отличающийся тем, что полосковый резистор выполнен в виде меандра.4. The detector according to claim 1, characterized in that the strip resistor is made in the form of a meander. 5. Детектор по п. 1, отличающийся тем, что полосковый резистор выполнен из металлической пленки.5. The detector according to claim 1, characterized in that the strip resistor is made of a metal film. 6. Детектор по п. 1, отличающийся тем, что полосковый резистор выполнен из сверхпроводниковой пленки.6. The detector according to claim 1, characterized in that the strip resistor is made of a superconducting film. 7. Детектор по п. 1, отличающийся тем, что ширина чувствительного элемента и полоскового резистора выбрана в диапазоне 80-120 нм.7. The detector according to claim 1, characterized in that the width of the sensing element and the strip resistor is selected in the range of 80-120 nm. 8. Детектор по п. 1, отличающийся тем, что контактные площадки изготавливаются из нитрида ниобия и покрыты золотом для улучшения электрического контакта.8. The detector according to claim 1, characterized in that the contact pads are made of niobium nitride and coated with gold to improve electrical contact. 9. Детектор по п. 2, отличающийся тем, что чувствительный элемент в форме меандра с указанным фактором k помещен в воображаемый квадрат 7×7 мм, или 10×10 мм, или 20×20 мм.9. The detector according to claim 2, characterized in that the sensitive element in the form of a meander with the indicated factor k is placed in an imaginary square of 7 × 7 mm, or 10 × 10 mm, or 20 × 20 mm.
RU2015147036A 2015-11-02 2015-11-02 Superconducting single-photon detector having controlled memory effect RU2609729C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015147036A RU2609729C1 (en) 2015-11-02 2015-11-02 Superconducting single-photon detector having controlled memory effect

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015147036A RU2609729C1 (en) 2015-11-02 2015-11-02 Superconducting single-photon detector having controlled memory effect

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2609729C1 true RU2609729C1 (en) 2017-02-02

Family

ID=58457675

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015147036A RU2609729C1 (en) 2015-11-02 2015-11-02 Superconducting single-photon detector having controlled memory effect

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2609729C1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2745295C1 (en) * 2018-01-30 2021-03-23 Токемек Энерджи Лтд Control and measuring device for the cryogenic system
RU2793744C1 (en) * 2022-04-22 2023-04-05 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) Single-photon video camera of the visible and infrared ranges based on a superconducting line
US11727295B2 (en) 2019-04-02 2023-08-15 International Business Machines Corporation Tunable superconducting resonator for quantum computing devices

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU747370A1 (en) * 1978-11-28 1982-09-23 Организация П/Я В-8466 Multicomponent superconducting bolometer
US6710343B2 (en) * 2000-03-22 2004-03-23 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Photon detector
US6812464B1 (en) * 2000-07-28 2004-11-02 Credence Systems Corporation Superconducting single photon detector
RU2327253C2 (en) * 2006-08-15 2008-06-20 Закрытое акционерное общество "Сверхпроводящие нанотехнологии" (ЗАО "Сконтел") Quick-response superconducting single photon detector with stripe resistors
RU2346357C1 (en) * 2007-06-26 2009-02-10 Закрытое акционерное общество "Сверхпроводниковые нанотехнологии" (ЗАО "СКОНТЕЛ") Superconducting photon-counting detector for visible and infrared spectral range

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU747370A1 (en) * 1978-11-28 1982-09-23 Организация П/Я В-8466 Multicomponent superconducting bolometer
US6710343B2 (en) * 2000-03-22 2004-03-23 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Photon detector
US6812464B1 (en) * 2000-07-28 2004-11-02 Credence Systems Corporation Superconducting single photon detector
RU2327253C2 (en) * 2006-08-15 2008-06-20 Закрытое акционерное общество "Сверхпроводящие нанотехнологии" (ЗАО "Сконтел") Quick-response superconducting single photon detector with stripe resistors
RU2346357C1 (en) * 2007-06-26 2009-02-10 Закрытое акционерное общество "Сверхпроводниковые нанотехнологии" (ЗАО "СКОНТЕЛ") Superconducting photon-counting detector for visible and infrared spectral range

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2745295C1 (en) * 2018-01-30 2021-03-23 Токемек Энерджи Лтд Control and measuring device for the cryogenic system
US11114230B2 (en) 2018-01-30 2021-09-07 Tokamak Energy Ltd. Monitoring device for cryogenic device
US11727295B2 (en) 2019-04-02 2023-08-15 International Business Machines Corporation Tunable superconducting resonator for quantum computing devices
RU2793744C1 (en) * 2022-04-22 2023-04-05 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) Single-photon video camera of the visible and infrared ranges based on a superconducting line
RU217971U1 (en) * 2022-06-08 2023-04-27 Виктор Баирович Лубсанов Low Power Broadband Microwave Superconducting Detector
RU2796914C1 (en) * 2022-06-10 2023-05-29 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)"(МГТУ им. Н.Э. Баумана) Superconductor single photon detector
RU2813121C1 (en) * 2023-07-06 2024-02-06 Общество С Ограниченной Ответственностью "Курэйт" Multichannel single photon detector

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10386229B2 (en) Gated superconducting photon detector
Yang et al. Modeling the electrical and thermal response of superconducting nanowire single-photon detectors
US20200256722A1 (en) Photon number resolving superconducting detector
US20130172195A1 (en) Optical detectors and associated systems and methods
JP2009175124A (en) Plasmon resonance detector
JP6279589B2 (en) Laser power and energy sensors using anisotropic thermoelectric materials
RU2609729C1 (en) Superconducting single-photon detector having controlled memory effect
US10381402B2 (en) Single photon detection device
RU2327253C2 (en) Quick-response superconducting single photon detector with stripe resistors
Ejrnaes et al. Observation of dark pulses in 10 nm thick YBCO nanostrips presenting hysteretic current voltage characteristics
Karasik et al. Record-low NEP in hot-electron titanium nanobolometers
RU2346357C1 (en) Superconducting photon-counting detector for visible and infrared spectral range
Kitaygorsky et al. Origin of dark counts in nanostructured NbN single-photon detectors
Kitaygorsky et al. Amplitude distributions of dark counts and photon counts in NbN superconducting single-photon detectors integrated with the HEMT readout
Lawrie et al. Multifunctional superconducting nanowire quantum sensors
Semenov et al. Intrinsic quantum efficiency and electro-thermal model of a superconducting nanowire single-photon detector
Manova et al. Superconducting photon counter for nanophotonics applications
JP2009021478A (en) Particle and photon detector
JP2014216430A (en) Superconducting single photon detector and structure determination method of light-receiving wiring
Wolff et al. Waveguide-integrated superconducting nanowire singlephoton detector array for ultra-fast quantum key distribution
RU2641621C2 (en) Ultrafast and ultrasensitive hybrid superconducting waveguide single-photon detector with low dark count rate
EP3714245B1 (en) Cryogenic microwave analyzer
Engel et al. Dark counts of a superconducting single-photon detector
Zhao et al. A single-photon imager based on microwave plasmonic superconducting nanowire
Chong A brief review on the recent progress of superconducting nanowire single photon detectors

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20181103