RU2346357C1 - Superconducting photon-counting detector for visible and infrared spectral range - Google Patents
Superconducting photon-counting detector for visible and infrared spectral range Download PDFInfo
- Publication number
- RU2346357C1 RU2346357C1 RU2007123765/28A RU2007123765A RU2346357C1 RU 2346357 C1 RU2346357 C1 RU 2346357C1 RU 2007123765/28 A RU2007123765/28 A RU 2007123765/28A RU 2007123765 A RU2007123765 A RU 2007123765A RU 2346357 C1 RU2346357 C1 RU 2346357C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- strips
- detector
- superconducting
- photon
- stripes
- Prior art date
Links
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 title abstract 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 claims description 7
- 230000035515 penetration Effects 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
Description
Область техникиTechnical field
Изобретение относится к устройствам для регистрации излучения видимого и инфракрасного диапазонов излучения в режиме счета отдельных фотонов и может быть использовано в системах оптической волоконной связи на больших расстояниях, телекоммуникационных технологиях, в системах защиты передаваемой информации с помощью систем квантовой криптографии, диагностике и тестировании больших интегральных схем (БИС) в электронике, в спектроскопии одиночных молекул, анализе излучения квантовых точек в полупроводниковых наноструктурах, астрономии, медицине.The invention relates to devices for detecting radiation of the visible and infrared ranges of radiation in the counting mode of individual photons and can be used in optical fiber communication systems over long distances, telecommunication technologies, protection systems of transmitted information using quantum cryptography systems, diagnostics and testing of large integrated circuits (LSI) in electronics, in spectroscopy of single molecules, analysis of quantum dot radiation in semiconductor nanostructures, astronomer and medicine.
Уровень техникиState of the art
Из известных технических решений, близких по технической сущности к заявляемому объекту, является сверхпроводниковый однофотонный детектор видимого и инфракрасного диапазонов излучения на основе узкой полоски из тонкой сверхпроводящей пленки, находящейся при температуре существенно ниже критической и несущей транспортный ток, близкий к критическому (US 7049593, H01L 39/00, 10.03.2005). Принцип действия детектора основан на возникновении резистивной области в месте поглощения фотона и, как следствие, возникновении напряжения на контактах детектора. В другой реализации для улучшения согласования с падающим излучением полоска имеет форму меандра, покрывающего квадратную площадку со стороной в несколько микрон. Известны также различные методы повышения чувствительности детектора, а именно:Of the known technical solutions that are close in technical essence to the claimed object, is a superconducting single-photon detector of visible and infrared radiation ranges based on a narrow strip of thin superconducting film at a temperature significantly lower than the critical one and carrying a transport current close to critical (US 7049593, H01L 39/00, 03/10/2005). The principle of operation of the detector is based on the appearance of a resistive region at the site of absorption of the photon and, as a consequence, the occurrence of voltage across the detector contacts. In another implementation, to improve matching with incident radiation, the strip has the shape of a meander covering a square area with a side of several microns. Various methods are also known for increasing the sensitivity of the detector, namely:
1) добавление светоотражающего зеркала поверх меандра и нанесение антиотражающего покрытия на другую сторону прозрачной подложки (US 6812464, Н01L 39/00, 02.11.2004); при этом следует отметить, что устройство становится частотно-селективным, обеспечивая максимальную чувствительность только на одной определенной длине волны;1) adding a reflective mirror over the meander and applying an antireflection coating on the other side of the transparent substrate (US 6812464, H01L 39/00, 02/02/2004); it should be noted that the device becomes frequency-selective, providing maximum sensitivity at only one specific wavelength;
2) метод повышения квантовой эффективности, пригодный для случая использования детектора для бесконтактного метода тестирования больших интегральных схем (US 6828809 B1, G01R 31/302, 07.11.2004).2) a method for increasing quantum efficiency, suitable for the case of using a detector for the non-contact method of testing large integrated circuits (US 6828809 B1, G01R 31/302, 11/7/2004).
Известен также метод пространственного и временного детектирования одиночных фотонов, основанный на использовании смещаемой постоянным током сверхпроводниковой линии передачи в форме меандра, подключенной к регистрирующей схеме, считывание данных с которой осуществляется при помощи компьютера (US 7078694 В2, Н01L 27/18, 29.01.2006).There is also a known method of spatial and temporal detection of single photons, based on the use of a DC shifted superconductor transmission line in the form of a meander connected to a recording circuit, the data are read from a computer (US 7078694 B2, H01L 27/18, 01/29/2006) .
Недостатками известных устройств являютсяThe disadvantages of the known devices are
- низкое быстродействие, обусловленное большой величиной кинетической индуктивности длинной и узкой сверхпроводящей полоски;- low speed due to the large value of the kinetic inductance of a long and narrow superconducting strip;
- невозможность различения числа фотонов, одновременно упавших на детектор, поскольку амплитуда и длительность импульса напряжения фотоотклика у указанных устройств не зависят от числа фотонов.- the impossibility of distinguishing the number of photons simultaneously incident on the detector, since the amplitude and duration of the photoresponse voltage pulse of these devices are independent of the number of photons.
Раскрытие изобретенияDisclosure of invention
Задача, на решение которой направлено настоящее изобретение, заключается в разработке и создании быстродействующего сверхпроводникового однофотонного детектора, обладающего улучшенными параметрами.The problem to which the present invention is directed, is to develop and create a high-speed superconducting single-photon detector with improved parameters.
Технический результат заключается в обеспечении возможности регистрации числа фотонов, одновременно упавших на детектор, при одновременном повышении быстродействия детектора.The technical result consists in providing the possibility of detecting the number of photons simultaneously incident on the detector, while increasing the speed of the detector.
Технический результат достигается тем, что в известном сверхпроводниковом фотонном детекторе видимого и инфракрасного диапазонов излучения, различающем число фотонов, быстродействующий сверхпроводниковый однофотонный детектор подключен к источнику постоянного тока и высокочастотному тракту съема сигнала через адаптер смещения, высокочастотный выход адаптера смещения подключен через первый коаксиальный кабель к СВЧ-усилителям, и далее через второй коаксиальный кабель ко входу амплитудного анализатора, регистрирующего число фотонов, падающих на быстродействующий сверхпроводниковый однофотонный детектор, при этом в быстродействующем сверхпроводниковом однофотонном детекторе на подложке размещены контактные площадки, а между контактными площадками, по крайней мере, две одинаковые полоски, выполненные из пленки сверхпроводника, толщина которой порядка длины когерентности падающего излучения, а ширина - меньше глубины проникновения магнитного поля, концы полосок подсоединены к контактным площадкам так, что полоски соединены параллельно, при этом каждая полоска соединена с одной из контактных площадок через соответствующий полосковый резистор, резисторы для всех полосок выполнены одинаковыми, а сопротивление резисторов составляет 0,5÷500 Ом, в зависимости от кинетической индуктивности сверхпроводящих полосок оно подбирается так, чтобы переключение в резистивное состояние одной из полосок не приводило к переключению в резистивное состояние остальных полосок, т.е., чтобы величина тока в этих полосках не превышала величину критического тока.The technical result is achieved by the fact that in the known superconducting photon detector of the visible and infrared radiation ranges, distinguishing the number of photons, a fast superconducting single-photon detector is connected to a direct current source and a high-frequency signal pick-up path through a bias adapter, the high-frequency output of the bias adapter is connected through a first coaxial cable to the microwave amplifiers, and then through a second coaxial cable to the input of an amplitude analyzer that registers the number of photos s incident on a high-speed superconducting single-photon detector, while in the high-speed superconducting single-photon detector, contact pads are placed on the substrate, and between the contact pads there are at least two identical strips made of a superconductor film whose thickness is of the order of the incident radiation coherence length and width - less than the depth of penetration of the magnetic field, the ends of the strips are connected to the contact pads so that the strips are connected in parallel, with each strip connected to one of the pads through the corresponding strip resistor, the resistors for all strips are the same, and the resistance of the resistors is 0.5 ÷ 500 Ohm, depending on the kinetic inductance of the superconducting strips, it is selected so that switching to the resistive state of one of the strips does not result to switch to the resistive state of the remaining strips, i.e., so that the current in these strips does not exceed the critical current.
Возможны дополнительные варианты выполнения устройства, в которых целесообразно, чтобы:Additional embodiments of the device are possible, in which it is advisable that:
- полоски были выполнены в форме меандра, прямолинейными, или другой удобной формы;- the strips were made in the shape of a meander, rectilinear, or other convenient shape;
- габариты полосок были вписаны в квадрат со стороной 10 мкм;- the dimensions of the strips were inscribed in a square with a side of 10 microns;
- ширина полосок выбрана в диапазоне 60÷150 нм, при этом величины зазоров между полосками выполнены в диапазоне 60÷150 нм;- the width of the strips is selected in the range of 60 ÷ 150 nm, while the gaps between the strips are made in the range of 60 ÷ 150 nm;
- для случая, когда полоски имеют форму меандра, полоски выполнены с фактором заполнения k более 0,5, определяемым по формуле- for the case when the strips have the shape of a meander, the strips are made with a filling factor k of more than 0.5, determined by the formula
k-a/b,k-a / b,
где а - ширина полосок меандра,where a is the width of the stripes of the meander,
b - период меандра;b - meander period;
- резисторы выполнены в виде прямоугольников из пленки золота толщиной 30÷50 нм, рабочей площадью от 0,3×1,5 мкм2 до 0,5×20 мкм2.- resistors are made in the form of rectangles of a gold film with a thickness of 30 ÷ 50 nm, a working area of 0.3 × 1.5 μm 2 to 0.5 × 20 μm 2 .
Перечень фигур чертежейList of drawings
Настоящее изобретение поясняется чертежами, где на фиг.1 представлена блок-схема фотонного детектора, различающего число фотонов, а на фиг.2 - схематично представлен используемый быстродействующий сверхпроводниковый однофотонный детектор.The present invention is illustrated by drawings, where Fig. 1 is a block diagram of a photon detector distinguishing between the number of photons, and Fig. 2 is a schematic diagram of a high-speed superconducting single-photon detector used.
Осуществление изобретенияThe implementation of the invention
Быстродействующий сверхпроводниковый однофотонный детектор 1 подключается к источнику постоянного тока 2 и высокочастотному тракту съема сигнала через адаптер смещения 3. Высокочастотный выход адаптера смещения 3 подключается через коаксиальный кабель 4 к СВЧ-усилителям 5 и далее через второй коаксиальный кабель 4 ко входу амплитудного анализатора 6, регистрирующего число фотонов, падающих на быстродействующий сверхпроводниковый однофотонный детектор. Наличие амплитудного анализатора в блок схеме детектора позволяет анализировать амплитуду импульса фотоотклика детектора и тем самым регистрировать число падающих фотонов.A high-speed superconducting single-photon detector 1 is connected to a direct current source 2 and a high-frequency signal pick-up path through a bias adapter 3. The high-frequency output of a bias adapter 3 is connected via a coaxial cable 4 to microwave amplifiers 5 and then through a second coaxial cable 4 to the input of an amplitude analyzer 6 registering the number of photons incident on a high-speed superconducting single-photon detector. The presence of an amplitude analyzer in the detector block circuit makes it possible to analyze the amplitude of the photoresponse pulse of the detector and thereby record the number of incident photons.
Устройство быстродействующего однофотонного детектора 1 представлено на фиг.2. На подложке 7 расположены контактные площадки 8, соединенные с несколькими одинаковыми сверхпроводящими полосками 9, подключенными параллельно. Последовательно с каждой полоской 9 подключается полосковый резистор 10. При этом полоски, выполненные из пленки сверхпроводника, имеют толщину порядка длины когерентности, а ширину - меньше глубины проникновения магнитного поля. Резисторы для всех полосок выполнены одинаковыми, а сопротивление резисторов составляет 0.5-500 Ом, в зависимости от кинетической индуктивности сверхпроводящих полосок оно подбирается так, чтобы переключение в резистивное состояние одной из полосок не приводило к переключению в резистивное состояние остальных полосок, т.е., чтобы величина тока в этих полосках не превышала величину критического тока. Полоски имеют форму меандра и исполнены с фактором заполнения k более 0,5, определяемым по формулеThe device high-speed single-photon detector 1 is presented in figure 2. On the
k-a/b,k-a / b,
где а - ширина полосок меандра,where a is the width of the stripes of the meander,
b - период меандра.b is the meander period.
Ширина полосок выбрана порядка 100 нм, при этом величина зазоров между полосками составляет также порядка 100 нм.The width of the strips is selected on the order of 100 nm, while the gap between the strips is also about 100 nm.
Работает сверхпроводниковый фотонный детектор (фиг.1 и 2) следующим образом.A superconducting photon detector operates (FIGS. 1 and 2) as follows.
В рабочем режиме детектор имеет температуру ниже температуры сверхпроводящего перехода (например, температура жидкого гелия). Через полоски 9 пропускается транспортный ток, близкий к критическому. При поглощении сверхпроводником фотона происходит разрушение куперовской пары и образуется электрон, обладающий энергией, близкой к энергии фотона. Посредством электрон-электронного и электрон-фотонного взаимодействий этот электрон релаксирует по энергии, разрушая куперовские пары и приводя к каскадному размножению квазичастиц. В результате, сверхпроводимость на короткое время подавляется в малой по сравнению с шириной части одной из полосок 9 и образуется «горячее пятно». В этой области появляется сопротивление, величина которого соответствует сопротивлению пленки, из которой выполнены полоски 9, в нормальном состоянии. Если в это время через полоску 9 пропущен ток, близкий к критическому, то происходит его перераспределение по оставшейся в сверхпроводящем состоянии части пленки. Величина плотности тока в сверхпроводящей области начинает превышать критическую, и все сечение этой полоски переходит в нормальное состояние. Поскольку сопротивление этой полоски вместе с ее полосковым резистором становится больше, чем у остальных полосок, ток начинает перераспределяться между полосками: в полоске, поглотившей фотон, ток падает, а в остальных полосках растет. Благодаря наличию кинетической индуктивности полосок 9, а также благодаря полосковым резисторам 10, возникшее дополнительное сопротивление полоски, поглотившей фотон, не шунтируется остальными полосками, что приводит к увеличению напряжения на контактах 8. Этот скачок напряжения свидетельствует о регистрации фотона. Величина полосковых резисторов подбирается таким образом, чтобы при перераспределении между полосками 9 ток в этих полосках не достигал критического. Импульс напряжения, возникающий в момент поглощения фотона, поступает в схему регистрации.In operating mode, the detector has a temperature below the temperature of the superconducting transition (for example, the temperature of liquid helium). Close to critical transport current is passed through
Так же, как в ближайшем аналоге, для получения высокой чувствительности в видимом и инфракрасном диапазонах волн чувствительный элемент представляет собой полоску 9 из тонкой пленки сверхпроводника, изогнутую в форме меандра и заполняющую прямоугольную площадку. Толщина пленки полоски 9 выполнена порядка длины когерентности, а ширина полоски - меньше глубины проникновения магнитного поля. Можно было бы достичь увеличения быстродействия детектора, уменьшая длину полоски 9, однако при этом резко ухудшается чувствительность детектора, т.к. не заполняется приемная площадка детектора. Для увеличения быстродействия детектора чувствительный элемент, представляющий собой сверхпроводящую полоску, разбивается на несколько полосок меньшей длины, соединенных параллельно. Каждая из полосок имеет кинетическую индуктивность, меньшую, чем кинетическая индуктивность исходной длинной полоски. Пленка, из которой состоят полоски 9, находится при температуре ниже критической, и по ней протекает электрический ток, близкий к критическому.As in the closest analogue, to obtain high sensitivity in the visible and infrared wavelength ranges, the sensitive element is a
Для увеличения быстродействия размеры полосок 9 могут быть выбраны с величиной кинетической индуктивности в 50 раз меньше кинетической индуктивности исходной полоски, что обеспечивается наименьшей длиной полосок 9, равной расстоянию между контактными площадками 8, в случае выполнения полосок 9 прямолинейными. Введение дополнительных полосковых резисторов 10 позволяет исключить переключение в нормальное состояние других сверхпроводящих полосок 9 при переключении в нормальное состояние одной из полосок 9, в которой поглотился фотон, и приводит к увеличению быстродействия.To increase performance, the sizes of the
Сверхпроводящие полоски 9 могут быть изготовлены из пленки NbN толщиной 4 нм, нанесенной на подложку 7 из сапфира. Основной чувствительный элемент - полоски 9 выполняются шириной 60÷150 нм, в виде меандра с расстоянием между полосками внутри меандра, также в диапазоне 60÷150 нм, и заполняющим квадрат со стороной 10 мкм. Контактные площадки 8 изготавливаются из NbN и покрываются золотом для улучшения электрического контакта.
Детектор работает при температурах ниже 10 К (приблизительная температура сверхпроводящего перехода для тонких пленок NbN), например 4,2 К. При указанных размерах полосок 9 величина критического тока IC для каждой из полосок с составляет около 15 мкА при температуре 4,2 К. Величина транспортного тока составляет 0,8÷0,9 от IC. Как и в ближайшем аналоге, устройство подключается к источнику постоянного тока и СВЧ-тракту через адаптер смещения. СВЧ-тракт в заявленном изобретении представляет собой коаксиальный кабель и цепочку СВЧ-усилителей. После усиления импульсы напряжения, возникающие на детекторе при поглощении фотонов, поступают на регистрирующую аппаратуру, в качестве которой использован амплитудный анализатор, который позволяет анализировать амплитуду импульса фотоотклика детектора и определять число фотонов.The detector operates at temperatures below 10 K (approximate superconducting transition temperature for thin NbN films), for example, 4.2 K. For the indicated sizes of the
Разбиение сверхпроводящей полоски на параллельно включенные секции меньшей длины с полосковыми резисторами позволило повысить быстродействие в 50 раз, без потери чувствительности детектора. Заявленный сверхпроводниковый фотонный детектор промышленно применим для регистрации количества отдельных фотонов видимого и инфракрасного диапазонов в системах оптической волоконной связи, телекоммуникационных технологиях, в системах защиты передаваемой информации с помощью систем квантовой криптографии, в электронике для диагностики и тестирования больших интегральных схем (БИС), в спектроскопии одиночных молекул, анализе излучения квантовых точек в полупроводниковых наноструктурах, астрономии и медицине.The division of the superconducting strip into parallel sections of shorter length with strip resistors made it possible to increase the speed by 50 times, without losing the sensitivity of the detector. The claimed superconducting photon detector is industrially applicable for detecting the number of individual photons of the visible and infrared ranges in optical fiber communication systems, telecommunication technologies, in the protection of transmitted information using quantum cryptography systems, in electronics for the diagnosis and testing of large integrated circuits (LSI), in spectroscopy single molecules, analysis of quantum dot radiation in semiconductor nanostructures, astronomy and medicine.
Принцип действия быстродействующего сверхпроводникового детектора заключается в следующем. При поглощении одного фотона быстродействующим сверхпроводниковым детектором с полосковыми резисторами только одна полоска сверхпроводника переходит в резистивное состояние, что приводит к импульсному увеличению напряжения на контактах 8 на величину ΔU. Благодаря наличию кинетической индуктивности полосок 9, а также благодаря полосковым резисторам 10 остальные полоски детектора остаются в рабочем сверхпроводящем состоянии. Резистивное состояние в полоске существует в течение времени порядка 100 пс. Поглощение второго фотона какой-либо другой полоской за это время вызовет переход этой полоски в резистивное состояние, что приведет к увеличению напряжения на контактах 8, напряжение будет больше ΔU. В общем случае, при использовании детектора, состоящего из N сверхпроводниковых полосок, и поглощении различными полосками детектора в течение времени менее 100 пс k фотонов, на контактах 8 в случае идентичности сверхпроводниковых полосок возникает напряжение, однозначно связанное с числом поглощенных фотонов. Таким образом, использование амплитудного анализатора в качестве регистрирующего устройства позволяет определять амплитуду импульса фотоотклика и тем самым однозначно определять число одновременно поглощенных фотонов.The principle of operation of a high-speed superconducting detector is as follows. When one photon is absorbed by a high-speed superconducting detector with strip resistors, only one strip of the superconductor goes into the resistive state, which leads to a pulse increase in the voltage at
Claims (6)
k-a/b,
где а - ширина полосок меандра;
b - период меандра. 6. The detector according to claim 2, characterized in that the strips are made with a filling factor k of more than 0.5, determined by the formula:
ka / b
where a is the width of the meander stripes;
b is the meander period.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007123765/28A RU2346357C1 (en) | 2007-06-26 | 2007-06-26 | Superconducting photon-counting detector for visible and infrared spectral range |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007123765/28A RU2346357C1 (en) | 2007-06-26 | 2007-06-26 | Superconducting photon-counting detector for visible and infrared spectral range |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2346357C1 true RU2346357C1 (en) | 2009-02-10 |
Family
ID=40546863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2007123765/28A RU2346357C1 (en) | 2007-06-26 | 2007-06-26 | Superconducting photon-counting detector for visible and infrared spectral range |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2346357C1 (en) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2506664C1 (en) * | 2012-10-02 | 2014-02-10 | Закрытое акционерное общество "Сверхпроводниковые нанотехнологии" | Method for precision positioning of sensitive element of photon detector |
| RU2530468C1 (en) * | 2013-05-17 | 2014-10-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева" (НГТУ) | Method of parameter measurement for single-photon infrared band emission sources |
| RU2609729C1 (en) * | 2015-11-02 | 2017-02-02 | Закрытое акционерное общество "Сверхпроводниковые нанотехнологии" | Superconducting single-photon detector having controlled memory effect |
| RU176010U1 (en) * | 2017-05-17 | 2017-12-26 | Российская Федерация, от имени которой выступает ФОНД ПЕРСПЕКТИВНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ | Fiber-optic superconducting single-photon detector |
| RU2641621C2 (en) * | 2015-10-30 | 2018-01-18 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский педагогический государственный университет | Ultrafast and ultrasensitive hybrid superconducting waveguide single-photon detector with low dark count rate |
| RU194126U1 (en) * | 2019-05-22 | 2019-11-28 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Московский педагогический государственный университет | WAVEGUIDE SUPERCONDUCTOR SINGLE-PHOTON DETECTOR WITH IMPROVED TOPOLOGY |
| RU2778546C1 (en) * | 2021-12-16 | 2022-08-22 | Владимир Владиславович Имшенецкий | Device and method for receiving optical signal reflected from sounding object |
-
2007
- 2007-06-26 RU RU2007123765/28A patent/RU2346357C1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2506664C1 (en) * | 2012-10-02 | 2014-02-10 | Закрытое акционерное общество "Сверхпроводниковые нанотехнологии" | Method for precision positioning of sensitive element of photon detector |
| RU2530468C1 (en) * | 2013-05-17 | 2014-10-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева" (НГТУ) | Method of parameter measurement for single-photon infrared band emission sources |
| RU2641621C2 (en) * | 2015-10-30 | 2018-01-18 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский педагогический государственный университет | Ultrafast and ultrasensitive hybrid superconducting waveguide single-photon detector with low dark count rate |
| RU2609729C1 (en) * | 2015-11-02 | 2017-02-02 | Закрытое акционерное общество "Сверхпроводниковые нанотехнологии" | Superconducting single-photon detector having controlled memory effect |
| RU176010U1 (en) * | 2017-05-17 | 2017-12-26 | Российская Федерация, от имени которой выступает ФОНД ПЕРСПЕКТИВНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ | Fiber-optic superconducting single-photon detector |
| RU194126U1 (en) * | 2019-05-22 | 2019-11-28 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Московский педагогический государственный университет | WAVEGUIDE SUPERCONDUCTOR SINGLE-PHOTON DETECTOR WITH IMPROVED TOPOLOGY |
| RU2778546C1 (en) * | 2021-12-16 | 2022-08-22 | Владимир Владиславович Имшенецкий | Device and method for receiving optical signal reflected from sounding object |
| RU2801961C1 (en) * | 2022-12-28 | 2023-08-21 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" | Active superconducting detector |
| RU2813121C1 (en) * | 2023-07-06 | 2024-02-06 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Курэйт" | Multichannel single photon detector |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10386229B2 (en) | Gated superconducting photon detector | |
| Kahl et al. | Waveguide integrated superconducting single-photon detectors with high internal quantum efficiency at telecom wavelengths | |
| Zhu et al. | A scalable multi-photon coincidence detector based on superconducting nanowires | |
| Schuck et al. | Waveguide integrated low noise NbTiN nanowire single-photon detectors with milli-Hz dark count rate | |
| Dauler et al. | Multi-element superconducting nanowire single-photon detector | |
| US10665634B2 (en) | Distributed nanowire sensor for single photon imaging | |
| Itzler et al. | Advances in InGaAsP-based avalanche diode single photon detectors | |
| Korneev et al. | Sensitivity and gigahertz counting performance of NbN superconducting single-photon detectors | |
| RU2346357C1 (en) | Superconducting photon-counting detector for visible and infrared spectral range | |
| Yan et al. | An ultra low noise telecom wavelength free running single photon detector using negative feedback avalanche diode | |
| Hofherr et al. | Time-tagged multiplexing of serially biased superconducting nanowire single-photon detectors | |
| RU2327253C2 (en) | Quick-response superconducting single photon detector with stripe resistors | |
| JP6528042B2 (en) | Photon detection device and photon detection method | |
| Annunziata et al. | Niobium superconducting nanowire single-photon detectors | |
| Tao et al. | Characterize the speed of a photon-number-resolving superconducting nanowire detector | |
| Goltsman et al. | Ultrafast superconducting single-photon detector | |
| Kitaygorsky et al. | Amplitude distributions of dark counts and photon counts in NbN superconducting single-photon detectors integrated with the HEMT readout | |
| Castellani et al. | Nanocryotron ripple counter integrated with a superconducting nanowire single-photon detector for megapixel arrays | |
| US12098949B1 (en) | Integrated superconducting nanowire digital photon detector | |
| Raupach et al. | Photon number dependent afterpulsing in superconducting nanostrip single-photon detectors | |
| Pagano et al. | Nano-strip three-terminal superconducting device for cryogenic detector readout | |
| Marsili et al. | Superconducting parallel nanowire detector with photon number resolving functionality | |
| RU2609729C1 (en) | Superconducting single-photon detector having controlled memory effect | |
| Ercolano et al. | Superconducting PNR detector for photon sources characterization | |
| Zhu et al. | Resolving photon numbers using a superconducting tapered nanowire detector |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20130627 |
|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190627 |