RU2605202C1 - High-frequency radiation generator based on discharge with hollow cathode - Google Patents

High-frequency radiation generator based on discharge with hollow cathode Download PDF

Info

Publication number
RU2605202C1
RU2605202C1 RU2015124997/07A RU2015124997A RU2605202C1 RU 2605202 C1 RU2605202 C1 RU 2605202C1 RU 2015124997/07 A RU2015124997/07 A RU 2015124997/07A RU 2015124997 A RU2015124997 A RU 2015124997A RU 2605202 C1 RU2605202 C1 RU 2605202C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cathode
cavity
anode
discharge
hollow
Prior art date
Application number
RU2015124997/07A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Виктор Станиславович Жданов
Сергей Александрович Садовой
Дмитрий Викторович Вялых
Игорь Львович Львов
Виктор Дмитриевич Селемир
Original Assignee
Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом")
Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики" (ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом"), Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики" (ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ") filed Critical Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом")
Priority to RU2015124997/07A priority Critical patent/RU2605202C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2605202C1 publication Critical patent/RU2605202C1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns
    • H01J27/022—Details

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

FIELD: physics.
SUBSTANCE: invention relates to high-frequency equipment. High-frequency radiation generator based on discharge with hollow cathode comprises a gas discharge chamber, formed by electrodes - hollow cathode and hollow anode, separated by an insulator, electrodes of chamber are connected to power supply and electric load, wherein cavity of cathode and cavity of anode open towards each other and are interconnected by a channel formed by area of joint of cathode and anode by a hole opening cathode cavity, a hole in insulator, defining interelectrode interval, and a hole opening anode cavity. Channel is narrowed by at least one of holes which form a channel, so that area of cross section of said hole is smaller than average cross sectional area of cathode cavity.
EFFECT: higher values of generation frequencies of HF-generator based on discharge with hollow cathode.
1 cl, 1 dwg

Description

Изобретение относится к высокочастотной технике и может быть использовано при создании генераторов высокочастотного (ВЧ) излучения.The invention relates to high-frequency technology and can be used to create generators of high-frequency (HF) radiation.

Разряд с полым катодом ([Москалев Б.И. Разряд с полым катодом. - М.: Энергия, 1969]) имеет следующую особенность - при определенных условиях (то есть при определенных геометрических параметрах полости, при значениях давления разрядного газа, лежащих в определенном диапазоне, и при превышении определенного порога плотности тока разряда) в процессе его развития происходит ВЧ-модуляция разрядного напряжения ([ArbelD., Bar-LevZ., FelsteinerJ., RosenbergA., SlutskerYa.Z. ″Collisionless Instability of the Cathode Sheath in a Hollow-Cathode Discharge″, Physical Review Letters. 1993. V. 71. №18. P. 2919]).A discharge with a hollow cathode ([Moskalev BI, A discharge with a hollow cathode. - M .: Energia, 1969]) has the following peculiarity - under certain conditions (that is, under certain geometric parameters of the cavity, with discharge gas pressures lying in a certain range, and when a certain threshold of the discharge current density is exceeded) during its development, the RF voltage is modulated by the discharge voltage ([ArbelD., Bar-LevZ., Felsteiner J., Rosenberg A., SlutskerYa.Z. ″ Collisionless Instability of the Cathode Sheath in a Hollow-Cathode Discharge ″, Physical Review Letters. 1993. V. 71. No. 18. P. 2919]).

Известны генераторы ВЧ-излучения на основе разряда с полым катодом, аналогичные данному генератору (например, [Булычев С.В., Вялых Д.В., Дубинов А.Е. и др. ″Результаты исследований генераторов мощных ВЧ-импульсов на основе разряда с полым катодом″, Физика плазмы. 2009, т. 35, №11, с. 1019]), содержащие газоразрядную камеру, подсоединенную к вакуумной системе, источник питания и электрическую нагрузку. Газоразрядная камера образована полым катодом и изолированным от него анодом, электроды подключены к источнику питания. Вакуумная система создает необходимое давление в газоразрядной камере. При подаче на электроды импульса напряжения в разрядном промежутке, образованном катодом и анодом, инициируется газовый разряд с полым катодом. Электрическая нагрузка подключена параллельно газоразрядной цепи. ВЧ-компонента колебаний напряжения разряда является причиной возникновения ВЧ-колебаний напряжения на электрической нагрузке, которые, в свою очередь, являются источником электромагнитной ВЧ-энергии.Known RF generators based on a hollow cathode discharge, similar to this generator (for example, [Bulychev S.V., Vyalykh D.V., Dubinov A.E. et al. ″ Results of studies of generators of powerful RF pulses based on a discharge with a hollow cathode ″, Plasma Physics. 2009, v. 35, No. 11, p. 1019]) containing a gas discharge chamber connected to a vacuum system, a power source and an electrical load. The gas discharge chamber is formed by a hollow cathode and an anode isolated from it, the electrodes are connected to a power source. The vacuum system creates the necessary pressure in the gas discharge chamber. When a voltage pulse is applied to the electrodes in the discharge gap formed by the cathode and the anode, a gas discharge with a hollow cathode is initiated. An electrical load is connected in parallel with the discharge circuit. The RF component of the fluctuations in the discharge voltage is the cause of the RF oscillations of the voltage at the electric load, which, in turn, are the source of electromagnetic RF energy.

Рабочие частоты созданных к настоящему времени генераторов на основе разряда с полым катодом лежат, как правило, в диапазоне 10÷200 МГц, причем функционирование подобных приборов с частотами выше 150 МГц сопряжено со многими весьма существенными ограничениями. Однако во многих технических задачах, для решения которых возможно применение приборов данного типа, могут потребоваться частоты электромагнитного излучения, выходящие за пределы верхней границы указанного диапазона. Следовательно, возникает проблема создания генераторов высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом, рабочие частоты которых лежат выше достигнутых к настоящему времени.The operating frequencies of the hollow-cathode-based generators created to date lie, as a rule, in the range of 10–200 MHz, and the operation of such devices with frequencies above 150 MHz is fraught with many very significant limitations. However, in many technical problems for which it is possible to use devices of this type, frequencies of electromagnetic radiation that go beyond the upper boundary of the specified range may be required. Therefore, the problem arises of creating high-frequency radiation generators based on a hollow-cathode discharge, the operating frequencies of which are higher than those achieved to date.

Прототипом заявляемого устройства является генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом ([Патент РФ 134697, Вялых Д.В., Дубинов А.Е., Жданов B.C., 20.11.2012, бюл. №32]), содержащий газоразрядную камеру, образованную полым катодом и полым анодом, которые разделены изолятором, полости катода и анода открыты навстречу друг другу и соединены каналом, формируемым в зоне стыка катода и анода отверстием, открывающим катодную полость, отверстием в изоляторе, задающим межэлектродный промежуток, и отверстием, открывающим анодную полость. Электроды газоразрядной камеры подключены к источнику питания. Электрическая нагрузка подключена параллельно газоразрядной цепи. Необходимое рабочее давление в газоразрядной камере устанавливается посредством вакуумной системы. При подаче на электроды импульса напряжения в разрядном промежутке, образованном катодом и анодом, инициируется газовый разряд с полым катодом. ВЧ-компонента колебаний напряжения разряда является причиной возникновения ВЧ-колебаний напряжения на электрической нагрузке, которые, в свою очередь, являются источником электромагнитной ВЧ-энергии. Выполнение анода полым снижает среднестатистическое время пробоя между электродами камеры, следствием чего является повышение стабильности частоты следования ВЧ-импульсов, формируемых генератором при функционировании его в импульсно-периодическом режиме.The prototype of the claimed device is a generator of high-frequency radiation based on a discharge with a hollow cathode ([RF Patent 134697, Vyalykh DV, Dubinov A.E., Zhdanov BC, November 20, 2012, bull. No. 32]) containing a gas discharge chamber formed a hollow cathode and a hollow anode, which are separated by an insulator, the cathode and anode cavities are open towards each other and are connected by a channel formed in the junction of the cathode and the anode with a hole opening the cathode cavity, a hole in the insulator defining the interelectrode gap, and a hole opening the anode strip Th. The electrodes of the gas discharge chamber are connected to a power source. An electrical load is connected in parallel with the discharge circuit. The necessary working pressure in the gas discharge chamber is set by means of a vacuum system. When a voltage pulse is applied to the electrodes in the discharge gap formed by the cathode and the anode, a gas discharge with a hollow cathode is initiated. The RF component of the fluctuations in the discharge voltage is the cause of the RF oscillations of the voltage at the electric load, which, in turn, are the source of electromagnetic RF energy. The execution of the anode hollow reduces the average breakdown time between the electrodes of the chamber, the consequence of which is to increase the stability of the repetition frequency of the RF pulses generated by the generator when it operates in a pulse-periodic mode.

Недостатком подобной конструкции генератора является ограниченность частоты генерации прибора.The disadvantage of this design of the generator is the limited frequency of generation of the device.

Согласно проведенным исследованиям рабочая частота ВЧ-генератора на основе разряда с полым катодом тем больше, чем выше плотность тока разряда. Следовательно, добиться повышения частоты генерации можно, увеличив плотность разрядного тока. Наиболее тривиальный способ сделать это - уменьшить площадь электродов. Однако этот путь имеет свои недостатки: при уменьшении площади катода существенно возрастет вероятность перехода разряда из объемной формы в контрагированную, что приведет к нестабильной работе генератора.According to studies, the working frequency of an RF generator based on a hollow cathode discharge is greater, the higher the discharge current density. Therefore, it is possible to increase the generation frequency by increasing the discharge current density. The most trivial way to do this is to reduce the area of the electrodes. However, this path has its drawbacks: with a decrease in the cathode area, the probability of the transition of the discharge from the bulk form to the contracted one will substantially increase, which will lead to unstable operation of the generator.

Задачей изобретения является создание генератора на основе разряда с полым катодом с увеличенной частотой генерации.The objective of the invention is to provide a generator based on a discharge with a hollow cathode with an increased generation frequency.

Техническим результатом изобретения является увеличение значений частот генерации ВЧ-генератора на основе разряда с полым катодом.The technical result of the invention is to increase the frequency generation of an RF generator based on a hollow cathode discharge.

Этот технический результат достижим за счет того, что по сравнению с генератором высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом, содержащим газоразрядную камеру, образованную электродами - полым катодом и полым анодом, разделенными изолятором, к электродам камеры подключены источник питания и электрическая нагрузка, причем полость катода и полость анода открыты навстречу друг другу и соединены между собой каналом, формируемым в зоне стыка катода и анода отверстием, открывающим катодную полость, отверстием в изоляторе, задающим межэлектродный промежуток, и отверстием, открывающим анодную полость, в предложенном генераторе канал сужен посредством выполнения, по крайней мере, одного из отверстий, формирующих канал, таким образом, чтобы площадь поперечного сечения этого отверстия была меньше средней площади поперечного сечения катодной полости.This technical result is achievable due to the fact that, compared with a high-frequency radiation generator based on a hollow cathode discharge containing a gas discharge chamber formed by electrodes — a hollow cathode and a hollow anode separated by an insulator, a power source and an electrical load are connected to the chamber electrodes, and the cavity the cathode and the anode cavity are open towards each other and are interconnected by a channel formed in the zone of the junction of the cathode and the anode with a hole opening the cathode cavity, a hole in the insulator, back the channel, and the hole opening the anode cavity in the proposed generator, the channel is narrowed by making at least one of the holes forming the channel, so that the cross-sectional area of this hole is less than the average cross-sectional area of the cathode cavity.

Данное техническое решение позволяет добиться повышения частоты ВЧ-генератора путем увеличения плотности тока разряда без изменения рабочей площади (т.е. площади, с которой происходит эмиссия частиц в процессе горения разряда) катодной полости, но за счет уменьшения площади поперечного сечения разряда в области межэлектродного промежутка. А именно за счет уменьшения (по сравнению со средней площадью поперечного сечения катодной полости по протяженности полости) площади поперечного сечения канала, соединяющего полости катода и анода, формируемого в зоне стыка катода и анода отверстием, открывающим катодную полость, отверстием в изоляторе, задающим межэлектродный промежуток, и отверстием, открывающим анодную полость. Соответственно уменьшить площадь поперечного сечения канала возможно, уменьшив площадь поперечного сечения по крайней мере одного, любого из отверстий, формирующих канал (либо любых двух отверстий, либо всех трех отверстий). При этом разряд, инициируясь по всей площади полостей электродов (или по большей ее части), за счет того, что площадь поперечного сечения какой-либо части канала меньше площади поперечного сечения катодной полости, будет сужаться, то есть уплотняться в области межэлектродного зазора (в той части канала, в которой площадь поперечного сечения канала будет наименьшей по его протяженности). При этом плотность тока разряда возрастет, и частота ВЧ-импульсов увеличится.This technical solution allows to increase the frequency of the RF generator by increasing the discharge current density without changing the working area (i.e., the area with which the particles are emitted during the discharge) of the cathode cavity, but by reducing the discharge cross-sectional area in the interelectrode region gap. Namely, due to a decrease (compared with the average cross-sectional area of the cathode cavity along the length of the cavity) of the cross-sectional area of the channel connecting the cathode and anode cavities formed at the junction of the cathode and the anode with a hole opening the cathode cavity, an opening in the insulator defining the interelectrode gap , and a hole opening the anode cavity. Accordingly, it is possible to reduce the cross-sectional area of the channel by reducing the cross-sectional area of at least one of any of the holes forming the channel (either any two holes or all three holes). In this case, the discharge, initiated over the entire area of the cavities of the electrodes (or most of it), due to the fact that the cross-sectional area of any part of the channel is smaller than the cross-sectional area of the cathode cavity, will narrow, i.e., become denser in the region of the interelectrode gap ( that part of the channel in which the cross-sectional area of the channel will be the smallest along its length). In this case, the discharge current density will increase, and the frequency of the RF pulses will increase.

Пример конструкции ВЧ-генератора на основе разряда с полым катодом в цилиндрической геометрии показан на чертеже. Газоразрядная камера генератора образована цилиндрическими по форме электродами - полым катодом 1 и анодом 2, разделенными изолятором 3. Канал, соединяющий полости катода и анода, сужен в зоне стыка катода и анода за счет того, что диаметр формирующего канал круглого аксиального отверстия в изоляторе 3 гораздо меньше диаметра катодной полости, и площадь его поперечного сечения значительно меньше средней площади поперечного сечения катодной полости. Диаметры отверстий, открывающих полости катода и анода и соответственно их площади в данном случае равны средней площади поперечного сечения катодной полости. Электроды газоразрядной камеры подключены к источнику питания 4. К электродам камеры подключена электрическая нагрузка 5. Рабочий объем камеры подсоединен к вакуумной системе 6.An example of the design of an RF generator based on a hollow cathode discharge in cylindrical geometry is shown in the drawing. The gas discharge chamber of the generator is formed by cylindrical electrodes — a hollow cathode 1 and anode 2, separated by an insulator 3. The channel connecting the cavity of the cathode and anode is narrowed in the junction of the cathode and the anode due to the fact that the diameter of the circular axial hole forming the channel in the insulator 3 is much smaller than the diameter of the cathode cavity, and its cross-sectional area is much smaller than the average cross-sectional area of the cathode cavity. The diameters of the holes opening the cavity of the cathode and anode and, accordingly, their area in this case are equal to the average cross-sectional area of the cathode cavity. The electrodes of the gas discharge chamber are connected to a power source 4. An electric load is connected to the electrodes of the chamber 5. The working volume of the chamber is connected to a vacuum system 6.

ВЧ-генератор работает следующим образом. Посредством вакуумной системы 6 в газоразрядной камере устанавливается необходимый для функционирования устройства уровень давления. При запуске источника питания 4 на электроды газоразрядной камеры подается импульс напряжения. В камере инициируется газовый разряд с полым катодом, напряжение разряда промодулировано по ВЧ-частоте. ВЧ-колебания разрядного напряжения передаются в нагрузку 5 (в качестве нагрузки может использоваться система излучения или резистивное сопротивление). Тонкими линиями со стрелками показаны направления движения эмитированных с поверхности катода частиц через узкое отверстие в межэлектродной области. Так как плотность тока разряда, проходящего через канал малой площади, существенно превышает плотность тока разряда в устройстве-прототипе, в данной конструкции частота генерации заявляемого устройства значительно превосходит частоту генерации прототипа.The RF generator operates as follows. By means of a vacuum system 6, a pressure level necessary for the functioning of the device is set in the gas discharge chamber. When starting the power source 4, a voltage pulse is applied to the electrodes of the gas discharge chamber. In the chamber, a gas discharge with a hollow cathode is initiated, the discharge voltage is modulated at the RF frequency. The HF oscillations of the discharge voltage are transmitted to the load 5 (a radiation system or resistive resistance can be used as a load). Thin lines with arrows show the directions of motion of particles emitted from the surface of the cathode through a narrow hole in the interelectrode region. Since the density of the discharge current passing through the channel of a small area significantly exceeds the density of the discharge current in the prototype device, in this design the frequency of generation of the inventive device significantly exceeds the frequency of generation of the prototype.

Устройство в конкретном выполнении имеет следующие параметры:The device in a specific implementation has the following parameters:

- Катод выполнен из нержавеющей стали в форме полого цилиндра с одной открытой торцевой стенкой, средний диаметр поперечного сечения катодной полости 25 мм (при этом средняя площадь поперечного сечения катодной области равна приблизительно 500 мм2), протяженность полости 50 мм.- The cathode is made of stainless steel in the form of a hollow cylinder with one open end wall, the average cross-sectional diameter of the cathode cavity is 25 mm (the average cross-sectional area of the cathode region is approximately 500 mm 2 ), the length of the cavity is 50 mm.

- Анод выполнен из нержавеющей стали в форме полого цилиндра диаметром 25 мм.- The anode is made of stainless steel in the form of a hollow cylinder with a diameter of 25 mm.

- Изолятор, задающий межэлектродный промежуток, выполнен из жаропрочной керамики в форме диска с аксиальным отверстием, формирующим канал, соединяющий полости катода и анода, диаметр отверстия 5 мм (площадь поперечного сечения отверстия примерно 20 мм2), в 5 раз меньший, чем средний диаметр поперечного сечения катодной полости и соответственно в 25 раз меньше средней площади поперечного сечения катодной полости.- The insulator defining the interelectrode gap is made of heat-resistant ceramic in the form of a disk with an axial hole forming a channel connecting the cavity of the cathode and the anode, the hole diameter is 5 mm (the cross-sectional area of the hole is about 20 mm 2 ), 5 times smaller than the average diameter the cross section of the cathode cavity and, accordingly, 25 times smaller than the average cross-sectional area of the cathode cavity.

- Источник питания обеспечивает на выходе импульсы напряжения амплитудой 3÷5 кВ.- The power source provides voltage pulses with an amplitude of 3 ÷ 5 kV at the output.

- Вакуумная система обеспечивает уровень давления рабочего газа в газоразрядной камере порядка 10-1 Торр.- The vacuum system provides a level of the working gas in the discharge chamber pressure of about 10 -1 Torr.

Согласно предварительным экспериментам рабочая частота данного ВЧ-генератора по сравнению с прототипом возрастает на несколько десятков МГц. Таким образом, техническая задача изобретения решена за счет реализованного в конструкции технического решения.According to preliminary experiments, the operating frequency of this RF generator in comparison with the prototype increases by several tens of MHz. Thus, the technical problem of the invention is solved due to the technical solution implemented in the design.

Claims (1)

Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом, содержащий газоразрядную камеру, образованную электродами - полым катодом и полым анодом, разделенными изолятором, к электродам камеры подключены источник питания и электрическая нагрузка, причем полость катода и полость анода открыты навстречу друг другу и соединены между собой каналом, формируемым в зоне стыка катода и анода отверстием, открывающим катодную полость, отверстием в изоляторе, задающим межэлектродный промежуток, и отверстием, открывающим анодную полость, отличающийся тем, что канал сужен посредством выполнения, по крайней мере, одного из отверстий, формирующих канал, таким образом, чтобы площадь поперечного сечения этого отверстия была меньше средней площади поперечного сечения катодной полости. A hollow-cathode discharge high-frequency radiation generator containing a gas discharge chamber formed by a hollow cathode and a hollow anode electrodes separated by an insulator, a power source and an electric load are connected to the chamber electrodes, the cathode cavity and the anode cavity being open towards each other and interconnected a channel formed at the junction of the cathode and the anode with a hole opening the cathode cavity, a hole in the insulator defining the interelectrode gap, and a hole opening the anode spine, characterized in that the channel is narrowed by performing at least one of the openings forming the passage, so that the cross-sectional area of the orifice was less than the average cross-sectional area of the cathode cavity.
RU2015124997/07A 2015-06-24 2015-06-24 High-frequency radiation generator based on discharge with hollow cathode RU2605202C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015124997/07A RU2605202C1 (en) 2015-06-24 2015-06-24 High-frequency radiation generator based on discharge with hollow cathode

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015124997/07A RU2605202C1 (en) 2015-06-24 2015-06-24 High-frequency radiation generator based on discharge with hollow cathode

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2605202C1 true RU2605202C1 (en) 2016-12-20

Family

ID=58697326

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015124997/07A RU2605202C1 (en) 2015-06-24 2015-06-24 High-frequency radiation generator based on discharge with hollow cathode

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2605202C1 (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2335032C1 (en) * 2007-03-01 2008-09-27 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственный заказчик - Федеральное агентство по атомной энергии High-frequency generator built around hollow arc-cathode
US7439521B2 (en) * 2005-02-18 2008-10-21 Veeco Instruments, Inc. Ion source with removable anode assembly
EP2561540A1 (en) * 2010-04-09 2013-02-27 E.A. Fischione Instruments, Inc. Improved ion source
RU134697U1 (en) * 2013-04-30 2013-11-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" HIGH-FREQUENCY RADIATION GENERATOR BASED ON A Hollow Cathode Discharge
RU2522894C2 (en) * 2012-08-24 2014-07-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом"-Госкорпорация "Росатом" Hollow-cathode discharge-based high-frequency radiation generator (versions)
RU145566U1 (en) * 2014-04-14 2014-09-20 Общество с ограниченной ответственностью "Научно-техническое предприятие "Дека" (ООО "НТП "Дека") STABILIZING CONVERTER OF AC THREE-PHASE VOLTAGE TO DC

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7439521B2 (en) * 2005-02-18 2008-10-21 Veeco Instruments, Inc. Ion source with removable anode assembly
RU2335032C1 (en) * 2007-03-01 2008-09-27 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственный заказчик - Федеральное агентство по атомной энергии High-frequency generator built around hollow arc-cathode
EP2561540A1 (en) * 2010-04-09 2013-02-27 E.A. Fischione Instruments, Inc. Improved ion source
RU2522894C2 (en) * 2012-08-24 2014-07-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом"-Госкорпорация "Росатом" Hollow-cathode discharge-based high-frequency radiation generator (versions)
RU134697U1 (en) * 2013-04-30 2013-11-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" HIGH-FREQUENCY RADIATION GENERATOR BASED ON A Hollow Cathode Discharge
RU145566U1 (en) * 2014-04-14 2014-09-20 Общество с ограниченной ответственностью "Научно-техническое предприятие "Дека" (ООО "НТП "Дека") STABILIZING CONVERTER OF AC THREE-PHASE VOLTAGE TO DC

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8735766B2 (en) Cathode assembly and method for pulsed plasma generation
RU134697U1 (en) HIGH-FREQUENCY RADIATION GENERATOR BASED ON A Hollow Cathode Discharge
US20160046489A1 (en) Ozone generator
Zhang et al. The breakdown characteristics of single-gap pseudospark discharge under nanosecond pulsed voltages
JP2012084396A (en) Pulse-power-type low-temperature plasma jet generating apparatus
Korolev et al. Discharge in the saline solutions in a vicinity of the threshold voltages
Kazakov et al. Influence of electron beam generation on the parameters and emission characteristics of a constricted arc discharge in a pulsed forevacuum plasma-cathode electron source
CA2695902C (en) Cathode assembly and method for pulsed plasma generation
RU2605202C1 (en) High-frequency radiation generator based on discharge with hollow cathode
Yushkov et al. A forevacuum plasma source of pulsed electron beams
RU2497225C2 (en) Generator of high-frequency emission based on discharge with hollow cathode
RU2707267C2 (en) High-frequency pulses generator based on hollow cathode discharge
RU2624000C2 (en) Generator of high-frequency emission based on discharge with hollow cathode
RU107657U1 (en) FORVACUMUM PLASMA ELECTRONIC SOURCE
RU2683962C1 (en) Open-chamber for generator of high-frequency pulse based on discharge with hollow cathode
WO2015147703A3 (en) Method for producing thermal and electrical energy and device for implementing said method
RU145556U1 (en) HIGH-FREQUENCY RADIATION GENERATOR BASED ON A Hollow Cathode Discharge
Efremov A low-impedance high-voltage bipolar pulse former
RU181255U1 (en) TYRATRON TYPE DISCHARGE DEVICE WITH IMPROVED DISCHARGE PARAMETERS
Kruglov et al. Modeling and development of thyratron type grid node with improved discharge parameters for specialized gas-discharge current interrupter
US20080315689A1 (en) Ultra short high voltage pulse generator based on single or double spark gap
RU2522894C2 (en) Hollow-cathode discharge-based high-frequency radiation generator (versions)
Gushenets et al. A pulsed vacuum arc ion source with a pure boron cathode
Gushenets et al. Effect of the enhanced breakdown strength in plasma-filled optical system of electron beam formation
RU164563U1 (en) HIGH-FREQUENCY RADIATION GENERATOR BASED ON A Hollow Cathode Discharge