RU2603348C2 - Penning pump - Google Patents

Penning pump Download PDF

Info

Publication number
RU2603348C2
RU2603348C2 RU2015110694/07A RU2015110694A RU2603348C2 RU 2603348 C2 RU2603348 C2 RU 2603348C2 RU 2015110694/07 A RU2015110694/07 A RU 2015110694/07A RU 2015110694 A RU2015110694 A RU 2015110694A RU 2603348 C2 RU2603348 C2 RU 2603348C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
magnetic
anodes
magnetic poles
cathodes
pump
Prior art date
Application number
RU2015110694/07A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2015110694A (en
Inventor
Рафаил Ионович Фишман
Original Assignee
Закрытое акционерное общество "Научно - техническое объединение ПРИБОРСЕРВИС" (ЗАО "НТО ПРИБОРСЕРВИС")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Закрытое акционерное общество "Научно - техническое объединение ПРИБОРСЕРВИС" (ЗАО "НТО ПРИБОРСЕРВИС") filed Critical Закрытое акционерное общество "Научно - техническое объединение ПРИБОРСЕРВИС" (ЗАО "НТО ПРИБОРСЕРВИС")
Priority to RU2015110694/07A priority Critical patent/RU2603348C2/en
Publication of RU2015110694A publication Critical patent/RU2015110694A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2603348C2 publication Critical patent/RU2603348C2/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
    • H01J41/12—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps
    • H01J41/18—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps with ionisation by means of cold cathodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F7/00—Magnets
    • H01F7/02—Permanent magnets [PM]

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Abstract

FIELD: electrical engineering.
SUBSTANCE: invention relates to electrical engineering and can be used for pumping gas from a sealed vessel down to the pressure of about 10-9 mmHg. Penning pump comprises a housing with an inlet branch pipe and a high-voltage input, an electrode and a magnetic systems. Electrode system consists of n anodes and m cathodes, and the magnetic one - of L pairs of magnetic poles. Anodes, cathodes and magnetic poles are located inside the hollow sealed housing from a whole closed wall and the upper and the lower covers so, that their electric and magnetic fields interacting with each other in the best way to pump out the gas coming through the inlet branch pipe inside the housing. Between heteropolar magnetic poles of all L pairs there is the entire electronic system, herewith all n hollow anodes are arranged parallel to the magnetic field, and m cathodes - across the magnetic field on both sides from open ends of the anodes leaving a gap between the anodes and the cathodes. Magnetic system is made composite with changed properties of magnetic poles on the periphery relative to properties of magnetic poles in the center of the magnetic system providing alignment of the magnetic field induction value in the entire working area of the pump.
EFFECT: technical result is faster operation.
3 cl, 1 dwg

Description

Изобретение относится к вакуумной технике, точнее - к электрофизическим насосам, и может быть использовано для откачивания газа из герметичного сосуда до давления порядка 10 в минус девятой степени мм ртутного столба, например для создания электронно-вакуумных приборов с большим сроком службы и с низким коэффициентом уровня шума.The invention relates to vacuum equipment, more specifically, to electrophysical pumps, and can be used to pump gas from an airtight vessel to a pressure of about 10 in minus the ninth degree mm of mercury column, for example, to create electron-vacuum devices with a long service life and a low level coefficient noise.

За последние несколько десятков лет вакуумные насосы в своем развитии прошли путь от сорбционных (поглотительных) до современных магниторазрядных. При этом сущность «поглощения» в принципе работы вакуумных насосов сохранилась до сих пор. Одним из лучших поглотителей является титан, который образует твердое химическое соединение со всеми компонентами остаточных газов, кроме инертных газов. Для непрерывного обновления поверхности титана применяли термическую возгонку (сублимацию), а в более мощных насосах - испарение титана из жидкой фазы. Таким образом, вся внутренняя поверхность насоса (герметичного корпуса, куда входит поглощаемый газ) может быть превращена в насос с колоссальной быстротой откачки, превышающей 100 тысяч литров в секунду.Over the past few decades, vacuum pumps in their development have gone from sorption (absorption) to modern magnetic discharge. At the same time, the essence of "absorption" in the principle of operation of vacuum pumps has been preserved to this day. One of the best absorbers is titanium, which forms a solid chemical compound with all components of the residual gases except inert gases. For continuous updating of the titanium surface, thermal sublimation (sublimation) was used, and in more powerful pumps, evaporation of titanium from the liquid phase was used. Thus, the entire inner surface of the pump (the sealed enclosure where the absorbed gas enters) can be turned into a pump with a tremendous pumping speed exceeding 100 thousand liters per second.

Для улучшения откачивающего действия сорбционного насоса в нем появились элементы возбуждения и ионизации атомов откачиваемого газа, обеспечивающие электрический разряд или поток электронов из накаленного катода. Насосы, в которых одновременно осуществляют ионизацию газа и распыление газопоглотителя называют ионно-сорбционными. Магниторазрядные насосы (или насосы Пеннинга) отличаются холодным катодом, где, во-первых, осуществляется катодное распыление титана (или другого пригодного материала) путем бомбардировки холодного катода ионами откачиваемого газа с энергией несколько кило-электрон-вольт, а, во-вторых, источником электронов, необходимых для ионизации газа, является магнитно-изолированный газовый разряд (так называемый разряд Пеннинга).To improve the pumping action of the sorption pump, elements of the excitation and ionization of the atoms of the pumped gas appeared in it, providing an electric discharge or an electron stream from a heated cathode. Pumps in which gas ionization and atomization of a getter are simultaneously carried out are called ion sorption. Magnetic-discharge pumps (or Penning pumps) are distinguished by a cold cathode, where, firstly, cathodic sputtering of titanium (or other suitable material) is carried out by bombarding the cold cathode with several kilo-electron-volts pumped gas ions, and, secondly, a source The electron required for ionizing the gas is a magnetically insulated gas discharge (the so-called Penning discharge).

В рассматриваемых ниже в данной заявке в магниторазрядных насосах могут полностью отсутствовать высокотемпературные элементы и громоздкие средства охлаждения (это еще и долговечность). При этом и уход ионов газа на катод насоса и связанное с этим распыление катода и поглощение газа составляют полезный эффект откачки газа.In the magnetic discharge pumps discussed later in this application, high temperature elements and bulky cooling means may be completely absent (this is also durability). In this case, both the escape of gas ions to the pump cathode and the associated atomization of the cathode and absorption of gas constitute a useful gas evacuation effect.

Известны магниторазрядные насосы [Г.Л. Саксаганский. «Электрофизические вакуумные насосы». М.: Энергоатомиздат, 1988 г.; или Г.Н. Васильев, «Магниторазрядные насосы», 1970 г.], содержащие магнитную систему и электродную систему, включающие в себя анодный и катодный блоки, а также корпус и высоковольтный и газовый вводы, при этом электродная и магнитная системы расположены внутри герметичного корпуса.Known magnetic discharge pumps [G.L. Saksagansky. "Electrophysical vacuum pumps." M .: Energoatomizdat, 1988; or G.N. Vasiliev, “Magnetic Discharge Pumps, 1970], containing a magnetic system and an electrode system, including anode and cathode blocks, as well as a housing and high voltage and gas inputs, while the electrode and magnetic systems are located inside the sealed enclosure.

Недостатком таких насосов является снижение быстроты действия ячеек на границах магнитов за счет снижения индукции магнитного поля, а поскольку таких ячеек много, то общее снижение быстроты действия насоса значительно.The disadvantage of such pumps is a decrease in the speed of the cells at the boundaries of the magnets due to a decrease in the magnetic field induction, and since there are many such cells, the overall decrease in the speed of the pump is significant.

Наиболее близким по технической сущности к заявляемому насосу является магниторазрядный насос [Патент США №3994625, US CL. 417/49], имеющий корпус, высоковольтный ввод, анодный блок, два титановых катода и магниты, создающие магнитное поле, направленное по оси анодного блока.The closest in technical essence to the claimed pump is a magnetic discharge pump [US Patent No. 3994625, US CL. 417/49], having a housing, a high voltage input, an anode block, two titanium cathodes and magnets that create a magnetic field directed along the axis of the anode block.

Основным недостатком прототипа является снижение быстроты действия ячеек и, соответственно, всего насоса на границе магнитов за счет снижения индукции магнитного поля.The main disadvantage of the prototype is to reduce the speed of action of the cells and, accordingly, the entire pump at the boundary of the magnets by reducing the induction of the magnetic field.

Техническим результатом и задачей изобретения является улучшение главной технической характеристики прототипа - увеличение быстродействия насоса без увеличения его весогабаритных характеристик, т.е. увеличение его удельного быстродействия за счет выравнивания магнитного поля насоса на периферии его рабочей области. При этом выигрыш составляет в среднем порядка 10% для различных конструктивных решений (определен автором экспериментально).The technical result and the objective of the invention is to improve the main technical characteristics of the prototype - to increase the speed of the pump without increasing its weight and size characteristics, i.e. an increase in its specific speed due to the alignment of the magnetic field of the pump on the periphery of its working area. Moreover, the gain is on average about 10% for various constructive solutions (experimentally determined by the author).

Указанные технический результат и задача достигаются тем, что магниторазрядный насос, содержащий корпус с входным патрубком и высоковольтным вводом, электродную и магнитную системы, причем электродная система состоит из n анодов и m катодов, а магнитная система состоит из L пар магнитных полюсов, при этом аноды, катоды и магнитные полюса расположены внутри полого герметичного корпуса из цельной замкнутой стенки и верхней и нижней крышек таким образом, чтобы их электрическое и магнитное поля, взаимодействуя друг с другом, наилучшим образом откачивали газ, поступающий через входной патрубок внутрь корпуса, для этого между разнополярными магнитными полюсами всех L пар располагают всю электронную систему, причем все n полых анодов располагают параллельно магнитному полю, a m катодов - поперек магнитного поля с двух сторон от открытых торцов анодов, оставляя зазор между анодами и катодами, магнитная система выполнена составной с изменением свойств магнитных полюсов на периферии относительно свойств магнитных полюсов в центре магнитной системы, обеспечивающих уравнивание величины индукции магнитного поля во всей рабочей области насоса.The technical result and the task are achieved in that a magnetic discharge pump comprising a housing with an inlet pipe and a high voltage input, an electrode and a magnetic system, the electrode system consisting of n anodes and m cathodes, and the magnetic system consists of L pairs of magnetic poles, while the anodes , cathodes and magnetic poles are located inside a hollow sealed enclosure of a one-piece closed wall and upper and lower covers so that their electric and magnetic fields, interacting with each other, in the best way gas was pumped through the inlet pipe into the casing; for this, the entire electronic system is located between the bipolar magnetic poles of all L pairs, all n hollow anodes being parallel to the magnetic field, am cathodes across the magnetic field from two sides of the open ends of the anodes, leaving a gap between the anodes and cathodes, the magnetic system is made integral with changing the properties of the magnetic poles at the periphery relative to the properties of the magnetic poles in the center of the magnetic system, providing equalization causes of magnetic field induction in the entire working area of the pump.

На фиг. 1 представлен эскиз магниторазрядного насоса.In FIG. 1 shows a sketch of a magnetic discharge pump.

Насос содержит:The pump contains:

1 - корпус, изготовленный из магнитного металла;1 - case made of magnetic metal;

2 - высоковольтный ввод;2 - high voltage input;

3 - входной патрубок для присоединения насоса к объекту откачки;3 - inlet pipe for connecting the pump to the pumping object;

4 - крышки, изготовленные из магнитного материала;4 - covers made of magnetic material;

5 - аноды и 6 - катоды насоса,5 - anodes and 6 - cathodes of the pump,

составляющие электродную системуmaking up the electrode system

7, 8 - магнитную систему, содержащую 3 пары (L=3) магнитных полюсов, создающих магнитное поле по оси насоса, при этом: 7 - внутренние магниты, 8 - наружные магниты.7, 8 - a magnetic system containing 3 pairs (L = 3) of magnetic poles that create a magnetic field along the axis of the pump, while: 7 - internal magnets, 8 - external magnets.

Все используемые в насосе элементы и материалы широко применяемы и доступны.All elements and materials used in the pump are widely used and available.

Магниторазрядный насос, содержащий корпус 1 с входным патрубком 3 и высоковольтным вводом 2, электродную 5, 6 и магнитную 7, 8 системы, причем электродная система состоит из n анодов 5 и m катодов 6, а магнитная система состоит из L пар магнитных полюсов 7, 8, при этом аноды, катоды и магнитные полюса расположены внутри полого герметичного корпуса 1 из цельной замкнутой стенки и верхней и нижней крышек 4 таким образом, чтобы их электрическое и магнитное поля, взаимодействуя друг с другом, наилучшим образом откачивали газ, поступающий через входной патрубок 3 внутрь корпуса 1, для этого между разнополярными магнитными полюсами 7, 8 всех L пар располагают всю электронную систему 5, 6, причем все n полых анодов 5 располагают параллельно магнитному полю, a m катодов 6 - поперек магнитного поля с двух сторон от открытых торцов анодов 5, оставляя зазор между анодами 5 и катодами 6, магнитная система 7, 8 выполнена составной с изменением свойств магнитных полюсов 8 на периферии относительно свойств магнитных полюсов 7 в центре магнитной системы, обеспечивающих уравнивание величины индукции магнитного поля во всей рабочей области насоса. При этом магнитные полюса 7 и 8 могут быть выполнены ступенчатыми с разной толщиной на периферии и в центре и насоса, например, как на фиг. 1: 8 - толще чем 7 или наоборот. Магнитные полюса 8 и 7 соответственно на периферии и в центре могут быть выполнены из разных магнитных материалов, имеющих разную магнитную энергию, если внутренние магнитные полюса 7 выполнены из ферритов, то внешние 8 выполняют из сплавов самарий-кобальт или железо-неодим-бор. Конструктивно аноды 5 и корпус 1 могут иметь форму цилиндров или прямоугольную или другую, причем независимо друг от друга.A magnetic discharge pump comprising a housing 1 with an inlet pipe 3 and a high voltage input 2, an electrode 5, 6 and a magnetic 7, 8 system, the electrode system consisting of n anodes 5 and m cathodes 6, and the magnetic system consists of L pairs of magnetic poles 7, 8, while the anodes, cathodes and magnetic poles are located inside the hollow sealed enclosure 1 from a solid closed wall and the upper and lower covers 4 so that their electric and magnetic fields, interacting with each other, best pumped gas entering through the input path side 3 inside the housing 1, for this, between the bipolar magnetic poles 7, 8 of all L pairs, the entire electronic system 5, 6 is located, and all n hollow anodes 5 are parallel to the magnetic field, am of the cathodes 6 are across the magnetic field on both sides of the open ends of the anodes 5, leaving a gap between the anodes 5 and the cathodes 6, the magnetic system 7, 8 is made integral with changing the properties of the magnetic poles 8 at the periphery relative to the properties of the magnetic poles 7 in the center of the magnetic system, providing equalization of the magnetic field I'm in the entire working area of the pump. In this case, the magnetic poles 7 and 8 can be made stepwise with different thicknesses on the periphery and in the center of the pump, for example, as in FIG. 1: 8 - thicker than 7 or vice versa. The magnetic poles 8 and 7, respectively, at the periphery and in the center can be made of different magnetic materials having different magnetic energy, if the internal magnetic poles 7 are made of ferrite, then the external 8 are made of samarium-cobalt or iron-neodymium-boron alloys. Structurally, the anodes 5 and the housing 1 can be in the form of cylinders or rectangular or other, and independently of each other.

Магниторазрядный насос работает следующим образом.Magnetic discharge pump operates as follows.

Насос присоединяют через входной патрубок 3 к объекту откачки. Подключают источник постоянного тока к высоковольтному вводу 2, соблюдая полярность: плюс - к вводу 2, минус - к корпусу 1 насоса. Источник обладает падающей вольт-амперной характеристикой и на холостом ходу имеет на выходе +4…7 кВ. Подача такого напряжения на анод 5 при давлении 1 Па сопровождается возникновением разряда Пеннинга. Электроны разряда ионизируют остаточный газ в насосе и его положительные ионы ускоряются к катодам 6, бомбардируют их, распыляя титан - материал катодов 6. Распыленные нейтральные атомы осаждаются на внутренней поверхности корпуса 1 и анода 5, связывая остаточные газы в химические соединения, т.е. откачивая их из объема насоса. В ходе эксплуатации ранее разработанных насосов [Даниловский В.Ф., Михайлов В.П., Рудницкий Е.М., Фишман Р.И. Электронная промышленность, 1988, вып. 4, с. 64-65.], было выяснено, что периферийные ячейки электродной 5, 6 системы работают неэффективно в силу неэффективности конфигурации магнитной 7, 8 системы. В ранее созданных насосах существует резкое падение магнитного поля на периферии насоса, в результате этого периферийные ячейки насоса не работают, поскольку существует известная зависимость между диаметром и длиной ячейки, величиной магнитного поля и приложенным напряжением. Чтобы периферийные ячейки заработали, магнитное поле на периферии должно быть увеличено, что достигается изменением конструкции магнитной системы, например, как в случае, когда (фиг. 1) толщина внутреннего магнита 7 уменьшается, а толщина наружного магнита 8 остается прежней. Как вариант, внутренний магнит 7 выполняется из ферритов, а наружный магнит 8 - из материалов с большей магнитной энергией, например из сплавов саморий-кобальт или железо-неодим-бор. Эффект также достигается, если толщина внутреннего магнита 8 остается прежней, а наружный магнит 8 выполняется меньшей толщины, но из материала с большей магнитной энергией. В результате величина индукции магнитного поля у крайних ячеек увеличивается, они начинают эффективно работать и быстрота действия насоса увеличивается при практическом сохранении его веса, т.е. удельные характеристики насоса (отношение быстроты действия насоса к его весу) увеличивается.The pump is connected through the inlet pipe 3 to the pumping object. Connect the DC source to the high-voltage input 2, observing the polarity: plus - to input 2, minus - to the pump housing 1. The source has a falling current-voltage characteristic and at idle has an output of + 4 ... 7 kV. The supply of such voltage to the anode 5 at a pressure of 1 Pa is accompanied by the occurrence of a Penning discharge. The discharge electrons ionize the residual gas in the pump and its positive ions accelerate to the cathodes 6, bombard them by sputtering titanium - the material of the cathodes 6. Neutralized atoms are deposited on the inner surface of the casing 1 and the anode 5, binding the residual gases to chemical compounds, i.e. pumping them out of the pump volume. During the operation of previously developed pumps [Danilovsky V.F., Mikhailov V.P., Rudnitsky E.M., Fishman R.I. Electronic Industry, 1988, no. 4, p. 64-65.], It was found that the peripheral cells of the electrode system 5, 6 are inefficient due to the inefficiency of the configuration of the magnetic system 7, 8. In previously created pumps, there is a sharp drop in the magnetic field at the periphery of the pump, as a result of which the peripheral cells of the pump do not work, since there is a known relationship between the diameter and length of the cell, the magnitude of the magnetic field and the applied voltage. For the peripheral cells to work, the magnetic field at the periphery must be increased, which is achieved by changing the design of the magnetic system, for example, as in the case when (Fig. 1) the thickness of the inner magnet 7 decreases, and the thickness of the outer magnet 8 remains the same. Alternatively, the inner magnet 7 is made of ferrites, and the outer magnet 8 is made of materials with higher magnetic energy, for example, samorium-cobalt or iron-neodymium-boron alloys. The effect is also achieved if the thickness of the inner magnet 8 remains the same, and the outer magnet 8 is made thinner, but from a material with higher magnetic energy. As a result, the magnitude of the magnetic field induction at the extreme cells increases, they begin to work efficiently and the speed of the pump increases with the practical maintenance of its weight, i.e. the specific characteristics of the pump (the ratio of the speed of the pump to its weight) increases.

Технико-экономические преимущества заявляемого насоса по сравнению с прототипом, характеризующим существующий уровень техники в области вакуумных насосов, заключается в повышении скорости их откачки и увеличении удельных характеристик. Экспериментальная проверка работоспособности насосов подтвердила эффективность предложенного технического решения.Technical and economic advantages of the inventive pump compared to the prototype characterizing the current level of technology in the field of vacuum pumps, is to increase their pumping speed and increase specific characteristics. An experimental check of the pump performance confirmed the effectiveness of the proposed technical solution.

Claims (3)

1. Магниторазрядный насос, содержащий корпус с входным патрубком и высоковольтным вводом, электродную и магнитные системы, причем электродная система состоит из n анодов и m катодов, а магнитная система состоит из L пар магнитных полюсов, при этом аноды, катоды и магнитные полюса расположены внутри полого герметичного корпуса из цельной замкнутой стенки и верхней и нижней крышек таким образом, чтобы между разнополярными магнитными полюсами всех L пар расположить всю электронную систему, причем все n полых анодов располагают параллельно магнитному полю, a m катодов - поперек магнитного поля с двух сторон от открытых торцов анодов, оставляя зазор между анодами и катодами, отличающийся тем, что магнитная система выполнена составной с изменением свойств магнитных полюсов на периферии относительно свойств магнитных полюсов в центре магнитной системы, обеспечивающих управление величины индукции магнитного поля во всей рабочей области насоса путем изменения размеров или материалов магнитных полюсов.1. Magnetic discharge pump containing a housing with an inlet pipe and a high voltage input, electrode and magnetic systems, the electrode system consisting of n anodes and m cathodes, and the magnetic system consists of L pairs of magnetic poles, while the anodes, cathodes and magnetic poles are located inside of a hollow sealed enclosure of a one-piece closed wall and upper and lower covers in such a way that between the bipolar magnetic poles of all L pairs the entire electronic system is located, and all n hollow anodes are parallel the total field, am of the cathodes - across the magnetic field on both sides of the open ends of the anodes, leaving a gap between the anodes and cathodes, characterized in that the magnetic system is made integral with changing the properties of the magnetic poles at the periphery relative to the properties of the magnetic poles in the center of the magnetic system, providing control the magnitude of the magnetic field induction in the entire working area of the pump by changing the dimensions or materials of the magnetic poles. 2. Магниторазрядный насос по п. 1, отличающийся тем, что магнитные полюса выполнены ступенчатыми с разной толщиной на периферии и в центре насоса.2. The magnetic discharge pump according to claim 1, characterized in that the magnetic poles are made stepped with different thicknesses on the periphery and in the center of the pump. 3. Магниторазрядный насос по п. 1, отличающийся тем, что магнитные полюса на периферии и в центре выполнены из разных магнитных материалов, имеющих разную магнитную энергию, если внутренние магнитные полюса выполнены из ферритов, то внешние выполняют из сплавов самарий-кобальт или железо-неодим-бор. 3. The magnetic discharge pump according to claim 1, characterized in that the magnetic poles on the periphery and in the center are made of different magnetic materials having different magnetic energy, if the internal magnetic poles are made of ferrite, then the external ones are made of samarium-cobalt or iron- neodymium boron.
RU2015110694/07A 2015-03-26 2015-03-26 Penning pump RU2603348C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015110694/07A RU2603348C2 (en) 2015-03-26 2015-03-26 Penning pump

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015110694/07A RU2603348C2 (en) 2015-03-26 2015-03-26 Penning pump

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2015110694A RU2015110694A (en) 2016-10-20
RU2603348C2 true RU2603348C2 (en) 2016-11-27

Family

ID=57138173

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015110694/07A RU2603348C2 (en) 2015-03-26 2015-03-26 Penning pump

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2603348C2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2797815C2 (en) * 2021-07-30 2023-06-08 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ") Pumping vacuum device

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3205415A (en) * 1961-12-27 1965-09-07 Hitachi Ltd Permanent magnet device
US3994625A (en) * 1975-02-18 1976-11-30 Varian Associates Sputter-ion pump having improved cooling and improved magnetic circuitry
US4672346A (en) * 1984-04-11 1987-06-09 Sumotomo Special Metal Co., Ltd. Magnetic field generating device for NMR-CT
US4695802A (en) * 1984-07-17 1987-09-22 U.S. Philips Corporation Nuclear magnetic resonance apparatus with a permanent magnet
US4937545A (en) * 1987-03-03 1990-06-26 Commissariat A L'energie Atomique System of permanent magnets for an intense magnetic field
US5278534A (en) * 1992-09-01 1994-01-11 New York University Magnetic structure having a mirror
SU1132727A1 (en) * 1983-05-13 1998-12-20 Г.Г. Петрук Magnetic-discharge pump

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3205415A (en) * 1961-12-27 1965-09-07 Hitachi Ltd Permanent magnet device
US3994625A (en) * 1975-02-18 1976-11-30 Varian Associates Sputter-ion pump having improved cooling and improved magnetic circuitry
SU1132727A1 (en) * 1983-05-13 1998-12-20 Г.Г. Петрук Magnetic-discharge pump
US4672346A (en) * 1984-04-11 1987-06-09 Sumotomo Special Metal Co., Ltd. Magnetic field generating device for NMR-CT
US4695802A (en) * 1984-07-17 1987-09-22 U.S. Philips Corporation Nuclear magnetic resonance apparatus with a permanent magnet
US4937545A (en) * 1987-03-03 1990-06-26 Commissariat A L'energie Atomique System of permanent magnets for an intense magnetic field
US5278534A (en) * 1992-09-01 1994-01-11 New York University Magnetic structure having a mirror

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2797815C2 (en) * 2021-07-30 2023-06-08 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ") Pumping vacuum device

Also Published As

Publication number Publication date
RU2015110694A (en) 2016-10-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8342813B2 (en) Combined pumping system comprising a getter pump and an ion pump
US2755014A (en) Ionic vacuum pump device
KR20110139267A (en) Combined pumping system comprising a getter pump and an ion pump
JP6327974B2 (en) Stacked ultra-high vacuum creation device
Grzebyk et al. MEMS ion-sorption high vacuum pump
US5899666A (en) Ion drag vacuum pump
US2983433A (en) Getter ion vacuum pump apparatus
RU2603348C2 (en) Penning pump
US3216652A (en) Ionic vacuum pump
US3161802A (en) Sputtering cathode type glow discharge device vacuum pump
EP2120255B1 (en) Ion pump device
KR101134308B1 (en) Ion pump with surface treated permanent magnet
US3428241A (en) High vacuum pump
CN109360780B (en) Novel sputtering ion pump of anode cylinder array
KR100860274B1 (en) Compact uhv sputter ion pump bakable at low temperature and manufacturing method at the same
US3094639A (en) Glow discharge method and apparatus
US7413412B2 (en) Vacuum micropump and gauge
US3176906A (en) Ion pump
US3332606A (en) Penning type vacuum pumps
Schulz Sputter-ion pumps
WO2009092097A1 (en) Concentric hollow cathode magnetron sputter source
WO2020079428A1 (en) A set of pumps, and a method and system for evacuating a vacuum chamber in a radioactive environment
Lozano Ion-induced desorption yield measurements from copper and aluminium
RU76164U1 (en) DISCHARGE SOURCE OF IONS
WO2022264603A1 (en) Plasma source, and atomic clock employing said plasma source

Legal Events

Date Code Title Description
PD4A Correction of name of patent owner
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20190327