RU2597453C1 - Vacuum-compression furnace - Google Patents

Vacuum-compression furnace Download PDF

Info

Publication number
RU2597453C1
RU2597453C1 RU2015122172/02A RU2015122172A RU2597453C1 RU 2597453 C1 RU2597453 C1 RU 2597453C1 RU 2015122172/02 A RU2015122172/02 A RU 2015122172/02A RU 2015122172 A RU2015122172 A RU 2015122172A RU 2597453 C1 RU2597453 C1 RU 2597453C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
vacuum
gas
lenses
furnace
heat
Prior art date
Application number
RU2015122172/02A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Александр Павлович Шляхин
Борис Александрович Сивак
Константин Юрьевич Резнюков
Олег Эдуардович Белов
Галина Леонидовна Акимова
Михаил Хаимович Горфинкель
Николай Борисович Лебедев
Александр Николаевич Шляхин
Людмила Викторовна Ушакова
Елена Николаевна Лебедева
Любовь Егоровна Земница
Original Assignee
Акционерное общество Акционерная холдинговая Компания "Всероссийский научно-исследовательский и проектно-конструкторский институт металлургического машиностроения имени академика Целикова" (АО АХК "ВНИИМЕТМАШ")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество Акционерная холдинговая Компания "Всероссийский научно-исследовательский и проектно-конструкторский институт металлургического машиностроения имени академика Целикова" (АО АХК "ВНИИМЕТМАШ") filed Critical Акционерное общество Акционерная холдинговая Компания "Всероссийский научно-исследовательский и проектно-конструкторский институт металлургического машиностроения имени академика Целикова" (АО АХК "ВНИИМЕТМАШ")
Priority to RU2015122172/02A priority Critical patent/RU2597453C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2597453C1 publication Critical patent/RU2597453C1/en

Links

Images

Landscapes

  • Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)

Abstract

FIELD: heating.
SUBSTANCE: invention relates to equipment for sintering powder items, diffusion welding of composite items in vacuum, in a gas medium with low excess pressure and the high pressure of gases up to 10 MPa and the temperature up to 2,500 °C. In the proposed vacuum-compression furnace on the movable plug beside the table there are: a heat-insulating cap, current leads with heaters and inspection windows for pyrometers measuring the product temperature at high heating temperatures in addition to thermocouples. Besides, the vacuum-compression furnace is equipped with high-pressure seals and in-series located vacuum seals behind them arranged at points of the housing connection with plugs, a gate with a plug, current leads and inspection windows with a movable plug, herewith the heat-insulating cap at compression processing is equipped with tightly arranged transparent lenses, to which from the heating working zone tubes are brought to supply the gas and create a gas curtain in front of the cap inspection lenses.
EFFECT: easier furnace maintenance, higher reliability of its operation are provided.
1 cl, 1 dwg

Description

Изобретение относится к области создания оборудования для обработки изделий из сплошных, составных и порошковых материалов в вакууме при высокой до 2500°С температуре и в газовой среде требуемого состава при температуре до 2200°С при давлении до 10 МПа (100 бар).The invention relates to the field of creating equipment for processing products from solid, composite and powder materials in vacuum at high temperatures up to 2500 ° C and in a gas medium of the required composition at temperatures up to 2200 ° C at a pressure of up to 10 MPa (100 bar).

Аналогом заявляемого технического решения является вакуумно-компрессионная печь конструкции ФГУП НПО «ТЕХНОМАШ» для пайки (www.tmnpo.ru/node/318). Печь горизонтального типа оснащена пробкой, прикрепляемой к корпусу печи с помощью байонетного затвора и установленной на тележке для ее перемещения. Кроме того, на тележке установлен механизм крепления заготовки, выполненный в виде манипулятора, шпиндель которого проходит через пробку и в процессе обработки может вращать заготовку.An analogue of the claimed technical solution is a vacuum compression furnace designed by FSUE NPO TECHNOMASH for soldering (www.tmnpo.ru/node/318). The horizontal type furnace is equipped with a stopper attached to the furnace body by means of a bayonet lock and mounted on a trolley to move it. In addition, a workpiece mounting mechanism is installed on the trolley, made in the form of a manipulator, the spindle of which passes through the cork and can rotate the workpiece during processing.

Недостаток аналога - низкие технологические параметры (максимальная температура - 1250°С, максимальное давление 1,5 МПа), что ограничивает области использования печи.The disadvantage of the analogue is low technological parameters (maximum temperature - 1250 ° C, maximum pressure 1.5 MPa), which limits the scope of use of the furnace.

Наиболее близким прототипом к предлагаемому изобретению относится «Вакуумная печь для пайки давлением и способ ее использования» (патент США №6910614 В2, кл. 228/46, Int. Cl. В23К 37/00; заявка РСТ US 03/03478 от 04.02.2003), состоящая из горизонтально расположенного водоохлаждаемого корпуса, выполненного в виде цилиндрического контейнера с пробками, одна из которых с укрепленными на ней механизмом для захвата заготовок смонтирована на тележке с приводом. Пробки крепят к контейнеру с помощью байонетных затворов. В полости контейнера установлен многосекционный нагреватель, позволяющий вести нагрев до 1250°С. Вокруг нагревателя размещен водоохлаждаемый теплоизоляционный колпак. Печь оснащена вакуумной системой, системой контроля температуры, газовой системой для создания давления в печи до 0.2-0.6 МПа (2-6 бар). Для равномерности нагрева на тележке установлен привод вращения обрабатываемых заготовок.The closest prototype to the present invention relates to a "vacuum brazing furnace and method of its use" (US patent No. 6910614 B2, CL 228/46, Int. Cl. B23K 37/00; PCT application US 03/03478 from 02/04/2003 ), consisting of a horizontally positioned water-cooled housing, made in the form of a cylindrical container with plugs, one of which with a mechanism for gripping workpieces mounted on it is mounted on a trolley with a drive. The plugs are attached to the container with bayonet locks. A multi-section heater is installed in the cavity of the container, allowing heating up to 1250 ° C. Around the heater is a water-cooled heat-insulating hood. The furnace is equipped with a vacuum system, a temperature control system, a gas system to create a pressure in the furnace up to 0.2-0.6 MPa (2-6 bar). For uniform heating on the trolley mounted drive rotation of the workpieces.

Недостаток прототипа - низкие технологические параметры печи: максимальная температура нагрева - 1250°С, максимальное давление рабочего газа - 0,6 МПа. Техническим результатом предлагаемого изобретения является улучшение обслуживания и расширение области применения печи за счет увеличения диапазона ее параметров: - температуры при вакуумной обработке до 2500°С, давления при компрессионной обработке до 10 МПа (100 бар) при температуре до 2200°С.The disadvantage of the prototype is the low technological parameters of the furnace: the maximum heating temperature is 1250 ° C, the maximum working gas pressure is 0.6 MPa. The technical result of the invention is to improve service and expand the scope of the furnace by increasing the range of its parameters: - temperature during vacuum processing up to 2500 ° C, pressure during compression processing up to 10 MPa (100 bar) at temperatures up to 2200 ° C.

Технический результат достигается за счет того, что печь снабжена газоподводящими к теплоизоляционному колпаку трубками, уплотнениями высокого давления и последовательно расположенными за ними вакуумными уплотнениями. Теплоизоляционный колпак печи выполнен со смотровыми окнами, в которых герметично закреплены линзы соосно смотровым окнам смонтированной на тележке пробки. Уплотнения высокого давления и вакуумные уплотнения размещены в местах сочленения корпуса с пробкой, затвора с пробкой, токоподводов и линз со смонтированной на тележке пробкой, а газоподводящие трубки, размещенные возле линз теплоизоляционного колпака, выполнены с выходами, направленными в сторону линз с целью создания между ними и нагревателем газовой завесы для охлаждения и очистки поверхности линз от продуктов выгорания.The technical result is achieved due to the fact that the furnace is equipped with pipes leading to the heat-insulating cap, high-pressure seals and vacuum seals sequentially located behind them. The heat-insulating hood of the furnace is made with viewing windows, in which the lenses are hermetically mounted coaxially with the viewing windows of the tube mounted on the trolley. High pressure seals and vacuum seals are placed at the junction of the housing with the stopper, the shutter with the stopper, current leads and lenses with a stopper mounted on the truck, and gas supply tubes located near the lenses of the heat-insulating cap are made with outlets directed towards the lenses in order to create between them and a gas curtain heater for cooling and cleaning the surface of the lens from burnout products.

Устройство вакуумно-компрессионной печи представлено на фиг. 1.The vacuum compression furnace device is shown in FIG. one.

Вакуумно-компрессионная печь состоит из водоохлаждаемого корпуса, состоящего из контейнера 1, пробок 2 и 3, прикрепляемых к контейнеру с помощью байонетных затворов 4 и 5. На пробке 3 смонтирован затвор 6 с приводом для отделения рабочей зоны печи от вакуумной системы перед подачей в контейнер газа. Пробка 2 установлена на тележке 7 с направляющими колесами (на эскизе не показаны) для перемещения пробки в горизонтальном направлении. На пробке 2 закреплен механизм подачи изделий в рабочую зону, состоящий из стола 8 с опорным блоком 9, на который устанавливают изделия 10. Кроме того, к пробке 2 прикреплен теплоизоляционный колпак 11, установленный на направляющих 12, жестко соединенных с пробкой 2; и нагреватель 13, токоподводы к которому проходят через пробку 2 (на эскизе не показаны). Нагреватель 13 имеет несколько зон нагрева (не менее двух) для равномерного нагрева изделий. Обычно при нагреве изделий для замера температур используют термопары. Однако при высоких температурах они охрупчиваются, нестабильны в работе и часто выходят из строя, поэтому в пробке 2 предусмотрены окна с линзами 14 для наблюдения, замера и регулирования температуры изделий пирометрами. Вакуумно-компрессионная печь оснащена уплотнениями высокого давления 15 и размещенными за ними вакуумными уплотнениями 16, установленными в местах соединения корпуса 1 с пробками 2 и 3, затвора 6 с пробкой 3, токоподводов (на эскизе не показаны) и смотровых линз 14 с подвижной пробкой 2. Уплотнения высокого давления 15 не обеспечивают откачки газа до высокого вакуума, поэтому за ними установлены вакуумные уплотнения 16. При вакуумно-компрессионной обработке теплоизоляционный колпак 11 оснащают герметично установленными в нем линзами 17, предотвращающими конвекцию нагретого газа из рабочей зоны в периферийную зону контейнера. Для предохранения линз 17 от перегрева к участкам линз, обращенных к нагревателю 13, через трубы 18 подводят газ под небольшим избыточным давлением, создавая перед линзами газовую тепловую завесу. Кроме того, подвод газа к линзам позволяет осуществлять продувку в случае их загрязнения в процессе обработки изделия. Для обеспечения стабильности работы затвора 6 перед ним установлен водоохлаждаемый экран 19.The vacuum compression furnace consists of a water-cooled housing, consisting of container 1, plugs 2 and 3, attached to the container with bayonet closures 4 and 5. A plug 6 is mounted on plug 3 with a drive to separate the furnace working area from the vacuum system before being fed into the container gas. Cork 2 is mounted on a trolley 7 with guide wheels (not shown in the sketch) to move the cork in the horizontal direction. A mechanism for supplying products to the working area, which consists of a table 8 with a support block 9, on which the products are installed, is fixed on the plug 2. In addition, a heat-insulating cap 11 is mounted on the plug 2, mounted on the guides 12, rigidly connected to the plug 2; and a heater 13, the current leads to which pass through the plug 2 (not shown in the sketch). The heater 13 has several heating zones (at least two) for uniform heating of the products. Usually, thermocouples are used to heat products to measure temperatures. However, at high temperatures they become embrittled, unstable in operation and often fail, therefore, plug 2 has windows with lenses 14 for observing, measuring and controlling the temperature of products with pyrometers. The vacuum compression furnace is equipped with high-pressure seals 15 and vacuum seals 16 located behind them, installed at the junction of the housing 1 with plugs 2 and 3, the shutter 6 with plug 3, current leads (not shown in the sketch) and inspection lenses 14 with movable plug 2 High-pressure seals 15 do not provide gas evacuation to high vacuum, therefore, vacuum seals are installed behind them 16. During vacuum compression treatment, the heat-insulating cap 11 is equipped with hermetically mounted lenses 17, preventing ayuschimi convection heated gas from the working area to the peripheral area of the container. To protect the lenses 17 from overheating, gas is supplied through the pipes 18 under slight excess pressure to the lens portions facing the heater 13, creating a gas thermal curtain in front of the lenses. In addition, the gas supply to the lenses allows purging in case of contamination during processing of the product. To ensure the stability of the shutter 6, a water-cooled screen 19 is installed in front of it.

Работа вакуумно-компрессионной печи осуществляется следующим образом. В исходном положении пробка 2, установленная на тележке 7 выдвинута из печи в крайнее положение. Колпак 11 снят с направляющих 12. На опорный блок 9 стола 8 опускают обрабатываемые изделия 10. При вакуумно-компрессионной обработке на направляющие 12 устанавливают теплоизоляционный колпак 11 с линзами 17. Колпак центрируется на направляющих штифтами (на эскизе не показаны). Газовые трубки 18 колпака соединяют с газовым подводом пробки 2. Тележку 7 перемещают и пробку 2 вводят в контейнер 1. Для фиксации крышки поворачивают байонетный затвор 4 и прижимают пробку к контейнеру. Газовые вводы закрывают, затвор 6 открывают, сообщая рабочую камеру с вакуумной системой печи. Внутреннюю полость печи вакуумируют. Уплотнения высокого давления 15 не обеспечивают откачки газа до высокого вакуума, поэтому за ними установлены вакуумные уплотнения 16. После достижения требуемого вакуума включают нагрев. Скорость и равномерность нагрева контролируют термопарами и регулирующей аппаратурой. При нагреве свыше 700…800°С контроль и управление нагревом осуществляют пирометрами. После достижения требуемой температуры (до 2200°С) и технологической выдержки закрывают затвор 6 и через газоподвод в пробке 3 осуществляют подачу рабочего газа во внутреннюю полость печи. В качестве рабочего газа могут использоваться инертные газы, азот, смесь инертных газов с водородом и др. В результате нагрева газа в рабочей зоне печи давление газа возрастает, поэтому первоначально закачку газа осуществляют до меньшего давления. После прогрева газа производят подкачку газа до требуемого давления (не свыше 10 МПа). В процессе нагрева и технологической выдержки газ подают через трубы 18, соединенные с газовым вводом пробки 2, в полости между линзами 17 и нагревателем 13 для создания тепловой завесы, обеспечивающей работоспособность и прозрачность линз. Отвод газа осуществляют через отверстие в пробке 3. После завершения технологической выдержки изделия охлаждают либо естественным образом, либо ускоренным образом с помощью подачи холодного газа через подвод пробки 2 и трубы 18, а отвод газа осуществляют через пробку 3. После охлаждения изделий до требуемой температуры газ сбрасывают в баллоны, а затем откачивают. После вакуумирования байонетный затвор 4 поворачивают, осуществляют напуск газа в контейнер, пробку 2 выдвигают из контейнера. Отсоединяют трубы 18 от газоподвода пробки 2, поднимают колпак 11 и извлекают обработанные изделия 10.The operation of the vacuum compression furnace is as follows. In the initial position, the plug 2 mounted on the trolley 7 is pulled out of the furnace to its extreme position. The cap 11 is removed from the guides 12. The workpiece 10 is lowered onto the support block 9 of the table 8. During vacuum compression treatment, a heat-insulating cap 11 with lenses 17 is installed on the guides 12. The cap is centered on the guides with pins (not shown in the sketch). The gas pipes 18 of the cap are connected to the gas supply of the plug 2. The cart 7 is moved and the plug 2 is inserted into the container 1. To fix the lid, turn the bayonet lock 4 and press the plug to the container. The gas inlets are closed, the shutter 6 is opened, communicating the working chamber with the vacuum system of the furnace. The internal cavity of the furnace is evacuated. High pressure seals 15 do not provide gas evacuation to high vacuum; therefore, vacuum seals 16 are installed behind them. After reaching the required vacuum, heating is switched on. The speed and uniformity of heating is controlled by thermocouples and control equipment. When heated above 700 ... 800 ° C, control and management of heating is carried out by pyrometers. After reaching the required temperature (up to 2200 ° C) and technological exposure, the shutter 6 is closed and the working gas is supplied to the internal cavity of the furnace through the gas supply in the plug 3. Inert gases, nitrogen, a mixture of inert gases with hydrogen, etc. can be used as the working gas. As a result of heating the gas in the working zone of the furnace, the gas pressure increases, so the gas is initially pumped to a lower pressure. After heating the gas, gas is pumped to the required pressure (not more than 10 MPa). In the process of heating and technological exposure, gas is supplied through pipes 18 connected to the gas inlet of the plug 2 in the cavity between the lenses 17 and the heater 13 to create a thermal curtain that ensures the operability and transparency of the lenses. The gas is removed through the hole in the plug 3. After completion of the technological exposure, the products are cooled either naturally or accelerated by supplying cold gas through the inlet of the plug 2 and pipe 18, and the gas is removed through the plug 3. After cooling the products to the required temperature, gas dumped into cylinders, and then pumped out. After evacuation, the bayonet lock 4 is turned, gas is admitted into the container, the plug 2 is pulled out of the container. Disconnect the pipe 18 from the gas supply tube 2, raise the cap 11 and remove the processed product 10.

При вакуумной обработке изделий в печи с вольфрамовым нагревателем в качестве теплоизоляционного колпака используют многослойные экраны, при этом установка линз в экранах не требуется. Вакуумную обработку изделий осуществляют по традиционной общепринятой технологии.When vacuum processing products in a furnace with a tungsten heater, multilayer screens are used as a heat-insulating hood, and lens installation in the screens is not required. Vacuum processing of products is carried out according to traditional conventional technology.

При вакуумной обработке изделий в печи с графитовым нагревателем применяют набивной теплоизоляционный колпак небольшой толщины, подобный колпаку, используемому при вакуумно-компрессионной обработке, но без линз 17.When vacuum processing products in a furnace with a graphite heater, a printed heat-insulating cap of small thickness is used, similar to the cap used in vacuum-compression processing, but without lenses 17.

Предлагаемое изобретение расширяет технологические возможности оборудования (повышает температуру при вакуумной обработке до 2500°С и 2200°С при компрессионной обработке изделий и давлении газа до 10 МПа (100 бар)) и облегчает обслуживание печи за счет того, что печьThe present invention extends the technological capabilities of the equipment (increases the temperature during vacuum processing to 2500 ° C and 2200 ° C during compression processing of products and gas pressure up to 10 MPa (100 bar)) and facilitates furnace maintenance due to the fact that the furnace

- снабжена газоподводящими к колпаку трубками,- equipped with gas-supplying tubes to the cap,

- оборудована уплотнениями высокого давления и последовательно расположенными за ними вакуумными уплотнениями,- equipped with high-pressure seals and vacuum seals sequentially located behind them,

- теплоизоляционный колпак выполнен со смотровыми окнами, в которых герметично закреплены линзы соосно смотровым окнам смонтированной на тележке пробки,- the heat-insulating cap is made with viewing windows, in which the lenses are hermetically mounted coaxially to the viewing windows of the tube mounted on the trolley,

- уплотнения высокого давления и вакуумные уплотнения размещены в местах сочленения корпуса с пробками, затвора с пробкой, токоподводов и линз с установленной на тележке пробкой,- high pressure seals and vacuum seals are located at the junction of the housing with plugs, shutter with plug, current leads and lenses with a plug mounted on the trolley,

- газоподводящие трубки, размещенные возле линз теплоизоляционного колпака, выполнены с выходами, направленными в сторону линз для создания между ними и нагревателем газовой завесы для охлаждения и очистки поверхности линз от продуктов выгорания.- gas supply tubes located near the lenses of the heat-insulating cap are made with exits directed towards the lenses to create a gas curtain between them and the heater for cooling and cleaning the surface of the lenses from burnout products.

Claims (1)

Вакуумно-компрессионная печь, содержащая горизонтально расположенный водоохлаждаемый корпус со скрепляющими байонетными затворами и с пробками, одна из которых выполнена со смотровыми окнами с линзами и смонтирована на установленной с возможностью осевого перемещения тележке с механизмом крепления изделия, газовый привод с баллонной станцией и с системами управления и контроля давления, вакуумную систему с затвором отделения рабочей камеры от вакуумной системы, размещенный внутри корпуса теплоизоляционный колпак с установленным внутри него нагревателем, токоподводы и систему контроля температуры, отличающаяся тем, что она снабжена газоподводящими трубками, уплотнениями высокого давления и последовательно расположенными за ними вакуумными уплотнениями, при этом теплоизоляционный колпак выполнен со смотровыми окнами, в которых герметично закреплены линзы соосно смотровым окнам пробки, смонтированной на тележке, при этом уплотнения высокого давления и вакуумные уплотнения размещены в местах сочленения корпуса с пробками, затвора с пробкой, токоподводов и линз пробки, смонтированной на тележке, а газоподводящие трубки размещены возле линз теплоизоляционного колпака, выполнены с выходами, направленными в сторону упомянутых линз для создания между ними и нагревателем газовой завесы для охлаждения и очистки поверхности линз от продуктов выгорания. A vacuum compression furnace containing a horizontally located water-cooled housing with fastening bayonet locks and plugs, one of which is made with viewing windows with lenses and mounted on an axially mounted trolley with a product mounting mechanism, a gas drive with a balloon station and control systems and pressure control, a vacuum system with a shutter separating the working chamber from the vacuum system, a heat-insulating cap placed inside the housing wipe it with a heater, current leads and a temperature control system, characterized in that it is equipped with gas supply tubes, high-pressure seals and vacuum seals sequentially located behind them, while the heat-insulating cap is made with inspection windows in which the lenses are tightly mounted coaxially to the inspection windows of the tube mounted on the trolley, while high-pressure seals and vacuum seals are located at the joints of the housing with plugs, shutter with plug, current leads and lenses timid mounted on the carriage, and the gas supplying tube placed near the heat-insulating cover lenses are formed with outlets directed towards said lens to create between them and the heater gas curtain for cooling and cleaning of the lens surface from burning products.
RU2015122172/02A 2015-06-10 2015-06-10 Vacuum-compression furnace RU2597453C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015122172/02A RU2597453C1 (en) 2015-06-10 2015-06-10 Vacuum-compression furnace

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015122172/02A RU2597453C1 (en) 2015-06-10 2015-06-10 Vacuum-compression furnace

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2597453C1 true RU2597453C1 (en) 2016-09-10

Family

ID=56892941

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015122172/02A RU2597453C1 (en) 2015-06-10 2015-06-10 Vacuum-compression furnace

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2597453C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109764674A (en) * 2019-01-27 2019-05-17 天津大学 High temperature tunnel furnace for powder body material sinter molding

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4610435A (en) * 1983-12-23 1986-09-09 Ipsen Industries International Gmbh Industrial furnace for the thermal treatment of metal workpieces
US5709544A (en) * 1996-04-16 1998-01-20 Abar Ipsen Industries, Inc. Dual seal for a vacuum heat treating furnace
US6910614B2 (en) * 2002-02-05 2005-06-28 Ipsen International, Inc. Vacuum compression brazing furnace and method of using same
RU2358836C1 (en) * 2007-09-26 2009-06-20 Открытое акционерное общество Акционерная холдинговая компания "Всероссийский научно-исследовательский и проектно-конструкторский институт металлургического машиностроения имени академика Целикова" (ОАО АХК "ВНИИМЕТМАШ") Gas state of high pressure
RU2427448C2 (en) * 2009-10-08 2011-08-27 Открытое акционерное общество Акционерная холдинговая компания "Всероссийский научно-исследовательский и проектно-конструкторский институт металлургического машиностроения имени академика Целикова" (ОАО АХК "ВНИИМЕТМАШ") Gasostatic extruder

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4610435A (en) * 1983-12-23 1986-09-09 Ipsen Industries International Gmbh Industrial furnace for the thermal treatment of metal workpieces
US5709544A (en) * 1996-04-16 1998-01-20 Abar Ipsen Industries, Inc. Dual seal for a vacuum heat treating furnace
US6910614B2 (en) * 2002-02-05 2005-06-28 Ipsen International, Inc. Vacuum compression brazing furnace and method of using same
RU2358836C1 (en) * 2007-09-26 2009-06-20 Открытое акционерное общество Акционерная холдинговая компания "Всероссийский научно-исследовательский и проектно-конструкторский институт металлургического машиностроения имени академика Целикова" (ОАО АХК "ВНИИМЕТМАШ") Gas state of high pressure
RU2427448C2 (en) * 2009-10-08 2011-08-27 Открытое акционерное общество Акционерная холдинговая компания "Всероссийский научно-исследовательский и проектно-конструкторский институт металлургического машиностроения имени академика Целикова" (ОАО АХК "ВНИИМЕТМАШ") Gasostatic extruder

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109764674A (en) * 2019-01-27 2019-05-17 天津大学 High temperature tunnel furnace for powder body material sinter molding

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4760244A (en) Apparatus for the treatment of semiconductor materials
US20200061922A1 (en) Powder bed fusion apparatus and methods
JP3190165B2 (en) Vertical heat treatment apparatus and heat treatment method
JP5348902B2 (en) Aluminum melting furnace and aluminum casting system
US7926548B2 (en) Method and apparatus for sealing an ingot at initial startup
JP2008081781A (en) Vacuum carburization processing method and vacuum carburization processing apparatus
JP2009186157A (en) Aluminum melting furnace
WO2014199538A1 (en) Vacuum treatment device
RU2597453C1 (en) Vacuum-compression furnace
CN113134669B (en) Heating device in plasma welding box
CN114466720A (en) Reflow soldering system for continuously soldering objects to be soldered
JP7112397B2 (en) Double skin addition manufacturing machine
US4235841A (en) Double chambered high pressure furnace
KR20000071397A (en) Method and device for high-temperature, high-pressure treatment of semiconductor wafer
EP2993434B1 (en) Dual zone furnace
TW201944457A (en) Deposition apparatus and method capable of preventing the production of foreign bodies in a thin film deposition process
RU2367689C1 (en) Method of thermal noncorrosive processing of products from steels and alloys and blast furnace of resistance for its implementation
JP2015183907A (en) Heat treat furnace
KR101211551B1 (en) vacuum processing apparatus and vacuum processing method
CN100460529C (en) Vacuum dual-chamber high temp, quenching furnace
RU2600155C1 (en) Vacuum press
JPS5762859A (en) Method and furnace for aluminum brazing using protective atmosphere
JP2006066590A (en) Vertical heat treatment apparatus and method of rapid heat reduction of its treatment container
US9296634B2 (en) Device for forming glass product
CN203724804U (en) Simple organic semiconductor vacuum purification device

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20180611