RU2585486C1 - Способ измерения давления и калибровки на основе тензомостового интегрального преобразователя давления - Google Patents
Способ измерения давления и калибровки на основе тензомостового интегрального преобразователя давления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2585486C1 RU2585486C1 RU2015112380/28A RU2015112380A RU2585486C1 RU 2585486 C1 RU2585486 C1 RU 2585486C1 RU 2015112380/28 A RU2015112380/28 A RU 2015112380/28A RU 2015112380 A RU2015112380 A RU 2015112380A RU 2585486 C1 RU2585486 C1 RU 2585486C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- pressure
- calibration
- measuring
- temperature
- voltage
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
- G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
- G01L1/2268—Arrangements for correcting or for compensating unwanted effects
- G01L1/2281—Arrangements for correcting or for compensating unwanted effects for temperature variations
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
- G01L9/065—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices with temperature compensating means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для прецизионного измерения давления на основе тензомостового интегрального преобразователя давления в широком диапазоне рабочих температур. Предложен способ измерения давления и калибровки, в котором калибровку аддитивной и мультипликативной температурной погрешностей проводят при непрерывном измерении напряжений с диагоналей тензомоста отдельно для минимального и максимального значения давления при изменении температуры от минимальной до максимальной рабочей температуры и обратно, а нелинейность преобразователя от давления оценивают при изменении давления в НУ и крайних точках рабочих температур. Давление вычисляют по коэффициентам, рассчитанным при калибровке, путем последовательной компенсации аддитивной и мультипликативной температурной погрешностей, а также нелинейности преобразователя от давления. Технический результат - повышение точности измерений за счет компенсации аддитивной, мультипликативной погрешностей и нелинейности тензомостового интегрального преобразователя давления во всем диапазоне изменения рабочих температур и давления при сокращении времени и трудоемкости калибровки. 4 ил.
Description
Изобретение относится к области измерения постоянного или медленно изменяющегося давления газообразных или жидких веществ, а также калибровки устройств измерения давления, в частности к способам измерения давления и калибровки на основе тензомостового интегрального преобразователя давления и может быть использовано в областях народного хозяйства и производствах, где требуется прецизионное измерения давления в широком диапазоне рабочих температур.
Известен интегральный преобразователь давления, который выполнен в виде тензорезистров различной проводимости на монокристаллической кремниевой пластине, объединенных в мост Уитстона [1]. С противоположной стороны монокристаллической кремниевой пластины под тензорезисторами выполнены углубления в виде мембраны. При измерении давления на мост подают питание и измеряют напряжение с измерительной диагонали моста преобразователя, которое пропорционально поданному давлению.
Недостатками преобразователя являются температурная зависимость выходного напряжения с измерительной диагонали моста и нелинейность от измеряемого давления.
Известен способ температурной настройки тензорезисторного датчика давления с мостовой измерительной цепью [2]. Способ заключается в установке компенсационных терморезистров на мембране кремниевой пластины дополнительно с тензорезистрами и включении их в мостовую схему тензорезистров. Подбор номиналов терморезисторов позволяет компенсировать аддитивную и мультипликативную погрешности датчика в области рабочих температур.
Недостатками способа являются сложная техническая реализация и непригодность для готовых тензомостовых преобразователей давления.
Известен способ и цифровое устройство измерения давления на основе интегрального преобразователя давления [3]. В этом способе на преобразователь подают постоянное напряжение, напряжение измерительной диагонали тензомоста преобразуют в частотный сигнал с аналоговой компенсацией смещения нуля и коэффициента чувствительности датчика, а также температурной погрешности датчика, затем частотный сигнал с помощью микропроцессора преобразуют в RF сигнал.
Недостатком аналога является аналоговый способ компенсации погрешностей датчика, а также отсутствие компенсации нелинейности датчика.
Известен также способ и устройство измерения давления, содержащее источник напряжения, тензомост, образцовый резистор, двухканальный АЦП, датчик температуры и микроконтроллер [4]. Для вычисления давления используется двухфакторная полиноминальная модель второй степени зависимости давления от напряжения с измерительной диагонали тензомоста и данных температурного датчика. Коэффициенты модели рассчитываются по результатам калибровки при минимальной, номинальной и максимальной температурах для трех значений давления - минимальном, среднем и максимальном.
Недостатком способа является использование отдельного датчика температуры, а также двухфакторной модели зависимости давления от измеренных напряжений второй степени, которая не обеспечивает требуемой для прецизионных измерений точности.
В качестве прототипа выбран способ измерения давления, калибровки и датчик давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы [5].
Способ измерения давления и калибровки на основе нано- и микроэлектромеханической системы заключается в том, что на мост подают постоянный ток питания, напряжения на измерительной и питающей диагоналях тензомоста измеряют в режиме калибровки и в режиме измерения давления, в режиме калибровки осуществляют регистрацию значений напряжений на питающей и измерительной диагоналях тензомоста в заданных точках установленного давления и температуры, по которым рассчитывают калибровочные коэффициенты, а в режиме измерения давление вычисляют по измеренным значениям напряжений на питающей и измерительной диагоналях тензомоста и калибровочным коэффициентам. При этом расчет давления выполняют путем бигармонической сплайн интерполяции измеренных значений напряжений на питающей и измерительной диагоналях тензомоста и матрицы калибровочных коэффициентов.
Недостатками известного способа являются:
а) нелинейность зависимости напряжений на измерительной и питающей диагоналях моста от температуры;
б) большое количество калибровочных данных, собранных в матрицу для бигармонической сплайн-интерполяции измеренных значений напряжений на питающей и измерительной диагоналях тензомоста, что требует для их расчета большого числа точек калибровки при различном сочетании значений давления и температуры и соответственно больших затрат времени и труда на проведение калибровки; в) сложный алгоритм вычисления давления путем бигармонической сплайн-интерполяции на основе матрицы калибровочных коэффициентов и измеренных значений напряжений на питающей и измерительной диагоналях тензомоста.
Задачей предлагаемого технического решения является прецизионное измерение давления с помощью тензомостового интегрального преобразователя давления во всем диапазоне рабочих температур и давления, сокращение времени и трудоемкости калибровки, а также упрощение вычислительной схемы расчета давления.
Поставленная задача решается благодаря тому, что в способе измерения давления и калибровки на основе тензомостового интегрального преобразователя давления, в котором на мост подают ток питания, измеряют напряжения на измерительной и питающей диагоналях тензомоста при установленном давлении и температуре в режиме калибровки или в режиме измерения давления, причем в режиме калибровки осуществляют регистрацию напряжений на питающей и измерительной диагоналях тензомоста, вычисляют калибровочные коэффициенты, а в режиме измерения давления осуществляют вычисление давления по текущим напряжениям на питающей и измерительной диагоналях тензомоста с использованием калибровочных коэффициентов, рассчитанных в режиме калибровки, предусмотрены следующие отличия, питание на тензомост подают от источника тока с обратной температурной зависимостью, в режиме калибровки напряжения на измерительной и питающей диагоналях тензомоста регистрируют непрерывно с заданным временным интервалом в течение одного термоцикла изменения температуры от нормальных условий (НУ) до максимальной рабочей и минимальной рабочей температур и обратно при постоянном давлении отдельно для минимального и максимального значений давления и изменении давления только в НУ и крайних точках термоцикла, на основании зарегистрированных значений напряжений при минимальном и максимальном значении давления вычисляют калибровочные коэффициенты аддитивной и мультипликативной температурной погрешностей, на основании зарегистрированных значений напряжений при изменении давления в НУ и крайних точках термоцикла вычисляют калибровочные коэффициенты нелинейности преобразователя от давления, в режиме измерения давление вычисляют путем последовательной компенсации аддитивной и мультипликативной температурной погрешностей, а также нелинейности преобразователя от давления.
Между совокупностью существенных признаков заявленного изобретения и достигаемым техническим результатом существует причинно-следственная связь, а именно:
- питание тензомоста от источника тока с обратной температурной зависимостью обеспечивает линейную характеристику зависимости напряжения на питающей диагонали моста от температуры,
- использование последовательной компенсации аддитивной, мультипликативной температурной погрешностей и погрешности нелинейности преобразователя давления упрощает схему вычисления давления,
- проведение калибровки в одном термоцикле при непрерывной регистрации выходных напряжений тензомоста и постоянном давлении отдельно для минимального и максимального значений давления и изменении давления только в НУ и крайних точках рабочего диапазона температур сокращает время и трудоемкость калибровки, а также повышает точность расчета калибровочных коэффициентов компенсации аддитивной и мультипликативной температурной погрешностей за счет большого числа калибровочных данных, полученных в течение всего термоцикла изменения температуры от НУ до максимальной рабочей и минимальной рабочей температур и обратно при минимальном и максимальном давлении.
Техническую сущность предложенного технического решения поясняют фиг. 1, где приведена схема интегрального преобразователя давления, фиг. 2, где приведена блок-схема вычисления давления, фиг. 3, где приведен пример термоцикла калибровки, и фиг. 4, где приведен пример схемы устройства.
На фиг. 1 приведена схема интегрального преобразователя давления, которая содержит источник тока 1 с обратной зависимостью тока от температуры, выполненного на транзисторе, и тензомост 2. С диагонали питания тензомоста 2 снимается напряжение VT, которое зависит от изменения сопротивления моста при изменении температуры, а с противоположной - измерительной диагонали снимается напряжение разбаланса моста VD, которое зависит от изменения сопротивления тензорезистров под воздействием давления.
Зависимость сопротивления тензомоста 2 от температуры описывается параболой
где α, β - корни уравнения параболы, KR - коэффициент.
Источника тока 1 имеет обратную зависимость тока от температуры с коэффициентами K1 и α
поэтому напряжение, снимаемое с диагонали питания тензомоста, линейно зависит от температуры
На фиг. 2 приведена блок-схема вычисления давления, которая включает в себя блок 4, в котором осуществляется измерение напряжений с диагоналей тензомоста, блок 5, в котором осуществляется компенсация ассоциативной температурной погрешности, блок 6, в котором осуществляется компенсация мультипликативной температурной погрешности, блок 7, в котором осуществляется вычисление давления с компенсацией нелинейности преобразователя, и блок 8, в котором осуществляется выдача выходного сигнала (данных).
В схеме предусмотрен режим калибровки (блок 9), когда цифровой код напряжений тензопреобразователя передается в ПК для регистрации и дальнейшей обработки (блок 10).
Способ измерения давления основан на вычислении давления по измеренным напряжениям с диагоналей тензомоста путем последовательной компенсации сперва температурной погрешности измерения, которая имеет аддитивную и мультипликативную составляющие, и затем компенсации нелинейности преобразователя на основании коэффициентов, полученных при калибровке.
Аддитивная составляющая температурной погрешности представляет собой температурный дрейф нуля выходного напряжения преобразователя VD0(VT) и оценивается при калибровке при минимальном давлении во всем диапазоне рабочих температур и непрерывном измерении напряжений с диагоналей питания и измерения тензомоста.
Дрейф нуля аппроксимируется полиномом 3 степени:
где A0…A3 - коэффициенты полинома дрейфа нуля,
VT, VP0 - напряжения с диагоналей питания и измерения тензомоста.
Мультипликативная составляющая температурной погрешности преобразователя представляет собой температурный дрейф чувствительности K(VT) и оценивается при калибровке при максимальном давлении во всем диапазоне рабочих температур и непрерывном измерении напряжений с диагоналей питания и измерения тензомоста по формуле
где VP1 - напряжение на измерительной диагонали тензомоста,
VP0(VT) - дрейф нуля,
Pmin и Pmax - минимальное и максимальное значения давления.
Дрейф чувствительности аппроксимируется полиномом 3 степени:
где B0…B3 - коэффициенты полинома дрейфа чувствительности.
Компенсация аддитивной и мультипликативной температурной погрешности выполняется по формуле вычисления приведенного напряжения разбаланса тензомоста, которое зависит от давления и меняется от 0 до 1 при изменении давления от минимального до максимального во всем диапазоне изменения температур:
где VP - напряжение разбаланса тензомоста при давлении Р,
VP0(VT) - дрейф нуля,
K(VT) - дрейф коэффициента чувствительности.
Кроме аддитивной и мультипликативной составляющих температурной погрешности у интегрального преобразователя давления имеется третья составляющая погрешности - это нелинейность коэффициента чувствительности преобразователя от давления.
Зависимость сопротивления тензорезистора R от давления Р имеет квадратичную зависимость
соответственно приведенное напряжение также имеет квадратичную зависимость
где C - коэффициент.
Давление вычисляется по обратной формуле в виде полинома второй степени
Коэффициент k вычисляется по данным калибровки в НУ и минимальной и максимальной рабочей температуре в нескольких точках установленного давления.
Таким образом для вычисления давления достаточно девяти калибровочных коэффициентов А0…A3, B0…B3 и k.
На фиг. 3 приведен пример термоцикла калибровки.
При калибровке непрерывно регистрируют напряжения на измерительной и питающей диагоналях тензомоста с заданным временным интервалом при изменении температуры от НУ до максимальной рабочей и минимальной рабочей температур и обратно при постоянном давлении отдельно для минимального и максимального значения давления (дуги 1, 3 и 5), а также при изменении давления в НУ и крайних точках термоцикла для заданных значений давления (дуги 2, 4, 6). На основании зарегистрированных данных вычисляют калибровочные коэффициенты компенсации аддитивной и мультипликативной температурной погрешностей, а также погрешности нелинейности преобразователя.
Таким образом, для калибровки достаточно провести один термоцикл в рабочем диапазоне температур для минимального и максимального давлений и снятия характеристик нелинейности преобразователя только в НУ и крайних точках термоцикла при изменении давления для заданных значений. За счет непрерывной регистрации напряжений тензомоста в течение всего термоцикла от минимальной до максимальной рабочей температуры получается большой набор калибровочных данных, по которым коэффициенты полиномов компенсации аддитивной и мультипликативной температурной погрешностей вычисляются с высокой точностью.
На фиг. 4 приведена схема устройства измерения давления для осуществления предлагаемого способа, где 1 - источник тока и 2 - тензомост, объединенные в интегральном преобразователе давления, 11 - АЦП, 12 - вычислительное устройство, 13 - ПЗУ, 14 и 15 - цифровой и аналоговый интерфейсы.
Источник тока 1 содержит транзистор, который имеет обратную зависимость тока от температуры. Источник тока 1 встроен в интегральный преобразователь давления, который содержит тензомост 2 и осуществляет первичное преобразование измеряемого давления и температуры внешней среды в изменение сопротивления. Изменение сопротивления тензорезистров вызывает изменение напряжений VT и VP на диагоналях питания и измерения тензомоста, зависящих соответственно от температуры и давления. АЦП 11 преобразует аналоговые сигналы напряжений с тензомоста в цифровой код. Вычислительное устройство 12 осуществляет прием кодов и вычисление давления по калибровочным коэффициентам, рассчитанным при калибровке устройства. Цифровой 14 и аналоговый 15 интерфейсы используются для обмена данными по цифровому каналу и выдачи выходного аналогового сигнала давления в виде напряжения или тока.
Ожидаемый технико-экономический эффект от предлагаемого решения заключается в обеспечении прецизионного измерения давления на основе интегрального преобразователя давления во всем диапазоне рабочих температур и давления при сокращении времени и трудоемкости его калибровки, а также снижении себестоимости устройства измерения давления.
Источники информации
1. Патент РФ 2362132.
2. Патент РФ 2259537.
3. Патент США 7,194,910.
4. Патент РФ 2304762.
5. Патент РФ 2484435 - прототип.
Claims (1)
- Способ измерения давления и калибровки на основе тензомостового преобразователя давления, заключающийся в том, что на мост подают ток питания, измеряют напряжения на измерительной и питающей диагоналях тензомоста при установленном давлении и температуре в режиме калибровки или в режиме измерения давления, причем в режиме калибровки осуществляют регистрацию напряжений на питающей и измерительной диагоналях тензомоста, вычисляют калибровочные коэффициенты, а в режиме измерения давления осуществляют вычисление давления по текущим напряжениям на питающей и измерительной диагоналях тензомоста с использованием калибровочных коэффициентов, рассчитанных в режиме калибровки, отличающийся тем, что питание на тензомост подают от источника тока с обратной температурной зависимостью, в режиме калибровки напряжения на измерительной и питающей диагоналях тензомоста регистрируют непрерывно с заданным временным интервалом в течение одного термоцикла изменения температуры от нормальных условий (НУ) до максимальной рабочей и минимальной рабочей температур и обратно при постоянном давлении отдельно для минимального и максимального значений давления и изменении давления только в НУ и крайних точках термоцикла, на основании зарегистрированных значений напряжений при минимальном и максимальном значении давления вычисляют калибровочные коэффициенты аддитивной и мультипликативной температурной погрешностей, на основании зарегистрированных значений напряжений при изменении давления в НУ и крайних точках термоцикла вычисляют калибровочные коэффициенты нелинейности преобразователя от давления, в режиме измерения давление вычисляют путем последовательной компенсации аддитивной и мультипликативной температурных погрешностей, а также нелинейности преобразователя от давления.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015112380/28A RU2585486C1 (ru) | 2015-04-07 | 2015-04-07 | Способ измерения давления и калибровки на основе тензомостового интегрального преобразователя давления |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015112380/28A RU2585486C1 (ru) | 2015-04-07 | 2015-04-07 | Способ измерения давления и калибровки на основе тензомостового интегрального преобразователя давления |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2585486C1 true RU2585486C1 (ru) | 2016-05-27 |
Family
ID=56096148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2015112380/28A RU2585486C1 (ru) | 2015-04-07 | 2015-04-07 | Способ измерения давления и калибровки на основе тензомостового интегрального преобразователя давления |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2585486C1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10718678B2 (en) | 2018-03-30 | 2020-07-21 | Hamilton Sundstrand Corporation | Aircraft engine multi-channel pressure transducer |
| RU2789106C1 (ru) * | 2022-06-03 | 2023-01-30 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Институт природно-технических систем" (ИПТС) | Способ измерения давления жидкости или газа и устройство для его осуществления |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4414853A (en) * | 1981-08-10 | 1983-11-15 | The Foxboro Company | Pressure transmitter employing non-linear temperature compensation |
| US4911016A (en) * | 1986-03-26 | 1990-03-27 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor strain gauge bridge circuit |
| RU2259537C1 (ru) * | 2004-06-04 | 2005-08-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ температурной настройки тензорезисторного датчика давления с мостовой измерительной цепью |
| RU2267756C1 (ru) * | 2004-06-15 | 2006-01-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ компенсации аддитивной температурной погрешности тензорезисторных датчиков относительного давления с герметичной внутренней полостью и мостовой измерительной цепью |
| US7194910B2 (en) * | 2003-11-20 | 2007-03-27 | Honeywell International Inc. | Digital output MEMS pressure sensor and method |
| RU2304762C1 (ru) * | 2006-03-30 | 2007-08-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южно-Уральский государственный университет" | Способ и устройство измерения давления |
| RU2484435C1 (ru) * | 2012-03-05 | 2013-06-10 | Евгений Михайлович Белозубов | Способ измерения давления, способ калибровки и датчик давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы |
-
2015
- 2015-04-07 RU RU2015112380/28A patent/RU2585486C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4414853A (en) * | 1981-08-10 | 1983-11-15 | The Foxboro Company | Pressure transmitter employing non-linear temperature compensation |
| US4911016A (en) * | 1986-03-26 | 1990-03-27 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor strain gauge bridge circuit |
| US7194910B2 (en) * | 2003-11-20 | 2007-03-27 | Honeywell International Inc. | Digital output MEMS pressure sensor and method |
| RU2259537C1 (ru) * | 2004-06-04 | 2005-08-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ температурной настройки тензорезисторного датчика давления с мостовой измерительной цепью |
| RU2267756C1 (ru) * | 2004-06-15 | 2006-01-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ компенсации аддитивной температурной погрешности тензорезисторных датчиков относительного давления с герметичной внутренней полостью и мостовой измерительной цепью |
| RU2304762C1 (ru) * | 2006-03-30 | 2007-08-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южно-Уральский государственный университет" | Способ и устройство измерения давления |
| RU2484435C1 (ru) * | 2012-03-05 | 2013-06-10 | Евгений Михайлович Белозубов | Способ измерения давления, способ калибровки и датчик давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10718678B2 (en) | 2018-03-30 | 2020-07-21 | Hamilton Sundstrand Corporation | Aircraft engine multi-channel pressure transducer |
| RU2789106C1 (ru) * | 2022-06-03 | 2023-01-30 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Институт природно-технических систем" (ИПТС) | Способ измерения давления жидкости или газа и устройство для его осуществления |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9857782B2 (en) | Output value correction method for physical quantity sensor apparatus, output correction method for physical quantity sensor, physical quantity sensor apparatus and output value correction apparatus for physical quantity sensor | |
| US8874387B2 (en) | Air flow measurement device and air flow correction method | |
| CN104713606B (zh) | 多组分气体的流量测量方法及装置 | |
| CN103575414A (zh) | 一种热电偶温度测量误差补偿方法 | |
| KR20200025784A (ko) | 션트 저항의 전류값 보정 시스템 및 방법 | |
| CN104970776B (zh) | 一种体温检测方法和一种高精度动态校准电子体温计装置 | |
| US11022481B2 (en) | Load cell having compensation of temperature differences | |
| US20120166124A1 (en) | Sensor response calibration for linearization | |
| CN103604525A (zh) | 一种基于校验数据的热电阻温度测量仪 | |
| KR20120082607A (ko) | 센서의 온도보상 방법 및 온도보상기능을 갖는 센서 | |
| KR101375363B1 (ko) | 서미스터를 이용한 온도 측정 장치 | |
| KR101446669B1 (ko) | 회로 전 입력 범위의 연속적 전압/전류 샘플링을 통한 계측 값 왜곡 보정 방법 | |
| RU2585486C1 (ru) | Способ измерения давления и калибровки на основе тензомостового интегрального преобразователя давления | |
| RU2300745C2 (ru) | Устройство для измерения давления | |
| CN109620200A (zh) | 一种颅内压、颅内温检测校准的装置及方法 | |
| RU2345328C1 (ru) | Способ калибровки и коррекции результатов измерения многоканального измерительно-вычислительного комплекса | |
| RU2502970C1 (ru) | Преобразователь давления | |
| JPS6129657B2 (ru) | ||
| JP2013024808A (ja) | 計測装置および計測方法 | |
| RU2745106C1 (ru) | Способ и устройство измерения давления с коррекцией динамической погрешности измерения | |
| Nikonova et al. | Software measurement information processing MEMS sensor | |
| RU2789106C1 (ru) | Способ измерения давления жидкости или газа и устройство для его осуществления | |
| Yadav et al. | Investigations on measurement uncertainty and stability of pressure dial gauges and transducers | |
| RU2596073C2 (ru) | Способ цифровой обработки сигнала датчиков давления | |
| Yadav et al. | Evaluation of associated uncertainties in calibration of direct pressure indicating electromechanical devices |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20210408 |