RU2581833C1 - Source of electrons with auto electronic emitter and x-ray tube with said electron source - Google Patents

Source of electrons with auto electronic emitter and x-ray tube with said electron source Download PDF

Info

Publication number
RU2581833C1
RU2581833C1 RU2014150274/07A RU2014150274A RU2581833C1 RU 2581833 C1 RU2581833 C1 RU 2581833C1 RU 2014150274/07 A RU2014150274/07 A RU 2014150274/07A RU 2014150274 A RU2014150274 A RU 2014150274A RU 2581833 C1 RU2581833 C1 RU 2581833C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
electrode
cathode electrode
cylinder
hole
control electrode
Prior art date
Application number
RU2014150274/07A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Юрий Александрович Манкелевич
Павел Владимирович Минаков
Василий Васильевич Сень
Андрей Александрович Пилевский
Александр Юрьевич Поройков
Мухамед Данильевич Бавижев
Магомет Абубекирович Конов
Алексей Александрович Рахимов
Александр Турсунович Рахимов
Original Assignee
Открытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Радий"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Радий" filed Critical Открытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Радий"
Priority to RU2014150274/07A priority Critical patent/RU2581833C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2581833C1 publication Critical patent/RU2581833C1/en

Links

Images

Landscapes

  • X-Ray Techniques (AREA)

Abstract

FIELD: electronic equipment.
SUBSTANCE: invention relates to electronic engineering and x-ray equipment, specifically to a source of electrons, intended for use in electronic devices with field emission, and one of such devices - x-ray tube. Source comprises cathode electrode 1 with field emitting part 2 and control electrode 20, transparent for emitted electrons. Characteristic feature of source is that control electrode 20 is made in form of a straight hollow conducting cylinder side wall 3 and two bases 6, 7 with central holes 4, 5. One of bases (6) faces cathode electrode 1 and is located opposite its field emitting part 2. Hole 4 in base has a smaller size compared with hole 5 in other base. X-ray tube comprises a source of electrons and an anode placed in a vacuum case with radiotransparent output window. Characteristic feature of design of tube is above-described design of electron source. Tube can be made so that side wall of said cylinder is part of wall of tube housing.
EFFECT: technical result is prevention of undesired emission from emitting particles of material of field emitting part of cathode electrode, dropping from it and deposited on control electrode, and reduced amount of said particles dropping from control electrode.
12 cl, 6 dwg

Description

Изобретения относятся к электронной технике и рентгеновской технике, более конкретно - к автоэмиссионным приборам и источникам рентгеновского излучения, а именно к источнику электронов с автоэлектронным эмиттером рентгеновской трубке, содержащей предлагаемый источник электронов.The invention relates to electronic equipment and x-ray technology, and more specifically to field emission devices and sources of x-ray radiation, and in particular to a source of electrons with field-emitter emitter x-ray tube containing the proposed electron source.

Известны источники электронов, содержащие катодный электрод с автоэлектронным эмиттером и расположенный на пути эмитируемых им электронов прозрачный для них управляющий электрод. Такие источники электронов используются в составе различных электронных приборов (см., например: патент РФ №2161840, опубл. 10.01.2001 [1]; авторское свидетельство СССР №1079096, опубл. 15.07.1991 [2]; патент РФ №2231859, опубл. 27.06.2004 [3]; патент США №6553096, опубл. 22.04.2003 [4]; патент США №6850595, опубл. 01.02.2005 [5]; патент США №8300769 (опубл. 30.10.2012) [6]; патентная заявка США №2013/0336459, опубл. 19.12.2013 [7]). Первый из этих документов относится к автоэмиссионному триоду, второй и третий - к электронной пушке, а остальные - к рентгеновским трубкам. Рентгеновские трубки наряду с источником электронов указанного типа содержат в общем с этим источником вакуумированном корпусе анодный электрод, бомбардируемый эмитируемыми электронами. Возбуждаемое в результате этой бомбардировки рентгеновское излучение выводится через рентгенопрозрачное окно.Electron sources are known that contain a cathode electrode with an autoelectronic emitter and located on the path of the electrons emitted by it, a control electrode transparent to them. Such electron sources are used as part of various electronic devices (see, for example: RF patent No. 2161840, publ. 10.01.2001 [1]; USSR copyright certificate No. 1079096, publ. 07.15.1991 [2]; RF patent No. 2231859, publ. 06/27/2004 [3]; US patent No. 6553096, publ. 04/22/2003 [4]; US patent No. 6850595, publ. 02/01/2005 [5]; US patent No. 8300769 (publ. 30.10.2012) [6] ; US patent application No. 2013/0336459, publ. 12/19/2013 [7]). The first of these documents relates to the field emission triode, the second and third to the electron gun, and the rest to x-ray tubes. X-ray tubes along with a source of electrons of the indicated type contain, in common with this source, a vacuum casing, an anode electrode bombarded by emitted electrons. The x-ray radiation excited as a result of this bombardment is output through an x-ray transparent window.

Наличие во всех этих и других приборах источников электронов с автоэлектронным эмиттером позволяет получить практически безынерционное управление током при большой плотности съема последнего с эмитирующей поверхности и малой угловой расходимости эмитируемых электронов в сочетании с отсутствием характерного для устройств с термокатодом расхода энергии на его подогрев и связанного с этим выделения тепла прибором. Благодаря таким показателям электронные приборы, содержащие источники электронов с автоэлектронным эмиттером, являются весьма перспективными. В частности, в рентгеновских трубках с таким источником электронов возможно раздельное безынерционное управление интенсивностью и спектральным составом излучения. Такие трубки могут быть миниатюризированы до размеров, позволяющих использовать их в брахитерапии. Использованию в этой области способствует и меньший нагрев таких трубок в процессе работы.The presence of electron sources with an autoelectronic emitter in all these and other devices makes it possible to obtain practically inertialess current control at a high density of removal of the latter from the emitting surface and low angular divergence of emitted electrons in combination with the absence of the energy consumption characteristic of devices with a thermal cathode for heating it and the associated heat generation by the device. Thanks to such indicators, electronic devices containing electron sources with an electron emitter are very promising. In particular, in x-ray tubes with such an electron source, separate inertia-free control of the intensity and spectral composition of the radiation is possible. Such tubes can be miniaturized to sizes allowing their use in brachytherapy. The use in this area is facilitated by less heating of such tubes during operation.

Вместе с тем опыт эксплуатации электронных приборов с подобными источниками электронов свидетельствует о том, что им присуща заметная вероятность электрического пробоя, в связи с чем существует проблема предотвращения таких пробоев. Особенно актуальна эта проблема для рентгеновских трубок, использующих высокие рабочие напряжения.At the same time, the experience in operating electronic devices with similar electron sources indicates that they have a noticeable probability of electrical breakdown, and therefore there is a problem of preventing such breakdowns. This problem is especially relevant for x-ray tubes using high operating voltages.

Специалистами высказывались различные соображения относительно причин пробоя и предложения о путях его предотвращения. Так, в работе: Jun-Tae Kang at al. Analysis of Failure in Miniature X-ray Tubes with Gated Carbon Nanotube Field Emitters, ETRI Journal, Volume 35, Number 6, December 2013, pp. 1164-1167 [8] возникновение пробоев связывается с наличием тока утечки управляющего электрода, приводящего к неконтролируемому изменению потенциала этого электрода. Рассматриваемая в [8] рентгеновская трубка является трубкой триодного типа с управляющим электродом в виде диска с центральным отверстием. Этот электрод объединен с цилиндрическим фокусирующим электродом, обращенным в сторону, противоположную эмиттеру. Эксперименты показали, что необходимо иметь эмитирующую часть катода, размер которой не превышает размера отверстия в управляющем электроде, и обеспечивать максимально точное расположение центра эмитирующей части напротив центра отверстия управляющего электрода, что минимизирует ток утечки через этот электрод.Specialists expressed various considerations regarding the causes of the breakdown and suggestions on ways to prevent it. So, in: Jun-Tae Kang at al. Analysis of Failure in Miniature X-ray Tubes with Gated Carbon Nanotube Field Emitters, ETRI Journal, Volume 35, Number 6, December 2013, pp. 1164-1167 [8] the occurrence of breakdowns is associated with the presence of a leakage current of the control electrode, leading to an uncontrolled change in the potential of this electrode. The x-ray tube considered in [8] is a triode-type tube with a control electrode in the form of a disk with a central hole. This electrode is combined with a cylindrical focusing electrode facing the side opposite to the emitter. The experiments showed that it is necessary to have an emitting part of the cathode, the size of which does not exceed the size of the hole in the control electrode, and to provide the most accurate location of the center of the emitting part opposite the center of the hole of the control electrode, which minimizes leakage current through this electrode.

В патентной заявке [7] возникновение пробоев связывается с накоплением зарядов на внутренней поверхности боковой стенки прибора в промежутке управляющий электрод - анод и образованием проводящих путей, а возможность предотвращения пробоев видится в улучшении фокусировки электронного пучка, выходящего из эмиттера и проходящего через отверстие управляющего электрода. Для этого предлагается конструкция с управляющим электродом, соединенным с фокусирующим электродом, аналогичная исследованной в [8], но акцент делается на роли фокусирующего электрода, для которого предлагаются варианты выполнения в виде боковой поверхности кругового или эллиптического цилиндра, призмы и т.п.In the patent application [7], the occurrence of breakdowns is associated with the accumulation of charges on the inner surface of the side wall of the device in the gap between the control electrode and the anode and the formation of conductive paths, and the possibility of preventing breakdowns is seen in improving the focusing of the electron beam emerging from the emitter and passing through the hole of the control electrode. To this end, a design with a control electrode connected to a focusing electrode, similar to that studied in [8], is proposed, but the emphasis is on the role of a focusing electrode, for which options are proposed in the form of a side surface of a circular or elliptical cylinder, prism, etc.

В патенте РФ на изобретение №2248643 (опубл. 20.03.2005) [9], относящемся к рентгеновской трубке, отмечается, что нарушение работы может быть связано с попаданием на стенки корпуса эмитируемых электронов, а также запылением их веществом автоэлектронного эмиттера, что может приводить к возникновению проводящих путей. Для борьбы с этим явлением в патенте [9] предлагается выполнение управляющего электрода в виде цилиндра (′′колпачка′′), внутри которого размещен катодный электрод с эмиттером, имеющего в обращенном к аноду основании отверстие для выхода эмитируемых электронов. ′′Колпачок′′ фактически механическим путем защищает внутреннюю поверхность корпуса прибора от попадания на нее вещества эмиттера. В патенте США №8295440 (опубл. 23.10.2012) [10] имеется аналогичный цилиндр, охватывающий катодный электрод с эмиттером, переходящий в расширяющийся конус, меньшее основание которого совпадает с отверстием в цилиндре.In the patent of the Russian Federation for invention No. 2248643 (publ. March 20, 2005) [9], relating to an X-ray tube, it is noted that a malfunction may be due to the emission of emitted electrons on the walls of the housing, as well as the dust of the electron-emitter emitter, which can lead to to the occurrence of pathways. To combat this phenomenon, the patent [9] proposes the implementation of a control electrode in the form of a cylinder (“cap”), inside which a cathode electrode with an emitter is placed, which has a hole in the outlet of the emitted electrons facing the anode. The “cap” ′ virtually mechanically protects the inner surface of the device housing from the ingress of emitter material. In US patent No. 8295440 (publ. 23.10.2012) [10] there is a similar cylinder, covering the cathode electrode with an emitter, passing into an expanding cone, the smaller base of which coincides with the hole in the cylinder.

Авторами предлагаемого изобретения была выявлена иная причина пробоев, заключающаяся в возникновении эмиссии из отрывающихся от автоэлектронного эмиттера способных к самостоятельной эмиссии частиц, неизбежно оседающих на управляющем электроде (проводниках сетки, как в устройствах по патентам [1, 3-6], или кромке единственного отверстия в проводящем материале управляющего электрода, как в устройствах по авторскому свидетельству [2], заявке [7] и патенту [9]). Возникновению путей пробоя способствуют также отрывающиеся от управляющего электрода частицы материала эмиттера, перед этим осевшие на управляющем электроде.The authors of the present invention revealed another reason for breakdowns, which consists in the emission of particles capable of self-emitting from the electron emitter that are inevitably deposited on the control electrode (grid conductors, as in devices according to patents [1, 3-6], or the edge of a single hole in the conductive material of the control electrode, as in devices according to the copyright certificate [2], application [7] and patent [9]). The occurrence of breakdown paths is also facilitated by emitter material particles detached from the control electrode and deposited on the control electrode.

В качестве меры для устранения выявленной причины пробоев предлагаются описываемые ниже технические решения, связанные с изменением конструкции управляющего электрода, размещаемого на пути эмитируемых электронов в источнике электронов, являющемся объектом первого изобретения предлагаемой группы, и источнике электронов, входящем в состав рентгеновской трубки, которая является объектом второго изобретения предлагаемой группы.As a measure to eliminate the identified cause of breakdowns, the technical solutions described below are proposed that are associated with a change in the design of the control electrode placed on the path of emitted electrons in the electron source, which is the object of the first invention of the proposed group, and the electron source, which is part of the x-ray tube, which is the object the second invention of the proposed group.

Технические решения по обоим предлагаемым изобретениям направлены на достижение технического результата, заключающегося в уменьшении интенсивности нежелательной эмиссии из способных к эмиссии частиц материала автоэлектронного эмиттера, отрывающихся от него и оседающих на управляющем электроде, а также в затруднении отрыва от управляющего электрода осевших на нем частиц материала эмиттера.Technical solutions for both proposed inventions are aimed at achieving a technical result, which consists in reducing the intensity of unwanted emission from particles capable of emitting autoelectronic emitter material, detached from it and deposited on the control electrode, as well as in the difficulty of separation of particles of emitter material deposited on it from the control electrode .

В дальнейшем при рассмотрении частных случаев выполнения и примеров использования предлагаемых изобретений могут быть названы и другие виды технического результата, достигаемые наряду с указанным выше.In the future, when considering particular cases of implementation and examples of the use of the proposed inventions, other types of technical result can be mentioned, achieved along with the above.

Наиболее близким к техническому решению по первому предлагаемому изобретению, относящемуся к источнику электронов, является известный источник электронов с автоэлектронным эмиттером, входящий в состав прибора по патентной заявке [7].Closest to the technical solution according to the first proposed invention, relating to the source of electrons, is a well-known source of electrons with an electron emitter, which is part of the device according to the patent application [7].

Источник электронов по предлагаемому изобретению, как и наиболее близкий к нему известный, содержит катодный электрод с автоэлектронной эмитирующей частью и управляющий электрод, обладающий прозрачностью для потока электронов, эмитируемых указанной частью катодного электрода.The electron source according to the invention, as well as the one closest to it, contains a cathode electrode with an autoelectronic emitting part and a control electrode having transparency for the flow of electrons emitted by the indicated part of the cathode electrode.

Для достижения названного выше технического результата в предлагаемом источнике электронов, в отличие от наиболее близкого к нему известного, управляющий электрод выполнен в виде прямого пустотелого проводящего цилиндра, имеющего боковую стенку и два основания, одно из которых обращено к катодному электроду. Прозрачность управляющего электрода для потока электронов, эмитируемых автоэлектронной эмитирующей частью катодного электрода, обеспечена наличием в каждом из указанных оснований центрального отверстия (коаксиального с указанным цилиндром и отверстием в другом основании). При этом отверстие в основании, обращенном к катодному электроду (т.е. более близком к нему), расположено напротив автоэлектронной эмитирующей части этого электрода и имеет меньший диаметр, чем отверстие в другом основании.To achieve the above technical result in the proposed electron source, in contrast to the closest known to it, the control electrode is made in the form of a direct hollow conductive cylinder having a side wall and two bases, one of which is facing the cathode electrode. The transparency of the control electrode for the flow of electrons emitted by the autoelectronic emitting part of the cathode electrode is ensured by the presence in each of these bases of a central hole (coaxial with the specified cylinder and the hole in the other base). In this case, the hole in the base facing the cathode electrode (i.e., closer to it) is located opposite the field-emitting part of this electrode and has a smaller diameter than the hole in the other base.

Наиболее близким ко второму предлагаемому изобретению, относящемуся к рентгеновской трубке, является известное техническое решение по патентной заявке [7].Closest to the second proposed invention relating to an x-ray tube, is a known technical solution for a patent application [7].

Рентгеновская трубка по предлагаемому изобретению, как и наиболее близкая к нему известная, содержит источник электронов и анодный электрод, размещенные в вакуумированном корпусе, выполненном с возможностью выведения рентгеновского излучения, возбуждаемого в анодном электроде при бомбардировке его эмитируемыми электронами, при этом источник электронов содержит катодный электрод, имеющий автоэлектронную эмитирующей часть, и управляющий электрод, обладающий прозрачностью для потока электронов, эмитируемых указанной частью катодного электрода.The x-ray tube according to the invention, as well as the closest known to it, contains an electron source and an anode electrode placed in a vacuum housing configured to output the x-ray radiation excited in the anode electrode when bombarded by emitted electrons, while the electron source contains a cathode electrode having an auto-electronic emitting part, and a control electrode having transparency for the flow of electrons emitted by the specified part of the cathode electrode.

Для достижения названного выше технического результата в предлагаемой рентгеновской трубке, в отличие от наиболее близкой к ней известной, управляющий электрод выполнен в виде прямого пустотелого проводящего цилиндра, имеющего боковую стенку и два основания, одно из которых обращено к катодному электроду. Прозрачность его для потока электронов, эмитируемых автоэлектронной эмитирующей частью катодного электрода, обеспечена наличием в каждом из указанных оснований центрального отверстия (коаксиального с указанным цилиндром и отверстием в другом основании). При этом отверстие в основании, обращенном к катодному электроду (т.е. более близком к нему), расположено напротив автоэлектронной эмитирующей части этого электрода и имеет меньший диаметр, чем отверстие в другом основании. Последнее обращено к анодному электроду.To achieve the above technical result in the proposed x-ray tube, in contrast to the closest known to it, the control electrode is made in the form of a direct hollow conductive cylinder having a side wall and two bases, one of which is facing the cathode electrode. Its transparency for the flow of electrons emitted by the autoelectronic emitting part of the cathode electrode is ensured by the presence in each of the indicated bases of a central hole (coaxial with the specified cylinder and the hole in the other base). In this case, the hole in the base facing the cathode electrode (i.e., closer to it) is located opposite the field-emitting part of this electrode and has a smaller diameter than the hole in the other base. The latter is addressed to the anode electrode.

В процессе работы электронных приборов, использующих выполненный описанным образом цилиндрический управляющий электрод, включая и предлагаемую рентгеновскую трубку, оторвавшиеся от эмитирующей части катодного электрода частицы его материала, способные к эмиссии, оседают преимущественно на кромке отверстия в основании упомянутого цилиндра, расположенного напротив эмитирующей части катодного электрода. При этом электрическое поле, создаваемое в работающем приборе анодом, находящимся под высоким потенциалом, корректируется благодаря описанной форме управляющего электрода таким образом, что его напряженность вблизи указанной кромки уменьшается и становится недостаточной для возникновения паразитной эмиссии из осевших на этой кромке частиц, а также для их отрыва.In the process of operation of electronic devices using the cylindrical control electrode made in the described manner, including the proposed X-ray tube, particles of its material detached from the emitting part of the cathode electrode that are capable of emission settle mainly on the edge of the hole in the base of the cylinder located opposite the emitting part of the cathode electrode . In this case, the electric field created in the working device by the anode, which is under high potential, is corrected due to the described shape of the control electrode so that its voltage near the indicated edge decreases and becomes insufficient for spurious emission from particles settled on this edge, as well as for their separation.

Целесообразно выполнение в предлагаемом источнике электронов, в том числе в составе предлагаемой рентгеновской трубки, эмитирующей части катодного электрода в виде подложки с нанесенной на нее углеродной пленкой, образованной нерегулярно расположенными углеродными микро- и наноребрами и (или) микро- и нанонитями, ориентированными перпендикулярно поверхности подложки. Такая эмитирующая часть обладает хорошими эмиссионными характеристиками и увеличенной стойкостью в электрических полях с высокой напряженностью (см. патент РФ №2194328, опубл. 20.03.2000 [11]).It is advisable to perform in the proposed source of electrons, including as part of the proposed X-ray tube, emitting parts of the cathode electrode in the form of a substrate with a carbon film deposited on it, formed by irregularly arranged carbon micro- and nanowires and (or) micro- and nanowires oriented perpendicular to the surface the substrate. Such an emitting part has good emission characteristics and increased resistance in electric fields with high tension (see RF patent No. 2194328, publ. 20.03.2000 [11]).

Предпочтительно также выполнение предлагаемого источника электронов, в том числе в составе предлагаемой рентгеновской трубки, с соблюдением наряду с указанным выше соотношением между диаметрами отверстий, также следующего соотношения между диаметрами d1 и d2 соответственно меньшего и большего из указанных отверстий и внутренними высотой h и диаметром D указанного цилиндра: d1<h≤d2<D. Выполнение этого соотношения способствует дополнительной минимизации напряженности электрического вблизи кромки отверстия в основании упомянутого цилиндра, обращенном к катодному электроду.It is also preferable to perform the proposed electron source, including as part of the proposed x-ray tube, observing, in addition to the above ratio between the diameters of the holes, also the following ratio between the diameters d 1 and d 2, respectively, of the smaller and larger of these holes and the internal height h and diameter D of the indicated cylinder: d 1 <h≤d 2 <D. The fulfillment of this ratio further minimizes the electric tension near the edge of the hole in the base of the said cylinder facing the cathode electrode.

В частном случае предлагаемая рентгеновская трубка может быть выполнена таким образом, что боковая стенка указанного цилиндра является частью корпуса рентгеновской трубки. Благодаря такому выполнению может быть уменьшен поперечный размер рентгеновской трубки.In the particular case of the proposed x-ray tube can be made so that the side wall of the specified cylinder is part of the housing of the x-ray tube. Thanks to this embodiment, the lateral size of the x-ray tube can be reduced.

Рентгеновская трубка может быть выполнена как с прострельным анодом, размещенным перед рентгенопрозрачным окном в наиболее удаленном от управляющего электрода торце корпуса, так и с отражательным анодным электродом, для получения возможности формирования пучка рентгеновского излучения, направленного вперед по продольной оси трубки или вбок через рентгенопрозрачное окно, выполненное в боковой стенке корпуса. В последнем случае для формирования пучка, распространяющегося во все стороны вокруг продольной оси трубки, анодный электрод выполнен конусообразным с вершиной конуса, обращенной к управляющему электроду, а рентгенопрозрачное окно выполнено в виде пояса в боковой стенке корпуса.The x-ray tube can be made with either a shooting anode placed in front of the x-ray transparent window at the end of the housing furthest from the control electrode, or with a reflective anode electrode, in order to be able to form an x-ray beam directed forward along the longitudinal axis of the tube or sideways through the x-ray transparent window, made in the side wall of the housing. In the latter case, to form a beam propagating in all directions around the longitudinal axis of the tube, the anode electrode is made conical with the apex of the cone facing the control electrode, and the X-ray transparent window is made in the form of a belt in the side wall of the housing.

Изобретения поясняются чертежами, на которых в качестве примеров схематически представлены:The invention is illustrated by drawings, in which as examples are schematically represented:

- на фиг. 1 - выполнение предлагаемого источника электронов и использование его в составе триода;- in FIG. 1 - implementation of the proposed electron source and its use in the triode;

- на фиг. 2 - выполнение предлагаемого источника электронов и использование его в составе электронной пушки;- in FIG. 2 - implementation of the proposed electron source and its use as part of an electron gun;

- на фиг. 3-5 - выполнение предлагаемой рентгеновской трубки, содержащей предлагаемый источник электронов, в различных частных случаях.- in FIG. 3-5 - the implementation of the proposed x-ray tube containing the proposed source of electrons, in various special cases.

Кроме того, на фиг. 6 приведены графики, иллюстрирующие изменение напряженности электрического поля вблизи обращенного к катодному электроду основания пустотелого цилиндра, являющегося управляющим электродом.In addition, in FIG. Figure 6 shows graphs illustrating the change in the electric field strength near the base of the hollow cylinder facing the cathode electrode, which is the control electrode.

К предлагаемому источнику электронов относятся позиции 1-7, 20 на фиг. 1; 21-27, 40 на фиг. 2; 41-47, 60 на фиг. 3; 61-67, 80 на фиг. 4 и 81-87, 100 на фиг. 5.The proposed electron source includes positions 1-7, 20 in FIG. one; 21-27, 40 in FIG. 2; 41-47, 60 in FIG. 3; 61-67, 80 in FIG. 4 and 81-87, 100 in FIG. 5.

В электронном приборе, являющемся триодом (фиг. 1), источник электронов содержит катодный электрод 1 с автоэлектронной эмитирующей частью 2 и управляющий электрод 20. Последний выполнен в виде пустотелого проводящего цилиндра, имеющего боковую стенку 3 и основания 6, 7 (по чертежу - нижнее и верхнее). Использованные на чертеже буквенные обозначения имеют следующий смысл: d1 и d2 -диаметры отверстий 4 и 5 соответственно нижнего 6 и верхнего 7 оснований, h - внутренняя высота цилиндра (расстояние между его основаниями), D - внутренний диаметр цилиндра. Цилиндр обращен нижним основанием 6 к эмитирующей части 2 катодного электрода 1. Выполненные в основаниях 6 и 7 цилиндра центральные отверстия (коаксиальные с цилиндром и друг с другом) 4 и 5 обеспечивают прозрачность управляющего электрода 20 для эмитируемых электронов. Устройство содержит также анодный электрод 8, значительно более удаленный от управляющего электрода 20, чем катодный электрод 1. Катодный 1 и управляющий 20 электроды источника электронов вместе с анодным электродом 8 заключены в вакуумированный корпус 9 и имеют внешние выводы 10, 11, 12 соответственно. Отверстие 5 в верхнем (более удаленном от катодного электрода) основании 7 цилиндра имеет диаметр d2, который больше диаметра d1 отверстия 4 в нижнем основании 6, ближайшем к катодному электроду.In an electronic device, which is a triode (Fig. 1), the electron source contains a cathode electrode 1 with an autoelectronic emitting part 2 and a control electrode 20. The latter is made in the form of a hollow conductive cylinder having a side wall 3 and a base 6, 7 (bottom drawing and top). The letter designations used in the drawing have the following meanings: d 1 and d 2 are the diameters of holes 4 and 5 of the lower 6 and upper 7 bases, h is the internal height of the cylinder (the distance between its bases), D is the internal diameter of the cylinder. The cylinder faces the lower base 6 to the emitting part 2 of the cathode electrode 1. The central holes made in the bases 6 and 7 of the cylinder (coaxial with the cylinder and with each other) 4 and 5 provide transparency of the control electrode 20 for emitted electrons. The device also contains an anode electrode 8, much more distant from the control electrode 20 than the cathode electrode 1. The cathode 1 and control 20 electrodes of the electron source together with the anode electrode 8 are enclosed in a vacuum housing 9 and have external terminals 10, 11, 12, respectively. The hole 5 in the upper (more distant from the cathode electrode) base 7 of the cylinder has a diameter d 2 that is larger than the diameter d 1 of the hole 4 in the lower base 6 closest to the cathode electrode.

При подаче на управляющий электрод 20 напряжения положительной полярности относительно катодного электрода 1 в промежутке: эмитирующая часть 2 катодного электрода - нижнее (более близкое к катодному электроду) основание 6 цилиндра управляющего электрода 20 возникает электрическое поле. Если поданное напряжение таково, что напряженность возникающего поля превышает пороговую, начинается автоэлектронная эмиссия. Эмитированные электроны ускоряются полем, созданным в указанном промежутке, проходят через промежуток между основаниями 6 и 7 цилиндра управляющего электрода 20, прозрачного для электронов благодаря наличию отверстий 4 и 5 в этих основаниях, и продолжают движение в направлении анодного электрода 8, получая при этом дополнительное ускорение.When a positive voltage is applied to the control electrode 20 with respect to the cathode electrode 1 in the gap: the emitting part 2 of the cathode electrode is the lower (closer to the cathode electrode) base 6 of the cylinder of the control electrode 20 an electric field occurs. If the applied voltage is such that the intensity of the emerging field exceeds the threshold, field emission begins. The emitted electrons are accelerated by the field created in the specified interval, pass through the gap between the bases 6 and 7 of the cylinder of the control electrode 20, which is transparent to electrons due to the presence of holes 4 and 5 in these bases, and continue to move in the direction of the anode electrode 8, while receiving additional acceleration .

В зависимости от соотношения свойств материала эмитирующей части катодного электрода и расстояний между электродами, а также от напряжения между ними устройство может работать в режиме регулируемого усиления или ключа. В последнем случае управляющий электрод 20 выполняет только вытягивающую функцию, обеспечивая лишь возможность эмиссии и проникновения электронов в промежуток: верхнее основание 7 цилиндра - анодный электрод 8, а в первом случае способен выполнять модулирующую роль, т.е. плавно влиять на величину анодного тока в зависимости от управляющего напряжения.Depending on the ratio of the material properties of the emitting part of the cathode electrode and the distances between the electrodes, as well as on the voltage between them, the device can operate in a controlled gain or key mode. In the latter case, the control electrode 20 performs only an extractive function, providing only the possibility of emission and penetration of electrons into the gap: the upper base 7 of the cylinder is the anode electrode 8, and in the first case it is able to play a modulating role, i.e. smoothly affect the value of the anode current depending on the control voltage.

На фиг. 2 показано использование предлагаемого источника электронов в составе электронной пушки. Элементами источника электронов электронной пушки являются катодный электрод 21, его автоэлектронная часть 22 и управляющий электрод 40, имеющий выполнение, аналогичное выполнению электрода 20 в описанном выше устройстве по фиг. 1, т.е. в виде прямого пустотелого проводящего цилиндра с боковой стенкой 23, основаниями 26, 27 и центральными отверстиями 24, 25 в них. Перечисленные элементы вместе с анодным электродом 28 заключены в общий корпус 29. Последний имеет отверстие 34 в правом по чертежу торце, более удаленном от управляющего электрода 40. Анодный электрод 28 выполнен в виде диска с центральным отверстием 33. Электроды 21, 40, 28 имеют внешние выводы соответственно 30, 31, 32.In FIG. 2 shows the use of the proposed electron source in the composition of the electron gun. The elements of the electron source of the electron gun are the cathode electrode 21, its auto-electronic part 22, and a control electrode 40 having a design similar to that of the electrode 20 in the above-described device of FIG. 1, i.e. in the form of a direct hollow conductive cylinder with a side wall 23, bases 26, 27 and central holes 24, 25 in them. The listed elements together with the anode electrode 28 are enclosed in a common housing 29. The latter has a hole 34 in the right-hand end face farther from the control electrode 40. The anode electrode 28 is made in the form of a disk with a central hole 33. The electrodes 21, 40, 28 have external conclusions respectively 30, 31, 32.

При работе электронной пушки электроны, эмитируемые катодным электродом, движутся в направлении к анодному электроду через отверстия 24, 25 управляющего электрода и выводятся из устройства через отверстие 33 в анодном электроде 28 и отверстие 34 в торце корпуса 29 преимущественно в направлении, показанном стрелкой е. Устройство используется в условиях технического вакуума внутри корпуса 29 и в окружающем его пространстве.When the electron gun is operating, the electrons emitted by the cathode electrode move towards the anode electrode through the holes 24, 25 of the control electrode and are removed from the device through the hole 33 in the anode electrode 28 and the hole 34 in the end face of the housing 29 mainly in the direction shown by arrow e. Device used in conditions of technical vacuum inside the housing 29 and in the surrounding space.

Фиг. 3-5 относятся к предлагаемой рентгеновской трубке, использующей предлагаемый источник электронов.FIG. 3-5 relate to the proposed x-ray tube using the proposed electron source.

На фиг. 3 показана трубка с прострельным анодом. Включенный в состав этой рентгеновской трубки источник электронов содержит катодный электрод 41, его автоэлектронную эмитирующую часть 42 и управляющий электрод 60, имеющий Т-образное выполнение в виде прямого пустотелого проводящего цилиндра с боковой стенкой 43 и центральными отверстиями 44, 45 в основаниях 46, 47, аналогичное выполнению электрода 20 в описанном выше устройстве по фиг. 1. Параллельно основаниям 47, 46 цилиндра управляющего электрода 60 установлен плоский анодный электрод 48, имеющий удаление от управляющего электрода 60, значительно большее, чем катодный электрод 41. Анодный электрод 48 представляет собой тонкую мишень, выполненную из материала, обладающего требуемыми свойствами характеристического излучения. Перечисленные элементы заключены в вакуумированный корпус 49. Электроны, вышедшие из отверстия 45 верхнего по чертежу основания 47 цилиндра, ускоряются в поле между управляющим 60 и анодным 48 электродами и бомбардируют последний, возбуждая в нем рентгеновское излучение. Это излучение выводится через рентгенопрозрачное окно 53 в верхнем по чертежу торце корпуса 49 преимущественно в направлении, показанном стрелкой R. Окно 53 может быть либо просто торцевой частью корпуса, если его материал является рентгенопрозрачным (например, стеклянным; при этом, в частном случае, для уменьшения ослабления излучения торец корпуса может быть выполнен более тонким, чем остальные части корпуса), либо выполнено из более прозрачного, чем прочие части корпуса, материала, например, из бериллия.In FIG. 3 shows a tube with a shooting anode. The electron source included in the composition of this X-ray tube contains a cathode electrode 41, its auto-electronic emitting part 42 and a control electrode 60 having a T-shape in the form of a direct hollow conductive cylinder with a side wall 43 and central holes 44, 45 in the bases 46, 47, similar to the implementation of the electrode 20 in the above device of FIG. 1. Parallel to the bases 47, 46 of the cylinder of the control electrode 60, a flat anode electrode 48 is installed, having a distance from the control electrode 60, much larger than the cathode electrode 41. The anode electrode 48 is a thin target made of a material having the required characteristic radiation properties. The listed elements are enclosed in a vacuum housing 49. The electrons emerging from the hole 45 of the cylinder base 47, which is upper in the drawing, are accelerated in the field between the control 60 and the anode 48 electrodes and bombard the latter, generating x-ray radiation in it. This radiation is output through an X-ray transparent window 53 at the upper end of the housing 49, mainly in the direction shown by arrow R. Window 53 can be either just the end part of the housing if its material is X-ray transparent (for example, glass; in this case, for To reduce radiation attenuation, the end face of the body can be made thinner than the rest of the body), or made of a material more transparent than other parts of the body, for example, of beryllium.

На фиг. 4 показана рентгеновская трубка с отражательным анодом 68. К источнику электронов относятся позиции: 61 - катодный электрод, 62 - его автоэлектронная эмитирующая часть, 80 - управляющий электрод, имеющий выполнение, аналогичное выполнению электрода 20 в описанном выше устройстве по фиг. 1, т.е. в виде прямого пустотелого проводящего цилиндра с боковой стенкой 63 и основаниями 66, 67 с центральными отверстиями 64, 65 в них. Перечисленные элементы вместе с анодным электродом 68 заключены в вакуумированный корпус 69. Электроды 61, 80, 68 имеют внешние выводы соответственно 70, 71, 72. Плоский анодный электрод 68 расположен наклонно по отношению к продольной (вертикальной по чертежу) оси корпуса 69 и выполнен либо непосредственно из материала, обладающего требуемыми свойствами характеристического излучения, либо в виде мишени из такого материала, нанесенной на другой проводящий материал, образующий тело катодного электрода. Излучение выводится через рентгенопрозрачное окно 73 в боковой стенке корпуса 69 преимущественно в направлении, показанном стрелкой R. Окно 73 может быть либо просто частью корпуса, расположенной напротив обращенной к управляющему электроду стороны анодного электрода, если материал корпуса является рентгенопрозрачным (например, стеклянным; в частном случае, для уменьшения ослабления излучения корпус в указанной части может быть выполнен более тонким, чем в других частях), либо выполнено из более прозрачного, чем прочие части корпуса, материала, например, из бериллия.In FIG. 4 shows an x-ray tube with a reflective anode 68. The electron source includes the positions: 61 — cathode electrode, 62 — its auto-electronic emitting part, 80 — control electrode having a design similar to that of the electrode 20 in the above-described device of FIG. 1, i.e. in the form of a direct hollow conducting cylinder with a side wall 63 and bases 66, 67 with central holes 64, 65 in them. The listed elements together with the anode electrode 68 are enclosed in a vacuum housing 69. The electrodes 61, 80, 68 have external leads 70, 71, 72, respectively. The flat anode electrode 68 is inclined with respect to the longitudinal (vertical in the drawing) axis of the housing 69 and is made either directly from a material possessing the required properties of characteristic radiation, or in the form of a target from such a material deposited on another conductive material forming the body of the cathode electrode. The radiation is output through an X-ray transparent window 73 in the side wall of the housing 69, mainly in the direction shown by the arrow R. The window 73 can either be simply a part of the housing located opposite the side of the anode electrode facing the control electrode, if the housing material is X-ray transparent (for example, glass; in particular case, to reduce the attenuation of radiation, the housing in this part can be made thinner than in other parts), or made of a mater more transparent than other parts of the housing iala, for example, from beryllium.

Рентгеновской трубке по фиг. 4 присуща особенность, заключающаяся в том, что боковая стенка 63 цилиндра, в виде которого выполнен управляющий электрод 80, является частью боковой стенки корпуса 69. Благодаря этому поперечный размер трубки меньше, чем при выполнении, показанном на фиг. 3. Такую трубку используют с заземленным управляющим электродом.The x-ray tube of FIG. 4, an inherent feature is that the side wall 63 of the cylinder, in the form of which the control electrode 80 is made, is part of the side wall of the housing 69. Due to this, the transverse dimension of the tube is smaller than in the embodiment shown in FIG. 3. This tube is used with a grounded control electrode.

На фиг. 5 показана рентгеновская трубка с конусообразным отражательным анодом 88. К источнику электронов относятся позиции: 81 - катодный электрод, 82 - его автоэлектронная эмитирующая часть, 100 - управляющий электрод, имеющий выполнение, аналогичное выполнению электрода 20 в описанном выше устройстве по фиг. 1, т.е. в виде прямого пустотелого проводящего цилиндра с боковой стенкой 83, основаниями 86, 87 и центральными отверстиями 84, 85 в них. Перечисленные элементы вместе с анодным электродом 88 заключены в вакуумированный корпус 89. Конусообразный анодный электрод 88 расположен так, что ось конуса ориентирована по продольной оси корпуса 89, а вершина его обращена в сторону управляющего электрода 100. Анодный электрод 88 выполнен либо непосредственно из материала, обладающего требуемыми свойствами характеристического излучения, либо в виде мишени из такого материала, нанесенной на другой проводящий материал, образующий тело анодного электрода. Излучение выводится через выполненное в виде пояса рентгенопрозрачное окно 93 в боковой стенке корпуса 89 преимущественно в направлениях, показанных стрелками R. К материалу окна 93 относится сказанное выше при рассмотрении трубки по фиг. 4. В трубке по фиг. 5, как и в трубке по фиг. 4, боковая стенка 83 цилиндра, в виде которого выполнен управляющий электрод 100, является частью боковой стенки корпуса 89, что позволяет уменьшить поперечный размер трубки. Данную трубку, как и трубку по фиг. 4, используют с заземленным управляющим электродом.In FIG. 5 shows an X-ray tube with a cone-shaped reflective anode 88. The electron source includes the positions: 81 — cathode electrode, 82 — its auto-electronic emitting part, 100 — control electrode having a design similar to that of the electrode 20 in the above-described device of FIG. 1, i.e. in the form of a direct hollow conductive cylinder with a side wall 83, bases 86, 87 and central holes 84, 85 in them. The listed elements together with the anode electrode 88 are enclosed in a vacuum housing 89. The cone-shaped anode electrode 88 is located so that the axis of the cone is oriented along the longitudinal axis of the housing 89, and its apex is directed towards the control electrode 100. The anode electrode 88 is made either directly from a material having the required properties of characteristic radiation, or in the form of a target of such a material deposited on another conductive material forming the body of the anode electrode. The radiation is removed through a belt-shaped radiolucent window 93 in the side wall of the housing 89, mainly in the directions shown by arrows R. The material of the window 93 includes the above when considering the tube of FIG. 4. In the tube of FIG. 5, as in the tube of FIG. 4, the side wall 83 of the cylinder, in the form of which the control electrode 100 is made, is part of the side wall of the housing 89, which reduces the lateral size of the tube. This tube, like the tube of FIG. 4 are used with a grounded control electrode.

В совокупности наличие рассмотренных частных случаев выполнения предлагаемой рентгеновской трубки с использованием в ее составе предлагаемого источника электронов позволяет получить излучение преимущественно в выбранном направлении: пучком, направленным вперед (трубка по фиг. 3), пучком, направленным вбок в одну сторону (трубка по фиг. 4), или пучком в угле 360° вокруг продольной оси корпуса (трубка по фиг. 5), например, в зависимости от применяемой методики диагностики или тактики лечения при брахитерапии.In the aggregate, the presence of the considered special cases of the proposed X-ray tube using the proposed electron source in its composition makes it possible to obtain radiation mainly in the selected direction: a beam directed forward (the tube in Fig. 3), a beam directed sideways in one direction (the tube in Fig. 4), or a beam in an angle of 360 ° around the longitudinal axis of the body (tube in Fig. 5), for example, depending on the diagnostic technique used or treatment tactics for brachytherapy.

В любом из рассмотренных и других частных случаях выполнения предлагаемой рентгеновской трубки с предлагаемым источником электронов можно осуществлять раздельное регулирование интенсивности излучения - изменением напряжения на управляющем электроде относительно катодного электрода и спектрального состава излучения - изменением анодного напряжения.In any of the considered and other special cases of the proposed X-ray tube with the proposed electron source, it is possible to separately control the radiation intensity — by changing the voltage on the control electrode relative to the cathode electrode and the spectral composition of the radiation — by changing the anode voltage.

В предлагаемом источнике электронов, а также в любом электронном устройстве, использующем источник, включая рассмотренные выше в качестве примеров триод, электронную пушку и рентгеновские трубки, наиболее целесообразным является выполнение автоэлектронной эмитирующей части 2, 22, 42, 62, 82 катодного электрода 1, 21, 41, 61, 81 (соответственно по фиг. 1, 2, 3, 4, 5) в виде подложки с нанесенной на нее углеродной пленкой, образованной нерегулярно расположенными углеродными микро- и наноребрами и (или) микро- и нанонитями, ориентированными перпендикулярно поверхности подложки. Это обеспечивает хорошие эмиссионные характеристики и увеличенную стойкость автоэлектронной эмитирующей части в электрических полях с высокой напряженностью. Технология получения такой эмитирующей части описана в патенте [11].In the proposed source of electrons, as well as in any electronic device using the source, including the triode, electron gun and x-ray tubes considered above as examples, it is most expedient to perform the field-emission emitting part 2, 22, 42, 62, 82 of the cathode electrode 1, 21 , 41, 61, 81 (respectively, according to Figs. 1, 2, 3, 4, 5) in the form of a substrate with a carbon film deposited on it, formed by irregularly positioned carbon micro- and nanowires and (or) micro- and nanowires, oriented perpendicularly P substrate surface. This provides good emission characteristics and increased resistance of the field-emitting emitting part in high-intensity electric fields. The technology for producing such an emitting part is described in the patent [11].

При работе предлагаемого источника электронов в любом использующем его электронном устройстве, включая рассмотренные выше в качестве примеров триод и электронную пушку, а также рентгеновские трубки, возможен перенос материала (углеродного при указанном выше предпочтительном выполнении) автоэлектронной эмитирующей части катодного электрода на другие поверхности внутри вакуумированного корпуса электронного прибора, в том числе на кромки отверстий в управляющем электроде, преимущественно на кромку ближнего к катодному электроду отверстия (4, 24, 44, 64 или 84 соответственно по фиг. 1, 2, 3, 4 или 5). Такие осажденные частицы способны выступать в роли вторичных (паразитных) эмиссионных центров. Если бы в источнике электронов и использующих его устройствах не было реализовано выполнение управляющего электрода в соответствии с предлагаемыми изобретениями, эта способность могла быть реализована. При этом ввиду малой адгезии осажденных частиц велика вероятность их перегрева и испарения с образованием облака углеродного пара, что чревато возникновением электрического пробоя. Происходящая при этом ионизация молекул остаточного газа в техническом вакууме внутри корпуса прибора приводила бы к бомбардировке эмитирующей части катодного электрода положительными ионами с практически неизбежным ее повреждением.When the proposed electron source is used in any electronic device using it, including the triode and the electron gun considered above as examples, as well as x-ray tubes, the material (carbon in the preferred embodiment indicated above) can be transferred to the electron-emitting part of the cathode electrode on other surfaces inside the evacuated case electronic device, including the edges of the holes in the control electrode, mainly on the edge of the hole nearest to the cathode electrode rstia (4, 24, 44, 64 or 84, respectively, according to Fig. 1, 2, 3, 4 or 5). Such deposited particles are capable of acting as secondary (parasitic) emission centers. If the implementation of the control electrode in accordance with the proposed inventions were not realized in the electron source and the devices using it, this ability could be realized. Moreover, due to the low adhesion of the deposited particles, there is a high probability of their overheating and evaporation with the formation of a carbon vapor cloud, which is fraught with the occurrence of electrical breakdown. The ionization of the residual gas molecules in a technical vacuum inside the device’s case would lead to bombardment of the emitting part of the cathode electrode by positive ions with its almost inevitable damage.

При использовании источника электронов в составе рентгеновских трубок дополнительно могут иметь место особенности, связанные со стремлением получить более высокую энергию электронов при регулировании спектрального состава излучения, что требует увеличения анодного напряжения. Это приводит к необходимости использовать импульсный режим, так как в таком режиме увеличение анодного напряжения в определенных пределах не приводит к повышению вероятности пробоя, вызываемого обычными для рентгеновских трубок факторами. Однако в рентгеновской трубке с автоэлектронной эмиссией, работающей в импульсном режиме, в паузах между импульсами электрическое поле резко переключается со всей рабочей поверхности автоэлектронной эмитирующей части катодного электрода на отдельные паразитные центры на управляющем электроде, преимущественно на те, которые находятся на кромке отверстия этого электрода, когда он выполнен в виде пластины с отверстием, или на проводниках сетки, когда этот электрод имеет соответствующее выполнение.When using an electron source in the composition of x-ray tubes, there may additionally be features associated with the desire to obtain a higher electron energy when controlling the spectral composition of the radiation, which requires an increase in the anode voltage. This leads to the need to use a pulsed mode, since in such a mode an increase in the anode voltage within certain limits does not increase the probability of breakdown caused by factors common to x-ray tubes. However, in an X-ray tube with pulsed field emission, in the pauses between pulses, the electric field abruptly switches from the entire working surface of the field emitting part of the cathode electrode to individual spurious centers on the control electrode, mainly to those located on the edge of the hole of this electrode, when it is made in the form of a plate with a hole, or on the conductors of the grid, when this electrode has a corresponding implementation.

В устройствах по предлагаемым изобретениям, имеющих управляющий электрод, выполненный описанным выше образом (позиции 20, 40, 60, 80, 100 соответственно на фиг. 1, 2, 3, 4, 5), оторвавшиеся от эмитирующей части катодного электрода (позиции 2, 22, 42, 62, 82) частицы его материала, способные к эмиссии, оседают преимущественно на кромке отверстия (4, 24, 44, 64, 84) в основании цилиндра, расположенном вблизи катодного электрода. При этом электрическое поле, создаваемое в работающем приборе анодным электродом, находящимся под высоким потенциалом, корректируется благодаря описанной форме управляющего электрода таким образом, что напряженность поля вблизи указанной кромки оказывается невысокой и недостаточной для возникновения паразитной эмиссии из осевших на этой кромке частиц. Одновременно становится менее вероятным преодоление адгезии частиц материала эмиттера, осевших на управляющем электроде, и отрыв их от этого электрода.In the devices according to the invention, having a control electrode made in the manner described above (positions 20, 40, 60, 80, 100, respectively, in Figs. 1, 2, 3, 4, 5), detached from the emitting part of the cathode electrode (position 2, 22, 42, 62, 82) particles of its material, capable of emission, settle mainly on the edge of the hole (4, 24, 44, 64, 84) in the base of the cylinder, located near the cathode electrode. In this case, the electric field created in the working device by the anode electrode, which is at high potential, is corrected due to the described shape of the control electrode so that the field strength near the specified edge is low and insufficient for the occurrence of spurious emission from particles settled on this edge. At the same time, it becomes less likely to overcome the adhesion of particles of emitter material deposited on the control electrode and their separation from this electrode.

Выше был назван признак предлагаемого источника электронов и содержащей его рентгеновской трубки, заключающийся в том, что отверстие в обращенном к катодному электроду основании цилиндра, в виде которого выполнен управляющий электрод, имеет меньший диаметр по сравнению с отверстием в более удаленном от катодного электрода основании, т.е. d1<d2 (см. фиг. 1, где приведены эти обозначения, а также обозначения h и D соответственно для внутренних высоты и диаметра цилиндра). Наряду с соотношением d1<d2 целесообразно также соблюдение условия для высоты h цилиндра: d1<h≤d2, позволяющего дополнительно минимизировать напряженность электрического поля вблизи кромки отверстия в основании цилиндра, более близком к катодному электроду. Очевидно также, что всегда d2<D, поэтому d1<h≤d2<D.Above, we mentioned the feature of the proposed electron source and the x-ray tube containing it, namely, that the hole in the base of the cylinder facing the cathode electrode, in the form of which the control electrode is made, has a smaller diameter compared to the hole in the base farther from the cathode electrode, t .e. d 1 <d 2 (see Fig. 1, where these designations are shown, as well as the designations h and D, respectively, for the internal height and diameter of the cylinder). Along with the ratio d 1 <d 2, it is also advisable to comply with the condition for the height h of the cylinder: d 1 <h≤d 2 , which can further minimize the electric field near the edge of the hole in the base of the cylinder closer to the cathode electrode. It is also obvious that always d 2 <D, therefore d 1 <h≤d 2 <D.

На фиг. 6 в качестве примера приведены расчетные зависимости направленной вдоль оси корпуса составляющей Е напряженности электрического поля (в относительных безразмерных единицах) вблизи обращенного к катодному электроду основания цилиндра от расстояния r вдоль радиуса этого основания, отсчитываемого от его центра.In FIG. Figure 6 shows, as an example, the calculated dependences of the component E of the electric field directed along the body axis (in relative dimensionless units) near the cylinder base facing the cathode electrode on the distance r along the radius of this base, measured from its center.

Участок 101 соответствует отверстию (4, 24, 44, 64 или 84), а участок 102 - металлической части основания цилиндра. Кривая 104 получена для устройств с управляющим электродом, выполненным в соответствии с предлагаемыми изобретениями, а кривая 103 получена в предположении, что управляющий электрод выполнен просто в виде пластины с отверстием (когда, в отличие от управляющего электрода по предлагаемым изобретениям, отсутствуют боковая стенка и более удаленное от катодного электрода основание цилиндра). Из сравнения кривых 103 и 104 видно существенное снижение напряженности Е на кромке упомянутого отверстия, что подтверждает эффективность предлагаемой конструкции устройств. Конструктивные размеры (см. фиг. 1), при которых получены кривые фиг. 6, соответствуют следующим: d1=0,2 мм, d2=1,0 мм, h=0,5 мм, D=1,2 мм; расстояние между катодным электродом и обращенным к нему основанием цилиндра - 0,1 мм, расстояние между катодным и анодным электродами - 5,1 мм.Section 101 corresponds to the hole (4, 24, 44, 64 or 84), and section 102 to the metal part of the base of the cylinder. Curve 104 is obtained for devices with a control electrode made in accordance with the proposed inventions, and curve 103 is obtained under the assumption that the control electrode is made simply in the form of a plate with a hole (when, unlike the control electrode of the proposed inventions, there is no side wall or more the base of the cylinder remote from the cathode electrode). A comparison of curves 103 and 104 shows a significant decrease in tension E at the edge of the said hole, which confirms the effectiveness of the proposed device design. The structural dimensions (see FIG. 1) at which the curves of FIG. 6 correspond to the following: d 1 = 0.2 mm, d 2 = 1.0 mm, h = 0.5 mm, D = 1.2 mm; the distance between the cathode electrode and the base of the cylinder facing it is 0.1 mm, the distance between the cathode and anode electrodes is 5.1 mm.

Согласно приведенному выше описанию управляющий электрод в предлагаемых устройствах и отверстия в его основаниях имеют круглую форму. Однако с точки зрения способности функционирования и возможности достижения названных выше видов технического результата такой конструкции эквивалентно выполнение указанного электрода в виде правильной призмы, а центральных отверстий в основаниях - в виде правильных многоугольников, причем не обязательно с одинаковыми количествами сторон у этих многоугольников и количеством боковых граней призмы, а при одинаковых количествах - стороны двух многоугольников не обязательно должны быть параллельны между собой и боковыми гранями призмы.According to the above description, the control electrode in the proposed devices and the holes in its bases are round in shape. However, from the point of view of the ability to function and the possibility of achieving the above types of technical result of such a design, it is equivalent to making the indicated electrode in the form of a regular prism, and the central holes in the bases as regular polygons, and not necessarily with the same number of sides of these polygons and the number of side faces prisms, and with the same amounts, the sides of two polygons do not have to be parallel between themselves and the side faces of the prism .

В заключение следует заметить, что приведенное выше описание предлагаемых изобретений следует воспринимать с учетом особенностей терминологии в данной области техники. Содержащийся в электронных приборах рассматриваемого типа эмитирующий электроны электрод, вышепредставленный как катодный электрод с автоэлектронной эмитирующей частью, часто называют просто эмиттером или (в соответствующем контексте) просто катодом. Применяются также названия: автоэлектронный эмиттер, автоэмиттер, холодный катод, автокатод, полевой эмиттер, а для используемого в таких приборах явления эмиссии электронов - названия: автоэмиссия, автоэлектронная эмиссия, холодная эмиссия, полевая эмиссия. Управляющий электрод называют также вытягивающим электродом, вытягивающей сеткой, управляющей сеткой или просто сеткой, в том числе даже в случаях, когда конструктивное выполнение этого электрода не ассоциируется с сеткой. Источник электронов в целом, являющийся объектом первого из предлагаемых изобретений и частью второго, может называться управляемым источником электронов, управляемым эмитирующим узлом, а также катодно-сеточным узлом.In conclusion, it should be noted that the above description of the proposed inventions should be taken into account the characteristics of the terminology in the art. The electron emitting electrode contained in the electronic devices of the type in question, presented above as a cathode electrode with an autoelectronic emitting part, is often referred to simply as an emitter or (in the corresponding context) simply as a cathode. The names also apply: field emitter, field emitter, cold cathode, field cathode, field emitter, and for the phenomena of electron emission used in such devices - names: field emission, field emission, cold emission, field emission. The control electrode is also called a pulling electrode, a pulling grid, a control grid or just a grid, including even in cases where the structural design of this electrode is not associated with the grid. The electron source as a whole, which is the object of the first of the proposed inventions and part of the second, can be called a controlled electron source controlled by the emitting node, as well as the cathode-grid node.

Источники информацииInformation sources

1. Патент РФ №2161840, опубл. 10.01.2001.1. RF patent №2161840, publ. 01/10/2001.

2. Авторское свидетельство СССР №1079096, опубл. 15.07.1991.2. USSR Author's Certificate No. 1079096, publ. 07/15/1991.

3. Патент РФ №2231859, опубл. 27.06.2004.3. RF patent No. 2231859, publ. 06/27/2004.

4. Патент США №6553096, опубл. 22.04.2003.4. US Patent No. 6553096, publ. 04/22/2003.

5. Патент США №6850595, опубл. 01.02.2005.5. US patent No. 6850595, publ. 02/01/2005.

6. Патент США №8300769, опубл. 30.10.2012.6. US patent No. 8300769, publ. 10/30/2012.

7. Патентная заявка США №2013/0336459, опубл. 19.12.2013.7. US patent application No. 2013/0336459, publ. 12/19/2013.

8. Jun-Tae Kang at al. Analysis of Failure in Miniature X-ray Tubes with Gated Carbon Nanotube Field Emitters, ETRI Journal, Volume 35, Number 6, December 2013, pp. 1164-1167.8. Jun-Tae Kang at al. Analysis of Failure in Miniature X-ray Tubes with Gated Carbon Nanotube Field Emitters, ETRI Journal, Volume 35, Number 6, December 2013, pp. 1164-1167.

9. Патент РФ №2248643, опубл. 20.03.2005.9. RF patent No. 2248643, publ. 03/20/2005.

10. Патент США №8295440, опубл. 23.10.2012.10. US Patent No. 8295440, publ. 10/23/2012.

11. Патент РФ №2194328, опубл. 20.03.2000.11. RF patent No. 2194328, publ. 03/20/2000.

Claims (12)

1. Источник электронов, содержащий катодный электрод с автоэлектронной эмитирующей частью и управляющий электрод, обладающий прозрачностью для электронов, эмитируемых указанной частью катодного электрода, отличающийся тем, что управляющий электрод выполнен в виде прямого пустотелого проводящего цилиндра, имеющего боковую стенку и два основания, одно из которых обращено к катодному электроду, прозрачность управляющего электрода для потока электронов, эмитируемых автоэлектронной эмитирующей частью катодного электрода, обеспечена наличием в каждом из указанных оснований центрального отверстия, при этом отверстие в основании, более близком к катодному электроду, расположено напротив автоэлектронной эмитирующей части этого электрода и имеет меньший диаметр, чем отверстие в удаленном от катодного электрода основании указанного цилиндра.1. An electron source containing a cathode electrode with an autoelectronic emitting part and a control electrode having transparency for electrons emitted by the indicated part of the cathode electrode, characterized in that the control electrode is made in the form of a direct hollow conductive cylinder having a side wall and two bases, one of which refers to the cathode electrode, transparency of the control electrode for the flow of electrons emitted by the field-emitting emitting part of the cathode electrode is ensured by in each of the indicated bases of the central hole, the hole in the base closer to the cathode electrode is located opposite the auto-emitting emitting part of this electrode and has a smaller diameter than the hole in the base of the cylinder remote from the cathode electrode. 2. Источник по п. 1, отличающийся тем, что автоэлектронная эмитирующая часть катодного электрода выполнена в виде подложки с нанесенной на нее углеродной пленкой, образованной нерегулярно расположенными углеродными микро- и наноребрами и (или) микро- и нанонитями, ориентированными перпендикулярно поверхности подложки.2. The source according to claim 1, characterized in that the field-emitting cathode electrode emitting part is made in the form of a substrate with a carbon film deposited on it, formed by irregularly arranged carbon micro- and nanowires and (or) micro- and nanowires, oriented perpendicular to the surface of the substrate. 3. Источник по п. 1 или 2, отличающийся тем, что между диаметром d1 отверстия в обращенном к катодному электроду основании указанного цилиндра, диаметром d2 отверстия в удаленном от катодного электрода основании указанного цилиндра, внутренней высотой h этого цилиндра и его внутренним диаметром D имеет место соотношение d1<h≤d2<D.3. A source according to claim 1 or 2, characterized in that between the diameter d 1 of the hole in the base of the cylinder facing the cathode electrode, the diameter d 2 of the hole in the base of the cylinder remote from the cathode electrode, the inner height h of this cylinder and its inner diameter D the relation d 1 <h≤d 2 <D takes place. 4. Рентгеновская трубка, содержащая источник электронов и анодный электрод, размещенные в вакуумированном корпусе, выполненном с возможностью выведения рентгеновского излучения, возбуждаемого в анодном электроде при бомбардировке его электронами, при этом источник электронов содержит катодный электрод, имеющий автоэлектронную эмитирующую часть, и управляющий электрод, обладающий прозрачностью для электронов, эмитируемых указанной частью катодного электрода, отличающаяся тем, что управляющий электрод выполнен в виде прямого пустотелого проводящего цилиндра, имеющего боковую стенку и два основания, одно из которых обращено к катодному электроду, а прозрачность управляющего электрода для электронов, эмитируемых автоэлектронной эмитирующей частью катодного электрода, обеспечена наличием в каждом из указанных оснований центрального отверстия, при этом отверстие в основании, обращенном к катодному электроду, расположено напротив автоэлектронной эмитирующей части этого электрода и имеет меньший диаметр, чем отверстие в другом основании, которое обращено к анодному электроду.4. An x-ray tube containing an electron source and an anode electrode housed in an evacuated housing configured to output x-ray radiation excited in the anode electrode by electron bombardment, the electron source comprising a cathode electrode having an electron-emitting part and a control electrode, having transparency for the electrons emitted by the indicated part of the cathode electrode, characterized in that the control electrode is made in the form of a direct void logo of the conductive cylinder having a side wall and two bases, one of which is facing the cathode electrode, and the transparency of the control electrode for the electrons emitted by the autoelectronic emitting part of the cathode electrode is ensured by the presence of a central hole in each of these bases, with the hole in the base facing to the cathode electrode, located opposite the electron-emitting emitting part of this electrode and has a smaller diameter than the hole in the other base, which faces the anode to the electrode. 5. Трубка по п. 4, отличающаяся тем, что она выполнена с прострельным анодным электродом, размещенным перед рентгенопрозрачным окном в наиболее удаленном от управляющего электрода торце корпуса.5. The tube according to claim 4, characterized in that it is made with a shot anode electrode located in front of the x-ray transparent window at the end of the housing farthest from the control electrode. 6. Трубка по п. 4, отличающаяся тем, что она выполнена с отражательным анодным электродом и рентгенопрозрачным окном, размещенным в боковой стенке корпуса.6. The tube according to claim 4, characterized in that it is made with a reflective anode electrode and an X-ray transparent window located in the side wall of the housing. 7. Трубка по п. 6, отличающаяся тем, что отражательный анодный электрод выполнен конусообразным с вершиной, обращенной в сторону управляющего электрода, а рентгенопрозрачное окно, размещенное в боковой стенке корпуса, выполнено в виде пояса.7. The tube according to claim 6, characterized in that the reflective anode electrode is conical with a vertex facing the control electrode, and an X-ray transparent window placed in the side wall of the housing is made in the form of a belt. 8. Трубка по любому из пп. 4-7, отличающаяся тем, что боковая стенка указанного цилиндра является частью корпуса рентгеновской трубки.8. The pipe according to any one of paragraphs. 4-7, characterized in that the side wall of the specified cylinder is part of the housing of the x-ray tube. 9. Трубка по любому из пп. 4-7, отличающаяся тем, что автоэлектронная эмитирующая часть катодного электрода выполнена в виде подложки с нанесенной на нее углеродной пленкой, образованной нерегулярно расположенными углеродными микро- и наноребрами и (или) микро- и нанонитями, ориентированными перпендикулярно поверхности подложки.9. The pipe according to any one of paragraphs. 4-7, characterized in that the autoelectronic emitting part of the cathode electrode is made in the form of a substrate with a carbon film deposited on it, formed by irregularly positioned carbon micro- and nanowires and (or) micro- and nanowires, oriented perpendicular to the surface of the substrate. 10. Трубка по п. 9, отличающаяся тем, что между диаметром d1 отверстия в обращенном к катодному электроду основании указанного цилиндра, диаметром d2 отверстия в удаленном от катодного электрода основании указанного цилиндра, внутренней высотой h этого цилиндра и его внутренним диаметром D имеет место соотношение d1<h≤d2<D.10. The tube according to claim 9, characterized in that between the diameter d 1 of the hole in the base of the cylinder facing the cathode electrode, the diameter d 2 of the hole in the base of the cylinder remote from the cathode electrode, the inner height h of this cylinder and its inner diameter D has place ratio d 1 <h≤d 2 <D. 11. Трубка по п. 9, отличающаяся тем, что боковая стенка указанного цилиндра является частью корпуса рентгеновской трубки.11. The tube according to claim 9, characterized in that the side wall of the specified cylinder is part of the body of the x-ray tube. 12. Трубка по любому из пп. 4-7, 11, отличающаяся тем, что между диаметром d1 отверстия в обращенном к катодному электроду основании указанного цилиндра, диаметром d2 отверстия в удаленном от катодного электрода основании указанного цилиндра, внутренней высотой h этого цилиндра и его внутренним диаметром D имеет место соотношение d1<h≤d2<D. 12. The pipe according to any one of paragraphs. 4-7, 11, characterized in that between the diameter d 1 of the hole in the base of the cylinder facing the cathode electrode, the diameter d 2 of the hole in the base of the cylinder remote from the cathode electrode, the inner height h of this cylinder and its inner diameter D has the ratio d 1 <h≤d 2 <D.
RU2014150274/07A 2014-12-12 2014-12-12 Source of electrons with auto electronic emitter and x-ray tube with said electron source RU2581833C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014150274/07A RU2581833C1 (en) 2014-12-12 2014-12-12 Source of electrons with auto electronic emitter and x-ray tube with said electron source

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014150274/07A RU2581833C1 (en) 2014-12-12 2014-12-12 Source of electrons with auto electronic emitter and x-ray tube with said electron source

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2581833C1 true RU2581833C1 (en) 2016-04-20

Family

ID=56195024

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014150274/07A RU2581833C1 (en) 2014-12-12 2014-12-12 Source of electrons with auto electronic emitter and x-ray tube with said electron source

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2581833C1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU183913U1 (en) * 2018-05-07 2018-10-09 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А." (СГТУ имени Гагарина Ю.А.) TRIODE ELECTRON GUN WITH AUTOCATODE
WO2019207353A1 (en) * 2018-04-24 2019-10-31 Ооо "Экологический Свет" Flat field-emission light source
IT202100022472A1 (en) * 2021-08-27 2023-02-27 Raphael Thomasset Axial Radial Diffusing Electromagnetic Vircator with Axial Electromagnetic Radiation Deflector for Single or Multiple Electromagnetic Pulse Bombs

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US833769A (en) * 1906-03-15 1906-10-23 Henri Charles Brasier Driving-gear of motor-boats.
RU2161840C2 (en) * 1997-04-18 2001-01-10 Тарис Технолоджис, Инк. Autoemission triode
RU2248643C1 (en) * 2003-06-18 2005-03-20 Шешин Евгений Павлович X-ray tube with field-radiating cathode
US8295440B2 (en) * 2010-02-03 2012-10-23 Korea Advanced Institute Of Science And Technology Super miniature X-ray tube using NANO material field emitter

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US833769A (en) * 1906-03-15 1906-10-23 Henri Charles Brasier Driving-gear of motor-boats.
RU2161840C2 (en) * 1997-04-18 2001-01-10 Тарис Технолоджис, Инк. Autoemission triode
RU2248643C1 (en) * 2003-06-18 2005-03-20 Шешин Евгений Павлович X-ray tube with field-radiating cathode
US8295440B2 (en) * 2010-02-03 2012-10-23 Korea Advanced Institute Of Science And Technology Super miniature X-ray tube using NANO material field emitter

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019207353A1 (en) * 2018-04-24 2019-10-31 Ооо "Экологический Свет" Flat field-emission light source
RU183913U1 (en) * 2018-05-07 2018-10-09 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А." (СГТУ имени Гагарина Ю.А.) TRIODE ELECTRON GUN WITH AUTOCATODE
IT202100022472A1 (en) * 2021-08-27 2023-02-27 Raphael Thomasset Axial Radial Diffusing Electromagnetic Vircator with Axial Electromagnetic Radiation Deflector for Single or Multiple Electromagnetic Pulse Bombs

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2492949B1 (en) Stable cold field emission electron source
US8351576B2 (en) X-ray tube with passive ion collecting electrode
US9793084B2 (en) Floating intermediate electrode configuration for downhole nuclear radiation generator
US20070058782A1 (en) X-ray tube
AU2009278058B2 (en) Electron emitter and field emission device provided with electron emitter
RU2581833C1 (en) Source of electrons with auto electronic emitter and x-ray tube with said electron source
BR112012033065A2 (en) arc evaporation source with defined electric field
US8953747B2 (en) Shielding electrode for an X-ray generator
US10431415B2 (en) X-ray tube ion barrier
JP3156763B2 (en) Electrode voltage application method and apparatus for cold cathode mounted electron tube
US9928985B2 (en) Robust emitter for minimizing damage from ion bombardment
WO2017130262A1 (en) X-ray generating tube, x-ray generating apparatus, and radiography system
RU2581835C1 (en) Controlled emitting unit of electronic devices with autoelectronic emission and x-ray tube with said unit
US3344298A (en) Flash x-ray tube with gas focusing of beam
CN102842477B (en) X-ray tube
TWI730553B (en) Electron gun, X-ray generating device and X-ray imaging device
JP3147227B2 (en) Cold cathode electron gun
JP2772687B2 (en) Ionization gauge
US9053893B2 (en) Radiation generator having bi-polar electrodes
CN108701575A (en) Target assembly and x-ray emission device for x-ray emission device
KR101214404B1 (en) gate-focusing electrodes integrated electrodes structure for X-ray tube based on nano-structured material
CN111328176B (en) Suspended grid cathode structure, electron gun, electron accelerator and irradiation device
US20220285123A1 (en) Ion gun and ion milling machine
WO2020118938A1 (en) Multi-suspended gate cathode structure, electron gun, electron accelerator, and irradiation device
US2062538A (en) Cathode ray tube

Legal Events

Date Code Title Description
PD4A Correction of name of patent owner