RU2581628C2 - Кварцевый реактор для исследования температурной зависимости электросопротивления высокорезисторных объектов - Google Patents
Кварцевый реактор для исследования температурной зависимости электросопротивления высокорезисторных объектов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2581628C2 RU2581628C2 RU2014103631/07A RU2014103631A RU2581628C2 RU 2581628 C2 RU2581628 C2 RU 2581628C2 RU 2014103631/07 A RU2014103631/07 A RU 2014103631/07A RU 2014103631 A RU2014103631 A RU 2014103631A RU 2581628 C2 RU2581628 C2 RU 2581628C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- objects
- casing
- quartz reactor
- tungsten wire
- temperature relationship
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Abstract
Изобретение относится к вакуумно-плазменной обработке и может быть использовано при создании устройств и способов для исследования свойств нанокомпозитов. Кварцевый реактор для исследования температурной зависимости электрического сопротивления высокорезистивных объектов, преимущественно, пленочных образцов из нанокомпозиционных материалов, содержит корпус, на внешней поверхности которого бифилярно намотан резистивный нагреватель. Внутри корпуса на растяжках, выполненных в виде пружин из вольфрамовой проволоки, установлены С-образные зажимы с плоскими губками для размещения исследуемого образца, выполненные из вольфрамовой проволоки, причем в стенке корпуса, в центральной его части, установлена термопара с возможностью радиального перемещения и измерения температуры упомянутого образца, размещаемого в С-образных зажимах. Технический результат - повышение точности определения температурной зависимости электрического сопротивления высокорезистивных объектов и расширение размеров исследуемых образцов. 1 ил.
Description
Изобретение относится к вакуумно-плазменной обработке и может быть использовано при создании устройств и способов для исследования свойств нанокомпозитов.
Основными проблемами измерений электрического сопротивления высокорезистивных объектов, проводимых при нагреве до 700-900°C, являются обеспечение хорошего механического контакта, что подразумевает и стабильный электрический контакт, во всем интервале температур, обеспечение равномерного прогрева образца с отсутствием температурных градиентов по его длине, сложность конструкции универсального зажима для образцов различной длины и ширины.
Известна установка для обработки нанокомпозитов в водородной плазме, содержащая СВЧ-печь, внутри которой размещен кварцевый реактор, представляющий собой цилиндр, зажатый между двумя фторопластовыми фланцами с вакуумным уплотнением из термостойкой резины, стянутыми друг к другу с помощью фторопластовых стержней, при этом к каждому из фланцев подведены вакуумные шланги, по одному из которых в реактор поступает водород, а через другой производится вакуумирование системы, состоящей из СВЧ-печи и реактора, при помощи механического насоса, при этом реактор выполнен с возможностью замены исследуемого образца, предпочтительно, при помощи съемной крышки, расположенной на одном из фланцев (И.М. Трегубов, О.В. Стогней, В.И. Пригожин и др. Термический нагрев тонкопленочных нанокомпозитов металл-диэлектрик в водородной плазме. Вестник Воронежского государственного технического университета, том 6, №3, 2010 г., г. Воронеж, стр.10-13 - прототип).
Принцип работы указанной установки заключается в следующем.
Сначала для вакумирования системы производится откачка воздуха до предельного значения при открытом натекателе. После этого производится подача водорода в реактор из баллона и осуществляется промывка всей системы водородом. Затем натекатель прикрывается для достижения рабочего давления в реакторе. При включении СВЧ-разряда в реакторе зажигается водородная плазма и производится требуемая обработка образцов из нанокомпозиционных материалов.
Основными недостатками является невозможность обеспечения равномерного прогрева образца с отсутствием температурных градиентов по его длине, сложность конструкции универсального зажима для образцов различной длины и ширины.
Задачей технического решения является устранение указанных недостатков и создание кварцевого реактора для исследования температурной зависимости электрического сопротивления высокорезистивных объектов, применение которого позволит испытывать образцы различной длины и ширины.
Решение указанной задачи достигается тем, что предложенный кварцевый реактор для исследования температурной зависимости электрического сопротивления высокорезистивных объектов, преимущественно пленочных образцов из нанокомпозиционных материалов, согласно изобретению, содержит корпус, на внешней поверхности которого бифилярно намотан резистивный нагреватель, при этом внутри корпуса на растяжках, выполненных в виде пружин из вольфрамовой проволоки, установлены С-образные зажимы с плоскими губками для размещения исследуемого образца, выполненные из вольфрамовой проволоки, причем в стенке корпуса, в центральной его части, установлена термопара с возможностью радиального перемещения и измерения температуры упомянутого образца, размещаемого в С-образных зажимах.
Сущность изобретения иллюстрируется чертежами, где на фиг.1 показана принципиальная схема реактора.
Кварцевый реактор содержит корпус 1, на внешней поверхности которого бифилярно намотан резистивный нагреватель 2. Внутри корпуса 1 на растяжках 3, выполненных в виде пружин из вольфрамовой проволоки, установлены С-образные зажимы 4 с плоскими губками 5 для размещения исследуемого образца 6, выполненные из вольфрамовой проволоки. В стенке корпуса 1, в центральной его части, установлена термопара 7 с возможностью радиального перемещения и измерения температуры упомянутого образца 6, размещаемого в С-образных зажимах 4.
Предложенный реактор используется следующим образом.
Образец 6 закрепляется в С-образных зажимах 4, изготовленных из вольфрамовой проволоки. Образец 6 помещается в зазор между двумя плоскими губками 5 зажимов 4, причем, помещается с усилием, которое обеспечивается величиной требуемого натяга. Упругость вольфрамовой проволоки, согнутой кольцом, гарантирует высокое качество механического контакта на всем протяжении измерений. С-образные зажимы 4 одновременно выполняют роль электрических зондов. Вольфрамовые С-образные зажимы подвешиваются в центре корпуса 1 кварцевого реактора на растяжках 3, имеющих вид пружин, также выполненных из тонкой вольфрамовой проволоки. Пружины, находясь в растянутом состоянии, обеспечивают центрирование образца внутри корпуса 1 кварцевого реактора и оптимальное расстояние до термопары 7, с помощью которой осуществляется измерение температуры образца. При необходимости, термопару 7 радиально перемещают по направлению к образцу/от образца для выбора ее оптимального месторасположения.
Одновременно с функцией удержания образца 6 в центре корпуса 1 реактора пружины выполняют роль электрических выводов, посредством которых на образец подается измерительный ток и снимается напряжение. Нагрев образца в процессе измерения осуществляется с помощью резистивного нагревателя 2, бифилярно намотанного на внешней стенке корпуса 1 реактора.
Проведенные авторами и заявителем испытания полноразмерного кварцевого реактора для исследования температурной зависимости электрического сопротивления высокорезистивных объектов подтвердили правильность заложенных конструкторско-технологических решений.
Использование предложенного технического решения позволит создать кварцевый реактор для исследования температурной зависимости электрического сопротивления высокорезистивных объектов с обеспечением стабильного электрического контакта и равномерным прогревом образцов.
Claims (1)
- Кварцевый реактор для исследования температурной зависимости электрического сопротивления высокорезистивных объектов, преимущественно пленочных образцов из нанокомпозиционных материалов, характеризующийся тем, что содержит корпус, на внешней поверхности которого бифилярно намотан резистивный нагреватель, при этом внутри корпуса на растяжках, выполненных в виде пружин из вольфрамовой проволоки, установлены С-образные зажимы с плоскими губками для размещения исследуемого образца, выполненные из вольфрамовой проволоки, причем в стенке корпуса, в центральной его части, установлена термопара с возможностью радиального перемещения и измерения температуры упомянутого образца, размещаемого в С-образных зажимах.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2014103631/07A RU2581628C2 (ru) | 2014-02-03 | 2014-02-03 | Кварцевый реактор для исследования температурной зависимости электросопротивления высокорезисторных объектов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2014103631/07A RU2581628C2 (ru) | 2014-02-03 | 2014-02-03 | Кварцевый реактор для исследования температурной зависимости электросопротивления высокорезисторных объектов |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2014103631A RU2014103631A (ru) | 2015-08-10 |
RU2581628C2 true RU2581628C2 (ru) | 2016-04-20 |
Family
ID=53795759
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2014103631/07A RU2581628C2 (ru) | 2014-02-03 | 2014-02-03 | Кварцевый реактор для исследования температурной зависимости электросопротивления высокорезисторных объектов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2581628C2 (ru) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4861167A (en) * | 1988-09-28 | 1989-08-29 | Cornell Research Foundation, Inc. | Line-heat-source thermal conductivity measuring system |
US5927853A (en) * | 1994-10-19 | 1999-07-27 | Christiaens; Filip | Method for thermal impedance evaluation of packaged semiconductor components |
RU2263306C1 (ru) * | 2004-05-25 | 2005-10-27 | Тамбовский государственный технический университет (ТГТУ) | Способ идентификации комплекса теплофизических характеристик твердых материалов |
-
2014
- 2014-02-03 RU RU2014103631/07A patent/RU2581628C2/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4861167A (en) * | 1988-09-28 | 1989-08-29 | Cornell Research Foundation, Inc. | Line-heat-source thermal conductivity measuring system |
US5927853A (en) * | 1994-10-19 | 1999-07-27 | Christiaens; Filip | Method for thermal impedance evaluation of packaged semiconductor components |
RU2263306C1 (ru) * | 2004-05-25 | 2005-10-27 | Тамбовский государственный технический университет (ТГТУ) | Способ идентификации комплекса теплофизических характеристик твердых материалов |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
ТРЕГУБОВ И.М., Термический нагрев тонкопленочных нанокомпозитов металл-диэлектрик в водородной плазме, Вестник Воронежского государственного технического университета, т. 6, N 3, 2010, Воронеж, с.10-13. * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2014103631A (ru) | 2015-08-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103969291A (zh) | 一种稳态量热计法半球发射率测试仪 | |
RU2581628C2 (ru) | Кварцевый реактор для исследования температурной зависимости электросопротивления высокорезисторных объектов | |
CN102323303B (zh) | 测试碳纳米管传感器气敏温度特性的实验装置及其方法 | |
CN206223572U (zh) | 一种钼及钼合金管、棒材的拉伸检测设备 | |
RU2573624C2 (ru) | Кварцевый реактор для исследования температурной зависимости электросопротивления высокорезистивных объектов | |
RU2573623C2 (ru) | Способ исследования температурной зависимости электрического сопротивления пленочных образцов при нагреве | |
RU2572133C2 (ru) | Способ установки пленочных образцов при измерении температурной зависимости электрического сопротивления | |
Babu et al. | Measurement of thermal conductivity of fluid using single and dual wire transient techniques | |
RU2566393C1 (ru) | Устройство для испытания на растяжение дугообразных образцов из токопроводящего материала при повышенной температуре | |
US1668106A (en) | Hot-wire vacuum meter | |
RU2012100805A (ru) | Способ и устройство для измерения степени черноты | |
CN204154855U (zh) | 一种绝缘材料的电气强度测量装置 | |
CN203824946U (zh) | 一种测定金属热膨胀系数的实验仪 | |
RU151872U1 (ru) | Прибор для определения молекулярной составляющей коэффициента трения | |
RU119894U1 (ru) | Автоматический стенд для измерения диэлектрических параметров пьезоэлектрических материалов | |
RU2356038C1 (ru) | Установка для определения эффективной теплопроводности порошково-вакуумной и экранно-вакуумной теплоизоляций | |
JP2010276589A (ja) | 昇温脱離ガス分析器 | |
RU2439547C1 (ru) | Способ определения газочувствительных характеристик и электрофизических свойств газочувствительного элемента в частотной области | |
CN209542612U (zh) | 一种纺织品负离子测试装置 | |
RU2654822C1 (ru) | Устройство для определения тепловых параметров фазового превращения | |
KR101715174B1 (ko) | 핫와이어를 이용한 열전도율 측정장치 | |
RU133320U1 (ru) | Установка для измерения общей электропроводности и термо-эдс оксидных материалов от температуры и парциального давления кислорода | |
RU153271U1 (ru) | Тепловыделяющая сборка | |
RU2610552C1 (ru) | Устройство для измерения интегральной полусферической излучательной способности частично прозрачных материалов | |
PL405464A1 (pl) | Urządzenie do badania właściwości mechanicznych próbek metali poddawanych narażeniom cieplnym |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20170204 |