RU2571187C1 - Способ изготовления фотокатода - Google Patents
Способ изготовления фотокатода Download PDFInfo
- Publication number
- RU2571187C1 RU2571187C1 RU2014137729/28A RU2014137729A RU2571187C1 RU 2571187 C1 RU2571187 C1 RU 2571187C1 RU 2014137729/28 A RU2014137729/28 A RU 2014137729/28A RU 2014137729 A RU2014137729 A RU 2014137729A RU 2571187 C1 RU2571187 C1 RU 2571187C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- manufacturing
- photocathode
- layer
- alkali metal
- sensing
- Prior art date
Links
Landscapes
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
Использование: для изготовления фотокатодов, предназначенных для работы при низком уровне освещенности. Сущность изобретения заключается в том, что на подложку наносят слой нещелочного металла, очувствляют его как минимум одним щелочным металлом, после этого, с целью увеличения квантового выхода, последовательно напыляют и очувствляют не менее 20 слоев нещелочного металла до прекращения роста максимума фототока при очувствлении. Технический результат: обеспечение возможности повышения квантового выхода и чувствительности фотокатода. 6 з.п. ф-лы.
Description
Изобретение относится к способам изготовления фотокатодов, предназначенных для работы при низком уровне освещенности. Данные фотокатоды используются для фотоэлектронных приборов, применяемых в исследовательских целях, в промышленности, для специальных назначений и пр.
Известны патенты GB №3006786 от 31.10.1961 «Фотоэмиссионные поверхности» (патентообладатель EMI Ltd., (GB)), и US №4196257 от 01.04.1980 «Бищелочной фотокатод на основе теллура» (пат. RCA Corp., N.Y.), в которых описан способ создания фотокатода, заключающийся в нанесении теллура, который затем обрабатывают парами щелочных металлов, таким образом, происходит очувствление фотокатода. При этом используют как минимум два различных щелочных металла для повышения квантового выхода фотокатода. Недостаток данных технических решений заключается в том, что чувствительность данных фотокатодов имеет предел, не достаточный для современного уровня техники.
Известно а.с. на изобретение №424255 (Кокина Н.Г. и др. от 29.09.72) «Способ изготовления фотокатода для ультрафиолетовой области спектра». Способ заключается в нанесении на стеклянную подложку слоев чистых нещелочных металлов с последующей активацией щелочным металлом, а затем напылением нещелочного металла, используемого для создания фотокатода, с целью уменьшения чувствительности в видимой области спектра. Данное техническое решение принято за прототип. Недостаток данного технического решения заключается в том, что при напылении слоя нещелочного металла чувствительность фотокатода в других областях спектра также снижается.
Задача данного изобретения заключается в создании фотокатода, предназначенного для работы при низком уровне освещенности. Технический результат заключается в повышении квантового выхода, и, соответственно, чувствительности фотокатода.
Это достигается за счет того, что способ создания фотокатода, заключающийся в том, что на подложку наносят слой нещелочного металла, очувствляют его как минимум одним щелочным металлом, отличается тем, что после этого с целью увеличения квантового выхода напыляют и очувствляют не менее 20 слоев нещелочного металла до прекращения роста максимума фототока при очувствлении. Дополнительно, в процессе напыления и очувствления слоев постепенно уменьшают температуру со средней скоростью 1-2ºС на слой. Дополнительно, при прекращении роста максимума фототока при очувствлении напыляют и очувствляют еще один слой нещелочного металла с целью обеспечить стабилизацию фототока на заданном уровне. При этом, для изготовления фотокатода, предназначенного для ультрафиолетовой области спектра, в качестве нещелочного металла используют теллур, а в качестве щелочного металла используют цезий или рубидий.
Способ заключается в следующем. На внутреннюю поверхность светопрозрачного входного окна вакуумным испарением наносят металлическую подложку из хрома или молибдена до потери прозрачности на 8-10%. Затем на получившуюся подложку напыляют слой нещелочного металла, например, теллура (Те), в интервале 10-30% потери прозрачности в видимом свете. Далее производят нагревание слоя нещелочного металла до определенной температуры, например, для Те температура составляет Т=140±5ºС. Затем слой нещелочного металла очувствляют как минимум одним щелочным металлом, например, цезием (Cs), при этом контролируют рост фототока с очувствляемого слоя. В другом варианте слой нещелочного металла (Те) очувствляют двумя щелочными металлами, например цезием (Cs) и рубидием (Rb), или цезием (Cs) и калием (К).
После достижении максимума фототока напыляют следующий слой нещелочного металла (Те). Процесс напыления Те прекращают при снижении фототока на 5-10% от предыдущего максимума. Очувствление (активировку) слоя продолжают до достижения следующего максимума фототока. Циклы послойного напыления и очувствления нещелочного металла повторяют многократно до достижения условия, что максимум фототока последующего слоя при очувствлении не превосходит максимума фототока предыдущего слоя при очувствлении. При этом постепенно уменьшают температуру со средней скоростью 1-2ºС на слой. Дополнительно, чтобы обеспечить стабилизацию фототока на заданном уровне, напыляют и очувствляют еще один слой нещелочного металла, т.е. условие на максимум фототока выполняют два цикла подряд. В процессе активировки производится постепенное уменьшение температуры процесса до Т=110±5ºС.
Из экспериментальных данных получено, что для достижения квантового выхода в 20% и более необходимо не менее 20 циклов напыления и очувствления слоев. Благодаря этому, достигается увеличение квантового выхода, и, следовательно, чувствительности фотокатода.
Claims (7)
1. Способ изготовления фотокатода, заключающийся в том, что на подложку наносят слой нещелочного металла, очувствляют его как минимум одним щелочным металлом, отличается тем, что после этого с целью увеличения квантового выхода последовательно напыляют и очувствляют не менее 20 слоев нещелочного металла до прекращения роста максимума фототока при очувствлении.
2. Способ изготовления фотокатода по п. 1 отличается тем, что в процессе напыления и очувствления слоев постепенно уменьшают температуру со средней скоростью 1-2°C на слой.
3. Способ изготовления фотокатода по п. 1 отличается тем, что при прекращении роста максимума фототока при очувствлении напыляют и очувствляют еще один слой нещелочного металла с целью обеспечить стабилизацию фототока на заданном уровне.
4. Способ изготовления фотокатода по п. 1 отличается тем, что в качестве нещелочного металла используют теллур.
5. Способ изготовления фотокатода по п. 4 отличается тем, что используют один из следующих щелочных металлов: цезий или рубидий.
6. Способ изготовления фотокатода по п. 1 отличается тем, что при очувствлении используют два щелочных металла.
7. Способ изготовления фотокатода по п. 6 отличается тем, что в качестве пары щелочных металлов используют цезий и рубидий или цезий и калий.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2014137729/28A RU2571187C1 (ru) | 2014-09-17 | 2014-09-17 | Способ изготовления фотокатода |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2014137729/28A RU2571187C1 (ru) | 2014-09-17 | 2014-09-17 | Способ изготовления фотокатода |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2571187C1 true RU2571187C1 (ru) | 2015-12-20 |
Family
ID=54871278
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2014137729/28A RU2571187C1 (ru) | 2014-09-17 | 2014-09-17 | Способ изготовления фотокатода |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2571187C1 (ru) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU662999A1 (ru) * | 1973-07-19 | 1979-05-15 | Организация П/Я М-5273 | Способ изготовлени фотокатода |
US4196257A (en) * | 1978-07-20 | 1980-04-01 | Rca Corporation | Bi-alkali telluride photocathode |
SU1322895A1 (ru) * | 1984-12-27 | 1996-06-20 | Ю.И. Губанов | Способ изготовления фотокатода |
WO1997019471A1 (en) * | 1995-11-22 | 1997-05-29 | Intevac, Inc. | Integrated photocathode |
RU2346352C1 (ru) * | 2007-05-21 | 2009-02-10 | ЗАО "Экран ФЭП" | Способ изготовления фотокатода (варианты) |
-
2014
- 2014-09-17 RU RU2014137729/28A patent/RU2571187C1/ru active IP Right Revival
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU662999A1 (ru) * | 1973-07-19 | 1979-05-15 | Организация П/Я М-5273 | Способ изготовлени фотокатода |
US4196257A (en) * | 1978-07-20 | 1980-04-01 | Rca Corporation | Bi-alkali telluride photocathode |
SU1322895A1 (ru) * | 1984-12-27 | 1996-06-20 | Ю.И. Губанов | Способ изготовления фотокатода |
WO1997019471A1 (en) * | 1995-11-22 | 1997-05-29 | Intevac, Inc. | Integrated photocathode |
RU2346352C1 (ru) * | 2007-05-21 | 2009-02-10 | ЗАО "Экран ФЭП" | Способ изготовления фотокатода (варианты) |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2015157759A5 (ru) | ||
CH709524B8 (de) | Substrat mit mindestens einer harten Anti-Reflex-Beschichtung sowie deren Herstellung und Verwendung. | |
EA033122B1 (ru) | Способ получения подложки, покрытой набором, содержащим слой прозрачного проводящего оксида | |
EA201591314A1 (ru) | Противосолнечное остекление | |
MX2016002012A (es) | Articulo revestido con recubrimiento de baja-e que tiene transmision visible baja. | |
MY198714A (en) | Photovoltaic devices and method of manufacturing | |
JP2013182888A5 (ru) | ||
JP2013187191A5 (ru) | ||
JP2016523788A5 (ru) | ||
RU2571187C1 (ru) | Способ изготовления фотокатода | |
JP2007258634A5 (ru) | ||
CO2020002405A2 (es) | Recocido instantáneo de recubrimientos de plata | |
JP2015227276A5 (ru) | ||
JP2014116283A5 (ru) | ||
CO7160084A2 (es) | Recubrimiento aislante para recipiente de vidrio | |
CL2017001933A1 (es) | Lamina de vidrio recubierta de baja reflexion, procedimiento para producir substrato recubierto de baja reflexion, y liquido recubridor para formar recubrimiento de baja reflexion de substrato recubierto de baja reflexion. | |
ITRM940626A1 (it) | Perfezionamento nei processi di deposizione di strati di barriera trasparente, ossidati parzialmente in modo controllato | |
RU2016137804A (ru) | Светоизлучающие полупроводниковые устройства с геттерным слоем | |
EA201891633A1 (ru) | Органический фотоэлектрический узел и способ его изготовления | |
MX2018004583A (es) | Metodo para el recocido rapido de una pila de capas delgadas que contienen una capa superior de indio. | |
GB860502A (en) | Light filter and method of production | |
JP2008214461A5 (ru) | ||
MX2015017910A (es) | Método de obtención de productos para detectores optoelectrónicos elaborados a partir de sustratos de plumbonacrita y nanoparticulas de oro, de plata o mezclas. | |
US8828766B2 (en) | Light-emitting device and method of fabricating the same | |
SU434515A1 (ru) | Способ изготовления массивного фотокатода |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190918 |
|
NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20210122 |