RU2538078C1 - Multilayer optical bandpass filter - Google Patents
Multilayer optical bandpass filter Download PDFInfo
- Publication number
- RU2538078C1 RU2538078C1 RU2013146732/28A RU2013146732A RU2538078C1 RU 2538078 C1 RU2538078 C1 RU 2538078C1 RU 2013146732/28 A RU2013146732/28 A RU 2013146732/28A RU 2013146732 A RU2013146732 A RU 2013146732A RU 2538078 C1 RU2538078 C1 RU 2538078C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- mirrors
- layers
- filter
- multilayer
- dielectric
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к волоконно-оптической технике и может быть использовано в оптических устройствах связи и спектрометрах комбинационного рассеяния света.The invention relates to fiber optic technology and can be used in optical communication devices and Raman spectrometers.
Известен оптический многослойный фильтр [Аналог: Гончаров Ф.Н., Лапшин Б.А., Петраков В.А., Политыкин Р.В., Шмидт А.А. Оптический многослойный фильтр. Патент РФ №2316029, 27.01.2008, МПК G02B 5/28]. Фильтр содержит чередующиеся диэлектрические слои из материалов с высоким и низким показателями преломления. В нем все диэлектрические слои с высоким показателем преломления (nв) выполнены из одного материала, а все слои с низким показателем преломления (nн) выполнены из второго материала. Три диэлектрических слоя фильтра имеют оптическую толщину λ/2, где λ - средняя длина волны в полосе пропускания. Они являются резонаторами фильтра. Остальные диэлектрические слои имеют оптическую толщину λ/4. Они образуют многослойные диэлектрические зеркала, отделяющие резонаторы друг от друга и от внешнего пространства. Количество слоев в наружных и внутренних зеркалах определяется предложенными математическими формулами, зависящими только от двух величин - от отношения показателей преломления двух используемых материалов и от относительной ширины полосы пропускания фильтра.Known optical multilayer filter [Analog: Goncharov F.N., Lapshin B.A., Petrakov V.A., Politykin R.V., Schmidt A.A. Optical multilayer filter. RF patent No. 2316029, 01/27/2008, IPC G02B 5/28]. The filter contains alternating dielectric layers of materials with high and low refractive indices. In it, all the dielectric layers with a high refractive index (n in ) are made of one material, and all the layers with a low refractive index (n n ) are made of the second material. Three dielectric layers of the filter have an optical thickness of λ / 2, where λ is the average wavelength in the passband. They are filter resonators. The remaining dielectric layers have an optical thickness of λ / 4. They form multilayer dielectric mirrors that separate resonators from each other and from external space. The number of layers in the outer and inner mirrors is determined by the proposed mathematical formulas that depend only on two quantities - on the ratio of the refractive indices of the two materials used and on the relative filter bandwidth.
Недостатком известного аналога являются низкие селективные свойства, выражающиеся в слабом ослаблении проходящего света за пределами полосы пропускания и малой крутизне склонов самой полосы пропускания. Этот недостаток обусловлен малым числом резонаторов (полуволновых слоев). Другим недостатком описанного аналога является принципиальная невозможность реализации фильтра с точно заданной шириной полосы пропускания света и точно заданной неравномерностью коэффициента прохождения в этой полосе, так как числа слоев в наружных и внутренних зеркалах фильтра, определяющих эти характеристики, не может быть дробным.A disadvantage of the known analogue is the low selective properties, expressed in a weak attenuation of transmitted light outside the passband and the low slope of the slopes of the passband itself. This disadvantage is due to the small number of resonators (half-wave layers). Another disadvantage of the described analogue is the fundamental impossibility of implementing a filter with a precisely specified bandwidth of light transmission and a precisely defined unevenness of the transmission coefficient in this band, since the number of layers in the outer and inner mirrors of the filter defining these characteristics cannot be fractional.
Наиболее близким аналогом заявляемого изобретения является многорезонаторный фильтр [Прототип: Н.A. Macleod. Thin-film optical filters. 4-th ed., Tucson: CRC Press, ©2010 Taylor and Francis Group, p.356-357, Figure 8.22]. Фильтр содержит чередующиеся диэлектрические слои из материалов с высоким (nв=2.35) и низким (nн=1.35) показателями преломления, расположенные между двумя стеклянными пластинами (nс=1.52). Все резонансные слои выполнены из материала с высоким показателем преломлений (nс), имеют оптическую толщину λ/2, а все слои диэлектрических зеркал имеют оптическую толщину λ/4. Все зеркала, расположенные между резонансными полуволновыми слоями, одинаковы. Остальные два зеркала, расположенные снаружи от резонансных слоев, имеют меньшее число слоев, чем внутренние зеркала. Они также одинаковы.The closest analogue of the claimed invention is a multi-cavity filter [Prototype: N.A. Macleod Thin-film optical filters. 4-th ed., Tucson: CRC Press, © 2010 Taylor and Francis Group, p. 356-357, Figure 8.22]. The filter comprises alternating layers of dielectric materials with high (n = 2.35 in) and lower (n H = 1.35) refractive index, located between the two glass plates (n c = 1.52). All resonant layers are made of a material with a high refractive index (n s ), have an optical thickness of λ / 2, and all layers of dielectric mirrors have an optical thickness of λ / 4. All mirrors located between the resonant half-wave layers are the same. The remaining two mirrors located outside the resonance layers have fewer layers than the internal mirrors. They are also the same.
Недостатком многорезонаторного фильтра является его низкая селективность, выражающаяся в большой неравномерности коэффициента прохождения света в полосе пропускания. Она связана с тем, что нельзя точно обеспечить требуемую величину отражательной способности каждого из зеркал для выравнивания этой неравномерности. Кроме того, фильтр при большом числе резонаторов имеет высокие потери в полосе пропускания из-за конечной величины диэлектрической добротности материала, используемого в резонансных полуволновых слоях.The disadvantage of a multi-cavity filter is its low selectivity, which is expressed in the large unevenness of the transmittance of light in the passband. It is connected with the fact that it is impossible to accurately provide the required value of the reflectivity of each of the mirrors to smooth out this unevenness. In addition, the filter with a large number of resonators has high losses in the passband due to the finite value of the dielectric figure of merit of the material used in resonant half-wave layers.
Для выравнивания неравномерности коэффициента прохождения света в полосе пропускания многорезонаторного фильтра требуется, чтобы отражательная способность диэлектрических зеркал монотонно убывала от центра фильтра к его наружным границам. Для уменьшения же потерь в полосе пропускания фильтра требуется, чтобы резонансные слои были выполнены из материала с высокой добротностью.To equalize the unevenness of the light transmission coefficient in the passband of a multiresonator filter, it is required that the reflectivity of dielectric mirrors decrease monotonically from the center of the filter to its outer boundaries. To reduce the losses in the passband of the filter, it is required that the resonance layers be made of high quality material.
Техническим результатом заявляемого изобретения является уменьшение неравномерности коэффициента прохождения света в полосе пропускания фильтра. Техническим результатом также является уменьшение потерь в полосе пропускания фильтра.The technical result of the claimed invention is to reduce the unevenness of the transmittance of light in the passband of the filter. The technical result is also to reduce losses in the passband of the filter.
Технический результат достигается тем, что в оптическом многослойном полосно-пропускающем фильтре симметричной конструкции с чередующимися диэлектрическими слоями с высоким и низким показателем преломления, образующими систему однослойных резонаторов, разделенных один от другого и от окружающего пространства прилегающими многослойными зеркалами, в которой диэлектрический слой каждого резонатора имеет оптическую толщину λ/2, каждый диэлектрический слой в каждом многослойном зеркале имеет оптическую толщину λ/4, новым является то, что диэлектрические слои в зеркалах выполнены, по меньшей мере, из трех материалов с неодинаковыми показателями преломления и отражательная способность зеркал убывает по мере отдаленности зеркала от центра конструкции.The technical result is achieved in that in an optical multilayer band-pass filter of a symmetrical design with alternating dielectric layers with a high and low refractive index, forming a system of single-layer resonators, separated from each other and from the surrounding space by adjacent multilayer mirrors, in which the dielectric layer of each resonator has optical thickness λ / 2, each dielectric layer in each multilayer mirror has an optical thickness λ / 4, the new is dielectric layers of the mirrors are made of at least three materials with dissimilar refractive indices and the reflectivity of the mirrors decreases as the distance from the mirror center of the structure.
Заявляемый оптический многослойный полосно-пропускающий фильтр отличается от прототипа тем, что (а) диэлектрические слои в зеркалах выполнены, по меньшей мере, из трех материалов с неодинаковыми показателями преломления и (б) отражательная способность зеркал убывает по мере отдаленности зеркала от центра конструкции. Кроме того, резонансные слои являются воздушными.The inventive optical multilayer band-pass filter differs from the prototype in that (a) the dielectric layers in the mirrors are made of at least three materials with different refractive indices and (b) the reflectivity of the mirrors decreases as the distance from the center of the structure of the mirror. In addition, the resonant layers are airborne.
Эти отличия позволяют сделать вывод о соответствии заявляемого технического решения критерию «новизна». Признаки, отличающие заявляемое техническое решение от прототипа, не выявлены в других технических решениях при изучении данной и смежных областей техники и, следовательно, обеспечивают заявляемому решению соответствие критерию «изобретательский уровень».These differences allow us to conclude that the proposed technical solution meets the criterion of "novelty." The features distinguishing the claimed technical solution from the prototype are not identified in other technical solutions when studying this and related areas of technology and, therefore, provide the claimed solution with the criterion of "inventive step".
Сущность изобретения поясняется чертежами.The invention is illustrated by drawings.
На фиг.1 изображен пример выполнения заявляемого оптического многослойного полосно-пропускающего фильтра. Резонансные слои помечены штриховкой, в зеркалах слои с высоким показателем преломления выделены серой заливкой. Числа указывают показатели преломления слоев.Figure 1 shows an example implementation of the inventive optical multilayer bandpass filter. Resonance layers are marked with hatching; in the mirrors, layers with a high refractive index are highlighted with gray fill. Numbers indicate the refractive indices of the layers.
На фиг.2 представлена частотная характеристика фильтра, конструкция которого показана на фиг.1. Сплошной линией изображена зависимость коэффициента прохождения света S21, а пунктирной линией - коэффициента отражения S11 (Sij - компоненты матрицы рассеяния фильтра). Значения обоих коэффициентов выражены в децибелах, текущая частота ƒ нормирована на центральную частоту полосы пропускания ƒ0.Figure 2 presents the frequency response of the filter, the design of which is shown in figure 1. The solid line shows the dependence of the light transmission coefficient S 21 , and the dashed line shows the reflection coefficient S 11 (S ij are the components of the filter scattering matrix). The values of both coefficients are expressed in decibels, the current frequency ƒ is normalized to the center frequency of the passband ƒ 0 .
На фиг.3 сравниваются частотные зависимости коэффициента прохождения света S21 для заявляемого фильтра (сплошная линия) и (пунктирная линия) для фильтра, в зеркалах которого все слои с низким показателем преломления выполнены из одного материала (n=1.25).Figure 3 compares the frequency dependence of the light transmission coefficient S 21 for the inventive filter (solid line) and (dashed line) for the filter, in the mirrors of which all layers with a low refractive index are made of one material (n = 1.25).
Примером осуществления изобретения является оптический многослойный полосно-пропускающий фильтр, показанный на фиг.1. Он симметричен относительно центральной плоскости и содержит 31 диэлектрический слой. В фильтре каждый слой с высоким показателем преломления nв (выделен серой заливкой) чередуется со слоем с низким показателем преломления nн. Все слои с высоким показателем преломления nв выполнены из одного материала (nв=4.0). Из всех слоев фильтра только 5 слоев (выделены штриховкой) имеют оптическую толщину λ/2. Они являются резонаторами фильтра. Все остальные слои имеют оптическую толщину λ/4. Они образуют 6 многослойных зеркал, между которыми расположены резонансные слои. Каждый из двух наружных зеркал имеет по 3 диэлектрических слоя, а каждый из четырех внутренних зеркал имеет по 5 слоев.An example embodiment of the invention is the optical multilayer bandpass filter shown in FIG. It is symmetrical with respect to the central plane and contains 31 dielectric layers. In the filter, each layer with a high refractive index n in (highlighted in gray) alternates with a layer with a low refractive index n n . All layers with a high refractive index n in are made of one material (n in = 4.0). Of all filter layers, only 5 layers (highlighted by shading) have an optical thickness of λ / 2. They are filter resonators. All other layers have an optical thickness of λ / 4. They form 6 multilayer mirrors, between which resonance layers are located. Each of the two exterior mirrors has 3 dielectric layers, and each of the four interior mirrors has 5 layers.
Этот пример отличается от известных конструкций фильтров тем, что в многослойных зеркалах этого фильтра величина показателя преломления nн четвертьволновых диэлектрических слоев с низким показателем преломления монотонно растет от центра конструкции к ее краям (nн=1.1211, 1.403, 2.924), что обеспечивает уменьшение отражательной способности зеркал по мере их отдаленности от центра конструкции. Кроме того, все полуволновые (резонансные) слои являются воздушными (n=1). Поэтому в них отсутствуют диэлектрические потери.This example differs from the known filter designs in that, in multilayer mirrors of this filter, the value of the refractive index n n of the quarter - wave dielectric layers with a low refractive index increases monotonically from the center of the structure to its edges (n n = 1.1211, 1.403, 2.924), which reduces the reflectance the ability of mirrors as they are remoteness from the center of the structure. In addition, all half-wave (resonance) layers are airborne (n = 1). Therefore, they have no dielectric loss.
В этом примере фильтр изготавливается из пластины германия (Ge), имеющего nв=4.0. В нем поперек германиевой пластины выполняются параллельные плоские прорези полуволновой и четвертьволновой толщины и глубиною не менее диаметра фильтруемого луча света, отстоящие одна от другой на четверть длины волны, с помощью электронной литографии и сухого травления в индуктивно-связанной плазме. Полуволновые прорези оставляют воздушными, а четвертьволновые - заливают 1,1-дифторэтаном (C2H4F2), паральдегидом (C6H12О3) и заполняют кристаллическим таллий-ванадиевым сульфидом (Тl3VS4), имеющих значения показателей преломления, соответственно, nн=1.211, 1.403, 2.924. Таким образом, фильтр представляет собой многокамерную германиевую кювету, часть камер которой остается пустой, а другая часть залита жидкими диэлектриками или заполнена твердыми диэлектриками.In this example, the filter is made from a germanium (Ge) plate having n in = 4.0. In it, parallel to the germanium plate, parallel flat slits of half-wave and quarter-wave thickness and a depth of not less than the diameter of the filtered light beam are made, spaced one quarter from the other by electronic lithography and dry etching in an inductively coupled plasma. The half-wave slots are left airy, and the quarter-wave slots are filled with 1,1-difluoroethane (C 2 H 4 F 2 ), paraldehyde (C 6 H 12 About 3 ) and filled with crystalline thallium-vanadium sulfide (T 3 VS 4 ) having refractive indices , respectively, n n = 1.211, 1.403, 2.924. Thus, the filter is a multi-chamber germanium cell, part of the chambers of which remains empty, and the other part is filled with liquid dielectrics or filled with solid dielectrics.
Достижение технического результата, а именно уменьшение неравномерности коэффициента прохождения света в полосе пропускания, подтверждается частотной характеристикой, представленной на фиг.2. Относительная ширина полосы пропускания по уровню - 3 дБ составляет 2%. Все максимумы отражения в полосе пропускания имеют высоту - 15 дБ. Неравномерность коэффициента прохождения света S21 в полосе пропускания (глубина минимумов между максимумами) составляет ΔS21=0.14 дБ.The achievement of the technical result, namely, reducing the unevenness of the transmittance of light in the passband, is confirmed by the frequency response shown in figure 2. The relative bandwidth of the level - 3 dB is 2%. All reflection maxima in the passband have a height of 15 dB. The unevenness of the light transmission coefficient S 21 in the passband (the depth of the minima between the maxima) is ΔS 21 = 0.14 dB.
Графики на фиг.3 показывают, как сильно ухудшается частотная зависимость коэффициента прохождения света S21(ƒ) в предлагаемом примере выполнения фильтра, если в нем в четвертьволновых слоях все материалы с неодинаковыми низкими показателями преломления (nн=1.211, 1.403, 2.924) заменить одним материалом (nн=1.25), то есть использовать два материала в зеркалах как в прототипе. Значение показателя преломления этого материала (nн=1.25) подобрано таким, чтобы ширина области, показанной стрелкой на фиг.3, осталась неизменной.The graphs in figure 3 show how much the frequency dependence of the light transmission coefficient S 21 (ƒ) is deteriorating in the proposed filter example, if in it in the quarter-wave layers all materials with unequal low refractive indices (n n = 1.211, 1.403, 2.924) are replaced one material (n n = 1.25), that is, use two materials in the mirrors as in the prototype. The value of the refractive index of this material (n n = 1.25) is chosen so that the width of the region shown by the arrow in figure 3 remains unchanged.
Фильтр работает следующим образом. Четвертьволновые чередующиеся слои с высоким и низким показателем преломления формируют полосу заграждения. Свет в полосе заграждения испытывает сильное отражение. Напротив, полуволновые слои, являясь резонансными, способны передавать друг другу или в окружающее пространство свою энергию в узкой резонансной полосе частот. Взаимодействие нескольких полуволновых слоев приводит к появлению в них связанных колебаний, число которых равно числу резонаторов. На резонансных частотах связанных колебаний формируются максимумы прохождения света. Глубина минимумов прохождения света, расположенных между максимумами, сильно зависит от отражательной способности каждого из зеркал в фильтре. Для выравнивания глубины всех минимумов прохождения при заданной их величине требуется обеспечить определенные величины отражательных способностей зеркал. Отражательная способность зеркал в фильтре с выравненной неравномерностью коэффициента прохождения монотонно убывает по мере отдаленности зеркала от центра конструкции. При этом скорость убывания растет с уменьшением глубины минимумов коэффициента прохождения. Грубая подстройка отражательной способности зеркал осуществляется подбором числа слоев в зеркале, а тонкая подстройка - подбором контраста показателей преломления nв/nн соприкасающихся слоев в зеркале.The filter works as follows. The quarter-wave alternating layers with a high and low refractive index form a barrier band. The light in the obstacle strip is strongly reflected. On the contrary, half-wave layers, being resonant, are capable of transmitting their energy to each other or to the surrounding space in a narrow resonant frequency band. The interaction of several half-wave layers leads to the appearance of coupled oscillations in them, the number of which is equal to the number of resonators. At the resonant frequencies of coupled oscillations, maximums of light transmission are formed. The depth of the light passage minima located between the maxima strongly depends on the reflectivity of each of the mirrors in the filter. To equalize the depth of all passage minima at a given value, it is necessary to provide certain values of the reflectivity of the mirrors. The reflectivity of the mirrors in the filter with the equalized unevenness of the transmission coefficient decreases monotonically as the distance of the mirror from the center of the structure. In this case, the decrease rate increases with decreasing depth of the transmission coefficient minima. A rough adjustment of the reflectivity of the mirrors is carried out by selecting the number of layers in the mirror, and fine tuning is done by selecting the contrast of the refractive indices n in / n n of the contacting layers in the mirror.
Таким образом, преимуществом заявляемого оптического многослойного фильтра является то, что в нем, благодаря использованию не менее трех материалов с неодинаковыми коэффициентами преломления, величина неравномерности коэффициента прохождения света в полосе пропускания может быть сделана сколь угодно малой. Другим преимуществом является малая величина затухания проходящего света в полосе пропускания, достигаемая благодаря использованию высокодобротных воздушных резонансных слоев.Thus, the advantage of the inventive optical multilayer filter is that in it, through the use of at least three materials with unequal refractive indices, the magnitude of the unevenness of the transmittance of light in the passband can be made arbitrarily small. Another advantage is the low attenuation of transmitted light in the passband, achieved through the use of high-quality air resonance layers.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013146732/28A RU2538078C1 (en) | 2013-10-18 | 2013-10-18 | Multilayer optical bandpass filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013146732/28A RU2538078C1 (en) | 2013-10-18 | 2013-10-18 | Multilayer optical bandpass filter |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2538078C1 true RU2538078C1 (en) | 2015-01-10 |
Family
ID=53287966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013146732/28A RU2538078C1 (en) | 2013-10-18 | 2013-10-18 | Multilayer optical bandpass filter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2538078C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2687878C1 (en) * | 2018-07-16 | 2019-05-16 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" | Band-pass selective-frequency surface |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2308062C1 (en) * | 2006-05-12 | 2007-10-10 | Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения РАН | Narrowband filtration cover |
| RU2316029C1 (en) * | 2006-08-01 | 2008-01-27 | Военная академия связи | Optical multilayer filter |
-
2013
- 2013-10-18 RU RU2013146732/28A patent/RU2538078C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2308062C1 (en) * | 2006-05-12 | 2007-10-10 | Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения РАН | Narrowband filtration cover |
| RU2316029C1 (en) * | 2006-08-01 | 2008-01-27 | Военная академия связи | Optical multilayer filter |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Н.A. Macleod. Thin-film optical filters. Fourth Edition, CRC Press, Taylor & Francis Group, 2010, p.356-357, fig. 8.22. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2687878C1 (en) * | 2018-07-16 | 2019-05-16 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" | Band-pass selective-frequency surface |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7573639B2 (en) | Terahertz-band optical filter, designing method thereof, and manufacturing method thereof | |
| US6624945B2 (en) | Thin film filters using omnidirectional reflectors | |
| CN106970483B (en) | Tunable electro-optic filter | |
| US4269481A (en) | Multiple-cavity electro-optic tunable filter | |
| CN104570184A (en) | Integrated narrowband micro light filter | |
| WO2004072686A2 (en) | Radial bragg ring resonator | |
| WO2005033755A3 (en) | Partitioned-cavity tunable fabry-perot filter | |
| RU2538078C1 (en) | Multilayer optical bandpass filter | |
| US20130215499A1 (en) | Notch filter system using spectral inversion | |
| US9091807B2 (en) | Compact tunable photonic crystal nanobeam cavity with low power consumption | |
| CN103091777B (en) | Multiple-filter wave tunable band-pass filter and adjustment method | |
| JP2007279534A (en) | Optical element | |
| CN113866878A (en) | Multi-parameter tunable filter based on phase-change Bragg grating and regulating and controlling method thereof | |
| RU2713566C1 (en) | Optical multilayer band-pass filter | |
| JPWO2006088155A1 (en) | Dielectric multilayer periodic structure | |
| JP3904031B1 (en) | Terahertz optical filter, design method and manufacturing method thereof | |
| RU2619137C2 (en) | Multilayer bandpass filter | |
| US11226503B2 (en) | Tunable spectral filters | |
| RU2547898C1 (en) | Multilayer otical bandpass filter | |
| RU2552127C1 (en) | Multilayer optical bandpass filter | |
| CN111580288B (en) | Tunable thermo-optical filter, adjusting method and manufacturing method thereof | |
| JP7251099B2 (en) | Bandpass filter and manufacturing method thereof | |
| Belyaev et al. | One-dimensional photonic crystal bandpass filters. | |
| US9360590B2 (en) | Metamaterial-based optical dispersion compensation | |
| Ghadban et al. | Coupled selective electromagnetic waves in 1D photonic crystal with two planar cavities |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20181019 |