RU2533756C1 - Устройство двухпараметрового контроля толщины электропроводных покрытий - Google Patents
Устройство двухпараметрового контроля толщины электропроводных покрытий Download PDFInfo
- Publication number
- RU2533756C1 RU2533756C1 RU2013123328/28A RU2013123328A RU2533756C1 RU 2533756 C1 RU2533756 C1 RU 2533756C1 RU 2013123328/28 A RU2013123328/28 A RU 2013123328/28A RU 2013123328 A RU2013123328 A RU 2013123328A RU 2533756 C1 RU2533756 C1 RU 2533756C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- output
- measuring
- switch
- microcontroller
- phase
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Изобретение относится к неразрушающему контролю качества материалов и изделий и может быть использовано для измерения толщины немагнитных металлических покрытий на диэлектрической основе или на немагнитной основе с другой удельной электрической проводимостью. Технический результат заключается в повышении чувствительности и точности измерения толщины электропроводных покрытий. Устройство содержит генератор возбуждающего сигнала, вихретоковый трансформаторный преобразователь с ферритовым сердечником, обмоткой возбуждения и встречно включенными измерительной и компенсационной обмотками, средняя точка которых соединена с нулевой цепью, первый и второй усилители, фазовый детектор, фильтр низкой частоты, амплитудный детектор и микроконтроллер с аналого-цифровым преобразователем. Указанный технический результат достигается применением двух конденсаторов в компенсирующей и измерительной обмотках для обеспечения резонансного режима работы вихретокового трансформаторного преобразователя, а также двухканального аналогового переключателя с коммутатором напряжения для переключения измерительных каналов с вычислением разности результатов измерений за два такта преобразования. 1 ил.
Description
Изобретение относится к неразрушающему контролю качества материалов и изделий и может быть использовано для измерения толщины немагнитных металлических покрытий на диэлектрической основе или на немагнитной основе с другой удельной электрической проводимостью.
Известно устройство двухпараметрового контроля (патент №932207 от 30.05.1982 г.), содержащее генератор возбуждающего сигнала, подключенный к обмотке возбуждения вихретокового трансформаторного преобразователя, измерительная и компенсационная обмотка которого соединены встречно друг с другом и с общим входом фазового детектора, а выход измерительной обмотки через первый усилитель подключен к сигнальному входу фазового детектора, выход которого соединен с блоком управления и обработки информации.
Недостатком такого устройства является низкая точность, ограниченная тем, что фаза сигнала на измерительной обмотке сравнивается с фазой сигнала на обмотке возбуждения, поэтому температурные изменения магнитных свойств вихретокового трансформаторного преобразователя приводят к появлению большой фазовой погрешности и, как следствие, к уменьшению точности и достоверности контроля толщины покрытия.
Известно также устройство двухпараметрового контроля (патент №2384839 от 20.03.2010 г.), содержащее генератор возбуждающего сигнала, подключенный к обмотке возбуждения вихретокового трансформаторного преобразователя, измерительная и компенсационная обмотка которого соединены встречно друг с другом и через первый усилитель подключены к первому входу фазового детектора, а выход измерительной обмотки через второй усилитель соединен со вторым входом фазового детектора, выход которого соединен с контроллером, один и выходов которого подключен к генератору возбуждающего сигнала.
Основным недостатком данного устройства является невысокая точность измерения толщины покрытий, обусловленная низкой фазовой чувствительностью вихретокового трансформаторного преобразователя и влиянием нестабильности уровней срабатывания фазового детектора на результат измерения фазы разностного сигнала низкого уровня, снимаемого со средней точки измерительной и компенсационной обмоток. Данное обстоятельство обусловлено тем, что разность фаз сигналов на измерительной и компенсационной обмотках Δφ=arctg(2πfBΔL/R) зависит от сопротивления R вихретокового трансформаторного преобразователя и изменения эквивалентной индуктивности измерительной обмотки ΔL на частоте fB возбуждающего сигнала, которая резко уменьшается из-за снижения потерь на вихревые токи при малой толщине контролируемого покрытия. Вследствие этого минимальная толщина контролируемого покрытия, т.е. чувствительность известного устройства, ограничивается значением не менее 1-2 микрометров. При этом из-за такой низкой чувствительности в известном устройстве применена дискретная регулировка частоты возбуждающего сигнала, которую необходимо каждый раз подстраивать в зависимости от предполагаемой толщины и материала покрытия, что затрудняет его практическое применение.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому изобретению является устройство двухпараметрового контроля (патент №2456589 от 23.03.2011 г.), содержащее генератор возбуждающего сигнала и вихретоковый трансформаторный преобразователь с ферритовым сердечником, на середину которого намотана обмотка возбуждения, а на противоположных концах ферритового сердечника размещены встречно соединенные измерительная и компенсационная обмотки, средняя точка которых подключена к нулевой цепи. Также в устройстве применены первый и второй усилители, фазовый детектор, фильтр низкой частоты, амплитудный детектор и микроконтроллер со встроенным аналого-цифровым преобразователем на входе. При этом первый выход микроконтроллера является выходом устройства, а его второй выход подключен к управляющему входу генератора возбуждающего сигнала. Вычисление толщины h электропроводного покрытия выполняется микроконтроллером по результатам цифровых измерений амплитуды напряжения UМ.К. на компенсирующей обмотке, а также разности фаз Δφ и разности амплитуд сигналов ΔU=UМ.К.-UМ.И. на компенсирующей и измерительной обмотках вихретокового трансформаторного преобразователя. Полученные данные выводятся с микроконтроллера на внешние устройства и цифровой индикатор.
Недостатком этого устройства является относительная низкая фазовая чувствительность к контролируемой толщине поверхности и невысокая точность контроля, ограниченная влиянием инструментальных погрешностей фазового детектора при высокой частоте генератора возбуждающего сигнала.
Эти недостатки обусловлены свойством вихретокового метода контроля, согласно которому амплитуда и фаза сигнала на измерительной обмотке изменяются из-за потерь на вихревые токи, которые возрастают при увеличении частоты сигнала и толщины электропроводного покрытия. При большой толщине покрытия относительное изменение индуктивности измерительной обмотки не превышает значения ±10%, а изменение фазы между сигналами компенсационной и измерительной обмоток вихретокового трансформаторного преобразователя составляет единицы градусов. Так как для контроля покрытий толщиной в единицы-десятки микрометров нужно формировать возбуждающий сигнал высокой частоты fВ=(1,5…2,0) МГц, то для измерения фазы Δφ с погрешностью в 1° необходимо в фазовом детекторе использовать формирователи импульсов с максимальной задержкой срабатывания ΔtЗД≤1/(2·360·fВ)=1/(2·360·2·106)≤0,7 нс, что фактически не реально даже при использовании современных цифровых микросхем.
Кроме этого, в известном устройстве для получения разности напряжений ΔU выполняется аналоговое вычитание компенсирующего и измеряемого сигналов. При этом компенсирующий сигнал усиливается первым усилителем, имеющим небольшой коэффициент усиления и малую задержку фазы, а разностное напряжение усиливается вторым усилителем, имеющим не менее чем в 10 раз более высокий коэффициент усиления и, соответственно, большую задержку фазы усиленного сигнала по сравнению первым усилителем. В итоге на фазовый детектор поступают два сигнала с заведомо разной фазой между ними даже при одинаковых по фазе сигналах на выходах компенсационной и измерительной обмоток вихретокового трансформаторного преобразователя. Ограничение разрешающей способности к толщине поверхности и известном устройстве также обусловлено уменьшением разностного напряжения ΔU→0 при близких значениях амплитуд компенсирующего и измеряемого сигналов, т.е. при малой разности фаз между ними в случаях контроля немагнитных покрытий микронной толщины.
Дополнительным фактором, ограничивающим точность известного устройства контроля, является влияние на фазовую погрешность нестабильности напряжений срабатывания формирователей импульсов, используемых в фазовом детекторе. Например, изменение уровня срабатывания одного из каналов фазового детектора на ±1% относительно амплитуды измеряемого сигнала приводит к появлению фазовой погрешности, составляющей 0,6°. При этом в схеме известного устройства отсутствует возможность компенсации перечисленных погрешностей, что практически приводит к ограниченному применению такой аппаратуры из-за низкой чувствительности и точности измерения толщины электропроводных покрытий на любой основе.
Задачей изобретения является создание устройства двухпараметрового контроля толщины электропроводных покрытий, позволяющего повысить чувствительность и точность измерения.
Эта задача решается тем, что в известное устройство, содержащее генератор возбуждающего сигнала, вихретоковый трансформаторный преобразователь с ферритовым сердечником, обмоткой возбуждения и встречно включенными измерительной и компенсационной обмотками, средняя точка которых соединена с нулевой цепью, а также первый и второй усилители, фазовый детектор, фильтр низкой частоты, амплитудный детектор и микроконтроллер со встроенным аналого-цифровым преобразователем, первый выход которого является выходом устройства, дополнительно введены двухканальный аналоговый переключатель с коммутатором напряжения, выход которого соединен с входом микроконтроллера, и первый, и второй конденсаторы, подключенные параллельно соответственно к компенсационной и измерительной обмоткам вихретокового трансформаторного преобразователя. При этом концы компенсационной и измерительной обмоток подключены через первый и второй усилители к разным входам двухканального аналогового переключателя. Первый выход этого переключателя через амплитудный детектор соединен с первым входом коммутатора напряжения, второй вход которого через фильтр низкой частоты подключен к выходу фазового детектора, два входа которого соединены с первым и вторым выходами двухканального аналогового переключателя. Управляющий вход этого переключателя соединен со вторым выходом микроконтроллера, третий выход которого подключен к управляющему входу коммутатора напряжения.
Структурная схема предлагаемого устройства приведена на фиг.1.
Устройство содержит генератор возбуждающего сигнала 1, подключенный к вихретоковому трансформаторному преобразователю 2 с ферритовым сердечником. На середину ферритового сердечника намотана обмотка возбуждения 3, а на его противоположных концах размещены компенсационная обмотка 4 с конденсатором 5 и измерительная обмотка 6 с конденсатором 7, образующие соответственно компенсационный и измерительный колебательные контуры, резонансная частота которых в исходном состоянии равна частоте генератора возбуждающего сигнала 1. Концы компенсационной обмотки 4 и измерительной обмотки 6 подключены через первый усилитель 8 и второй усилитель 9 соответственно к входам двухканального аналогового переключателя 10, служащего для перекрестного подключения выходов усилителей 8 и 9 к разным входам фазового детектора 11. Фазовый детектор 11 содержит формирователи импульсов 12, 13 и логический элемент 14 типа "Исключающее ИЛИ". На выходе элемента 14 "Исключающее ИЛИ" формируются импульсы, длительность которых зависит от фазового сдвига Δφ между выходными сигналами усилителей 8 и 9. Выходные импульсы фазового детектора 11 усредняются фильтром низкой частоты 15 и преобразуются в напряжение, пропорциональное фазовому сдвигу Δφ между сигналами на выходах усилителей 8 и 9. К первому выходу двухканального аналогового переключателя 10 подключен амплитудный детектор 16 для преобразования амплитуды гармонического сигнала в постоянное напряжение. Выходы фильтра низкой частоты 15 и амплитудного детектора 16 соединены с разными входами коммутатора напряжения 17 для их поочередного подключения к аналоговому входу микроконтроллера 18, содержащего аналого-цифровой преобразователь 19 и блок управления и обработки данных 20. На выходе аналого-цифрового преобразователя 19 формируются цифровые коды, пропорциональные выходным напряжениям фильтра низкой частоты 15 и амплитудного детектора 16. Закодированные значения этих напряжений с выхода аналого-цифрового преобразователя 19 поступают на блок управления и обработки данных 20, служащий для вычисления по полученным кодам толщины исследуемого покрытия и для формирования сигнала стандартного интерфейса, подаваемого на первый выход микроконтроллера 18 при выводе полученной информации на внешние устройства и цифровой индикатор. Остальные два выхода микроконтроллера 18 служат для управления работой двухканального аналогового переключателя 10 и коммутатора напряжения 17 в соответствии с заданным алгоритмом измерения толщины покрытия, записанным в память блока управления и обработки данных 20, применяемого в составе микроконтроллера 18.
Проведенный анализ уровня техники позволил установить, что аналоги, тождественные признакам заявленного технического решения, отсутствуют, что указывает на соответствие заявленного устройства условию патентоспособности "новизна". Отличительные признаки: введенные двухканальный аналоговый переключатель и коммутатор напряжения, а также применение двух конденсаторов для получения измерительного и компенсационного резонансных контуров, обеспечивающих резкое повышение фазовой чувствительности устройства, в них не встречаются. Следовательно, заявляемое устройство удовлетворяет критерию "изобретательский уровень". Промышленная применимость введенных элементов обусловлена наличием элементной базы, на основе которой они могут быть выполнены с достижением указанного в изобретении назначения. В частности, двухканальный аналоговый переключатель и коммутатор напряжения можно реализовать на двухканальном мультиплексоре типа КР561КП1. В схеме фазового детектора 11 можно использовать формирователи импульсов 12, 13 на микросхеме КР1554ТЛ1 "Триггер Шмидта", а элемент 14 "Исключающее ИЛИ" реализовать на микросхеме КР1554ЛП5.
Устройство двухпараметрового контроля толщины электропроводных покрытий при измерении толщины электропроводящего немагнитного покрытия работает следующим образом.
В цикле измерения генератор возбуждающего сигнала 1 формирует высокочастотный ток, протекающий по обмотке 3 вихретокового трансформаторного преобразователя 2. Это вызывает появление электромагнитного поля в ферритовом сердечнике и появление переменных напряжений U4 и U6 на компенсационной 4 и измерительной 6 обмотках вихретокового трансформаторного преобразователя 2. Компенсационная обмотка 4 с конденсатором 5 и измерительная обмотка 6 с конденсатором 7 образуют два параллельных колебательных контура, частота резонанса fР которых при одинаковых индуктивностях L4=L6 обмоток 4, 6 и емкостях C5=C7 конденсаторов 5, 7 выбирается равной частоте f1 генератора возбуждающего тока по условию:
При идентичных параметрах компенсационной 4 и измерительной 6 обмоток вихретокового трансформаторного преобразователя 2 на его выходах формируются гармонические напряжения U4 и U6 с одинаковыми амплитудами U4.M≈U6.M и фазами φ4=φ6 в исходном состоянии. Усилители 8, 9 с большими входными сопротивлениями и одинаковыми коэффициентами усиления К8=K9 повышают напряжения U4, U6 до уровня U8=K8·U4, U9=K9·U6. Эти переменные напряжения поступают через двухканальный аналоговый переключатель 10 на входы фазового 11 и амплитудного 16 детекторов. Фазовый детектор 11 с фильтром низких частот 15 служит для получения постоянного напряжения U15, пропорционального разности фаз Δφ=φ4 - φ6 сигналов на компенсационной 4 и измерительной 6 обмотках вихретокового трансформаторного преобразователя 2. Амплитудным детектором 16 формируется постоянное напряжение U16, зависящее от амплитуды U8.М или U9.М выходных сигналов усилителей 8 и 9.
При измерении толщины покрытия конец ферритового сердечника с измерительной обмоткой устанавливается на поверхности исследуемого объекта. Это приводит к уменьшению индуктивности измерительной обмотки из-за протекания вихревых токов в контролируемой поверхности, и как следствие, к уменьшению амплитуды и увеличению фазы сигнала на измерительном контуре L6C7. Изменение амплитуды и фазы пропорционально удельной электрической проводимости и толщине покрытия, что позволяет по приращениям этих параметров определять его толщину.
Процесс измерения выполняется за два такта. В первом такте по команде микроконтроллера 19 двухканальный аналоговый переключатель 10 устанавливается в первое положение, при котором выход усилителя 8 соединяется с пиковым детектором 16 и входом формирователя импульсов 12, а выход усилителя 9 - с входом формирователя импульсов 13 фазового детектора 11. Сигналы, поступающие от усилителей 8 и 9, преобразуются в прямоугольные импульсы формирователями 12, 13, а элемент 14 "Исключающее ИЛИ" формирует короткие импульсы, длительность которых зависит от разности фаз Δφ1=φ4-φ6≠0 сигналов на компенсационной 4 и измерительной 6 обмотках вихретокового трансформаторного преобразователя 2. При этом коммутатор напряжения 17 сначала переключается в верхнее положение, при котором АЦП 19 кодирует амплитуду напряжения на выходе усилителя 8. Затем коммутатор напряжения 17 подключает АЦП 19 к выходу фильтра низких частот 15, и кодируется его выходное напряжение, пропорциональное разности фаз Δφ1. Во втором такте двухканальный аналоговый переключатель 10 по команде микроконтроллера 18 переводится во второе положение, при котором выход усилителя 9 соединяется с пиковым детектором 16 и входом формирователя импульсов 12, а выход усилителя 8 - с входом формирователя импульсов 12 фазового детектора 11. После этого АЦП снова поочередно кодирует выходные напряжения амплитудного детектора 16 и фильтра низких частот 15, пропорциональные амплитуде сигнала на выходе усилителя 9 и разности фаз Δφ2 сигналов во втором такте измерения.
Полученные с помощью АЦП 19 цифровые коды вводятся для последующей обработки в блок управления и обработки данных 20 микроконтроллера 18, которым выполняется расчет толщины h электропроводящего покрытия с учетом разности амплитуд и фаз по формуле
h=-K1(ΔU/U8.М)+K2Δφ,
где K1 и K2 - коэффициенты, определяемые экспериментально для конкретных значений электрической проводимости покрытия и основы изделия.
Высокая чувствительность к толщине контролируемого покрытия в предложенном устройстве обеспечивается за счет большой крутизны фазочастотной характеристики в окрестности частоты резонанса fP двух колебательных контуров, содержащих компенсационную 4 и измерительную 6 обмотки вихретокового трансформаторного преобразователя 2. Высокая добротность Q≥20 измерительного и компенсирующего контуров обеспечивается при использовании генератора возбуждающего сигнала 1 с большим выходным сопротивлением (например, при подключении обмотки возбуждения 3 к коллектору транзистора выходного каскада схемы генератора) и применении усилителей 8 и 9 с высокими входными сопротивлениями. При этом фазовая чувствительность к относительному изменению индуктивности измерительной обмотки Sφ=Δφ/ΔL6 повышается в Q раз, чем обеспечивается аналогичное увеличение чувствительности устройства к толщине покрытия по сравнению с прототипом. Например, даже небольшие изменения толщины медного покрытия на Δh≈(0,2…1,0) мкм приводят к изменению фазы на угол Δφ≈ (0,3…1,5)° при добротности измерительного контура Q≥20 и частоте возбуждающего сигнала f1=fР=1,6 МГц. Согласно описанию устройства двухпараметрового контроля (патент №2456589 от 23.03.2011 г.), фазовая чувствительность к толщине покрытия в известных устройствах контроля не превышает значения Δφ/Δh≈0,07°/мкм. Таким образом, чувствительность предлагаемого устройства двухпараметрового контроля толщины электропроводных покрытий повысилась в 20 раз.
Повышение точности в предложенном устройстве обеспечивается за счет использования известных свойств резонанса компенсационного и измерительного контуров и применения двухтактного режима измерения с вычитанием результатов, полученных в двух тактах микроконтроллером:
1) так как резонансные сопротивления параллельных контуров в Q раз превышают индуктивные сопротивления компенсирующей и измерительной обмоток, то для получения выходных напряжений U4, U6 в единицы вольт можно значительно уменьшить амплитуду тока, протекающего по обмотке возбуждения 3 вихретокового трансформаторного преобразователя 2, и тем самым исключить его дополнительный нагрев собственной рассеиваемой мощностью и снизить температурную погрешность преобразования;
2) высокие сопротивлении компенсационного и измерительного контуров на частоте резонанса позволяют получать выходные сигналы с большой амплитудой U4.М≈U6.М≥1 B и использовать простые усилители 8 и 9 с небольшими коэффициентами усиления K8=K9≈2 и малым фазовым запаздыванием выходных сигналов U8, U9 на частоте резонанса fP, что снижает их влияние на точность измерения разности фаз Δφ;
3) измерение выходного напряжения U15 фильтра низкой частоты 15 в двух тактах с вычитанием полученных результатов позволяет исключить влияние нестабильности уровней срабатывания формирователей импульсов 12 и 13 на точность измерения разности фаз. Например, если напряжение срабатывания формирователя 12 будет положительным, а напряжение срабатывания формирователя 13 - отрицательным, то при измеряемой разности фаз Δφ выходных сигналов U8, U9 усилителей 8, 9 в первом такте напряжение на выходе фильтра низкой частоты 15 будет зависеть от фазовых погрешностей формирователей: U15-1=K15(Δφ+Δφ12+Δφ13). При переключении измерительных каналов во втором такте на выходе фильтра низкой частоты 15 формируется напряжение U15-2=K15(-Δφ+Δφ12+Δφ13), а вычитание результатов этих цифровых измерений в двух тактах, выполняемом в блоке управления и обработки данных 20 микроконтроллера 18, позволяет полностью скомпенсировать погрешности формирователей: U15=U15-1-U15-2=2Δφ;
4) аналогичным образом за два такта измерения компенсируется влияние напряжения начального смещения UСМ.16 пикового детектора 16 на точность измерения разности амплитуд напряжений ΔU=U8.М-U9.М. Если в первом такте измерения выходное напряжение пикового детектора 16 составляет U16-1=UСМ.16=U8.М, во втором такте U16-2=UСМ.16+U9.M, то после вычитания цифровых значений этих напряжений исключается влияние напряжения смещения детектора 16: ΔU=U16-1-U16-2=U8.М-U9.М;
5) при контроле толщины покрытий вихретоковым методом относительное изменение индуктивности измерительной обмотки не превышает значения ΔL6/L6≤0,1, т.е. амплитуды сигналов U8.M, U9.M на выходах усилителей 8, 9 различаются не более чем на ±10%. Поэтому коэффициент преобразования пикового детектора 16 остается практически постоянным, т.е. значительно уменьшается влияние его мультипликативной погрешности на точность измерения разности напряжений ΔU=U8.M-U9.M;
6) использование микроконтроллера с высокоточным 12-разрядным АЦП позволяет пренебречь погрешностью квантования сигнала, а погрешность АЦП от нестабильности его начального уровня также компенсируется в результате вычитания результатов двух измерений в микроконтроллере.
7) для повышения достоверности результатов контроля толщины покрытия целесообразно выполнять усреднение результатов цифрового измерения напряжений U15, U16 на интервалах времени Tизм, кратных 20 мс, чтобы ослабить влияние помех сетевой частоты (50 Гц) на точность измерения.
Таким образом, подключение двух конденсаторов к компенсирующей и измерительной обмоткам для обеспечения резонансного режима работы вихретокового трансформаторного преобразователя и применение двухканального аналогового переключателя и коммутатора напряжения для переключения измерительных каналов с вычислением разности результатов измерений за два такта преобразования позволяет повысить чувствительность и точность контроля толщины электропроводных покрытий за счет компенсации основных инструментальных погрешностей устройства.
Claims (1)
- Устройство двухпараметрового контроля толщины электропроводных покрытий, содержащее генератор возбуждающего сигнала, вихретоковый трансформаторный преобразователь с ферритовым сердечником, обмоткой возбуждения и встречно включенными измерительной и компенсационной обмотками, средняя точка которых соединена с нулевой цепью, первый и второй усилители, фазовый детектор, фильтр низкой частоты, амплитудный детектор и микроконтроллер с аналого-цифровым преобразователем, первый выход микроконтроллера является выходом устройства, отличающееся тем, что в него введены двухканальный аналоговый переключатель и коммутатор напряжения, выход которого соединен с первым входом микроконтроллера, первый и второй конденсаторы, подключенные параллельно соответственно к компенсационной и измерительной обмоткам вихретокового трансформаторного преобразователя, а концы этих обмоток через первый и второй усилители подключены соответственно к двум входам двухканального аналогового переключателя, первый выход которого через амплитудный детектор соединен с первым входом коммутатора напряжения, второй вход которого через фильтр низкой частоты подключен к выходу фазового детектора, два входа которого соединены с первым и вторым выходами двухканального аналогового переключателя, управляющий вход которого соединен со вторым выходом микроконтроллера, третий выход которого подключен к управляющему входу коммутатора напряжения.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013123328/28A RU2533756C1 (ru) | 2013-05-21 | 2013-05-21 | Устройство двухпараметрового контроля толщины электропроводных покрытий |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013123328/28A RU2533756C1 (ru) | 2013-05-21 | 2013-05-21 | Устройство двухпараметрового контроля толщины электропроводных покрытий |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2533756C1 true RU2533756C1 (ru) | 2014-11-20 |
| RU2013123328A RU2013123328A (ru) | 2014-11-27 |
Family
ID=53381216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013123328/28A RU2533756C1 (ru) | 2013-05-21 | 2013-05-21 | Устройство двухпараметрового контроля толщины электропроводных покрытий |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2533756C1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112444503A (zh) * | 2020-11-19 | 2021-03-05 | 哈尔滨理工大学 | 一种监测铜离子/细菌双参量光纤传感装置及实现方法 |
| CN112444502A (zh) * | 2020-11-19 | 2021-03-05 | 哈尔滨理工大学 | 一种监测铅离子/细菌双参量光纤传感装置及实现方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1522086A1 (ru) * | 1988-02-26 | 1989-11-15 | Научно-Исследовательский Институт Интроскопии | Вихретоковое устройство неразрушающего контрол |
| SU1525562A2 (ru) * | 1988-04-12 | 1989-11-30 | Киевский Институт Инженеров Гражданской Авиации Им.60-Летия Ссср | Вихретоковый дефектоскоп |
| US5541510A (en) * | 1995-04-06 | 1996-07-30 | Kaman Instrumentation Corporation | Multi-Parameter eddy current measuring system with parameter compensation technical field |
| RU2115115C1 (ru) * | 1993-02-03 | 1998-07-10 | Владимир Сергеевич Митюрин | Способ выявления газонасыщенных слоев на титановых сплавах и устройство для его осуществления |
| RU99149U1 (ru) * | 2010-06-28 | 2010-11-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Академия Федеральной службы охраны Российской Федерации (Академия ФСО России) | Двухпараметровое устройство вихретокового контроля |
| US7994778B2 (en) * | 2007-02-27 | 2011-08-09 | Senstronic Sa | Inductive presence or position sensor for detecting both ferrous and non-ferrous metals |
-
2013
- 2013-05-21 RU RU2013123328/28A patent/RU2533756C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1522086A1 (ru) * | 1988-02-26 | 1989-11-15 | Научно-Исследовательский Институт Интроскопии | Вихретоковое устройство неразрушающего контрол |
| SU1525562A2 (ru) * | 1988-04-12 | 1989-11-30 | Киевский Институт Инженеров Гражданской Авиации Им.60-Летия Ссср | Вихретоковый дефектоскоп |
| RU2115115C1 (ru) * | 1993-02-03 | 1998-07-10 | Владимир Сергеевич Митюрин | Способ выявления газонасыщенных слоев на титановых сплавах и устройство для его осуществления |
| US5541510A (en) * | 1995-04-06 | 1996-07-30 | Kaman Instrumentation Corporation | Multi-Parameter eddy current measuring system with parameter compensation technical field |
| US7994778B2 (en) * | 2007-02-27 | 2011-08-09 | Senstronic Sa | Inductive presence or position sensor for detecting both ferrous and non-ferrous metals |
| RU99149U1 (ru) * | 2010-06-28 | 2010-11-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Академия Федеральной службы охраны Российской Федерации (Академия ФСО России) | Двухпараметровое устройство вихретокового контроля |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112444503A (zh) * | 2020-11-19 | 2021-03-05 | 哈尔滨理工大学 | 一种监测铜离子/细菌双参量光纤传感装置及实现方法 |
| CN112444502A (zh) * | 2020-11-19 | 2021-03-05 | 哈尔滨理工大学 | 一种监测铅离子/细菌双参量光纤传感装置及实现方法 |
| CN112444503B (zh) * | 2020-11-19 | 2021-09-24 | 哈尔滨理工大学 | 一种监测铜离子/细菌双参量光纤传感装置及实现方法 |
| CN112444502B (zh) * | 2020-11-19 | 2021-09-24 | 哈尔滨理工大学 | 一种监测铅离子/细菌双参量光纤传感装置及实现方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2013123328A (ru) | 2014-11-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5951005B2 (ja) | 電束に関する異なる二つの値によって対象物の電位を非接触式に検出するための方法並びに装置 | |
| US20080197835A1 (en) | Method and device for distance measurement by means of capacitive or inductive sensors | |
| JP2011528110A (ja) | 流動媒体の誘導導電率測定の方法およびデバイス | |
| CN104237618B (zh) | 使用用于ac/dc敏感型剩余电流测量的数字方法的集成电路 | |
| JP2013501931A (ja) | 混合モードフラックスゲート電流変換器 | |
| CN110596472A (zh) | 电介质极化电容式静电场测量方法和系统 | |
| RU2533756C1 (ru) | Устройство двухпараметрового контроля толщины электропроводных покрытий | |
| JP5864721B2 (ja) | オブジェクトの電位を非接触で求めるための装置およびクランプメータ | |
| TW201326801A (zh) | 自激振盪電磁耦合量測裝置 | |
| JP2015145790A (ja) | 位置センサ | |
| CN113514689A (zh) | 用于电绝缘、ac/dc灵敏差动电流测量的装置及方法 | |
| JP6291635B2 (ja) | 金属材料判別装置 | |
| US9372217B2 (en) | Cable detector | |
| CN116930589A (zh) | 交直流多气隙磁阻电流传感器及电流测量方法 | |
| RU2567441C1 (ru) | Способ цифрового измерения электрических величин | |
| US20140002069A1 (en) | Eddy current probe | |
| JP2016194483A (ja) | 電流検知装置 | |
| RU2327977C2 (ru) | Устройство для измерения электрической проводимости жидкости | |
| RU2421741C1 (ru) | Цифровой преобразователь параметров датчиков индуктивного типа | |
| RU2339047C1 (ru) | Устройство для преобразования параметров датчиков индуктивного типа | |
| Liu et al. | A novel method for measuring current derivative signal with closed loop hall-effect current sensor | |
| RU2555200C2 (ru) | Способ температурной компенсации индуктивного датчика положения и устройство для его реализации | |
| RU143663U1 (ru) | Устройство для измерения электропроводности жидкости | |
| RU2747916C1 (ru) | Способ вихретокового измерения физико-механических параметров | |
| US11971436B2 (en) | Method and system for determining a phase shift between a phase current and a phase voltage |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150522 |