RU2532236C1 - Design of measuring pressure converter with capacitance sensor - Google Patents

Design of measuring pressure converter with capacitance sensor Download PDF

Info

Publication number
RU2532236C1
RU2532236C1 RU2013133012/28A RU2013133012A RU2532236C1 RU 2532236 C1 RU2532236 C1 RU 2532236C1 RU 2013133012/28 A RU2013133012/28 A RU 2013133012/28A RU 2013133012 A RU2013133012 A RU 2013133012A RU 2532236 C1 RU2532236 C1 RU 2532236C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cavity
membranes
membrane
capillaries
cavities
Prior art date
Application number
RU2013133012/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Александр Владимирович Фетисов
Сергей Евгеньевич Вазарцев
Original Assignee
Закрытое акционерное общество Промышленная группа "Метран"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Закрытое акционерное общество Промышленная группа "Метран" filed Critical Закрытое акционерное общество Промышленная группа "Метран"
Priority to RU2013133012/28A priority Critical patent/RU2532236C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2532236C1 publication Critical patent/RU2532236C1/en

Links

Images

Abstract

FIELD: measurement equipment.
SUBSTANCE: invention relates to measurement equipment, in particular, to pressure sensors, and may be used in measurement of liquids and gases pressure difference. The measuring pressure converter with the capacitance sensor comprises the following components joined to each other: a body of a sensitive element that has a central chamber divided by an electroconductive membrane into two cavities. The cavity of the electroconductive membrane is connected by two pouring capillaries parallel to each other and the sensitive element and is equipped with current-conducting leads. Two separating assemblies with separating corrugated membranes arranged in parallel to each other have cavities under membranes that communicate to the cavity of the electroconductive membrane. The concave working surface of the cavity is made as fully metallised from outside. The electroconductive membrane of the sensitive element is located perpendicularly in respect to separating corrugated membranes. The pouring capillaries of the cavity of the electric sensitive membrane are turned in opposite directions and are connected to its cavity by a horizontal channel. The separating corrugated membranes are arranged each in its body at the opposite sides of the sensitive element body. Cavities under the membranes of the separating corrugated membranes are connected with the separate pouring capillaries that supply a separating fluid.
EFFECT: simplifying design and increase the accuracy of measurements.
2 dwg

Description

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления, и может быть использовано при измерении разности давлений жидкостей и газов.The invention relates to measuring equipment, in particular to pressure sensors, and can be used to measure the pressure difference of liquids and gases.

Известна конструкция измерительного преобразователя давлений с емкостным сенсором, описанная в патенте СССР №1421266, кл. G011 9/12, з. 06.10.80, опубл. 30.08.88.A known design of a pressure measuring transducer with a capacitive sensor described in USSR patent No. 1421266, class. G011 9/12, c. 10/06/80, publ. 08/30/08.

Известная конструкция содержит корпус чувствительного элемента, в котором расположена центральная камера, разделенная измерительной электропроводной мембраной на две полости, в каждой из которых выполнена изоляционная вставка с подводящим каналом по центру и вогнутой рабочей поверхностью, снабженной электродом, обращенным в сторону мембраны, и два разделительных узла с разделительными мембранами, причем полости узлов и чувствительного элемента заполнены жидкостью, блок снабжен опорной рамой, внутри которой закреплен корпус чувствительного элемента, а подмембранная полость каждого разделительного узла соединена с соответствующим подводящим каналом изоляционной вставки при помощи введенного в блок трубопровода, при этом каждая изоляционная вставка выполнена в форме усеченного конуса с углом 25-27° между образующей конуса и плоскостью мембраны, а корпус закреплен внутри рамы с помощью неэлектропроводных опор. При этом корпус чувствительного элемента закреплен в верхней части внутри прямоугольной рамы, а разделительные узлы размещены на нижних участках длинных сторон прямоугольной рамы снаружи ее, а полости разделительных и чувствительной мембран соединены между собой меандрообразным заливочным капилляром (трубопроводом), служащим для подачи разделительной жидкости.The known construction comprises a housing of the sensing element, in which a central chamber is located, divided by a conductive measuring membrane into two cavities, each of which has an insulating insert with a supply channel in the center and a concave working surface provided with an electrode facing the membrane, and two separation nodes with dividing membranes, moreover, the cavities of the nodes and the sensing element are filled with liquid, the unit is equipped with a support frame, inside which the sensing housing element, and the submembrane cavity of each dividing unit is connected to the corresponding feed channel of the insulating insert by means of a pipe inserted into the block, and each insulating insert is made in the form of a truncated cone with an angle of 25-27 ° between the generatrix of the cone and the membrane plane, and the body is fixed inside frames using non-conductive supports. In this case, the housing of the sensing element is fixed in the upper part inside the rectangular frame, and the separation nodes are located on the lower sections of the long sides of the rectangular frame outside it, and the cavities of the separation and sensitive membranes are interconnected by a meander-shaped filling capillary (pipeline), which serves to supply the separation liquid.

Недостатки известной конструкции заключаются в следующем.The disadvantages of the known design are as follows.

Размещение разделительных мембран параллельно чувствительной мембране в совокупности с креплением корпуса чувствительной мембраны внутри опорной рамы, к нижним краям боковых сторон которой снаружи ее прикреплены в разделительных узлах разделительные мембраны, значительно увеличивает объем и габаритные размеры датчика и делает неудобным его установку в стандартные фланцы.Placing the separation membranes parallel to the sensitive membrane in conjunction with the mounting of the housing of the sensitive membrane inside the support frame, to the lower edges of the sides of which the separation membranes are attached outside of the separation nodes, significantly increases the volume and overall dimensions of the sensor and makes it inconvenient to install it in standard flanges.

Кроме того, сложной является конструкция корпуса, обусловленная наличием изолирующих вставок в частях корпуса.In addition, the housing design is complex due to the presence of insulating inserts in parts of the housing.

Известна конструкция измерительного преобразователя давлений с емкостным сенсором, описанная в патенте США №3618390, кл. G01L 9/12, 13/06, з. 27.10.69, опубл. 09.10.71.A known design of a pressure transducer with a capacitive sensor described in US patent No. 3618390, CL. G01L 9/12, 13/06, c. 10.27.69, publ. 10/09/71.

Известная конструкция содержит корпус чувствительного элемента, имеющий центральную камеру, разделенную электропроводящей мембраной на две полости, в каждой из которых выполнена изоляционная вставка с подводящим каналом по центру и вогнутой рабочей поверхностью, снабженной электродом, обращенным в сторону мембраны, и два разделительных узла с разделительными мембранами, причем полости узлов и чувствительного элемента заполнены диэлектрической жидкостью. При этом все мембраны лежат в параллельных плоскостях и собраны в одном металлическом корпусе, собираемом из двух одинаковых частей (секций), симметричных относительно плоскости чувствительной мембраны и имеющих вокруг нее в центре полость, заполненную жесткой стеклянной или керамической вставкой. Помимо этой полости, каждая из секций имеет центральный проводник и отверстие для заполнения полостей разделительных узлов и чувствительного элемента.The known construction comprises a housing of a sensing element having a central chamber divided by an electrically conductive membrane into two cavities, each of which has an insulating insert with a leading channel in the center and a concave working surface provided with an electrode facing the membrane, and two dividing units with dividing membranes moreover, the cavity of the nodes and the sensing element is filled with a dielectric fluid. In this case, all membranes lie in parallel planes and are assembled in one metal body assembled from two identical parts (sections) symmetrical with respect to the plane of the sensitive membrane and having a cavity around it in the center filled with a rigid glass or ceramic insert. In addition to this cavity, each of the sections has a central conductor and an opening for filling the cavities of the separation nodes and the sensing element.

Недостатком известного датчика является большая зависимость результатов измерения разности давления от неизвестной величины статического давления, что не позволяет достигать необходимой точности измерения разности давлений.A disadvantage of the known sensor is the large dependence of the results of measuring the pressure difference from an unknown value of static pressure, which does not allow to achieve the required accuracy of measuring the pressure difference.

Известна конструкция измерительного преобразователя давлений с емкостным сенсором, описанная в одноименном патенте РФ №2263291, кл. G01L 9/12, з. 30.06.03, опубл. 20.12.04 и выбранная в качестве прототипа.A known design of a pressure transducer with a capacitive sensor described in the same patent of the Russian Federation No. 2263291, class. G01L 9/12, c. 06/30/03, publ. 12/20/04 and selected as a prototype.

Известная конструкция содержит единый корпус чувствительного элемента, имеющий центральную камеру, разделенную электропроводящей мембраной на две полости, в каждой из которых выполнена изоляционная ставка с подводящим каналом по центру и вогнутой рабочей поверхностью, снабженной электродом, обращенным в сторону мембраны, и два разделительных узла с расположенными параллельно электропроводящей мембране и между собой разделительными гофрированными мембранами, причем полости разделительных узлов и чувствительного элемента заполнены диэлектрической (разделительной) жидкостью и сообщены между собой, а каждый из электродов разделен на два электрода, выполненных в виде двух проводящих, электрически не связанных между собой колец, при этом каждое кольцо электрически соединено с соответствующим ему наружным выводом. Капилляры для заполнения полостей диэлектрической жидкостью параллельны между собой и чувствительному элементу, а также плоскостям разделительных гофрированных мембран, образуют перевернутую П-образную форму, соединены с полостью электропроводящей мембраны и расположены в одной из изоляционных вставок.The known design contains a single housing of the sensing element having a central chamber divided by an electrically conductive membrane into two cavities, in each of which an insulating rate is made with a supply channel in the center and a concave working surface provided with an electrode facing the membrane, and two dividing nodes with located parallel to the electrically conductive membrane and between the dividing corrugated membranes, and the cavity of the dividing nodes and the sensing element is filled dielectric (dividing) the liquid and communicated with each other, and each of the electrodes is divided into two electrodes, made in the form of two conductive, electrically interconnected rings, wherein each ring is electrically connected to its respective outer terminal. Capillaries for filling cavities with dielectric fluid are parallel between themselves and the sensitive element, as well as the planes of the dividing corrugated membranes, form an inverted U-shape, connected to the cavity of the electrically conductive membrane and are located in one of the insulating inserts.

Недостатком известного мембранного блока является сложность конструкции блока и технологии его изготовления, обусловленные наличием изоляционных вставок в центральной камере, а также выполнением электродов в виде колец, нанесенных на наружную поверхность электропроводной мембраны.A disadvantage of the known membrane block is the complexity of the design of the block and the technology of its manufacture, due to the presence of insulating inserts in the Central chamber, as well as the implementation of the electrodes in the form of rings deposited on the outer surface of the electrically conductive membrane.

Задачей заявляемого технического решения является упрощение конструкции мембранного блока без снижения точности измерений.The objective of the proposed technical solution is to simplify the design of the membrane unit without reducing the accuracy of the measurements.

Поставленная задача решается тем, что в конструкции измерительного преобразователя давлений с емкостным сенсором, содержащей механически связанные между собой корпус чувствительного элемента, имеющий центральную камеру, разделенную электропроводной мембраной на две полости с вогнутой металлизированной снаружи рабочей поверхностью, при этом полость электропроводящей мембраны соединена двумя параллельными между собой и чувствительным элементом заливочными капиллярами, соединенными с подводящим каналом для заливки разделительной жидкости, и снабжена токопроводящими выводами, два разделительных узла с расположенными параллельно друг другу разделительными гофрированными мембранами имеют подмембранные полости, также заполненные разделительной жидкостью и сообщенные с полостью электропроводящей мембраны, согласно изобретению вогнутая рабочая поверхность полости выполнена металлизированной снаружи полностью, электропроводная мембрана чувствительного элемента расположена перпендикулярно по отношению к разделительным гофрированным мембранам, заливочные капилляры полости электрочувствительной мембраны развернуты в противоположных направлениях и соединены с ее полостью горизонтальным каналом, перпендикулярным чувствительному элементу, разделительные гофрированные мембраны расположены каждая в своем корпусе с противолежащих сторон от корпуса чувствительного элемента таким образом, что корпусы всех трех мембран расположены последовательно рядом друг с другом, образуя единый сочлененный мембранный блок цилиндрической формы, подмембранные полости разделительных мембран соединены с подводящими разделительную жидкость отдельными заливочными капиллярами, также параллельными между собой и развернутыми в противоположные стороны таким образом, что они образуют с заливочными капиллярами полости электропроводящей мембраны ветви гиперболы.The problem is solved in that in the design of the pressure transducer with a capacitive sensor containing mechanically interconnected sensor housing having a central chamber divided by an electrically conductive membrane into two cavities with a concave metallized working surface from the outside, while the cavity of the electrically conductive membrane is connected by two parallel between themselves and the sensitive element by filling capillaries connected to the inlet channel for filling the separation fluid, and is equipped with conductive leads, two separation nodes with parallel separation corrugated membranes have submembrane cavities, also filled with a separation liquid and communicated with the cavity of the electrically conductive membrane, according to the invention, the concave working surface of the cavity is completely metallized outside, the electrically conductive membrane of the sensing element is perpendicular in relation to dividing corrugated membranes, filling ca the pills of the cavity of the electrosensitive membrane are deployed in opposite directions and connected to its cavity by a horizontal channel perpendicular to the sensitive element, the dividing corrugated membranes are each located in their housing from opposite sides of the housing of the sensitive element in such a way that the housings of all three membranes are located sequentially next to each other, forming a single articulated membrane block of cylindrical shape, the submembrane cavities of the separation membranes are connected to leading filling liquid separate filling capillaries, also parallel to each other and deployed in opposite directions so that they form with the filling capillaries of the cavity of the electrically conductive membrane branches of the hyperbola.

Выполнение вогнутой рабочей поверхности полости электропроводной мембраны металлизированной полностью при расположении этой мембраны перпендикулярно по отношению к разделительным гофрированным мембранам в совокупности с тем, что заливочные капилляры полости электропроводной мембраны развернуты в противоположных направлениях, а разделительные гофрированные мембраны расположены каждая в своем корпусе с противолежащих сторон от корпуса чувствительного элемента таким образом, что корпусы всех трех мембран расположены последовательно рядом друг с другом, образуя единый сочлененный мембранный блок цилиндрической формы, и подмембранные полости разделительных мембран соединены с подводящими разделительную жидкость отдельными заливочными капиллярами, также параллельными между собой и развернутыми в противоположные стороны таким образом, что они образуют с заливочными капиллярами полости электропроводящей мембраны ветви гиперболы, делает конструкцию более простой и надежной. При этом размещение всех трех мембран (электропроводной мембраны и двух разделительных мембран) каждой в своем корпусе и со своим заливочным капилляром позволяет избежать большой зависимости результатов измерения разности давления от неизвестной величины статического давления и позволяет достигать необходимой точности измерения разности давлений.The execution of the concave working surface of the cavity of the electrically conductive membrane metallized completely when this membrane is located is perpendicular to the dividing corrugated membranes in conjunction with the fact that the filling capillaries of the cavity of the electrically conductive membrane are deployed in opposite directions, and the dividing corrugated membranes are located in each case from opposite sides of the housing the sensing element so that the housings of all three membranes are arranged sequentially next to each other, forming a single articulated membrane block of a cylindrical shape, and the submembrane cavities of the separation membranes are connected to the separate filling capillaries supplying the separation liquid, also parallel to each other and deployed in opposite directions so that they form branches with electrically conductive membrane cavities hyperbole, makes the design more simple and reliable. At the same time, the placement of all three membranes (an electrically conductive membrane and two separation membranes) each in its own housing and with its own filling capillary allows avoiding a large dependence of the results of measuring the pressure difference on an unknown value of static pressure and allows achieving the necessary accuracy of measuring the pressure difference.

Технический результат - упрощение конструкции и повышение ее надежности при обеспечении высокой точности измерений.The technical result is to simplify the design and increase its reliability while ensuring high measurement accuracy.

Изобретение иллюстрируется чертежами, на которых:The invention is illustrated by drawings, in which:

фиг.1 - общий вид мембранного блока в сборе;figure 1 - General view of the membrane block assembly;

фиг.2 - вид мембранного блока в изометрии в вертикальном разрезе.figure 2 is a perspective view of the membrane block in vertical section.

Конструкция измерительного преобразователя давлений с емкостным сенсором (фиг.1-2) содержит корпус 1, разделенный помещенной в нем электропроводящей чувствительной мембраной 2 на две полости 2' и 2", соединенные подводящими жидкость капиллярами 3 с полостями 4 и 5 расположенных параллельно между собой в своих корпусах 6 и 7 разделительных мембран 8 и 9. При этом корпусы 1, 6 и 7 всех мембран 2, 8 и 9 расположены последовательно рядом друг с другом, образуя единый сочлененный мембранный блок цилиндрической формы с общей продольной осью и с плоской площадкой 10 на цилиндрической поверхности для размещения выводов конденсатора 11. Корпус 1 чувствительной мембраны 2 размещен между корпусами 6 и 7 разделительных мембран 8 и 9, а сама чувствительная мембрана 2 размещена в своем корпусе 1 перпендикулярно по отношению к разделительным мембранам 8 и 9, служащим одновременно боковыми сторонами общего корпуса. Капилляры 3, подводящие жидкость к полости чувствительной мембраны 2, расположены перпендикулярно к плоскости мембраны 2 таким образом, что полость 4 первой левой подмембранной полостью 2' чувствительной мембраны 2, а полость 5 второй разделительной мембраны 9 - с правой подмембранной полостью 2" чувствительной мембраны 2. Подмембранные полости 4 и 5 разделительных гофрированных мембран соединены с подводящими разделительную жидкость отдельными заливочными капиллярами 3', параллельными между собой и развернутыми в противоположные стороны таким образом, что они образуют с заливочными капиллярами 3 полости электропроводящей мембраны 2 ветви гиперболы. Имеется электрический проводник (не показан), образующий с чувствительной проводящей мембраной 2 пластины конденсатора, выводы 11 которого показаны на фиг.1.The design of the pressure transducer with a capacitive sensor (Fig.1-2) contains a housing 1, separated by a conductive sensitive membrane 2 placed in it into two cavities 2 'and 2 ", connected by liquid supplying capillaries 3 with cavities 4 and 5 located parallel to each other in their bodies 6 and 7 of the separation membranes 8 and 9. Moreover, the bodies 1, 6 and 7 of all membranes 2, 8 and 9 are arranged sequentially next to each other, forming a single articulated membrane block of cylindrical shape with a common longitudinal axis and with a flat area adhesive 10 on a cylindrical surface to accommodate the terminals of the capacitor 11. The housing 1 of the sensitive membrane 2 is placed between the housings 6 and 7 of the separation membranes 8 and 9, and the sensitive membrane 2 is placed in its housing 1 perpendicular to the separation membranes 8 and 9, serving simultaneously the capillaries 3, leading the fluid to the cavity of the sensitive membrane 2, are perpendicular to the plane of the membrane 2 so that the cavity 4 of the first left submembrane cavity 2 'senses the membrane 2, and the cavity 5 of the second separation membrane 9 with the right submembrane cavity 2 "of the sensitive membrane 2. The submembrane cavities 4 and 5 of the separation corrugated membranes are connected to separate filling capillaries 3 'supplying the separation liquid, parallel to each other and deployed in opposite directions so the way that they form with the filling capillaries 3 cavities of the electrically conductive membrane 2 branches of the hyperbola. There is an electrical conductor (not shown), which forms a capacitor plate with a sensitive conductive membrane 2, the terminals 11 of which are shown in FIG.

В сравнении с прототипом заявляемая конструкция измерительного преобразователя давлений с емкостным сенсором проще в изготовлении и имеет меньшие габариты при сохранении необходимой точности измерений.Compared with the prototype, the claimed design of the pressure transducer with a capacitive sensor is easier to manufacture and has smaller dimensions while maintaining the required measurement accuracy.

Claims (1)

Конструкция измерительного преобразователя давлений с емкостным сенсором, содержащая механически связанные между собой корпус чувствительного элемента, имеющий центральную камеру, разделенную электропроводной мембраной на две полости с вогнутой металлизированной снаружи рабочей поверхностью, при этом полость электропроводящей мембраны соединена двумя параллельными между собой и чувствительным элементом заливочными капиллярами, соединенными с подводящим каналом для заливки разделительной жидкости, и снабжена токопроводящими выводами, два разделительных узла с расположенными параллельно друг другу разделительными гофрированными мембранами имеют подмембранные полости, также заполненные разделительной жидкостью и сообщающиеся с полостью электропроводящей мебраны, отличающаяся тем, что вогнутая рабочая поверхность полости выполнена металлизированной снаружи полностью, электропроводная мембрана чувствительного элемента расположена перпендикулярно по отношению к разделительным гофрированным мембранам, заливочные капилляры полости электрочувствительной мембраны развернуты в противоположных направлениях и соединены с ее полостью горизонтальным каналом, перепендикулярным чувствительному элементу, разделительные гофрированные мембраны расположены каждая в своем корпусе с противолежащих сторон от корпуса чувствительного элемента таким образом, что корпусы всех трех мембран расположены последовательно рядом друг с другом, образуя единый сочлененный мембранный блок цилиндрической формы, подмембранные полости разделительных гофрированных мембран соединены с подводящими разделительную жидкость отдельными заливочными капиллярами, также параллельными между собой и развернутыми в противоположные стороны таким образом, что они образуют с заливочными капиллярами полости электропроводящей мембраны ветви гиперболы. The design of the pressure transducer with a capacitive sensor, comprising a mechanically interconnected housing of the sensing element, having a central chamber divided by an electrically conductive membrane into two cavities with a concave metallized working surface from the outside, while the cavity of the electrically conductive membrane is connected by two filling capillaries parallel to each other and to the sensing element, connected to the inlet channel for filling the separation liquid, and provided with conductive water, two separation nodes with parallel separating corrugated membranes have submembrane cavities, also filled with a separation liquid and communicating with the cavity of the electrically conductive furniture, characterized in that the concave working surface of the cavity is completely metallized outside, the electrically conductive membrane of the sensing element is perpendicular to dividing corrugated membranes, filling capillaries of the cavity are electrosensitive the membranes are deployed in opposite directions and connected to its cavity by a horizontal channel perpendicular to the sensing element, dividing corrugated membranes are each located in their housing on opposite sides of the sensing element housing so that the housings of all three membranes are arranged sequentially next to each other, forming a single joint the cylindrical membrane unit, the submembrane cavities of the dividing corrugated membranes are connected to the inlet of the separator hydrochloric priming liquid separate capillaries are also parallel to each other and unfolded in opposite directions so that they form a priming chamber electroconductive membrane capillaries hyperbola.
RU2013133012/28A 2013-07-16 2013-07-16 Design of measuring pressure converter with capacitance sensor RU2532236C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013133012/28A RU2532236C1 (en) 2013-07-16 2013-07-16 Design of measuring pressure converter with capacitance sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013133012/28A RU2532236C1 (en) 2013-07-16 2013-07-16 Design of measuring pressure converter with capacitance sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2532236C1 true RU2532236C1 (en) 2014-10-27

Family

ID=53382271

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013133012/28A RU2532236C1 (en) 2013-07-16 2013-07-16 Design of measuring pressure converter with capacitance sensor

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2532236C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2610818C1 (en) * 2015-10-21 2017-02-15 Александр Владимирович Фетисов Differential pressure sensor with protection from high overload pressure (versions)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3618390A (en) * 1969-10-27 1971-11-09 Rosemount Eng Co Ltd Differential pressure transducer
RU2263291C2 (en) * 2003-06-30 2005-10-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "Производственное объединение "Старт" Capacity pressure gauge
RU2423679C1 (en) * 2010-04-21 2011-07-10 Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ставропольский государственный аграрный университет" Pressure measuring transducer
RU2487329C2 (en) * 2007-10-31 2013-07-10 Кг Трансмиттер Компонентс Гмбх Metering pressure converter, method to monitor condition of metering pressure converter and pressure sensor

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3618390A (en) * 1969-10-27 1971-11-09 Rosemount Eng Co Ltd Differential pressure transducer
RU2263291C2 (en) * 2003-06-30 2005-10-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "Производственное объединение "Старт" Capacity pressure gauge
RU2487329C2 (en) * 2007-10-31 2013-07-10 Кг Трансмиттер Компонентс Гмбх Metering pressure converter, method to monitor condition of metering pressure converter and pressure sensor
RU2423679C1 (en) * 2010-04-21 2011-07-10 Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ставропольский государственный аграрный университет" Pressure measuring transducer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2610818C1 (en) * 2015-10-21 2017-02-15 Александр Владимирович Фетисов Differential pressure sensor with protection from high overload pressure (versions)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102023799B1 (en) Capacitive displacement sensor
CN102539932A (en) Conductivity sensor
RU2007149342A (en) PRESSURE MEASUREMENT IN A PIPELINE USING A DIFFERENTIAL PRESSURE SENSOR
JP2016109692A5 (en)
US20160069764A1 (en) Fluid Pressure Sensor
JP2017531184A (en) Differential pressure sensor with high pressure capability
CN209197965U (en) A kind of floated pressure sensor
RU2532236C1 (en) Design of measuring pressure converter with capacitance sensor
EP3037790B1 (en) Ultrasonic flow meter housing with integrated spring connectors
RU167905U1 (en) CAPACITIVE PRESSURE DIFFERENTIAL SENSOR
CN105996657A (en) Intelligent straw cup
CN104019797B (en) The nested pole plate of paired quartering ring-circle is staggeredly placed formula inclination angle measurement method and device in opposite directions
JP2007333728A (en) Liquid level sensor
JP4916240B2 (en) Liquid level sensor
RU2545085C1 (en) Design of biplanar capacitance sensor of pressure difference
US20150101414A1 (en) Duplex pressure transducers
CN104034308A (en) Concentric coplanar bisectional annular-bisectional circular nested pole plate inclination angle measuring method and apparatus thereof
JP2013134212A (en) Capacitance type measuring device
JPS5822933A (en) Pressure resistance and explosionproof absolute pressure transducer
CN110736582A (en) capacitance type differential pressure sensor structure
RU2263291C2 (en) Capacity pressure gauge
CN104034311A (en) Paired trisectional annular-circular nested pole plate staggered arrangement type inclination angle measuring method and apparatus thereof
RU2622730C2 (en) Device for measuring level of fuel in tanks of vehicles
RU120214U1 (en) TILT ANGLE SENSOR
CN107677261A (en) Micro- hemisphere gyroscope of interior outer hyperboloid stereo electrod

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20150717

NF4A Reinstatement of patent

Effective date: 20170417

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20180717

NF4A Reinstatement of patent

Effective date: 20190405