RU2531037C1 - Device for inspection of macrodefects on internal surface of pipes - Google Patents
Device for inspection of macrodefects on internal surface of pipes Download PDFInfo
- Publication number
- RU2531037C1 RU2531037C1 RU2013118874/28A RU2013118874A RU2531037C1 RU 2531037 C1 RU2531037 C1 RU 2531037C1 RU 2013118874/28 A RU2013118874/28 A RU 2013118874/28A RU 2013118874 A RU2013118874 A RU 2013118874A RU 2531037 C1 RU2531037 C1 RU 2531037C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cylindrical body
- pipe
- spring
- limit switch
- emitter
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
Description
Устройство относится к средствам контроля геометрических параметров макродефектов внутренней поверхности труб, например, нефтяного сортамента.The device relates to means for controlling the geometric parameters of macrodefects of the inner surface of pipes, for example, an oil assortment.
Известно устройство для контроля качества поверхности цилиндрических отверстий, содержащее цилиндрический корпус, в котором на подшипниках установлена направляющая труба, в которой укреплен световод, имеющий выходной конец, перпендикулярный оси направляющей трубы. При этом в цилиндрическом корпусе посредством резьбового соединения установлен центрирующий конус, на котором с зазором укреплен стакан, подпружиненный пружиной. Направляющая труба посредством зубчатых шестерен соединена с электродвигателем, укрепленным на державке, имеющей две группы контактов (А.с. №1221492, SU, МКИ4 G01B 21/30, опубл. 30.03.1986. Бюл. №12).A device for controlling the quality of the surface of cylindrical holes is known, comprising a cylindrical body in which a guide tube is mounted on bearings, in which a light guide having an output end perpendicular to the axis of the guide tube is mounted. At the same time, a centering cone is installed in the cylindrical housing by means of a threaded connection, on which a spring-loaded spring is mounted with a gap. The guide tube is connected by means of gear gears to an electric motor mounted on a holder having two groups of contacts (A.S. No. 1221492, SU, MKI 4 G01B 21/30, published on 03.30.1986. Bull. No. 12).
Недостатком известного устройства является невозможность контроля геометрических параметров макродефектов (забоин, задиров, коррозионных раковин) поверхности отверстий, на показания устройства влияет цветность контролируемой поверхности.A disadvantage of the known device is the inability to control the geometric parameters of macrodefects (nicks, nicks, corrosion sinks) of the surface of the holes, the color of the surface being affected affects the readings of the device.
Известно устройство для контроля микрорельефа поверхностей, содержащее стойку, измерительную головку с механизмом ориентации, выполненную в виде волоконно-оптического преобразователя со световодом в виде коллектора. При этом в устройстве выполняют механизм ориентации в виде подвески с двумя колесами, расположенными одно от другого на расстоянии, превышающем диаметр внешнего световода коллектора преобразователя, двуплечий рычаг, установленный шарнирно на стойке с возможностью качания в плоскости оси симметрии стойки и соединенный одним плечом посредством упругой связи со стойкой, а другое плечо шарнирно закреплено на подвеске. Измерительная головка укреплена между осями вращения колес, а шарнир, соединяющий подвеску и плечо рычага, смещен относительно линии центров колес (А.с. 1528079, SU, МКИ4 G01B 5/28, опубл. 29.03.1988).A device for controlling the microrelief of surfaces, comprising a stand, a measuring head with an orientation mechanism, made in the form of a fiber optic transducer with a light guide in the form of a collector. At the same time, the device performs an orientation mechanism in the form of a suspension with two wheels located one from another at a distance exceeding the diameter of the external fiber of the converter manifold, a two-arm lever pivotally mounted on the rack with the possibility of swinging in the plane of the axis of symmetry of the rack and connected by one shoulder by means of elastic coupling with a stand, and the other shoulder is pivotally mounted on the suspension. The measuring head is fixed between the axes of rotation of the wheels, and the hinge connecting the suspension and the arm of the lever is displaced relative to the line of the centers of the wheels (AS 1528079, SU, MKI 4 G01B 5/28, published on 03.29.1988).
Недостатком известного устройства является невозможность контроля геометрических параметров макродефеков (забоин, задиров, коррозионных раковин) поверхности отверстий, на показания устройства влияет цветность контролируемой поверхности.A disadvantage of the known device is the inability to control the geometric parameters of macrodefects (nicks, nicks, corrosion sinks) of the surface of the holes, the color of the controlled surface affects the readings of the device.
Наиболее близким по своей технической сущности является устройство для контроля шероховатости поверхности отверстий, содержащее направляющую трубу с зубчатой рейкой, установленной в корпусе с возможностью осевого перемещения и соединенной через шестерню, червячное колесо и червяк с электродвигателем. При этом осевое движение направляющей трубы ограничивают концевые выключатели, а в направляющей трубе размещен волокнно-оптический световод, представляющий из себя цилиндрический коллектор и работающий как датчик шероховатости (А.с. №1594350, SU, МКИ5 G01B 11/30, опубл. 23.09.1990).The closest in technical essence is a device for controlling the surface roughness of the holes, containing a guide tube with a gear rack mounted in the housing with the possibility of axial movement and connected through a gear, a worm wheel and a worm with an electric motor. Thus axial movement of the guide tube end limit switches and housed in a guide tube fiber-optic light guide, which is of a cylindrical collector, and functions as a roughness sensor (AS №1594350, SU, MKI 5 G01B 11/30, publ. 23.09 .1990).
Недостатком известного устройства также является невозможность контроля геометрических параметров макродефектов (забоин, задиров, коррозионных раковин) поверхности отверстий, на показания устройства влияет цветность контролируемой поверхности.A disadvantage of the known device is the inability to control the geometric parameters of macrodefects (nicks, nicks, corrosion sinks) of the surface of the holes, the color of the controlled surface affects the readings of the device.
В основу изобретения поставлена задача определения геометрических параметров макродефектов на поверхности труб, имеющих различную цветность.The basis of the invention is the task of determining the geometric parameters of macrodefects on the surface of pipes having different colors.
Задача решается за счет того, что устройство контроля макродефектов на внутренней поверхности труб, содержащее излучатель, приемник излучения, цилиндрический корпус направляющую трубу, механически связанную с электроприводом и установленную вдоль оси корпуса, концевой выключатель, блок управления, блок питания, связанный через блок управления с концевым выключателем, согласно изобретению на внутренней поверхности цилиндрического корпуса выполнены симметричные пазы, в каждый из которых установлены четыре пары направляющих ролика с шагом в 90°, ось каждого ролика жестко связана с кронштейном, имеющим возможность перемещения вдоль нормали к поверхности цилиндрического корпуса, при этом каждый кронштейн подпружинен относительно цилиндрического корпуса, другой конец пружины опирается на датчик давления, направляющая труба установлена с помощью подшипников в цилиндрическом корпусе с возможностью вращательного движения, направляющая труба и цилиндрический корпус связаны между собой зубчатой парой, одно из колес которой связано с электроприводом, на одной оси с корпусом установлен с возможностью осевого перемещения шток, опирающийся на пружину, второй конец пружины опирается на датчик давления, установленный на фланце цилиндрического корпуса, при этом на части штока, находящейся вне внутренности цилиндрического корпуса, концевой выключатель установлен на штоке вне корпуса и касается торца контролируемой трубы, на торце направляющей трубы укреплен излучатель, перед излучателем размещена мембрана, в которой выполнены параллельные щели, имеющая угол наклона в сторону приемника излучения, в направляющей трубе выполнено окно между мембраной и приемником излучения.The problem is solved due to the fact that the device for monitoring macrodefects on the inner surface of the pipes, containing an emitter, a radiation receiver, a cylindrical body, a guide tube mechanically connected to the electric drive and installed along the axis of the body, a limit switch, a control unit, a power supply unit connected through a control unit with limit switch, according to the invention on the inner surface of the cylindrical body made symmetrical grooves, each of which has four pairs of guide rollers with at 90 °, the axis of each roller is rigidly connected to the bracket, which can be moved along the normal to the surface of the cylindrical body, each bracket being spring-loaded relative to the cylindrical body, the other end of the spring is supported by a pressure sensor, the guide tube is mounted using bearings in a cylindrical body with with the possibility of rotational movement, the guide tube and the cylindrical body are interconnected by a gear pair, one of the wheels of which is connected to the electric drive, on the same axis as the body ohm mounted with the possibility of axial movement of the rod, resting on the spring, the second end of the spring is supported by a pressure sensor mounted on the flange of the cylindrical body, while on the part of the rod located outside the inside of the cylindrical body, the limit switch is mounted on the rod outside the body and touches the end of the pipe being monitored , the emitter is fixed at the end of the guide tube, a membrane is placed in front of the emitter, in which parallel slots are made, having an angle of inclination towards the radiation receiver, in the A window is made between the membrane and the radiation receiver.
Кроме того, все датчики давления, концевой выключатель, блок питания подключены к блоку управления, подсоединенному к электроприводу.In addition, all pressure sensors, limit switch, power supply are connected to the control unit connected to the electric drive.
На фиг.1 изображены фронтальное сечение трубы и фронтальный вид кинематической схемы устройства контроля макродефектов на внутренней поверхности труб;Figure 1 shows the front section of the pipe and the front view of the kinematic diagram of the device for monitoring macrodefects on the inner surface of the pipes;
на фиг.2 изображено сечение А-А;figure 2 shows a section aa;
на фиг.3 показан фронтальный вид направляющей трубы с окном и сечение фронтального вида направляющей трубы с окном;figure 3 shows a front view of a guide pipe with a window and a cross section of a front view of a guide pipe with a window;
на фиг.4 изображена блок-схема системы управления работы устройством.figure 4 shows a block diagram of a control system for operating the device.
Устройство контроля макродефектов на внутренней поверхности труб содержит цилиндрический корпус 1, соосно установлена направляющая труба 2 с укрепленным на торце излучателем 3. Перед излучателем закреплена мембрана 4 с несколькими параллельными щелями 5. Направляющая труба 2 установлена с возможностью вращения посредством пары подшипников 6 и связана с корпусом 1 при помощи зубчатой пары 7, подсоединенной к электроприводу 8. На внутренней поверхности цилиндрического корпуса 1 выполнены симметричные пазы, в каждый из которых установлены четыре пары направляющих ролика 9 с шагом в 90°, ось каждого ролика 9 жестко связана с кронштейнами 10, имеющими возможность перемещения вдоль нормали к поверхности цилиндрического корпуса 1. Каждый кронштейн 10 опирается на пружину 11. Один из торцов пружины 11 опирается на датчик давления 12. На одной оси с корпусом 1 установлен с возможностью осевого перемещения шток 13, опирающийся на пружину 14, второй конец пружины опирается на датчик давления 15, установленный на фланце 16 цилиндрического корпуса 1. На части штока 13, находящейся вне цилиндрического корпуса, установлен концевой выключатель 17.The macrodefects control device on the inner surface of the pipes contains a cylindrical body 1, a
В направляющей трубе 2 выполнено окно 18, расположенное между мембраной 4 и приемником излучения 19.A
Все датчики давления 12, концевой выключатель 17, блок питания 20 подключены к блоку управления 21, подсоединенному к электроприводу 8. Контролируемая труба 22.All
Устройство работает следующим образом. Оператор (на чертеже не показан) устанавливает направляющую трубу 2 в отверстие контролируемой трубы 22 и вводит направляющую трубу 2 и цилиндрический корпус 1 во внутренность трубы 22 до касания всеми роликами 9 поверхности отверстия, в результате чего происходит центрирование направляющей трубы 2 и цилиндрического корпуса 1 относительно оси симметрии трубы 22.The device operates as follows. The operator (not shown) installs the
После касания всеми роликами 9 поверхности отверстия трубы 22 начинают работать приемник излучения 19 и излучатель 3, питаемые по команде блока управления 21 блоком питания 20. Световой поток, сформированный излучателем 3, падает на мембрану 4 и через щели 5 попадает через окно 18, выполненное на образующей направляющей трубы 2, на контролируемую поверхность отверстия трубы 22 в виде непересекающихся световых отрезков. Такое освещение контролируемой поверхности является структурированным освещением (http://www.aqsense.com/docs/docu/structuredLight.html http://www.gdiy.com/projects/structured-light-3d-scanning/index.php?lang=ru). Световой поток в виде световых отрезков падает на контролируемую поверхность трубы 22 через окно 18 благодаря наклону мембраны 4 по отношению к оси симметрии направляющей трубы 2. Поверхность отверстия трубы 22 может иметь дефекты. Световые отрезки, падающие на эти дефекты, изменяют свою форму, т.е. на каких-то своих фрагментах они теряют свою прямолинейность.After all the rollers 9 touch the surface of the hole in the
Угол наклона мембраны 4 относительно оси симметрии цилиндрического корпуса 1 выбирается таким образом, чтобы сформированный световой поток щелями 5 и излучателем 3 падал через окно 18 направляющей трубы 2 на контролируемую поверхность отверстия трубы 22. При этом размеры окна 18 таковы, что отраженный от поверхности отверстия трубы 22 световой поток через окно 18 попадает на приемник излучения 19.The angle of inclination of the
Оптическая ось приемника излучения 19 должна быть сосной оси симметрии цилиндрического корпуса 1. При этом приемник излучения 19 воспринимает все изменения прямолинейности световых отрезков на поверхности отверстия трубы 22. Все изображения, зафиксированные приемником излучения 19, анализируются с помощью компьютера (на фиг. не показан), например, по методикам в соответствии с работами (Система регистрации железнодорожных составов цистерн / Волотовский С.Г., Казанский Н.Л. Попов С.Б. // Свидетельство об официальной регистрации программ для ЭВМ №2004611969 по заявке №2004611381 от 29 июня 2004 г. Зарегистрировано в Реестре программ для ЭВМ 26 августа 2004 г.; Казанский, Н.Л. Система технического зрения для определения количества гель-частиц в растворе полимера / Н.Л. Казанский, С.Б. Попов // Компьютерная оптика. - 2009. - Том 33, №3. - С.325-331). В результате такого анализа могут быть определены максимальная глубина дефекта, его наибольшие ширина и протяженность. Структурированное освещение не зависит от цвета контролируемой поверхности, поэтому структурированное освещение для контроля геометрических параметров поверхности отверстия может быть использовано для контроля труб различного назначения. Чем больше световых отрезков, сформированных мембраной 4, щелями 5 и излучателем 3, тем большая площадь может контролироваться одномоментно. Чем тоньше световые отрезки и чем меньше между ними расстояние, тем более точным будет контроль геометрических размеров макродефектов на поверхности отверстия трубы 22.The optical axis of the
Момент касания всеми роликами 9 поверхности отверстия трубы 22 фиксируется датчиками давления 12. После касания всеми роликами 9 поверхности отверстия трубы 22 начинают анализироваться показания датчика давления 15, показания которого характеризуют скорость продвижения во внутренность трубы 22 цилиндрического корпуса 1 и направляющей трубы 2. Скорость продвижения во внутренность контролируемой трубы 22 цилиндрического корпуса 1 и направляющей трубы 2 обеспечивает оператор (на чертеже не показан), воздействующий на шток 13, который в свою очередь сжимает пружину 14, давящую одним своим торцом на датчик давления 15, опирающийся на фланец 16 цилиндрического корпуса 1.The moment of contact by all rollers 9 of the surface of the hole of the
Чем больше скорость продвижения цилиндрического корпуса 1 и направляющей трубы 2 во внутренность отверстия трубы 22, тем большее давление оказывает пружина 14 на датчик давления 15 и тем большая по команде блока управления 21 имеет место частота вращения электропривода 8, который через зубчатую пару 7 и подшипники 6 приводит во вращение направляющую трубу 2. Это приводит к тому, что световые отрезки, сформированные излучателем 3 и щелями 5 мембраны 4, начинают сканирующее вращение по поверхности отверстия трубы 22. При этом световые отрезки совершают также прямолинейное движение вдоль оси симметрии трубы 22 под действием штока 13. Протяженность световых отрезков регламентируется протяженностью (длиной) окна 18, выполненного на образующей направляющей трубы 2.The greater the speed of advancement of the cylindrical body 1 and the
Четыре пары роликов 9 необходимы для центрирования осей симметрии цилиндрического корпуса 1 и направляющей трубы 2 в отверстии трубы 22.Four pairs of rollers 9 are necessary for centering the axis of symmetry of the cylindrical body 1 and the
Для оператора (на фиг. не показан) срабатывание концевого выключателя 17 означает, что достигнута заданная протяженность контролируемого фрагмента поверхности отверстия трубы 22 и что устройство необходимо начать извлекать из внутренности трубы 22. При этом блоком управления 21 отключается работа датчиков давления 12 и 15, приемник излучения 19, излучатель 3. Блок управления 21 поворачивает ротор электропривода 8 в положение, соответствующее началу контроля трубы 22.For the operator (not shown in Fig.), The operation of the
Положение концевого выключателя 17 на штоке 13 определяет протяженность фрагмента поверхности отверстия трубы 22, подлежащего контролю.The position of the
Протяженность направляющей трубы 2 и цилиндрического корпуса 1, а также ширина и длина окна 18, обуславливающие плотность и протяженность световых отрезков на поверхности трубы 22, заносятся оператором в блоке управления 21, который формирует такой частотный режим работы электропривода 8, что при внесении устройства во внутренность отверстия трубы 22 направляющая труба 2 повернется на такой угол, что за время контроля на фрагменте контролируемой поверхности не будет зон, которые бы не были освещены световыми отрезками, сформированными щелями 5 мембраны 4.The length of the
Угол поворота направляющей трубы 2 относительно цилиндрического корпуса 1 и трубы 22 ограничен электропроводами, питающими излучатель 3. Кроме того, окно 18 имеет определенную ширину и длину, ограничивающие зону сканирования. По этой причине величина угла поворота направляющей трубы 2 в момент окончания контроля поверхности отверстия трубы 22 должна составлять 360°+Δ, где величина Δ определяется шириной окна 18.The rotation angle of the
Количество щелей 5 мембраны 4 обусловлено характером проводимого контроля. В случае если необходимо проконтролировать только глубину раковины (забоины, риски и т.д.) на поверхности отверстия трубы 22, то тогда необходима по крайней мере одна щель 5 на мембране 4. Когда необходимо осуществить контроль глубины и протяженности, например, раковины, то минимальное количество щелей 5 должно быть две. Для контроля глубины, ширины и протяженности, например, раковины потребуется минимум три щели 5. Чем больше щелей 5 на мембране 4, тем более точный и достоверный контроль геометрических параметров поверхностного дефекта отверстия трубы 22.The number of
Для того чтобы исключить влияние люфта на время начала сжатия датчика давления 15, пружина 14 перед началом работы должна иметь первичный натяг (сжатие).In order to exclude the influence of play on the start time of compression of the
В качестве датчиков давления 12 и 15 могут быть использованы, например, пьезокерамические датчики ЦТС-19 (http://www.elpapiezo.ru/elements.shtml).As
В качестве электропривода 8 используется шаговый двигатель, например, модели 28BYJ-48 5 В (http://devicter.ru/goods/28BYJ-48-High-qualitv-Stepper-motor-5V?from=ZTE5) или ШД-10/100М (http://energo20.ru/article-0-72-435.html).As an
В качестве излучателя 3 может использоваться инфракрасный источник света. В этом случае исключаются помехи в виде засветок приемника излучения 19, что повышает достоверность результатов контроля поверхности отверстия трубы 22.As the
Блок управления 21 есть программируемый контроллер или микропроцессор.The
Соосность оптической оси приемника излучения 19 необходима для того, чтобы исключить детерминированное искажение отраженного излучения от контролируемой поверхности отверстия трубы 22, обусловленное несоосностью цилиндрического корпуса 1 и приемника излучения 19. Соосность в этом случае повышает достоверность результатов контроля поверхности отверстия трубы 22. В качестве приемника излучения 19 использовалась телекамера повышенной резкости изображения модели MINI-BULET550TVL (http://www.radcam.ru/index.php?productID=514), модели JK-927 (http://www.radcam.ru/index.php?productID=438) или модели 900-СВ (http://www.radcam.ru/index.php?productID=589).The alignment of the optical axis of the
Заявляемое устройство было реализовано и испытано на трубе насос-компрессорной (НКТ 73 ГОСТ 633-80), имеющей внутренний диаметр отверстия 62 мм. Контроль осуществлялся на поверхности отверстия, прилегающей к торцу трубы, имеющей протяженность 300 мм. Испытания показали высокую достоверность результатов контроля.The inventive device was implemented and tested on a pump-compressor pipe (tubing 73 GOST 633-80), having an inner hole diameter of 62 mm The control was carried out on the surface of the hole adjacent to the end of the pipe, having a length of 300 mm Tests have shown high reliability of the control results.
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013118874/28A RU2531037C1 (en) | 2013-04-23 | 2013-04-23 | Device for inspection of macrodefects on internal surface of pipes |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013118874/28A RU2531037C1 (en) | 2013-04-23 | 2013-04-23 | Device for inspection of macrodefects on internal surface of pipes |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2531037C1 true RU2531037C1 (en) | 2014-10-20 |
Family
ID=53381869
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2013118874/28A RU2531037C1 (en) | 2013-04-23 | 2013-04-23 | Device for inspection of macrodefects on internal surface of pipes |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2531037C1 (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU182588U1 (en) * | 2017-12-27 | 2018-08-23 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина" | PRODUCT SURFACE GEOMETRIC CONTROL DEVICE |
EA035636B1 (en) * | 2017-12-27 | 2020-07-20 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина" | Device for control of geometric parameters of a product surface |
CN113670244A (en) * | 2021-10-22 | 2021-11-19 | 马拉兹(江苏)电梯导轨有限公司 | T-shaped hollow elevator guide rail section deviation testing device and method |
CN117589114A (en) * | 2024-01-16 | 2024-02-23 | 泰州市爱国机械有限公司 | Planetary gear shaft symmetry degree detection equipment and detection method thereof |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1221492A1 (en) * | 1984-05-07 | 1986-03-30 | Куйбышевский Ордена Трудового Красного Знамени Авиационный Институт Им.Акад.С.П.Королева | Arrangement for inspecting quality of cylindrical hole surface |
SU1594350A1 (en) * | 1988-10-10 | 1990-09-23 | Куйбышевский авиационный институт им.акад.С.П.Королева | Device for inspecting surface rougness |
US6614923B1 (en) * | 1998-01-06 | 2003-09-02 | Hitachi, Ltd. | Pattern inspecting method and apparatus thereof, and pattern inspecting method on basis of electron beam images and apparatus thereof |
SU1528079A1 (en) * | 1988-03-29 | 2004-07-10 | С.Р. Абульханов | DEVICE FOR CONTROL OF SURFACE MICRORELIFE |
-
2013
- 2013-04-23 RU RU2013118874/28A patent/RU2531037C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1221492A1 (en) * | 1984-05-07 | 1986-03-30 | Куйбышевский Ордена Трудового Красного Знамени Авиационный Институт Им.Акад.С.П.Королева | Arrangement for inspecting quality of cylindrical hole surface |
SU1528079A1 (en) * | 1988-03-29 | 2004-07-10 | С.Р. Абульханов | DEVICE FOR CONTROL OF SURFACE MICRORELIFE |
SU1594350A1 (en) * | 1988-10-10 | 1990-09-23 | Куйбышевский авиационный институт им.акад.С.П.Королева | Device for inspecting surface rougness |
US6614923B1 (en) * | 1998-01-06 | 2003-09-02 | Hitachi, Ltd. | Pattern inspecting method and apparatus thereof, and pattern inspecting method on basis of electron beam images and apparatus thereof |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU182588U1 (en) * | 2017-12-27 | 2018-08-23 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина" | PRODUCT SURFACE GEOMETRIC CONTROL DEVICE |
EA035636B1 (en) * | 2017-12-27 | 2020-07-20 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина" | Device for control of geometric parameters of a product surface |
CN113670244A (en) * | 2021-10-22 | 2021-11-19 | 马拉兹(江苏)电梯导轨有限公司 | T-shaped hollow elevator guide rail section deviation testing device and method |
CN113670244B (en) * | 2021-10-22 | 2022-01-18 | 马拉兹(江苏)电梯导轨有限公司 | T-shaped hollow elevator guide rail section deviation testing device and method |
CN117589114A (en) * | 2024-01-16 | 2024-02-23 | 泰州市爱国机械有限公司 | Planetary gear shaft symmetry degree detection equipment and detection method thereof |
CN117589114B (en) * | 2024-01-16 | 2024-04-26 | 泰州市爱国机械有限公司 | Planetary gear shaft symmetry degree detection equipment and detection method thereof |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2531037C1 (en) | Device for inspection of macrodefects on internal surface of pipes | |
JP5603231B2 (en) | Method and apparatus for optical measurement of external threads | |
EP3099549B1 (en) | Method and tool to determine a brake disk deterioration state | |
CN102162717B (en) | Device and method for automatically detecting composite errors of spiral inner raceway of ball nut | |
US10207297B2 (en) | Method and system for inspecting a manufactured part at an inspection station | |
CN101382422A (en) | Internal contour outline automatic detection system for pipe-shaped parts | |
WO2013118912A1 (en) | Inside-diameter measurement device | |
CN106767470A (en) | A kind of non-contact type bearing lasso inner diameter measuring device | |
CN105378444A (en) | Method for detecting defects in a rod-shaped transparent object | |
JP6571963B2 (en) | Inner surface inspection device | |
EP3091332B1 (en) | A catoptric imaging device for drill measuring | |
CN204612669U (en) | A kind of crude oil pipeline wax deposition thickness off-line detection device | |
CN108332656B (en) | Elbow pipe detection device based on measuring light curtain | |
CN115854887B (en) | Distance measuring mechanism and method | |
KR101180835B1 (en) | Apparatus for inspecting defects | |
CN116908211A (en) | Defect detection device for manufacturing optical fiber perform | |
CN110823908A (en) | Cylinder inner wall check out test set | |
CN107367478A (en) | Non-dispersive infrared optical sulfur hexafluoride gas concentration sensor | |
JP6675749B1 (en) | Cylindrical inner surface inspection device | |
JP5791485B2 (en) | Pipe insertion type ultrasonic flaw detector | |
WO2017138083A1 (en) | V-block refractometer | |
CN111025619A (en) | Device for detecting defects of inner wall of cylinder | |
CN110849233B (en) | Online measurement method for effective volume of piston cylinder of piston type gas flow standard device | |
CN101109621B (en) | Optical measuring method for hole cubage | |
JPH0423746B2 (en) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20200424 |