RU2527938C1 - Method of making dispenser cathode - Google Patents
Method of making dispenser cathode Download PDFInfo
- Publication number
- RU2527938C1 RU2527938C1 RU2013145660/07A RU2013145660A RU2527938C1 RU 2527938 C1 RU2527938 C1 RU 2527938C1 RU 2013145660/07 A RU2013145660/07 A RU 2013145660/07A RU 2013145660 A RU2013145660 A RU 2013145660A RU 2527938 C1 RU2527938 C1 RU 2527938C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- tungsten powder
- temperature
- active substance
- sponge
- tungsten
- Prior art date
Links
Landscapes
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к электронной технике, а именно к способам изготовления металлопористых катодов для вакуумных электронных приборов.The invention relates to electronic equipment, and in particular to methods for the manufacture of metal-porous cathodes for vacuum electronic devices.
Актуальной задачей в настоящее время является получение технологий изготовления надежных, формоустойчивых, долговечных крупногабаритных металлопористых катодов для мощных электровакуумных приборов, применяемых, например, для нагрева, создания и удержания высокотемпературной плазмы в научных и производственных устройствах, например термоядерных реакторах.An urgent task at present is to obtain technologies for manufacturing reliable, form-stable, durable large-sized metal-porous cathodes for powerful electro-vacuum devices, used, for example, to heat, create and hold high-temperature plasma in scientific and industrial devices, such as thermonuclear reactors.
Известен способ изготовления металлопористых катодов (Г.А. Кудинцева «Термоэлектронные катоды», М-Л, «Энергия», 1966 г., с.215-216), заключающийся в том, что пористую губку формируют из вольфрамового порошка путем запрессовывания его при давлении 5-10 т/см2 в цилиндрический корпус катода со стороны, противоположной эмитирующей поверхности. Затем на поверхность губки наносят дозированное количество активного вещества и пропитывают им губку при температуре 1700-1800°C в водороде. После пропитки избыток активного вещества, оставшийся на поверхности губки и на стенках корпуса, удаляют путем механической обработки. Для герметизации пропитанной губки со стороны, противоположной ее эмитирующей поверхности, в корпусе катода устанавливают донышко, которое затем герметично соединяют с корпусом при помощи пайки или сварки.A known method of manufacturing metal-porous cathodes (G. A. Kudintseva "Thermoelectronic cathodes", ML, "Energy", 1966, S. 215-216), which consists in the fact that the porous sponge is formed from tungsten powder by pressing it in a pressure of 5-10 t / cm 2 into the cylindrical cathode body from the side opposite to the emitting surface. Then, a metered amount of the active substance is applied to the surface of the sponge and impregnated with the sponge at a temperature of 1700-1800 ° C in hydrogen. After impregnation, the excess of active substance remaining on the surface of the sponge and on the walls of the body is removed by machining. To seal the impregnated sponge from the side opposite to its emitting surface, a bottom is installed in the cathode body, which is then hermetically connected to the body by soldering or welding.
Недостатками данного способа изготовления металлопористых катодов являются необходимость герметизации пропитанной губки, при которой осуществляется температурное воздействие на катод, а также отслоение губки от корпуса катода при пропитке активным составом и в процессе срока службы прибора.The disadvantages of this method of manufacturing metal-porous cathodes are the need to seal an impregnated sponge, in which the cathode is exposed to temperature, as well as the sponge detaches from the cathode body when impregnated with the active compound and during the life of the device.
Наиболее близким по технологической сущности к предлагаемому изобретению является способ изготовления металлопористого катода (Патент РФ на изобретение №2338291, МПК H01J 9/04, приоритет 14.05.2007), включающий запрессовку вольфрамового порошка в стакан из молибдена, пропитку при температуре 1700-1800°C в водороде сформированной пористой губки активным веществом с последующим удалением избытка активного вещества и формированием эмитирующей поверхности катода, при этом вольфрамовый порошок запрессовывают при рабочем давлении Pраб.=8-15 т/см2 в выполненный точением из молибденового прутка стакан с внутренней высотой, достаточной для формирования в нем пористой губки с припуском относительно заданной рабочей толщины губки, который стачивают после удаления избытка активного вещества, при этом внутренняя высота стакана и припуск губки выбираются из условий:Closest to the technological essence of the present invention is a method of manufacturing a metal-porous cathode (RF Patent for the invention No. 2338291, IPC H01J 9/04, priority 05/14/2007), including pressing tungsten powder into a molybdenum glass, impregnation at a temperature of 1700-1800 ° C in the hydrogen of the porous sponge formed by the active substance, followed by removal of the excess of the active substance and the formation of the emitting surface of the cathode, while the tungsten powder is pressed in at a working pressure P slave. = 8-15 t / cm 2 into a cup made by turning from a molybdenum rod with an internal height sufficient to form a porous sponge in it with an allowance relative to a given working thickness of the sponge, which grind after removing excess active substance, while the inner height of the cup and the allowance for the sponge are selected from the conditions:
H=hраб.+Δ; Δ≥(0,10-0,15)·hраб.;H = h slave + Δ; Δ≥ (0,10-0,15) · h servant. ;
hраб.≥2 мм,h slave. ≥2 mm
где H - внутренняя высота стакана и толщина сформированной пористой губки;where H is the internal height of the glass and the thickness of the formed porous sponge;
hраб. - рабочая толщина губки;h slave. - working thickness of the sponge;
Δ - припуск губки.Δ is the allowance for the sponge.
Недостатком вышеуказанного способа является неизбежная деформация губки в крупногабаритных катодах в процессе срока службы прибора, вызванная внутренней собирательной рекристаллизацией вольфрамового порошка при рабочей температуре катода, которая приводит к уменьшению зерен и увеличению диффузионной активности, и спекаемостью вольфрамового порошка в губке, вызывающей ее усадку, и таким образом, потерю исходных геометрических размеров.The disadvantage of the above method is the inevitable deformation of the sponge in large cathodes during the life of the device, caused by internal collective recrystallization of tungsten powder at the working temperature of the cathode, which leads to a decrease in grains and an increase in diffusion activity, and sintering of tungsten powder in the sponge, causing it to shrink, and such Thus, the loss of the original geometric dimensions.
Таким образом, данный способ не пригоден для изготовления крупногабаритных металлопористых катодов с вольфрамовыми губками большого объема (5 см3 и более). Для получения катодов большого размера со сложной формой эмитирующей поверхности (например, диаметр катода 3 см и радиус сферы 2 см) требуется получение губок, обладающих повышенной формоустойчивостью.Thus, this method is not suitable for the manufacture of large metal-porous cathodes with large volume tungsten sponges (5 cm 3 or more). To obtain large-sized cathodes with a complex shape of the emitting surface (for example, a cathode diameter of 3 cm and a sphere radius of 2 cm), it is necessary to obtain sponges with increased shape stability.
Техническим результатом предлагаемого изобретения является обеспечение возможности изготовления крупногабаритных катодов со сложной формой эмитирующей поверхности, обеспечивающих в течение всего срока службы электровакуумного прибора (не менее 10000 часов), создание ламинарного электронного потока с минимальными пульсациями. Изготовленные посредством предлагаемого способа катоды позволяют получить стабильно высокие характеристики электронно-оптической системы электровакуумного прибора, а именно:The technical result of the invention is the provision of the possibility of manufacturing large-sized cathodes with a complex shape of the emitting surface, which ensure the creation of a laminar electron flow with minimal ripple during the entire life of the electrovacuum device (at least 10,000 hours). The cathodes made by the proposed method make it possible to obtain stably high characteristics of the electron-optical system of the electrovacuum device, namely:
- минимально допустимое оседание электронов в пролетном канале;- the minimum allowable deposition of electrons in the passage channel;
- отсутствие локального перегрева коллектора;- lack of local overheating of the collector;
- отсутствие возвратных ионов и электронов.- lack of return ions and electrons.
Технический результат достигается тем, что предлагается способ изготовления металлопористого катода, включающий запрессовку вольфрамового порошка при давлении P=8-15 т/см2 в стакан, выполненный точением из молибденового прутка, с внутренней высотой, достаточной для формирования в нем пористой губки, которую пропитывают активным веществом при температуре t=1700-1800°C в среде водорода, после чего удаляют избыток активного вещества, стачивают припуск и формируют эмитирующую поверхность, при этом перед запрессовкой в вольфрамовый порошок вводят примесь нанопорошка аморфного ультрадисперсного оксида кремния SiO2 в количестве 0,01-0,08% от веса вольфрамового порошка и затем отжигают полученную смесь в среде водорода при температуре t=1600-1800°C в течение 5-30 минут.The technical result is achieved by the fact that a method for manufacturing a metal-porous cathode is proposed, comprising pressing a tungsten powder at a pressure of P = 8-15 t / cm 2 into a glass made by turning from a molybdenum rod with an internal height sufficient to form a porous sponge which is impregnated the active substance at a temperature of t = 1700-1800 ° C in a hydrogen medium, after which the excess of the active substance is removed, the allowance is ground off and an emitting surface is formed, while introducing into the tungsten powder t is an admixture of amorphous ultrafine silicon oxide SiO 2 nanopowder in an amount of 0.01-0.08% by weight of tungsten powder and then the resulting mixture is annealed in hydrogen at a temperature of t = 1600-1800 ° C for 5-30 minutes.
В предлагаемом изобретении перед запрессовкой может дополнительно вводиться примесь нанопорошков аморфного ультрадисперсного оксида алюминия Al2O3 и аморфного ультрадисперсного оксида кальция CaO, каждого в количестве 0,001-0,01% от веса вольфрамового порошка.In the present invention, before pressing in, an admixture of nanopowders of amorphous ultrafine aluminum oxide Al 2 O 3 and amorphous ultrafine calcium oxide CaO, each in an amount of 0.001-0.01% by weight of tungsten powder, can be added.
В предлагаемом изобретении для получения формоустойчивого, долговечного, эффективного крупногабаритного прессованно-пропитанного металлопористого катода со сложной формой эмитирующей поверхности, например сферической, требуется во внутреннем объеме герметичного корпуса в виде стакана создать пористую губку размером, достаточным как для формирования рабочей эмитирующей поверхности, так и для обеспечения большого запаса активного вещества, а следовательно, и большего срока службы катода. При этом соединение губки с корпусом должно быть монолитным без отслоений, трещин и сколов.In the present invention, in order to obtain a form-stable, durable, efficient large-sized pressed-impregnated metal-porous cathode with a complex shape of the emitting surface, for example a spherical one, it is required to create a porous sponge in the inner volume of the sealed housing in the form of a glass, sufficient to form both the working emitting surface and providing a large supply of active substance, and hence a longer cathode life. At the same time, the junction of the sponge with the body should be monolithic without delamination, cracks and chips.
Известно, что для изготовления губок металлопористых катодов служат порошки вольфрама марок ВЧ (вольфрам чистый) или ВЧДК (вольфрам чистый для катодов), однако интенсивное укрупнение зерен вольфрама ВЧ, которое происходит при пропитке губки активным веществом вызывает ее усадку, и как следствие, происходит отслоение губки от боковой стенки корпуса и изменение геометрии сферы. Известным способом уменьшения усадки является использование вольфрамового порошка с более крупным размером зерна, который обладает меньшей спекаемостью.It is known that for the manufacture of sponges of metal-porous cathodes, HF (tungsten pure) or VChDK (tungsten pure for cathodes) powders are used, however, the intensive enlargement of HF tungsten grains, which occurs when the sponge is impregnated with an active substance, causes it to shrink, and as a result, delamination occurs sponges from the side wall of the body and changing the geometry of the sphere. A known method of reducing shrinkage is the use of tungsten powder with a larger grain size, which has less sintering.
Для укрупнения зерен вольфрамовый порошок отжигают. Опытным путем установлено, что отжиг вольфрамового порошка приводит к укрупнению его зернового состава без образования монолитных конгломератов при температуре отжига не более 1200°C. При более высокой температуре отжига происходит интенсивное укрупнение кристаллов вольфрама, приводящее к образованию монолитных конгломератов, что недопустимо для получения качественной пористой губки, так как возникают условия, при которых пропитка затруднена по причине того, что губка, образованная из такого вольфрама имеет неоднородную структуру.To enlarge the grains, the tungsten powder is annealed. It has been experimentally established that annealing of tungsten powder leads to enlargement of its grain composition without the formation of monolithic conglomerates at an annealing temperature of not more than 1200 ° C. At a higher annealing temperature, intense coarsening of tungsten crystals occurs, leading to the formation of monolithic conglomerates, which is unacceptable to obtain a high-quality porous sponge, since conditions arise in which impregnation is difficult due to the fact that the sponge formed from such tungsten has an inhomogeneous structure.
В то же время использование вольфрамового порошка, отожженного при температуре 1200°C для изготовления катодов с крупногабаритными губками, образованными запрессовкой при давлении 8-15 т/см2 в корпус, не обеспечивает монолитного соединения губки и корпуса, так как сила отрыва губки от корпуса, возникающая при ее усадке в процессе пропитки превышает прочность их диффузионного соединения.At the same time, the use of tungsten powder annealed at a temperature of 1200 ° C for the manufacture of cathodes with large jaws formed by pressing at a pressure of 8-15 t / cm 2 into the housing does not provide a monolithic connection between the sponge and the housing, since the force of separation of the sponge from the housing that occurs during its shrinkage during the impregnation process exceeds the strength of their diffusion compound.
Для полного исключения усадки сформованной в объеме корпуса пористой вольфрамовой губки при пропитке ее активным веществом необходимо исходный вольфрамовый порошок отжигать при температуре, близкой к температуре плавления активного вещества без изменения его зернового состава.To completely eliminate the shrinkage of the porous tungsten sponge formed in the body volume when it is impregnated with the active substance, it is necessary to anneal the initial tungsten powder at a temperature close to the melting temperature of the active substance without changing its grain composition.
Известно, что спекаемость вольфрамовых порошков, содержащих нерастворимые в вольфраме примеси кремния, алюминия, кальция значительно ниже, чем у вольфрамового порошка ВЧ. Известно, что вольфрамовые порошки с данными примесями применяются при изготовлении формоустойчивой вольфрамовой проволоки, при этом введение примесей осуществляется за счет пропитки вольфрамовой кислоты или вольфрамового ангидрида присадками, содержащими SiO2, Al2O3, CaO перед прокаливанием полученного состава в водороде до восстановления металлического вольфрама.It is known that the sintering ability of tungsten powders containing impurities of silicon, aluminum, and calcium insoluble in tungsten is much lower than that of high-frequency tungsten powder. It is known that tungsten powders with these impurities are used in the manufacture of form-resistant tungsten wire, while impurities are introduced by impregnating tungsten acid or tungsten anhydride with additives containing SiO 2 , Al 2 O 3 , CaO before calcining the resulting composition in hydrogen to restore metallic tungsten .
Температура спекаемости вольфрамовых порошков с примесями Si, Al, Ca выше более, чем на 400°C, по сравнению с порошками ВЧ, что позволяет отжигать данные порошки без образования монолитных конгломератов при температуре 1600÷1800°C.The sintering temperature of tungsten powders with impurities of Si, Al, Ca is more than 400 ° C higher than that of HF powders, which makes it possible to anneal these powders without the formation of monolithic conglomerates at a temperature of 1600 ÷ 1800 ° C.
Таким образом, если очень тонко и равномерно разместить нерастворимые в вольфраме примеси на границах зерен вольфрамового порошка ВЧ, то температурная собирательная рекристаллизация порошка будет достаточно высокой, что позволит пропитывать губки, изготовленные из данных порошков, без их усадки.Thus, if the impurities insoluble in tungsten are placed very finely and evenly at the grain boundaries of the HF tungsten powder, then the temperature collective recrystallization of the powder will be sufficiently high, which will allow the sponges made from these powders to be impregnated without shrinkage.
В предлагаемом изобретении примеси вводятся непосредственно в порошок вольфрама ВЧ в виде нанопорошков аморфных ультрадисперсных SiO2, Al2O3, CaO в количествах: CaO, Al2O3 по 0,001÷0,01% вес, SiO2 0,01÷0,08% вес путем тщательного перемешивания в шаровых мельницах и последующего отжига в водороде при температуре 1600-1800°C в течение 5-30 мин.In the present invention, impurities are introduced directly into the HF tungsten powder in the form of amorphous ultrafine SiO 2 , Al 2 O 3 , CaO nanopowders in amounts: CaO, Al 2 O 3 at 0.001 ÷ 0.01% weight, SiO 2 0.01 ÷ 0, 08% weight by thorough mixing in ball mills and subsequent annealing in hydrogen at a temperature of 1600-1800 ° C for 5-30 minutes.
В соответствии с предлагаемым изобретением был изготовлен ряд образцов катодов с прессованными губками, состоящими из вольфрамового порошка ВЧ с примесями Ca, Al, Si.In accordance with the invention, a series of samples of cathodes with extruded sponges, consisting of rf tungsten powder with impurities Ca, Al, Si, were manufactured.
При изготовлении экспериментальных образцов примеси вводились в вольфрамовый порошок ВЧ в виде окислов, количество которых составило: SiO2(0,01-0,08)%, Al2O3(0,01)%, CaO(0,01)%. Температура отжига вольфрамового порошка с введенными примесями была в пределах 1600-1800°C, а время отжига составило 5-30 мин. Отожженный и просеянный вольфрамовый порошок с примесями запрессовывался в молибденовые корпуса при давлении 8-15 т/см2.In the manufacture of experimental samples, impurities were introduced into the rf tungsten powder in the form of oxides, the amount of which was: SiO 2 (0.01-0.08)%, Al 2 O 3 (0.01)%, CaO (0.01)%. The annealing temperature of tungsten powder with impurities introduced was in the range of 1600–1800 ° C, and the annealing time was 5–30 min. Annealed and sifted tungsten powder with impurities was pressed into molybdenum bodies at a pressure of 8-15 t / cm 2 .
Данные сведены в таблицу.The data are tabulated.
В таблице указано: количество введенных в вольфрамовый порошок примесей; температура и время отжига вольфрамового порошка ВЧ с примесями; давление запрессовки полученного вольфрамового порошка в молибденовый корпус; плотность образованной губки.The table shows: the amount of impurities introduced into the tungsten powder; temperature and time of annealing of tungsten powder with impurities; pressing pressure of the obtained tungsten powder into the molybdenum body; density of the formed sponge.
Исследование образцов показало, что изготовленный таким способом вольфрамовый порошок имеет повышенную формоустойчивость и меньшую спекаемость. При этом увеличение вводимой примеси позволяет повысить температуру отжига вольфрамового порошка без изменения его зернового состава. Однако сильное увеличение количества вводимой примеси ухудшает его пластичность, таким образом для формирования пористой губки требуется большее давление прессования.The study of the samples showed that the tungsten powder made in this way has increased form stability and less sintering. In this case, an increase in the introduced impurity makes it possible to increase the annealing temperature of the tungsten powder without changing its grain composition. However, a strong increase in the amount of impurity introduced impairs its ductility, therefore, a higher pressing pressure is required to form a porous sponge.
При изготовлении экспериментальных образцов катодов для каждого варианта было установлено оптимальное количество вводимых в вольфрамовый порошок ВЧ окислов, выбраны минимально и максимально возможные температура и время отжига, а также определено необходимое давление запрессовки.In the preparation of experimental cathode samples for each option, the optimal amount of RF oxides introduced into the tungsten powder was established, the minimum and maximum possible temperature and annealing time were selected, and the necessary pressing pressure was determined.
При испытании установлено, что для достижения повышенной формоустойчивости вольфрамового порошка достаточно ввести только примесь SiO2, что значительно упрощает данный технологический процесс.During the test it was found that in order to achieve increased shape stability of the tungsten powder, it is sufficient to introduce only an admixture of SiO 2 , which greatly simplifies this process.
Таким образом, при использовании предлагаемого изобретения, в отличие от прототипа, могут быть получены крупногабаритные катоды со сложной формой эмитирующей поверхности, обеспечивающие высокие технические и эксплуатационные характеристики электровакуумных приборов, в составе которых они используются, в течение всего срока их службы.Thus, when using the present invention, in contrast to the prototype, large-sized cathodes with a complex shape of the emitting surface can be obtained, providing high technical and operational characteristics of the electrovacuum devices in which they are used throughout their entire service life.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013145660/07A RU2527938C1 (en) | 2013-10-11 | 2013-10-11 | Method of making dispenser cathode |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013145660/07A RU2527938C1 (en) | 2013-10-11 | 2013-10-11 | Method of making dispenser cathode |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2527938C1 true RU2527938C1 (en) | 2014-09-10 |
Family
ID=51540180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013145660/07A RU2527938C1 (en) | 2013-10-11 | 2013-10-11 | Method of making dispenser cathode |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2527938C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2583161C1 (en) * | 2014-12-30 | 2016-05-10 | Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Исток" имени А.И. Шокина" (АО "НПП "Исток" им. Шокина") | Method for producing metal porous cathode |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0355739A (en) * | 1989-07-21 | 1991-03-11 | Nec Kansai Ltd | Manufacture of impregnated type cathode |
| JPH06196089A (en) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Nec Kansai Ltd | Impregnated type cathode pellet and it manufacture |
| RU2064204C1 (en) * | 1994-05-16 | 1996-07-20 | Резнев Владимир Алексеевич | Porous-metal cathode manufacturing process |
| RU2338291C1 (en) * | 2007-05-14 | 2008-11-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП "НПП "Исток") | Method of dispenser cathode manufacture |
| RU2459305C1 (en) * | 2011-03-16 | 2012-08-20 | Георгий Владиславович Сахаджи | Dispenser cathode and method of its manufacturing |
-
2013
- 2013-10-11 RU RU2013145660/07A patent/RU2527938C1/en active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0355739A (en) * | 1989-07-21 | 1991-03-11 | Nec Kansai Ltd | Manufacture of impregnated type cathode |
| JPH06196089A (en) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Nec Kansai Ltd | Impregnated type cathode pellet and it manufacture |
| RU2064204C1 (en) * | 1994-05-16 | 1996-07-20 | Резнев Владимир Алексеевич | Porous-metal cathode manufacturing process |
| RU2338291C1 (en) * | 2007-05-14 | 2008-11-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП "НПП "Исток") | Method of dispenser cathode manufacture |
| RU2459305C1 (en) * | 2011-03-16 | 2012-08-20 | Георгий Владиславович Сахаджи | Dispenser cathode and method of its manufacturing |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| . * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2583161C1 (en) * | 2014-12-30 | 2016-05-10 | Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Исток" имени А.И. Шокина" (АО "НПП "Исток" им. Шокина") | Method for producing metal porous cathode |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108495829B (en) | Ceramic material and electrostatic chuck device | |
| JP3457495B2 (en) | Aluminum nitride sintered body, metal buried product, electronic functional material and electrostatic chuck | |
| KR101689054B1 (en) | Alumina sintered body, member including the same, and semiconductor manufacturing apparatus | |
| CN107223289B (en) | Method of forming an electrolyte | |
| KR101644000B1 (en) | Electrostatic chuck | |
| TWI511831B (en) | Electrostatic sucker | |
| JPWO2005073418A1 (en) | Tungsten-based sintered body and manufacturing method thereof | |
| JP6496092B1 (en) | Aluminum nitride sintered body and semiconductor holding device | |
| WO2014048063A1 (en) | Process for thermally treating tantalum powder for capacitor with heat source | |
| US20200407279A1 (en) | Composite sintered body, semiconductor manufacturing apparatus member, and method of manufacturing composite sintered body | |
| CN112219273A (en) | Electrostatic chuck and method of manufacturing the same | |
| RU2527938C1 (en) | Method of making dispenser cathode | |
| US11355377B2 (en) | Electrostatic chuck | |
| EP2837610A1 (en) | Li-CONTAINING PHOSPHORIC-ACID COMPOUND SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET, AND METHOD FOR MANUFACTURING SAID LI-CONTAINING PHOSPHORIC-ACID COMPOUND SINTERED BODY | |
| CN107338472B (en) | The preparation method of new oxide semiconductor polycrystal block | |
| CN111161932B (en) | Lightning-protection annular zinc oxide resistance card for power distribution network and preparation method thereof | |
| US20130149530A1 (en) | Aluminum nitride substrate for circuit board and production method thereof | |
| JP4237993B2 (en) | Discharge electrode member and ozone generator using the same | |
| JP2014220177A (en) | Method for manufacturing lithium ion conductive solid electrolyte | |
| EP2980044A1 (en) | Dielectric porcelain composition and composite ceramic structural body | |
| JP2005532246A (en) | Aluminum oxide ceramic components and methods | |
| CN105283579B (en) | Sputtering target and method for producing thin film using same | |
| JP7543234B2 (en) | Alumina ceramics and method for producing alumina ceramics | |
| CN113770356B (en) | Processing method and system for preparing metal single element two-dimensional topological material | |
| Sene et al. | Synthesis and characterization of high purity barium calcium aluminates for TWT impregnated cathodes |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PC43 | Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions |
Effective date: 20160331 |