RU2497680C1 - METHOD OF PRODUCING SiO2-ZrO2-P2 O5-CaO-BASED COATING - Google Patents

METHOD OF PRODUCING SiO2-ZrO2-P2 O5-CaO-BASED COATING Download PDF

Info

Publication number
RU2497680C1
RU2497680C1 RU2012118468/05A RU2012118468A RU2497680C1 RU 2497680 C1 RU2497680 C1 RU 2497680C1 RU 2012118468/05 A RU2012118468/05 A RU 2012118468/05A RU 2012118468 A RU2012118468 A RU 2012118468A RU 2497680 C1 RU2497680 C1 RU 2497680C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
film
layer
por
forming solution
ethyl alcohol
Prior art date
Application number
RU2012118468/05A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Людмила Павловна Борило
Лариса Николаевна Спивакова
Татьяна Алексеевна Каминская
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет"
Priority to RU2012118468/05A priority Critical patent/RU2497680C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2497680C1 publication Critical patent/RU2497680C1/en

Links

Landscapes

  • Paints Or Removers (AREA)

Abstract

FIELD: process engineering.
SUBSTANCE: invention relates to thin-film glass-ceramic coatings used in science of materials and medicine. Proposed method comprises preparing film-forming solution, applying first layer of said solution of silicon substrate, second said layer and, once more, said first layer. Every said layer applied, stepwise thermal treatment is performed at 60°C for 30 min and, then, stabilisation annealing is performed at 700°C for 1 h. Composition of said first film-forming solution includes zirconium oxochloride and 96 wt % of ethyl alcohol. Composition of second film-forming solution includes tetra ethoxysilane, calcium chloride, orthophosphoric acid and 96 wt % of ethyl alcohol.
EFFECT: stable coat with high refractive index and thickness over 100 nm.
3 cl, 3 ex

Description

Изобретение относится к тонкопленочным стеклокерамическим покрытиям, широко применяемым в материаловедении и медицинском материаловедении, в частности.The invention relates to thin-film glass-ceramic coatings, widely used in materials science and medical materials science, in particular.

Известно многослойное защитное покрытие, содержащее металлический слой-основу, адгезионный слой и защитный слой (Патент РФ 2285749, опубл. 20.10.2006, C23C 28/00). Защитный слой выполнен из двух внутреннего и наружного подслоев, каждый из которых имеет композиционную структуру и содержит керамическую матрицу и наполнитель, при этом матрица внутреннего подслоя выполнена в виде жесткого каркаса, в порах которого расположен наполнитель, а матрица наружного подслоя - в виде твердых частиц, не имеющих жесткого сцепления друг с другом, расположенных в слое наполнителя.A multilayer protective coating is known containing a metal base layer, an adhesive layer and a protective layer (RF Patent 2285749, publ. 10/20/2006, C23C 28/00). The protective layer is made of two inner and outer sublayers, each of which has a composite structure and contains a ceramic matrix and a filler, while the matrix of the inner sublayer is made in the form of a rigid frame, in the pores of which there is a filler, and the matrix of the outer sublayer is in the form of solid particles, not having rigid adhesion to each other, located in the filler layer.

Недостатками известного способа является сложность получения покрытий на различных подложках, вследствие использования матрицы в виде жесткого каркаса и наполнителя, что не всегда возможно осуществить на неровных поверхностей в т.ч. на различных деталях, формах.The disadvantages of this method is the difficulty of obtaining coatings on various substrates, due to the use of a matrix in the form of a rigid frame and a filler, which is not always possible to implement on uneven surfaces, including on various details, forms.

Известен способ получения мезопористых смешанных оксидов ZrO2-SiO2 (статья В.Н. Витер. «Золь-гель синтез мезопористых смешанных оксидов ZrO2-SiO2» // Журнал прикладная химия, - 2010, Т.83, Вып.2. С.198-202) золь-гель методом с использованием оксохлорида циркония ZrOCl2·8H2O и тетраэтилортосиликата Si(OEt)4 в водно-этанольной среде в присутствии азотной кислоты. Расчетное количество ZrOCl2·8H2O растворяли в воде, добавляли этиловый спирт, Si(OEt)4 и HNO3. Смесь нагревали на водяной бане при 60°C в течение 1-3 ч, полученные гели высушивали и отжигали до получения оксидов. Недостатком известного способа является получение мезопористых оксидных систем только в виде порошков ксерогелей, что ограничивает область их практического использования.A known method of producing mesoporous mixed oxides ZrO 2 -SiO 2 (article VN Viter. "Sol-gel synthesis of mesoporous mixed oxides ZrO 2 -SiO 2 " // Journal of applied chemistry, - 2010, T.83, Issue 2. S.198-202) sol-gel method using zirconium oxochloride ZrOCl 2 · 8H 2 O and tetraethylorthosilicate Si (OEt) 4 in an aqueous ethanol medium in the presence of nitric acid. The calculated amount of ZrOCl 2 · 8H 2 O was dissolved in water, ethyl alcohol, Si (OEt) 4 and HNO 3 were added. The mixture was heated in a water bath at 60 ° C for 1-3 hours, the obtained gels were dried and annealed to obtain oxides. The disadvantage of this method is to obtain mesoporous oxide systems only in the form of xerogel powders, which limits the scope of their practical use.

Известен способ получения стеклокерамического тонкопленочного материала по золь-гель-технологии с использованием пленкообразующих растворов, позволяющий наносить пленкообразующий раствор методом центрифугирования и вытягивания на различные поверхности и получать пленки с хорошими физико-химическими и целевыми свойствами (статья Т.С. Петровской, Л.П. Борило. «Получение структурированных пленок на основе систем SiO2-P2O5-CaO-(Na2O) // Журнал Стекло и керамика, 2012, №1, с.25-29), выбранный в качестве прототипа.A known method for producing glass-ceramic thin-film material by sol-gel technology using film-forming solutions, allowing to apply a film-forming solution by centrifugation and drawing on various surfaces and to obtain films with good physicochemical and target properties (article T.S. Petrovskaya, L.P. Borilo. "Obtaining structured films based on SiO 2 -P 2 O 5 -CaO- (Na 2 O) systems // Glass and Ceramics, 2012, No. 1, p.25-29), selected as a prototype.

Способ получения включает приготовление пленкообразующего раствора на основе тетраэтоксисилана (ТЭОС), ортофосфорной кислоты, хлоридов кальция и натрия, с последующем нанесением раствора методом центрифугирования или вытягивания на поверхность подложки и термообработкой в два этапа: при температуре 60°C (1 ч) и 600-800°C (30 мин). Получение пленок из растворов основано на способности исходных веществ вступать в реакции гидролитической поликонденсации и образовывать коллоидные растворы, причем критерием пленкообразующей способности служит вязкость растворов, при этом критическое значение вязкости для получения качественных пленок определено как 5·10-3 Па·с. Недостатком известного способа являются ограниченные возможности пленкообразующего раствора по их вязкости для получения качественных пленок.The production method involves the preparation of a film-forming solution based on tetraethoxysilane (TEOS), phosphoric acid, calcium and sodium chlorides, followed by applying the solution by centrifugation or drawing on the surface of the substrate and heat treatment in two stages: at a temperature of 60 ° C (1 h) and 600- 800 ° C (30 min). The preparation of films from solutions is based on the ability of the starting materials to undergo hydrolytic polycondensation reactions and form colloidal solutions, and the viscosity of solutions serves as a criterion for the film-forming ability, while the critical viscosity for obtaining high-quality films is defined as 5 · 10 -3 Pa · s. The disadvantage of this method is the limited ability of the film-forming solution for their viscosity to obtain high-quality films.

Задачей настоящего изобретения является разработка способа получения многослойного покрытия на основе SiO2-ZrO2-P2O5-CaO, позволяющий получать, стабильные по времени покрытия, с высокими значениями показателя преломления и толщиной более 100 нм.The objective of the present invention is to develop a method for producing a multilayer coating based on SiO 2 -ZrO 2 -P 2 O 5 -CaO, which allows to obtain time-stable coatings with high refractive index and a thickness of more than 100 nm.

Поставленная задача решается тем, что способ получения многослойного покрытия на основе SiO2-ZrO2-P2O5-CaO включает приготовление пленкообразующего раствора с дальнейшим последовательным нанесением этого раствора на поверхность подложки и ступенчатую термообработку в отличие от прототипа используют два пленкообразующих раствора (ПОР), для первого слоя используют ПОР, который образует диоксид циркония, на который наносят второй ПОР, формирующий силикофосфатный слой, затем повторно наносят первый пленкообразующий раствор, после нанесения каждого слоя проводят ступенчатую термообработку при температуре 60°С в течение 30 мин и затем стабилизационный отжиг при температуре 700°С в течение 1 часа.The problem is solved in that the method of obtaining a multilayer coating based on SiO 2 -ZrO 2 -P 2 O 5 -CaO involves the preparation of a film-forming solution with subsequent sequential application of this solution to the surface of the substrate and stepwise heat treatment, in contrast to the prototype, two film-forming solutions (POR ), for the first layer, POR is used, which forms zirconia, on which a second POR is applied, forming a silicophosphate layer, then the first film-forming solution is re-applied, after application I of each layer carry out stepwise heat treatment at a temperature of 60 ° C for 30 minutes and then stabilization annealing at a temperature of 700 ° C for 1 hour.

Компоненты для первого ПОР используют при следующем соотношении компонентов, масс.%:The components for the first POR are used in the following ratio of components, wt.%:

Оксохлорид циркония - 5,4Zirconium oxochloride - 5.4

96 масс.% этиловый спирт - остальное96 wt.% Ethyl alcohol - the rest

Компоненты для второго ПОР используют при следующем соотношении компонентов, масс.%:The components for the second POR are used in the following ratio of components, wt.%:

Тетраэтоксисилан - 2,4-5,8Tetraethoxysilane - 2.4-5.8

Хлорид кальция - 2,6-8,4Calcium Chloride - 2.6-8.4

Ортофосфорная кислота - 0,5Phosphoric acid - 0.5

96 масс.% этиловый спирт - остальное96 wt.% Ethyl alcohol - the rest

Примеры конкретного осуществления изобретения приведены ниже.Examples of specific embodiments of the invention are given below.

Пример 1.Example 1

Для приготовления 100 мл первого пленкообразующего раствора необходимо взять 5,4 г оксохлорида циркония ZrOCl2·8H2O и растворить его в 70 мл 96 масс.% этилового спирта, затем довести до объема 100 мл этиловым спиртом. Для приготовления 100 мл второго пленкообразующего раствора необходимо взять 2,6 г хлорида кальция и растворить его в 90 мл 96 масс.% этилового спирта, добавить 2,6 мл тетраэтоксисилан с плотностью 0,94 г/см3, затем добавить 0,3 мл фосфорной кислоты с плотностью 1,685 г/см3 и довести до объема 100 мл этиловым спиртом. После созревания растворов в течение 24 часов на кремневую подложку методом центрифугирования наносят первый раствор и подвергают термообработке при температурах 60°C в течение 30 мин, затем наносят новый слой из второго пленкообразующего раствора и подвергают термообработке при температурах 60°C в течение 30 мин, затем наносят еще один слой из первого пленкообразующего раствора и подвергают ступенчатой термообработке при температурах 60°C в течение 30 мин и при температурах 700°С в течение 1 часа, при этом получается покрытие состава SiO2-ZrO2-P2O5-CaO толщиной 154 нм и показателем преломления 1,59.To prepare 100 ml of the first film-forming solution, it is necessary to take 5.4 g of zirconium oxochloride ZrOCl 2 · 8H 2 O and dissolve it in 70 ml of 96 wt.% Ethanol, then bring it to a volume of 100 ml with ethanol. To prepare 100 ml of the second film-forming solution, it is necessary to take 2.6 g of calcium chloride and dissolve it in 90 ml of 96 wt.% Ethanol, add 2.6 ml of tetraethoxysilane with a density of 0.94 g / cm 3 , then add 0.3 ml phosphoric acid with a density of 1.685 g / cm 3 and bring to a volume of 100 ml with ethyl alcohol. After the solutions have matured for 24 hours, the first solution is applied by centrifugation on a silicon substrate and subjected to heat treatment at 60 ° C for 30 minutes, then a new layer of the second film-forming solution is applied and subjected to heat treatment at 60 ° C for 30 minutes, then another layer is applied from the first film-forming solution and subjected to stepwise heat treatment at temperatures of 60 ° C for 30 minutes and at temperatures of 700 ° C for 1 hour, and a coating of the composition SiO 2 -ZrO 2 -P 2 is obtained O 5 -CaO with a thickness of 154 nm and a refractive index of 1.59.

Пример 2.Example 2

Для приготовления 100 мл первого пленкообразующего раствора необходимо взять 5,4 г оксохлорида циркония ZrOCl2-8H2O и растворить его в 70 мл 96 масс.% этилового спирта, затем довести до объема 100 мл этиловым спиртом. Для приготовления 100 мл второго пленкообразующего раствора необходимо взять 5,6 г хлорида кальция и растворить его в 90 мл 96 масс.% этилового спирта, затем добавить 4,3 мл тетраэтоксисилан с плотностью 0,94 г/см3, затем добавить 0,3 мл фосфорной кислоты с плотностью 1,685 г/см3 и довести до объема 100 мл этиловым спиртом. После созревания растворов в течение 24 часов на кремневую подложку методом центрифугирования наносят первый раствор и подвергают термообработке при температурах 60°C в течение 30 мин, затем наносят новый слой из второго пленкообразующего раствора и подвергают термообработке при температурах 60°C в течение 30 мин, затем наносят еще один слой из первого пленкообразующего раствора и подвергают ступенчатой термообработке при температурах 60°С в течение 30 мин и при температурах 700°С в течение 1 часа, при этом получается покрытие состава SiO2-ZrO2-P2O5-CaO толщиной 145 нм и показателем преломления 1,62.To prepare 100 ml of the first film-forming solution, it is necessary to take 5.4 g of zirconium oxochloride ZrOCl 2 -8H 2 O and dissolve it in 70 ml of 96 wt.% Ethyl alcohol, then bring to a volume of 100 ml with ethyl alcohol. To prepare 100 ml of the second film-forming solution, it is necessary to take 5.6 g of calcium chloride and dissolve it in 90 ml of 96 wt.% Ethanol, then add 4.3 ml of tetraethoxysilane with a density of 0.94 g / cm 3 , then add 0.3 ml of phosphoric acid with a density of 1.685 g / cm 3 and bring to a volume of 100 ml with ethyl alcohol. After the solutions have matured for 24 hours, the first solution is applied by centrifugation on a silicon substrate and subjected to heat treatment at 60 ° C for 30 minutes, then a new layer of the second film-forming solution is applied and subjected to heat treatment at 60 ° C for 30 minutes, then another layer is applied from the first film-forming solution and is subjected to stepwise heat treatment at temperatures of 60 ° C for 30 minutes and at temperatures of 700 ° C for 1 hour, thereby obtaining a coating of the composition SiO 2 -ZrO 2 -P 2 O 5 -CaO with a thickness of 145 nm and a refractive index of 1.62.

Пример 3.Example 3

Для приготовления 100 мл первого пленкообразующего раствора необходимо взять 5,4 г оксохлорида циркония ZrOCl2·8H2O и растворить его в 70 мл 96 масс.% этилового спирта, затем довести до объема 100 мл этиловым спиртом. Для приготовления 100 мл второго пленкообразующего раствора необходимо взять 8,4 г хлорида кальция и растворить его в 90 мл 96 масс.% этилового спирта, затем добавить 6,2 мл тетраэтоксисилан с плотностью 0,94 г/см3, затем добавить 0,3 мл фосфорной кислоты с плотностью 1,685 г/см и довести до объема 100 мл этиловым спиртом. После созревания растворов в течение 24 часов на кремневую подложку методом центрифугирования наносят первый раствор и подвергают термообработке при температурах 60°C в течение 30 мин, затем наносят новый слой из второго пленкообразующего раствора и подвергают термообработке при температурах 60°C в течение 30 мин, затем наносят еще один слой из первого пленкообразующего растра и подвергают ступенчатой термообработке при температурах 60°C в течение 30 мин и при температурах 700°C в течение 1 часа, при этом получается покрытие состава SiO2-ZrO2-P2O5-CaO толщиной 138 нм и показателем преломления 1,66.To prepare 100 ml of the first film-forming solution, it is necessary to take 5.4 g of zirconium oxochloride ZrOCl 2 · 8H 2 O and dissolve it in 70 ml of 96 wt.% Ethanol, then bring it to a volume of 100 ml with ethanol. To prepare 100 ml of the second film-forming solution, it is necessary to take 8.4 g of calcium chloride and dissolve it in 90 ml of 96 wt.% Ethanol, then add 6.2 ml of tetraethoxysilane with a density of 0.94 g / cm 3 , then add 0.3 ml of phosphoric acid with a density of 1.685 g / cm and bring to a volume of 100 ml with ethyl alcohol. After the solutions have matured for 24 hours, the first solution is applied by centrifugation on a silicon substrate and subjected to heat treatment at 60 ° C for 30 minutes, then a new layer of the second film-forming solution is applied and subjected to heat treatment at 60 ° C for 30 minutes, then one more layer is applied from the first film-forming raster and subjected to stepwise heat treatment at temperatures of 60 ° C for 30 minutes and at temperatures of 700 ° C for 1 hour, thereby obtaining a coating of the composition SiO 2 -ZrO 2 -P 2 O 5 - 138 nm thick CaO and a refractive index of 1.66.

Claims (3)

1. Способ получения многослойного покрытия на основе SiO2-ZrO2-P2O5-CaO, включающий приготовление пленкообразующего раствора с дальнейшим последовательным нанесением этого раствора на поверхность кремниевой подложки и ступенчатую термообработку, отличающийся тем, что используют два пленкообразующих раствора (ПОР), наносят последовательно первый слой ПОР, затем второй слой ПОР, затем повторно наносят первый слой ПОР, после нанесения каждого слоя проводят ступенчатую термообработку при температуре 60°C в течение 30 мин и затем стабилизационный отжиг при температуре 700°C в течение 1 ч.1. A method of obtaining a multilayer coating based on SiO 2 -ZrO 2 -P 2 O 5 -CaO, comprising preparing a film-forming solution with subsequent sequential application of this solution on the surface of a silicon substrate and stepwise heat treatment, characterized in that two film-forming solutions (POR) are used the first layer of POR is applied sequentially, then the second layer of POR, then the first layer of POR is re-applied, after applying each layer, a stepwise heat treatment is carried out at a temperature of 60 ° C for 30 min and then stabilization Annealing at 700 ° C for 1 h. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что компоненты для первого ПОР используют при следующем соотношении компонентов, мас.%:
Оксохлорид циркония 5,4 96%-ный Этиловый спирт Остальное
2. The method according to claim 1, characterized in that the components for the first POR are used in the following ratio of components, wt.%:
Zirconium oxochloride 5,4 96% Ethyl Alcohol Rest
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что компоненты для второго ПОР используют при следующем соотношении компонентов, мас.%:
Тетраэтоксисилан 2,4-5,8 Хлорид кальция 2,6-8,4 Ортофосфорная кислота 0,5 96%-ный Этиловый спирт Остальное
3. The method according to claim 1, characterized in that the components for the second POR are used in the following ratio of components, wt.%:
Tetraethoxysilane 2.4-5.8 Calcium chloride 2.6-8.4 Orthophosphoric acid 0.5 96% Ethyl Alcohol Rest
RU2012118468/05A 2012-05-03 2012-05-03 METHOD OF PRODUCING SiO2-ZrO2-P2 O5-CaO-BASED COATING RU2497680C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012118468/05A RU2497680C1 (en) 2012-05-03 2012-05-03 METHOD OF PRODUCING SiO2-ZrO2-P2 O5-CaO-BASED COATING

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012118468/05A RU2497680C1 (en) 2012-05-03 2012-05-03 METHOD OF PRODUCING SiO2-ZrO2-P2 O5-CaO-BASED COATING

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2497680C1 true RU2497680C1 (en) 2013-11-10

Family

ID=49683007

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012118468/05A RU2497680C1 (en) 2012-05-03 2012-05-03 METHOD OF PRODUCING SiO2-ZrO2-P2 O5-CaO-BASED COATING

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2497680C1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2599294C1 (en) * 2015-05-19 2016-10-10 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (ТГУ, НИ ТГУ) Method of producing thin-film coating
RU2632835C1 (en) * 2016-10-27 2017-10-10 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (ТГУ, НИ ТГУ) Method of producing thin-film coating based on complex oxide systems

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2081070C1 (en) * 1995-07-18 1997-06-10 Химический факультет МГУ им.М.В.Ломоносова Glass-ceramic dielectric coating for low-carbon steels
RU2285749C2 (en) * 2004-10-26 2006-10-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственный заказчик - Федеральное агентство по атомной энергии Multi-layer protective coat
RU2343118C1 (en) * 2007-04-23 2009-01-10 Государственное образовательное учреждение Высшего профессионального образования "Томский государственный университет" Composition for obtaining thin film based on system of double zirconium and germanium oxides

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2081070C1 (en) * 1995-07-18 1997-06-10 Химический факультет МГУ им.М.В.Ломоносова Glass-ceramic dielectric coating for low-carbon steels
RU2285749C2 (en) * 2004-10-26 2006-10-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственный заказчик - Федеральное агентство по атомной энергии Multi-layer protective coat
RU2343118C1 (en) * 2007-04-23 2009-01-10 Государственное образовательное учреждение Высшего профессионального образования "Томский государственный университет" Composition for obtaining thin film based on system of double zirconium and germanium oxides

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ВИТЕР B.H. Золь-гель-синтез мезопористых смешенных оксидов ZrO 2 -SiO 2 // Журнал прикладной химии. т.83, вып.2. - 2010, с.198-202. *
ПЕТРОВСКАЯ Т.С., БОРИЛО Л.П. Получение структурированных пленок на основе систем SiO 2 -ZrO 2 -P 2 O 5 -CaO // Стекло и керамика. - 2012, N1, с.25-29. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2599294C1 (en) * 2015-05-19 2016-10-10 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (ТГУ, НИ ТГУ) Method of producing thin-film coating
RU2632835C1 (en) * 2016-10-27 2017-10-10 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (ТГУ, НИ ТГУ) Method of producing thin-film coating based on complex oxide systems

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5437662B2 (en) Antireflection film and method for forming the same
Ben-Nissan et al. Sol-gel production of bioactive nanocoatings for medical applications. Part 1: an introduction
JPS59169942A (en) Method of cladding substrate with glassy film
JP4989219B2 (en) Infrared cut glass and manufacturing method thereof
CA2279908C (en) Method for preparing a multilayer optic material with cross-linking/densification by exposure to ultraviolet rays and optic material so prepared
RU2497680C1 (en) METHOD OF PRODUCING SiO2-ZrO2-P2 O5-CaO-BASED COATING
JPH021778A (en) Coating liquid for forming oxide coating film and production of oxide coating film
ES2784138T3 (en) Use of glass-ceramic with a mixed quartz crystalline phase as dental material
Cop et al. In-plane stress development in mesoporous thin films
ES2603196T3 (en) Transparent substrate coated with a stack of mineral layers that includes a porous coating
RU2599294C1 (en) Method of producing thin-film coating
JPS61250032A (en) Preparation of silanol origomer liquid
KR101265941B1 (en) Manufacturing method of glaze
Jones Sol‐gel derived glasses for medicine
RU2534258C1 (en) Method of obtaining multi-layered covering
JP2538527B2 (en) Method for producing metal oxide glass film and spherical fine particles
CN105862014B (en) Magnesiumalloy surface modifying organic glass corrosion-inhibiting coating method
Iwashita et al. Water permeation properties of SiO2‐RSiO3/2 (R= methyl, vinyl, phenyl) thin films prepared by the sol‐gel method on nylon‐6 substrate
Dukel’skiĭ et al. Forming protective nanoscale coatings based on Al 2 O 3 (Al 2 O 3–AlF 3) on a glass surface
Anastasescu et al. Loss of phosphorous in silica-phosphate sol-gel films
RU2632835C1 (en) Method of producing thin-film coating based on complex oxide systems
RU2719580C1 (en) Method of producing thin-film materials based on silicon, phosphorus, calcium and magnesium oxides
Zhang et al. Dense, uniform, smooth SiO 2/TiO 2 hard coatings derived from a single precursor source of tetra-n-butyl titanate modified perhydropolysilazane
RU2490074C1 (en) Method of producing high-porous coating on basis of double silicon and nickel oxides
TWI379807B (en)

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20190504