RU2488929C2 - Method of synchronising line of laser diodes - Google Patents

Method of synchronising line of laser diodes Download PDF

Info

Publication number
RU2488929C2
RU2488929C2 RU2011132547/28A RU2011132547A RU2488929C2 RU 2488929 C2 RU2488929 C2 RU 2488929C2 RU 2011132547/28 A RU2011132547/28 A RU 2011132547/28A RU 2011132547 A RU2011132547 A RU 2011132547A RU 2488929 C2 RU2488929 C2 RU 2488929C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
laser diodes
line
radiation
waveguide mirror
mirror
Prior art date
Application number
RU2011132547/28A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2011132547A (en
Inventor
Сергей Игоревич Державин
Олег Александрович Дюкель
Николай Михайлович Лындин
Original Assignee
Общество С Ограниченной Ответственностью "Новые Энергетические Технологии"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество С Ограниченной Ответственностью "Новые Энергетические Технологии" filed Critical Общество С Ограниченной Ответственностью "Новые Энергетические Технологии"
Priority to RU2011132547/28A priority Critical patent/RU2488929C2/en
Publication of RU2011132547A publication Critical patent/RU2011132547A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2488929C2 publication Critical patent/RU2488929C2/en

Links

Images

Landscapes

  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

FIELD: physics.
SUBSTANCE: resonance lattice waveguide mirror (3) is placed on a line of laser diodes (1) with a collimating cylindrical lens at an angle to the exit end of a line of laser diodes (1) with a diffraction grating on one or more media boundary surfaces of the resonance lattice waveguide mirror (3) which is in form of a corrugation. The inclination angle, parameters of the resonance lattice waveguide mirror (3) and the diffraction grating are selected such that when radiation of the line of laser diodes (1) with diffraction order of +1 or -1 falls on the resonance lattice waveguide mirror (3), two modes are excited therein, which propagate in opposite directions, upon interaction with the diffraction grating of the resonance lattice waveguide mirror (3) of which they are emitted into the media adjoining said resonance lattice waveguide mirror (3). The resonance lattice waveguide mirror (3) has antireflection properties which prevent spurious generation on Fresnel reflection and provide output of radiation in form of -1 or +1 diffraction order of the radiation of the line of laser diodes (1).
EFFECT: enabling generation of output radiation in form of one diffraction order from a line of laser diodes with divergence defined by its full aperture.
4 dwg

Description

Изобретение относится к области лазерной техники, в частности к способу синхронизации линейки лазерных диодов.The invention relates to the field of laser technology, in particular to a method for synchronizing a line of laser diodes.

Основной принцип синхронизации заключается в обеспечении поперечной пространственной когерентности излучения обратной связи для всех излучателей линейки лазерных диодов.The basic principle of synchronization is to ensure the transverse spatial coherence of feedback radiation for all emitters of a line of laser diodes.

Известен способ синхронизации линейки лазерных диодов с использованием резонансного решеточного волноводного зеркала. (RU, 2008140133 А, 20.04.2010). В известном способе диаграмма направленности выходного излучения содержит два лепестка, для формирования однолепестковой диаграммы направленности выходного излучения синхронизированной линейки лазерных диодов используется дополнительная корректирующая фазовая дифракционная решетка.A known method of synchronizing a line of laser diodes using a resonant grating waveguide mirror. (RU, 2008140133 A, 04/20/2010). In the known method, the radiation pattern of the output radiation contains two lobes, for the formation of a single-petal radiation pattern of the output radiation of a synchronized line of laser diodes, an additional corrective phase diffraction grating is used.

Заявляемый способ позволяет исключить этот дополнительный элемент и обеспечить выходное излучение в виде одного пучка дифракционного качества.The inventive method allows to exclude this additional element and to provide output radiation in the form of a single beam of diffraction quality.

Технический результат, на достижение которого направлено изобретение, заключается в синхронизации всех излучателей линейки лазерных диодов, причем соседние диоды излучают в противофазе, и формировании выходного излучения в виде одного +1 или -1 порядка дифракции от линейки лазерных диодов с расходимостью определяемой ее полной апертурой.The technical result to which the invention is directed is to synchronize all emitters of a line of laser diodes, and adjacent diodes emit in antiphase, and generate output radiation in the form of one +1 or -1 diffraction order from a line of laser diodes with a divergence determined by its full aperture.

Указанный технический результат достигается тем, что способ синхронизации линейки лазерных диодов, при котором излучение соседних лазерных диодов находится в противофазе, заключается в том, что на линейку лазерных диодов с коллимирующей цилиндрической линзой помещают резонансное решеточное волноводное зеркало под углом к выходному торцу линейки лазерных диодов с дифракционной решеткой на одной или нескольких границах раздела сред резонансного решеточного волноводного зеркала, выполненной в виде гофра, где угол наклона, параметры резонансного решеточного волноводного зеркала и дифракционной решетки подбирают таким образом, чтобы в резонансном решеточном волноводном зеркале при падении на него +1 или -1 порядка дифракции излучения линейки лазерных диодов возбуждались две моды, распространяющиеся в противоположных направлениях, при взаимодействии которых с дифракционной решеткой резонансного решеточного волноводного зеркала они излучаются в прилегающие к упомянутому резонансному решеточному волноводному зеркалу среды, при этом резонансное решеточное волноводное зеркало обладает просветляющими свойствами, исключающими паразитную генерацию на френелевском отражении и обеспечивающую выход излучения в виде -1 или +1 порядка дифракции излучения линейки лазерных диодов.The technical result is achieved by the fact that the method of synchronizing the line of laser diodes, in which the radiation of neighboring laser diodes is in antiphase, consists in placing a resonant grating waveguide mirror at an angle to the output end of the line of laser diodes with a collimating cylindrical lens a diffraction grating at one or several media interfaces of a resonant grating waveguide mirror made in the form of a corrugation, where the angle of inclination, the parameters the resonant grating waveguide mirror and the diffraction grating are selected so that in the resonance grating waveguide mirror, when the radiation diffraction order is +1 or -1, two modes of the laser diode array are excited, propagating in opposite directions, when interacting with the diffraction grating of the resonant grating waveguide mirrors they are radiated into the medium adjacent to the mentioned resonant grating waveguide mirror, while the resonant grating waveguide th mirror has antireflective properties that prevent parasitic lasing at Fresnel reflection and provides a radiation output as -1 or +1 diffraction order of an array of laser diodes.

Реализация способа синхронизации линейки лазерных диодов заключается в следующем.The implementation of the method of synchronizing the line of laser diodes is as follows.

Непосредственно за коллимирующей цилиндрической линзой (2), установленной перед просветленным выходным торцом линейки лазерных диодов (1), помещают резонансное решеточное волноводное зеркало (3) (далее - резонансное зеркало), выполненное в виде гофрированного планарного волновода, обладающего резонансным отражением на длине волны генерации линейки лазерных диодов (1) при падении света перпендикулярно его поверхности (см. Фиг.1). Излучение синхронизированной линейки лазерных диодов (1), в которой соседние диоды излучают в противофазе, аналогично излучению от соответствующей дифракционной решетки. Резонансное зеркало (3) устанавливают под углом к выходному торцу линейки лазерных диодов (1), обеспечивающим резонансное отражение только одного +1 или -1 порядка дифракции. При этом другой -1 или +1 порядок дифракции, для которого резонансное зеркало (3) прозрачно, формирует выходной пучок линейки лазерных диодов (1) (см. Фиг.2). Этот пучок имеет дифракционную расходимость излучения, определяемую полной апертурой линейки лазерных диодов (1), и может рассматриваться как фундаментальная мода выходного излучения.Directly behind the collimating cylindrical lens (2) installed in front of the enlightened output end of the laser diode line (1), a resonant grating waveguide mirror (3) (hereinafter referred to as the resonant mirror) is placed, made in the form of a corrugated planar waveguide having resonant reflection at the generation wavelength line of laser diodes (1) when light is incident perpendicular to its surface (see Figure 1). The radiation of a synchronized line of laser diodes (1), in which adjacent diodes emit in antiphase, is similar to radiation from the corresponding diffraction grating. The resonance mirror (3) is installed at an angle to the output end of the line of laser diodes (1), which provides resonant reflection of only one +1 or -1 diffraction order. In this case, another -1 or +1 diffraction order, for which the resonance mirror (3) is transparent, forms the output beam of the line of laser diodes (1) (see Figure 2). This beam has a diffraction divergence of radiation, determined by the full aperture of the line of laser diodes (1), and can be considered as a fundamental mode of output radiation.

Резонансное зеркало (3) представляет собой диэлектрическое покрытие в виде чередующихся слоев высокого и низкого показателей преломления, нанесенных на гофрированную поверхность отдельной подложки. Диэлектрическое покрытие и параметры гофра рассчитаны таким образом, чтобы с одной стороны ширина углового резонанса отражения было много меньше угловой расходимости излучения отдельного диода в плоскости p-n перехода, а с другой стороны превышала дифракционную расходимость излучения, определяемую полной апертурой линейки лазерных диодов (1). Кроме того, покрытие должно обладать просветляющим свойством для излучения с углами падения или длиной волны вне пределов резонанса.The resonance mirror (3) is a dielectric coating in the form of alternating layers of high and low refractive indices deposited on the corrugated surface of a single substrate. The dielectric coating and the corrugation parameters were calculated so that, on the one hand, the width of the angular reflection resonance was much smaller than the angular divergence of the radiation of a single diode in the p-n junction plane, and on the other hand, exceeded the diffraction divergence of radiation determined by the full aperture of the laser diode array (1). In addition, the coating must have an antireflection property for radiation with angles of incidence or wavelength outside the limits of resonance.

Принцип работы резонансного зеркала (3) заключается в следующем. Параметры волновода и дифракционной решетки (период решетки Λ) подбираются таким образом, чтобы при падении плоской волны с длиной волны λ нормально к поверхности волновода в нем возбуждались две волноводные моды, распространяющиеся в противоположных направлениях. При распространении в волноводе эти моды взаимодействуют с гофрированными границами раздела сред и излучаются в прилегающие к волноводу среды. Дистанция взаимодействия мод с решеткой Lrad определяется ее силой (глубиной гофра σ) и в практических устройствах может достигать нескольких миллиметров. Это расстояние соответствует минимальному размеру поперечной когерентности пучка света отраженного резонансным зеркалом (3) (см., например, «Отражение ограниченного пучка света на волноводной решетке ограниченных размеров». Квантовая электроника, 1997, т.24, с.457, Д6).The principle of operation of the resonance mirror (3) is as follows. The parameters of the waveguide and the diffraction grating (grating period Λ) are selected so that when a plane wave with a wavelength λ is incident, two waveguide modes propagating in opposite directions are excited to it on the surface of the waveguide. When propagating in a waveguide, these modes interact with corrugated media interfaces and are emitted into the media adjacent to the waveguide. The distance between the modes and the lattice L rad is determined by its strength (corrugation depth σ) and in practical devices can reach several millimeters. This distance corresponds to the minimum size of the transverse coherence of a light beam reflected by a resonant mirror (3) (see, for example, “Reflection of a limited light beam on a waveguide of limited dimensions.” Quantum Electronics, 1997, v.24, p.457, D6).

На Фиг.3 в качестве примера приведена резонансная зависимость коэффициента отражения плоской волны с длиной волны λ=930 нм от угла падения (вектор электрического поля волны лежит в плоскости падения - ТМ поляризация). В этом примере резонансное зеркало (3) представляет собой просветляющее двухслойное диэлектрическое покрытие в виде пленки пентаокиси тантала толщиной 178,2 нм (показатель преломления 2,1931) и пленки двуокиси кремния толщиной 102,9 нм (показатель преломления 1,4827), последовательно нанесенных на гофрированную поверхность подложки из плавленого кварца с периодом гофра Λ=580 нм и его глубиной σ=48 нм, соответственно.Figure 3 shows, as an example, the resonance dependence of the reflection coefficient of a plane wave with a wavelength of λ = 930 nm on the angle of incidence (the vector of the electric field of the wave lies in the plane of incidence - TM polarization). In this example, the resonance mirror (3) is an antireflective two-layer dielectric coating in the form of a tantalum pentoxide film 178.2 nm thick (refractive index 2.1931) and a silicon dioxide film 102.9 nm thick (refractive index 1.4827), sequentially deposited on the corrugated surface of a fused silica substrate with a corrugation period Λ = 580 nm and its depth σ = 48 nm, respectively.

Дополнительным преимуществом резонансного зеркала (3) является также его селективность по длине волны. На Фиг. 4 приведена спектральная зависимость коэффициента отражения резонансного зеркала (3).An additional advantage of the resonance mirror (3) is its wavelength selectivity. In FIG. Figure 4 shows the spectral dependence of the reflection coefficient of a resonance mirror (3).

Механизм синхронизации линейки лазерных диодов (1) поясняется на Фиг. 2. Минимальная величина расходимости излучения отдельного диода линейки лазерных диодов (1) оценивается как λ/d, где d - полная апертура диода, и для величины d, равной 4 мкм, при длине волны λ=930 нм равна 29 угловых градуса.The synchronization mechanism of the line of laser diodes (1) is illustrated in FIG. 2. The minimum divergence of the radiation of an individual diode in the line of laser diodes (1) is estimated as λ / d, where d is the full aperture of the diode, and for a value of d equal to 4 μm, at a wavelength of λ = 930 nm it is equal to 29 angular degrees.

В случае, когда излучение отдельных диодов не синхронизовано, то излучение линейки лазерных диодов (1) имеет расходимость не менее расходимости отдельного диода, которая в свою очередь значительно превышает угловую ширину резонанса 0,25 градуса в приведенном выше примере резонансное зеркало (3). Это приводит к низкому эффективному коэффициенту отражения резонансное зеркало (3) и подавляет индивидуальную генерацию лазерных диодов.In the case when the radiation of individual diodes is not synchronized, the radiation of the line of laser diodes (1) has a divergence of at least the divergence of an individual diode, which in turn significantly exceeds the angular width of the resonance of 0.25 degrees in the above example, the resonance mirror (3). This leads to a low effective reflection coefficient of the resonance mirror (3) and suppresses the individual generation of laser diodes.

В случае, когда излучение линейки лазерных диодов (1) синхронизовано, причем соседние диоды излучают в противофазе, тогда излучение линейки лазерных диодов (1) падающей на резонансное зеркало (3) является излучением +1 или -1 порядка дифракции плоской волны, прошедшей через соответствующую фазовую дифракционную решетку (распределение амплитуды волны показано в верхней части Фиг. 2). Угловую расходимость +/-1 порядка дифракции можно оценить как A/D, где D - полная апертура линейки лазерных диодов (1). Для величины D равной 0.2 мм при длине волны λ=930 нм эта расходимость оценивается в 0,27 угловых градуса, которая сопоставима с угловой шириной резонанса в приведенном выше примере резонансное зеркало (3). Долю мощности в соответствующем порядке дифракции можно оценить как 0.4 от полной мощности излучения линейки лазерных диодов (1). Этот порядок дифракции отразится резонансным зеркалом (3) с приведенными параметрами с эффективностью более 75%. Обратно в резонатор дифрагирует порядка 0,12=0,4 0,75 0,4 от полного излучения линейки лазерных диодов (1) при условии идеального ее согласования с коллимирующей цилиндрической линзой (2). Таким образом, эффективность обратной связи ожидается близкой к оптимальной.In the case when the radiation of the line of laser diodes (1) is synchronized, and adjacent diodes emit in antiphase, then the radiation of the line of laser diodes (1) incident on the resonant mirror (3) is radiation of +1 or -1 order of diffraction of a plane wave transmitted through the corresponding phase diffraction grating (wave amplitude distribution is shown in the upper part of Fig. 2). The angular divergence of +/- 1 of the diffraction order can be estimated as A / D, where D is the full aperture of the line of laser diodes (1). For a value of D equal to 0.2 mm at a wavelength of λ = 930 nm, this divergence is estimated at 0.27 angular degrees, which is comparable to the angular width of the resonance in the above example, the resonance mirror (3). The power fraction in the corresponding diffraction order can be estimated as 0.4 of the total radiation power of the line of laser diodes (1). This diffraction order is reflected by the resonance mirror (3) with the above parameters with an efficiency of more than 75%. It diffracts back to the resonator on the order of 0.12 = 0.4 0.75 0.4 from the total radiation of the line of laser diodes (1), provided that it matches perfectly with the collimating cylindrical lens (2). Thus, feedback efficiency is expected to be near optimal.

В предварительных экспериментах с линейкой из 25 лазерных диодов, расположенных на расстоянии 8 мкм друг от друга, коллимирующей просветленной цилиндрической линзой (2) с фокусным расстоянием 290 мкм и резонансное зеркало (3) с параметрами, приведенными выше, было получено 0,3 Вт выходного излучения линейки лазерных диодов (1) с расходимостью в плоскости линейки, определяемой полной ее апертурой при токе накачки в два раза превышающем пороговое значение.In preliminary experiments with a ruler of 25 laser diodes located at a distance of 8 μm from each other, a collimating antireflective cylindrical lens (2) with a focal length of 290 μm, and a resonance mirror (3) with the parameters given above, 0.3 W of output radiation of a line of laser diodes (1) with divergence in the plane of the line, determined by its full aperture at a pump current two times the threshold value.

Claims (1)

Способ синхронизации линейки лазерных диодов, при котором излучение соседних лазерных диодов находится в противофазе, заключающийся в том, что на линейку лазерных диодов с коллимирующей цилиндрической линзой помещают резонансное решеточное волноводное зеркало под углом к выходному торцу линейки лазерных диодов с дифракционной решеткой на одной или нескольких поверхностях раздела сред резонансного решеточного волноводного зеркала, выполненной в виде гофра, где угол наклона, параметры резонансного решеточного волноводного зеркала и дифракционной решетки подбирают таким образом, чтобы в резонансном решеточном волноводном зеркале при падении на него +1 или -1 порядка дифракции излучения линейки лазерных диодов возбуждались две моды, распространяющиеся в противоположных направлениях, при взаимодействии которых с дифракционной решеткой резонансного решеточного волноводного зеркала они излучаются в прилегающие к упомянутому резонансному решеточному волноводному зеркалу среды, при этом резонансное решеточное волноводное зеркало обладает просветляющими свойствами, исключающими паразитную генерацию на френелевском отражении, и обеспечивающую выход излучения в виде -1 или +1 порядка дифракции излучения линейки лазерных диодов. A method of synchronizing a line of laser diodes, in which the radiation of adjacent laser diodes is in antiphase, which consists in placing a resonant grating waveguide mirror at an angle to the output end of the line of laser diodes with a diffraction grating on one or more surfaces on a line of laser diodes with a collimating cylindrical lens media section of a resonant grating waveguide mirror made in the form of a corrugation, where the angle of inclination, the parameters of the resonant grating waveguide mirror and the diffraction grating is selected so that in the resonance grating waveguide mirror when the radiation diffraction order is +1 or -1, two modes are excited that propagate in opposite directions, when they interact with the diffraction grating of the resonant grating waveguide, they are emitted into adjacent to the aforementioned resonant grating waveguide mirror of the medium, while the resonant grating waveguide mirror has antireflection properties excluding spurious generation by Fresnel reflection, and providing a radiation output in the form of -1 or +1 order of diffraction of radiation of a line of laser diodes.
RU2011132547/28A 2011-08-03 2011-08-03 Method of synchronising line of laser diodes RU2488929C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011132547/28A RU2488929C2 (en) 2011-08-03 2011-08-03 Method of synchronising line of laser diodes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011132547/28A RU2488929C2 (en) 2011-08-03 2011-08-03 Method of synchronising line of laser diodes

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2011132547A RU2011132547A (en) 2013-02-10
RU2488929C2 true RU2488929C2 (en) 2013-07-27

Family

ID=49119517

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011132547/28A RU2488929C2 (en) 2011-08-03 2011-08-03 Method of synchronising line of laser diodes

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2488929C2 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2166822C2 (en) * 1999-01-22 2001-05-10 ЗАО "Энергомаштехника" Laser diode strip
WO2001082428A1 (en) * 2000-04-26 2001-11-01 Zakrytoe Aktsionernoe Obschestvo 'energomashtekhnika' Laser diode strip
EP1788678A1 (en) * 2005-11-18 2007-05-23 JDS Uniphase Corporation High efficiency, wavelenght stabilized laser diode using arrayed waveguide gratings (AWG) and architecture for combining same with brightness conservation
RU81601U1 (en) * 2008-10-13 2009-03-20 Общество С Ограниченной Ответственностью "Новые Энергетические Технологии" RESONANT GRILLE WAVEGUIDE MIRROR
RU2008140133A (en) * 2008-10-10 2010-04-20 Общество С Ограниченной Ответственностью "Новые Энергетические Технологии" (Ru) METHOD FOR SYNCHRONIZING A LINE OF LASER DIODES AND RESONANCE GRILLE WAVEGUIDE MIRROR FOR ITS IMPLEMENTATION

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2166822C2 (en) * 1999-01-22 2001-05-10 ЗАО "Энергомаштехника" Laser diode strip
WO2001082428A1 (en) * 2000-04-26 2001-11-01 Zakrytoe Aktsionernoe Obschestvo 'energomashtekhnika' Laser diode strip
EP1788678A1 (en) * 2005-11-18 2007-05-23 JDS Uniphase Corporation High efficiency, wavelenght stabilized laser diode using arrayed waveguide gratings (AWG) and architecture for combining same with brightness conservation
RU2008140133A (en) * 2008-10-10 2010-04-20 Общество С Ограниченной Ответственностью "Новые Энергетические Технологии" (Ru) METHOD FOR SYNCHRONIZING A LINE OF LASER DIODES AND RESONANCE GRILLE WAVEGUIDE MIRROR FOR ITS IMPLEMENTATION
RU81601U1 (en) * 2008-10-13 2009-03-20 Общество С Ограниченной Ответственностью "Новые Энергетические Технологии" RESONANT GRILLE WAVEGUIDE MIRROR

Also Published As

Publication number Publication date
RU2011132547A (en) 2013-02-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9596034B2 (en) High brightness dense wavelength multiplexing laser
US10134926B2 (en) Quantum-efficiency-enhanced time-of-flight detector
US9726794B2 (en) High index contrast grating structure for light manipulation and related method
US20080304535A1 (en) Mirror Structure and Laser Device Comprising Such a Mirror Structure
WO2017022142A1 (en) Semiconductor laser device
EP3396447B1 (en) Method and setup to generate terahertz radiation
US10747086B2 (en) Method and setup to generate terahertz radiation scalable in energy
JP6227212B1 (en) Laser oscillator
CN105048279A (en) Semiconductor laser light source output device for alkali metal vapor laser device pumping
RU2488929C2 (en) Method of synchronising line of laser diodes
WO2018146819A1 (en) Laser oscillation device
Byrd et al. Blue laser diode wavelength selection with a variable reflectivity resonant mirror
EP3111259A1 (en) Grating mirror
RU2429555C2 (en) Synchronisation method of ruler of laser diodes and resonance gridded waveguide reflector for its implementation
RU81601U1 (en) RESONANT GRILLE WAVEGUIDE MIRROR
JP2010272823A (en) Wavelength variable light source apparatus
RU2433516C2 (en) Method of synchronising line of laser diodes and phase grating mirror for realising said method
TW202002437A (en) Vortex laser generation device in degenerate cavity with spiral phase element and vortex laser generation method
RU92250U1 (en) PHASE LATTICE MIRROR FOR SYNCHRONIZING A LINE OF LASER DIODES
Abbas et al. Modeling of High Performance Reflection Coatings for Visible Region
US7310183B1 (en) Diffractive outcoupler for second harmonic generation
Petrov et al. Excitation of surface plasmons in subwavelength gratings
EP2020063A1 (en) Laser device comprising a diffraction grating and coupled laser resonators
Kintaka et al. First Demonstration of Cavity-Resonator-Integrated Guided-Mode Resonance Filter
RU2166821C2 (en) Laser diode strip

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20150804