RU2486626C2 - Формирователь малорасходящихся потоков излучения - Google Patents
Формирователь малорасходящихся потоков излучения Download PDFInfo
- Publication number
- RU2486626C2 RU2486626C2 RU2010116852/07A RU2010116852A RU2486626C2 RU 2486626 C2 RU2486626 C2 RU 2486626C2 RU 2010116852/07 A RU2010116852/07 A RU 2010116852/07A RU 2010116852 A RU2010116852 A RU 2010116852A RU 2486626 C2 RU2486626 C2 RU 2486626C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- plate
- side walls
- sample
- inserts
- knife
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Устройство относится к рентгеновской технике и может быть использовано в качестве формирователя первичного потока для рентгеновской дифрактометрии и топографии, приборов малоуглового рассеяния, рентгеновских рефлектометров различного назначения, рентгеновских дефектоскопов, систем и спектрометров рентгенофлуоресцентного анализа, а также - в области ультрафиолетовой и рентгеновской литографии. В формирователь малорасходящихся потоков излучения, содержащий разнесенные в пространстве и взаимно сориентированные первую и вторую щелевые диафрагмы, образованные первой и второй ножевыми шторками у первой диафрагмы, а также соответственно третьей и четвертой ножевыми шторками у второй диафрагмы, введены первая и вторая пластины, в качестве первой и третьей ножевых шторок используют первую и вторую боковые стенки первой пластины, расположенные друг навстречу другу и образованные первой выборкой в первой пластине, в качестве второй и четвертой ножевых шторок используют третью и четвертую боковые стенки второй пластины, расположенные друг навстречу другу и образованные второй выборкой во второй пластине, при этом первая и вторая пластины соединены и расположены выборками навстречу друг другу. 14 з.п. ф-лы, 10 ил.
Description
Устройство относится преимущественно к рентгеновской технике и может быть использовано в качестве формирователя первичного потока для рентгеновской дифрактометрии и топографии, приборов малоуглового рассеяния, рентгеновских рефлектометров различного назначения, рентгеновских дефектоскопов, систем и спектрометров рентгенофлуоресцентного анализа, а также - в области ультрафиолетовой и рентгеновской литографии, а более конкретно - к устройствам, формирующим поток ионизирующего излучения с заранее заданными параметрами.
Известен формирователь малорасходящихся потоков излучения, содержащий независимые, разнесенные в пространстве и взаимно сориентированные первую и вторую щелевые диафрагмы, образованные первой и второй ножевыми шторками у первой диафрагмы, а также соответственно третьей и четвертой ножевыми шторками у второй диафрагмы [1].
Главным недостатком этого устройства является практическое отсутствие возможности получения точной взаимной сориентированности независимых последовательно установленных щелевых диафрагм, причем этот недостаток делает невозможным конструирование подобных устройств в рамках стандартной технологии, когда ширина этих диафрагм измеряется единицами микрометров. Этот недостаток не может быть устранен средствами аналитического контроля, так как реально отсутствует экспериментальный инструментарий, позволяющий количественно диагностировать степень их взаимной сориентированности (сьюстированности).
Это устройство выбрано в качестве прототипа предложенного решения.
Технический результат изобретения заключается в предложении принципиально новой конструкции, в которой диафрагмы оказываются взаимозависимыми, что позволяет добиться абсолютной взаимной сориентированности (сьюстированности) пары (и более) разнесенных в пространстве нитевидных щелевых диафрагм, составляющих формирователь малорасходящихся потоков излучения, независимо от выбранной для них ширины, причем эффект абсолютной взаимной сориентированности достигается автоматически, независимо от условий и выбранной технологии сборки формирователя.
Указанный технический результат достигается тем, что в формирователь малорасходящихся потоков излучения, содержащий разнесенные в пространстве и взаимно сориентированные первую и вторую щелевые диафрагмы, образованные первой и второй ножевыми шторками у первой диафрагмы, а также соответственно третьей и четвертой ножевыми шторками у второй диафрагмы, введены первая и вторая пластины, в качестве первой и третьей ножевых шторок используют первую и вторую боковые стенки первой пластины, расположенные друг навстречу другу и образованные первой выборкой в первой пластине, в качестве второй и четвертой ножевых шторок используют третью и четвертую боковые стенки второй пластины, расположенные друг навстречу другу и образованные второй выборкой во второй пластине, при этом первая и вторая пластины соединены и расположены выборками навстречу друг другу.
Существует вариант, в котором дно каждой выборки покрыто поглощающим излучение материалом.
Существуют также варианты, в которых фрагменты боковых стенок, обращенные навстречу друг другу, выполнены в виде плоскостей и параллельны друг другу, или расположены под углом друг к другу, или имеют форму усеченных пирамид, или имеют цилиндрическую форму.
Существует также вариант, в котором первая выборка выполнена в виде первого рентгеновского зеркала, а вторая выборка выполнена в виде второго рентгеновского зеркала.
Существует также вариант, в котором первое и второе рентгеновские зеркала имеют специальную форму поверхностей, обеспечивающую отражение дополнительных потоков с заданным угловым распределением.
Существует также вариант, в котором в первой, второй, третьей и четвертой боковых стенках выполнены пазы, в которых установлены вставки.
Существует также вариант, в котором вставки изготовлены из тантала или алмаза, а также подключены к системе охлаждения.
Существует также вариант, в котором для регулировки ширины щелей диафрагм предусмотрена установка прокладок различной толщины между пластинами, при этом прокладки выполнены из упругого материала, а соединение пластин предусматривает их деформацию.
Существует также вариант, в котором для регулировки ширины щелей диафрагм предусмотрена установка пьезопозиционирующего устройства.
На фиг.1 изображена схема предложенного устройства в разрезе (вид сбоку).
На фиг.2 изображен вид А (сбоку) на предложенное устройство.
На фиг.3, фиг.4, фиг.5 и фиг.6 показаны варианты выполнения пластин с поглощающими вставками.
На фиг.7 и фиг.8 показаны варианты выполнения пластин с рентгеновскими зеркалами.
На фиг.9 показана пластина со вставками.
На фиг.10 показана автоматическая схема регулировки зазора.
Формирователь малорасходящихся потоков излучения содержит основание 1 (Фиг.1, Фиг.2), на котором посредством приводов 2 с толкателями 3, сопряженными с твердыми вставками 4, а также посредством пружин 5 установлен контейнер 6. В качестве приводов 2 можно использовать ручную микровинтовую подачу, шаговые двигатели, а также пьезопозиционирующие устройства [2, 3]. В качестве твердых вставок целесообразно применять поликоровые пластины толщиной 1 мм. В контейнере 6 сформированы: входное окно 7 и выходное окно 8. Внутри контейнера 6 установлены первая пластина 9 и вторая пластина 10. Элементы крепления первой пластины 9 (например, винты) к контейнеру 6 условно не показаны. В первой пластине 9 выполнена первая выборка 11, а во второй пластине 10 - вторая выборка 12. Между пластинами 9 и 10 установлены первая прокладка 13 и вторая прокладка 14, формирующие нитевидный зазор величиной S. Этот зазор находится в плоскости первой (X) и второй (Y) координат. В качестве ножевых шторок щелевых диафрагм используют боковые стенки, образованные выборками 11 и 12 в пластинах 9 и 10. В качестве первой и третьей ножевых шторок используют первую 15 и вторую 16 боковые стенки первой пластины 9, расположенные друг навстречу другу и образованные первой выборкой 11 в первой пластине 9. В качестве второй и четвертой ножевых шторок используют третью 17 и четвертую 18 боковые стенки второй пластины 10, расположенные друг навстречу другу и образованные второй выборкой 12 во второй пластине 10, при этом первая 9 и вторая 10 пластины соединены и расположены выборками навстречу друг другу. Соединение пластин 9 и 10 осуществлено посредством винтов 19. Таким образом, первая диафрагма образуется первой 15 и третьей 17 боковыми стенками. Вторая диафрагма образуется второй 16 и четвертой 18 боковыми стенками.
Возможен вариант выполнения первой 9 и второй 10 пластин с частичным заполнением первой выборки 11 и второй выборки 12 материалом 20, поглощающим излучение (на фиг.3 изображена вторая пластина 10, пластина 9 ей идентична, то же на фиг.4 - 9). В качестве такого материала целесообразно использовать материалы малой плотности (например, пластилин, картон и т.д.), а поверхность покрытия должна характеризоваться высокой степенью шероховатости (на уровне 3-5 мкм). Использование поглощающего материала 20 позволяет добиться дополнительного технического эффекта - снижения интенсивности фоновой составляющей сформированного выходного потока. Фрагменты боковых стенок 17, 18, 15 и 16, обращенные навстречу друг другу, выполнены в виде плоскостей 21 и 22, параллельных торцевой поверхности пластины 23. При этом плоскости 21 и 22 пластин 9 и 10, обращенные навстречу, параллельны друг другу.
Конструкция пластин, составляющих двущелевой формирователь, представленная на фиг.3, является наиболее простой и дешевой в изготовлении и более предпочтительной при формировании потока жесткой рентгеновской радиации с длиной волны λ<0.1 нм, вследствие большей толщины боковых стенок, образующих щелевые диафрагмы и, следовательно, характеризующихся более высокой степенью поглощения для удаляемой части первичного потока рентгеновских лучей.
Возможен вариант, в котором фрагменты боковых стенок 15, 16, 17 и 18, обращенные навстречу друг другу, выполнены в виде плоскостей, расположенных под углом друг к другу (Фиг.4). При этом в первой пластине 9 и второй пластине 10 фрагменты 17 и 18 выполнены в виде плоскостей 24 и 25, расположенных под углом к торцевой поверхности пластины 23. Такая форма шторок с одной стороны позволяет устранить неконтролируемый вклад явления полного внешнего отражения потока рентгеновского излучения на плоских вершинах шторок, а с другой - дает возможность эффективно формировать пучки относительно жесткого рентгеновского излучения с длиной волны λ≈0.1-0.2 нм.
Возможен вариант, в котором фрагменты боковых стенок 15, 16, 17 и 18, обращенные навстречу друг другу, выполнены в виде усеченных пирамид 26 и 27 (Фиг.5). Такое выполнение ножевых шторок может оказаться оправданным при проектировании рентгеновских приборов со специфическими параметрами, в которых используются потоки рентгеновского излучения с набором неидентичных характеристических линий, например, с одновременным присутствием в сформированном потоке линий CuKα (λ0=0.153 нм) и MoKα (λ0=0.071 нм).
Возможен вариант, в котором фрагменты боковых стенок 15, 16, 17 и 18, обращенные навстречу друг другу, имеют цилиндрическую форму 28 и 29 (Фиг.6). Такое выполнение ножевых шторок может быть оправдано лишь особыми требованиями к параметрам потока рентгеновской радиации на выходе формирователя, когда необходимо полностью избавиться от возможного вклада явления полного внешнего отражения рентгеновского излучения в сформированном потоке, и иметь пространственное распределение интенсивности в потоке максимально, близкое к распределению, описываемому функцией Гаусса [4].
Возможен вариант размещения в выборках 11 и 12 пластин 9 и 10 зеркал 30 полного внешнего отражения (Фиг.7). Такой вариант построения формирователя способен существенно дополнить основной технический результат, связанный с отсутствием необходимости взаимной юстировки последовательно расположенных нитевидных щелевых диафрагм, значительным повышением интенсивности формируемого потока. Этот же результат может быть достигнут путем размещения в выборках 11 и 12 рентгеновских многослойных рефлекторов. При их использовании, в отличии от вышеуказанного случая, результат увеличения радиационной светосилы формирователя будет достигаться не за счет явления полного внешнего отражения, а вследствие Брегговского отражения части потока, прошедшего через первую диафрагму, и его попадания во вторую диафрагму. Рассматриваемый вариант помимо своих неоспоримых достоинств характеризуется и некоторым недостатком. Дело в том, что как явление полного внутреннего отражения, так и Брегговское отражение характеризуются своими угловыми параметрами, которые несколько увеличивают угловую расходимость формируемого потока.
В то же время возможен вариант построения формирователя с повышенной радиационной светосилой, в котором отсутствует указанный недостаток. Для подавления эффекта увеличения угловой расходимости формируемого потока при сохранении его повышенной интегральной интенсивности зеркало полного внешнего отражения потока рентгеновских лучей 31 (или многослойное рентгеновское зеркало, представляющее собой систему планарных тонких чередующихся слоев на полированной подложке [5]) должно иметь специальную форму отражающей поверхности (Фиг.8). При этом форма поверхности в простейших случаях будет описываться гиперболической или параболической кривыми [6] с параметрами, существенным образом определяющимися геометрическими размерами формирователя и требованиями к формируемому потоку. При надлежащем подборе формы отражателя радиационная светосила формирователя может быть повышена более, чем на порядок при сохранении других параметров формируемого потока.
Возможен вариант, в котором в фрагментах боковых стенок 15, 16, 17 и 18 выполнены пазы 32 и 33, в которых установлены вставки 34 и 35 (Фиг.9). В зависимости от требований, предъявляемых к параметрам формируемого потока, очертание пазов, форма и размеры вставок могут существенно варьироваться. Неизменным остается лишь необходимость соблюдения параллельности поверхностей вершин вставок 36 и 37 с базовой поверхностью пластины 23.
Если необходимо максимальное снижение фоновой составляющей, сопровождающей формируемый щелевой системой поток излучения, возможен вариант изготовления вставок 34 и 35 из тантала.
Если падающий и формируемый потоки имеют высокую интенсивность и вероятным оказывается существенный нагрев вставок 34 и 35, возможен вариант их изготовления из материала с высокой теплопроводностью, например из алмаза.
В то же время, если тепловая нагрузка на формирователь оказывается запредельной, возможен вариант снабжения пластин формирователя системами принудительного охлаждения 38 (например, воздушного, водяного или масляного). Наличие таких систем позволит сохранять неизменной структуру рентгенооптической схемы в течение длительного эксперимента в условиях наличия интенсивных потоков рентгеновского излучения, создаваемого, например, синхротронными установками.
Возможен вариант изготовления формирователя малорасходящегося потока излучения с регулируемой шириной составляющих его щелевых диафрагм. Простейшим вариантом регулировки их ширины предусматривается установка пары сменных одинаковых прокладок 13 и 14 (фиг.1, фиг.2) между пластинами, образующими формирователь. Использование набора пар таких прокладок, изготовленных, например, из алюминия или меди, позволяет легко перекрыть весь микронный диапазон ширины формируемого потока.
Возможен вариант изготовления формирователя потока с регулируемой шириной составляющих его щелевых диафрагм путем использования прокладок 13 и 14, выполненных из упругого материала (например, из специальных сортов пластика). При применении системы винтового сжатия использование таких прокладок позволяет перекрывать интервал ширины щелевых диафрагм от 100% толщины прокладок до значений около 20% их исходной толщины.
В то же время возможен вариант изготовления формирователя с наличием такого независимого контроля. Это возможно при использовании пьезопозиционирующего устройства, изменяющего расстояние между пластинами путем вариации потенциала на протяженной пьезоголовке этого устройства. На фиг.10 показана упрощенная схематическая конструкция этого варианта устройства.
Устройство предполагает жесткое крепление в контейнере 6, например, с помощью винтов (не показаны) дополнительной пластины 39. На внутреннюю плоскость 40 пластины 39 приклеена плоская пьезоголовка 41, например, с использованием клея БФ-2. На открытую плоскость пьезоголовки 41 приклеена вторая пластина 10. Обращенная навстречу пластине 10 пластина 9 жестко закреплена, например, с помощью винтов (не показаны) в контейнере 6. Исходная сборка устройства обеспечивает формирование щелевых зазоров 42 и 43 (B). Пьезоголовка 41, управляемая контрольной панелью 44, испытывает линейное сжатие или расширение в зависимости от знака подаваемого на нее потенциала. Вследствие жесткого закрепления на ее плоскости пластины 10, линейное расширение или сжатие пьезоголовки 41 приводит к соответствующему изменению ширины щелевых зазоров 13 и 14. Таким образом, обеспечивается независимая автономная регулировка ширины зазоров 42 и 43 двущелевого формирователя потока рентгеновского излучения.
В целом применение предлагаемой конструкции двухщелевого формирователя потока рентгеновского излучения, как в своем простейшем формате, так и в модифицированных конструкционных вариантах, позволит резко упростить процесс его изготовления и процедуру его применения в рентгеновской технике различного назначения, а также полностью устранить проблему, связанную с необходимостью диагностики степени взаимной соориентированности или сьюстированности разнесенных в пространстве узких щелевых диафрагм, что особенно важно и трудоемко для щелевых зазоров микрометровой ширины.
Литература
1. В.В.Пономарев. Рентгеноструктурные методы в инженерной геологии. М.: Недра. 1981. Стр.14.
2. Ю.С.Кузьминов. Сегнетоэлектрические кристаллы для управления лазерным излучением. М.: ГИФМЛ. 1982.
3. Пьезоэлектрическая керамика: принципы и применение / пер. изд. АРС International Ltd. 2003. Минск: ООО ФАУинформ. 2003.
4. И.Н.Бронштейн, К.А.Семендяев. Справочник по математике для инженеров и учащихся ВТУЗов. М.: Наука. 1964. Стр.92.
5. Зеркальная рентгеновская оптика. Под ред. А.В.Виноградова. Л.: Машиностроение. 1989. Глава 3.
6. И.Н.Бронштейн, К.А.Семендяев. Справочник по математике для инженеров и учащихся ВТУЗов. М.: Наука. 1964. Стр.83-86.
Claims (15)
1. Формирователь малорасходящихся потоков излучений, содержащий разнесенные в пространстве и взаимно сориентированные первую и вторую щелевые диафрагмы, образованные первой и второй ножевыми шторками у первой диафрагмы, а также соответственно третьей и четвертой ножевыми шторками у второй диафрагмы, отличающийся тем, что в него введены первая и вторая пластины, в качестве первой и третьей ножевых шторок используют первую и вторую боковые стенки первой пластины, расположенные друг навстречу друга и образованные первой выборкой в первой пластине, в качестве второй и четвертой ножевых шторок используют третью и четвертую боковые стенки второй пластины, расположенные друг навстречу друга и образованные второй выборкой во второй пластине, при этом первая и вторая пластины соединены и расположены выборками навстречу друг другу.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что дно каждой выборки покрыто поглощающим излучение материалом.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что фрагменты боковых стенок, обращенные навстречу друг другу, выполнены в виде плоскостей и параллельны друг другу.
4. Устройство по п.3, отличающееся тем, что фрагменты боковых стенок, обращенные навстречу друг другу, выполненные в виде плоскостей, расположены под углом друг к другу.
5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что фрагменты боковых стенок, обращенные навстречу друг другу, имеют форму усеченных пирамид.
6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что фрагменты боковых стенок, обращенные навстречу друг другу, имеют цилиндрическую форму.
7. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первая выборка выполнена в виде первого рентгеновского зеркала, а вторая выборка выполнена в виде второго рентгеновского зеркала.
8. Устройство по п.7, отличающееся тем, что первое и второе рентгеновские зеркала имеют специальную форму поверхностей, обеспечивающую отражение дополнительных потоков с заданным угловым распределением.
9. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в первой, второй, третьей и четвертой боковых стенках выполнены пазы, в которых установлены вставки.
10. Устройство по п.9, отличающееся тем, что вставки изготовлены из тантала.
11. Устройство по п.9, отличающееся тем, что вставки изготовлены из алмаза.
12. Устройство по п.9, отличающееся тем, что вставки подключены к системе охлаждения.
13. Устройство по п.1, отличающееся тем, что для регулировки ширины щелей диафрагм предусмотрена установка прокладок различной толщины между пластинами.
14. Устройство по п.13, отличающееся тем, что прокладки выполнены из упругого материала, а соединение пластин предусматривает их деформацию.
15. Устройство по п.1, отличающееся тем, что для регулировки ширины щелей диафрагм предусмотрена установка пьезопозиционирующего устройства.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2010116852/07A RU2486626C2 (ru) | 2010-04-29 | 2010-04-29 | Формирователь малорасходящихся потоков излучения |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2010116852/07A RU2486626C2 (ru) | 2010-04-29 | 2010-04-29 | Формирователь малорасходящихся потоков излучения |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2010116852A RU2010116852A (ru) | 2011-11-10 |
RU2486626C2 true RU2486626C2 (ru) | 2013-06-27 |
Family
ID=44996662
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2010116852/07A RU2486626C2 (ru) | 2010-04-29 | 2010-04-29 | Формирователь малорасходящихся потоков излучения |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2486626C2 (ru) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2555191C1 (ru) * | 2014-04-24 | 2015-07-10 | Владимир Константинович Егоров | Устройство для рентгенофлуоресцентного анализа материалов с формированием потока возбуждения плоским рентгеновским волноводом-резонатором |
RU2584066C1 (ru) * | 2014-12-18 | 2016-05-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет" (СПбГУ) | Устройство для энергодисперсионного рентгенофлуоресцентного анализа на основе вторичных излучателей |
RU191752U1 (ru) * | 2019-02-05 | 2019-08-21 | Александр Григорьевич Таран | Устройство для диафрагмирования пучка рентгеновского излучения |
RU2800844C1 (ru) * | 2022-11-29 | 2023-07-31 | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ИНСТИТУТ ХИМИЧЕСКИХ РЕАКТИВОВ И ОСОБО ЧИСТЫХ ХИМИЧЕСКИХ ВЕЩЕСТВ НАЦИОНАЛЬНОГО ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОГО ЦЕНТРА "КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ" (НИЦ "Курчатовский институт" - ИРЕА) | Способ измерения количества технологических добавок и случайных примесей в исторических стеклах методом рентгеновской флуоресценции с источником синхротронного излучения |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2911596A1 (de) * | 1979-03-24 | 1980-09-25 | Geesthacht Gkss Forschung | Messanordnung zur roentgenfluoreszenzanlayse |
US5077766A (en) * | 1988-12-02 | 1991-12-31 | Ckss Forschungszentrum Geesthacht Gmbh | Method and arrangement for analyzing specimens pursuant to the x-ray fluorescence analysis method |
RU2025657C1 (ru) * | 1991-06-21 | 1994-12-30 | Ленинградское оптико-механическое объединение | Устройство для контроля толщины пленок многослойного оптического покрытия в процессе его нанесения осаждением в вакуумной камере |
RU2029421C1 (ru) * | 1991-06-11 | 1995-02-20 | Юрий Павлович Рассадкин | Оптический резонатор мощного лазера |
WO1995020759A1 (de) * | 1994-01-26 | 1995-08-03 | Gkss-Forschungszentrum Geesthacht Gmbh | Verfahren und anordnung zur bestimmung von elementen nach der methode der totalreflexions-röntgenfluoreszenzanalyse |
RU2056629C1 (ru) * | 1992-06-30 | 1996-03-20 | Всероссийский научно-исследовательский геологический институт им.А.П.Карпинского | Способ фазового анализа состава минеральных образований и устройство для его осуществления |
-
2010
- 2010-04-29 RU RU2010116852/07A patent/RU2486626C2/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2911596A1 (de) * | 1979-03-24 | 1980-09-25 | Geesthacht Gkss Forschung | Messanordnung zur roentgenfluoreszenzanlayse |
US5077766A (en) * | 1988-12-02 | 1991-12-31 | Ckss Forschungszentrum Geesthacht Gmbh | Method and arrangement for analyzing specimens pursuant to the x-ray fluorescence analysis method |
RU2029421C1 (ru) * | 1991-06-11 | 1995-02-20 | Юрий Павлович Рассадкин | Оптический резонатор мощного лазера |
RU2025657C1 (ru) * | 1991-06-21 | 1994-12-30 | Ленинградское оптико-механическое объединение | Устройство для контроля толщины пленок многослойного оптического покрытия в процессе его нанесения осаждением в вакуумной камере |
RU2056629C1 (ru) * | 1992-06-30 | 1996-03-20 | Всероссийский научно-исследовательский геологический институт им.А.П.Карпинского | Способ фазового анализа состава минеральных образований и устройство для его осуществления |
WO1995020759A1 (de) * | 1994-01-26 | 1995-08-03 | Gkss-Forschungszentrum Geesthacht Gmbh | Verfahren und anordnung zur bestimmung von elementen nach der methode der totalreflexions-röntgenfluoreszenzanalyse |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2555191C1 (ru) * | 2014-04-24 | 2015-07-10 | Владимир Константинович Егоров | Устройство для рентгенофлуоресцентного анализа материалов с формированием потока возбуждения плоским рентгеновским волноводом-резонатором |
RU2584066C1 (ru) * | 2014-12-18 | 2016-05-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет" (СПбГУ) | Устройство для энергодисперсионного рентгенофлуоресцентного анализа на основе вторичных излучателей |
RU191752U1 (ru) * | 2019-02-05 | 2019-08-21 | Александр Григорьевич Таран | Устройство для диафрагмирования пучка рентгеновского излучения |
RU2800844C1 (ru) * | 2022-11-29 | 2023-07-31 | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ИНСТИТУТ ХИМИЧЕСКИХ РЕАКТИВОВ И ОСОБО ЧИСТЫХ ХИМИЧЕСКИХ ВЕЩЕСТВ НАЦИОНАЛЬНОГО ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОГО ЦЕНТРА "КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ" (НИЦ "Курчатовский институт" - ИРЕА) | Способ измерения количества технологических добавок и случайных примесей в исторических стеклах методом рентгеновской флуоресценции с источником синхротронного излучения |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2010116852A (ru) | 2011-11-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Leake et al. | The Nanodiffraction beamline ID01/ESRF: a microscope for imaging strain and structure | |
Erko et al. | Modern developments in X-ray and neutron optics | |
US7847920B2 (en) | Illumination system and polarizer for a microlithographic projection exposure apparatus | |
RU2486626C2 (ru) | Формирователь малорасходящихся потоков излучения | |
Lienert et al. | Focusing optics for high-energy X-ray diffraction | |
WO2006124396A2 (en) | Optical beam-shaper | |
Zhou et al. | Introduction to a calibration facility for hard X-ray detectors | |
Camattari et al. | Experimental analysis and modeling of self-standing curved crystals for focusing of X-rays | |
Dolbnya et al. | A water-cooled monochromator for the B16 Test beamline at the Diamond Light Source: capabilities and performance characterization | |
Spiga et al. | Design and advancement status of the Beam Expander Testing X-ray facility (BEaTriX) | |
Honnicke et al. | Synchrotron X-ray tests of an L-shaped laterally graded multilayer mirror for the analyzer system of the ultra-high-resolution IXS spectrometer at NSLS-II | |
Osakabe | Principles and applications of multilayer mirror optics for X-ray diffraction measurements—CBO series for SmartLab— | |
KR100576921B1 (ko) | 고광도의 평행빔 생성 장치 | |
RU2555191C1 (ru) | Устройство для рентгенофлуоресцентного анализа материалов с формированием потока возбуждения плоским рентгеновским волноводом-резонатором | |
Huang | An alternative scheme of angular-dispersion analyzers for high-resolution medium-energy inelastic x-ray scattering | |
EP1941317B1 (en) | Beam separating optical element | |
EP2722852A1 (en) | Double-multilayer monochromator | |
RU2477914C2 (ru) | Модулятор лазерного излучения | |
Barchewitz et al. | X-UV multilayer reflectivity tests using windowless soft X-rays tube and synchrotron source | |
Egorov et al. | Waveguide-resonance mechanism for X-ray beam propagation: physics and experimental background | |
Jergel et al. | Extreme X-ray beam compression for a high-resolution table-top grazing-incidence small-angle X-ray scattering setup | |
RU2528561C2 (ru) | Высокостабильный волноводно-резонансный формирователь потока рентгеновского квазимонохроматического излучения | |
Pleshanov | Optimization of measurements at neutron reflectometers | |
Zhong et al. | A lamellar model for the X-ray rocking curves of sagittally bent Laue crystals | |
Antonov et al. | An Acousto-optical deflector based on paratellurite: increasing the thermal stability of parameters |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150430 |