RU2477491C1 - Датчик резонаторный - Google Patents

Датчик резонаторный Download PDF

Info

Publication number
RU2477491C1
RU2477491C1 RU2011133764/28A RU2011133764A RU2477491C1 RU 2477491 C1 RU2477491 C1 RU 2477491C1 RU 2011133764/28 A RU2011133764/28 A RU 2011133764/28A RU 2011133764 A RU2011133764 A RU 2011133764A RU 2477491 C1 RU2477491 C1 RU 2477491C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pendulum
base
mass
pendulums
axis
Prior art date
Application number
RU2011133764/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Виталий Никонович Лукьянчук
Евгений Алексеевич Осоченко
Мария Вячеславовна Самодолова
Original Assignee
Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" - Госкорпорация "Росатом"
Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики" - ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" - Госкорпорация "Росатом", Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики" - ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ" filed Critical Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" - Госкорпорация "Росатом"
Priority to RU2011133764/28A priority Critical patent/RU2477491C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2477491C1 publication Critical patent/RU2477491C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерений ускорения и других параметров. Согласно изобретению, датчик резонаторный содержит первый маятник, выполненный в виде чувствительного элемента, соединенного с первым основанием через первые упругие шарниры, и силочувствительный резонатор, один конец которого соединен с чувствительным элементом, а другой конец - с первым основанием. Особенность изобретения заключается в том, что датчик резонаторный снабжен вторым основанием, соединенным с первым основанием через вторые упругие шарниры, с образованием второго маятника, при этом маятники расположены относительно друг друга таким образом, чтобы векторы, соединяющие центры масс маятников с их осями поворота, были противоположно направлены, а расстояния от центров масс первого и второго маятников до их осей поворота удовлетворяют приведенному в формуле изобретения и описании соотношению, обеспечивающему, в первом приближении, отсутствие отклонения измерительной оси под действием измеряемой величины. Благодаря этому, обеспечивается снижение погрешности измерения ускорения и других измеряемых параметров. 3 ил.

Description

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к измерениям механических параметров.
Известен датчик резонаторный (см. патент RU №2217767, кл. G01P 15/10 от 01.04.2002 г., опубл. в БИ №33 27.11.2003).
Датчик содержит основание из монокристалла, в котором выполнены сквозные прорези с образованием чувствительного элемента в виде маятника с одной степенью свободы, соединенного с основанием через упругие шарниры, и стержневого резонатора, концы которого соединены с чувствительным элементом и основанием.
Указанное выше устройство является наиболее близким по технической сущности к заявляемому устройству и взято в качестве прототипа.
Недостатком прототипа является изменение углового положения измерительной оси датчика под действием измеряемой величины.
Решаемой технической задачей является создание датчика резонаторного с компенсацией отклонений измерительной оси в процессе измерений.
Достигаемым техническим результатом является снижение погрешности измерения механических параметров, обусловленной отклонением измерительной оси.
Для достижения технического результата в датчике резонаторном, содержащем первый маятник, выполненный в виде чувствительного элемента, соединенного с первым основанием через первые упругие шарниры, и силочувствительный резонатор, один конец которого соединен с чувствительным элементом, а другой конец - с первым основанием, новым является то, что введено второе основание, соединенное с первым основанием через вторые упругие шарниры с образованием второго маятника, при этом маятники расположены относительно друг друга таким образом, чтобы векторы, соединяющие центры масс маятников с их осями поворота, были противоположно направлены, а расстояние L2 от оси поворота второго маятника до его центра массы выбрано из условия
Figure 00000001
где L1 - расстояние от центра массы первого маятника до его оси поворота;
m1, m2 - значения масс первого и второго маятников соответственно (m2 равна сумме масс чувствительного элемента 1 и первого основания 2);
e1, e2 - угловые податливости перемещений первого и второго маятника относительно осей поворота первого и второго маятников соответственно.
На фигурах 1, 2 изображен заявляемый вариант конструкции датчика резонаторного, который включает в себя: первый маятник (чувствительный элемент 1), соединенный с первым основанием 2 через первые упругие шарниры 4; силочувствительный резонатор 8, один конец которого соединен с чувствительным элементом 1, а другой конец - с первым основанием 2; второй маятник (чувствительный элемент 1, соединенный с первым основанием 2 через первые упругие шарниры 4, силочувствительный резонатор 8, первое основание 2), соединенный со вторым основанием 3 через вторые упругие шарниры 5; 6 - центр масс первого маятника; 7 - центр масс второго маятника, масса которого равна сумме масс чувствительного элемента 1 и первого основания 2.
На фигуре 3 изображена кинематическая схема заявляемого устройства с первым маятником массой m1 с центром массы А(А') и вторым маятником массой m2 с центром массы В(В'), где:
ИО - направление измерительной оси датчика резонаторного,
j - вектор ускорения,
А(6) - положение центра масс первого маятника в исходном состоянии,
А'(6) - положение центра масс первого маятника при действии ускорения j,
О - ось поворота первого маятника в исходном положении,
О' - ось поворота первого маятника при действии ускорения j,
В(7) - центр массы второго маятника в исходном положении,
В'(7) - центр массы второго маятника при действии ускорения j,
O1 - положение оси поворота первого основания 2;
α - угол поворота первого маятника относительно второго маятника под действием ускорения j (∠AOA'=∠AO'A', см. фиг.3);
β - угол поворота второго маятника под действием ускорения j;
L1 - расстояние от оси поворота О первого маятника до его центра масс 6(A, A'),
L2 - расстояние от оси поворота O1 второго маятника до его центра масс 7(В, В');
А”О” - прямая линия, определяющая положение привалочной (монтажной) поверхности датчика относительно объекта (принадлежит второму основанию).
В исходном положении измерительная ось ИО устанавливается нормально к привалочной поверхности, заданной прямой А”О”, проходящей параллельно линии АО, соединяющей центр масс А первого маятника и ось поворота О первых упругих шарниров 4.
Введение второго маятника и его расположение относительно первого маятника определенным образом позволяет обеспечить поступательное движение первого маятника относительно второго основания, а второму маятнику иметь угловое перемещение относительно второго основания, обеспечивающее компенсацию углового перемещения измерительной оси датчика резонаторного, что уменьшает погрешности измерения механических параметров, обусловленные отклонением измерительной оси.
Устройство работает следующим образом.
В исходном состоянии - в состоянии покоя или равномерного прямолинейного движения объекта (ускорение j=0) между первым маятником и его основанием отсутствуют силы, влияющие на их перемещение относительно друг друга и относительно второго основания 3.
В случае ускоренного движения объекта, на котором жестко закреплено второе основание 3, возникают инерционные силы, создающие моменты M1, M2, которые вызывают угловые перемещения первого и второго маятников датчика. Центр масс 6(А) первого маятника перемещается в точку А' (фиг.3), а центр масс 7 (B) второго маятника перемещается в точку В', ось поворота первых упругих шарниров 4 перемещается из точки О в точку О'. Это приводит к изменению угловых положений первого маятника относительно второго маятника на угол α и второго маятника относительно второго основания 3 на угол β.
Таким образом, первый маятник участвует в двух движениях: относительном - вокруг оси О первых упругих шарниров 4 и переносном движении второго маятника вокруг оси O1 вторых упругих шарниров 5. Необходимым условием стабилизации углового положения измерительной оси ИО датчика относительно второго основания 3 является расположение маятников относительно друг друга таким образом, чтобы векторы, соединяющие центры масс маятников с их упругими шарнирами, были противоположно направлены, то есть углы α и β должны иметь разный знак. Дополнительным условием стабилизации углового положения измерительной оси ИО датчика является равенство, при котором
Figure 00000002
Значения углов α и β определяются значениями моментов М1 и M2 от инерционных сил, и угловыми податливостями первого и второго маятников.
Figure 00000003
Figure 00000004
где М1, М2 - моменты от инерционных сил, действующих на массу первого маятника, равную массе чувствительного элемента 1 (центр масс в точке 6), и на массу второго маятника, равную сумме масс первого основания 2 и чувствительного элемента 1 (центр масс в точке 7);
F1, F - проекции инерционных сил на нормали к отрезкам А'О', B'O1 соответственно (см. фиг.2);
L1 - расстояние от центра массы 6 (А) первого маятника до его оси поворота (О);
L2 - расстояние от центра массы 7 (В) первого маятника до его оси поворота (О1);
m1, m2 - массы первого и второго маятников;
j·cosγ - компонента ускорения центра масс (6) первого маятника, обуславливающая его угловое перемещение относительно первого основания 2;
j·cos(γ+φ) - компонента ускорения центра массы (7) второго маятника, обуславливающая его угловое перемещение относительно второго основания 3;
γ - угол между вектором ускорения j и направлением измерительной оси ИО (нормаль к АО);
φ0 - угол между направлением измерительной оси ИО и нормалью к BO1 в исходном положении.
При малых значениях углов α и β (что, как правило, реализуется практически), длины дуг
Figure 00000005
,
Figure 00000006
сходятся к отрезкам АА', ВВ'
Figure 00000007
Figure 00000008
где h1 (AA'), h2 (BB') - расстояния, на которые перемещаются центр масс (6) первого маятника (АА') и его ось поворота О (ВВ');
α - угол, определяющий угловое перемещение первого маятника относительно первого основания 2;
β - угол, определяющий угловое перемещение второго маятника (первого основания) относительно второго основания 3.
Используя соотношения (4), (5), с учетом (1) находим соотношения углов
Figure 00000009
С другой стороны, углы |α| и |β| равны
Figure 00000010
Figure 00000011
где е1 - угловая податливость первых упругих шарниров 4,
e2 - угловая податливость вторых упругих шарниров 5.
Отношение (6) с учетом соотношений (1), (2), (3) и (7), (8) может быть представлено в виде
Figure 00000012
где при малых значениях углов φ0, β
Figure 00000013
В реальной конструкции максимальные значения углов α, β и φ0 не превышают значения 0,01-0,03 рад. Максимальные значения углов α и β реализуются при малых значениях угла γ, для которых проекции инерциальных сил F1, FΣ на измерительную ось ИО и нормаль к BO1 имеют максимальные значения (см. фиг.3). С учетом малости углов α и β (cos(φ0-β)→1) значение отношения (10) может быть принята равным 1, а выражение (9) может быть представлено
Figure 00000014
С учетом этого отрезок прямой L2, соединяющий ось поворота (О1) первого основания 2 с центром суммарной массы (В) первого основания 2 и чувствительного элемента 1 будет определяться выражением
Figure 00000015
Таким образом, для обеспечения компенсации отклонений измерительной оси датчика резонаторного условие (1) при заданных значения масс первого m1 и второго m2 маятников необходимо расположить маятники относительно друг друга таким образом, чтобы векторы, соединяющие центры масс маятников с их осями поворота, были противоположно направлены, а расстояние L2 от оси поворота второго маятника до его центра массы определялось согласно формуле (11).
Были проведены исследования, которые показали возможность реализации заявленного устройства, позволяющего на порядок уменьшить изменение углового положения измерительной оси. Эффективность предлагаемого технического решения по стабилизации положения измерительной оси датчика резонаторного с маятниковым чувствительным элементом подтверждена расчетами на ЭВМ с использованием метода конечных элементов.

Claims (1)

  1. Датчик резонаторный, содержащий первый маятник, выполненный в виде чувствительного элемента, соединенного с первым основанием через первые упругие шарниры, и силочувствительный резонатор, один конец которого соединен с чувствительным элементом, а другой конец - с первым основанием, отличающийся тем, что введено второе основание, соединенное с первым основанием через вторые упругие шарниры с образованием второго маятника, при этом маятники расположены относительно друг друга таким образом, чтобы векторы, соединяющие центры масс маятников с их осями поворота, были противоположно направлены, а расстояние L2 от оси поворота второго маятника до его центра массы выбрано из условия:
    Figure 00000016
    ,
    где L1 - расстояние от центра массы первого маятника до его оси поворота;
    m1, m2 - значения масс первого и второго маятников;
    e1, e2 - угловые податливости перемещений первого и второго маятников относительно осей поворота первого и второго упругих шарниров.
RU2011133764/28A 2011-08-10 2011-08-10 Датчик резонаторный RU2477491C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011133764/28A RU2477491C1 (ru) 2011-08-10 2011-08-10 Датчик резонаторный

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011133764/28A RU2477491C1 (ru) 2011-08-10 2011-08-10 Датчик резонаторный

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2477491C1 true RU2477491C1 (ru) 2013-03-10

Family

ID=49124280

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011133764/28A RU2477491C1 (ru) 2011-08-10 2011-08-10 Датчик резонаторный

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2477491C1 (ru)

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5060039A (en) * 1988-01-13 1991-10-22 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Permanent magnet force rebalance micro accelerometer
US5165279A (en) * 1989-07-06 1992-11-24 Sundstrand Corporation Monolithic accelerometer with flexurally mounted force transducer
US5331854A (en) * 1991-02-08 1994-07-26 Alliedsignal Inc. Micromachined rate and acceleration sensor having vibrating beams
US5392650A (en) * 1991-01-11 1995-02-28 Northrop Grumman Corporation Micromachined accelerometer gyroscope
RU2064682C1 (ru) * 1993-09-28 1996-07-27 Владимир Михайлович Ачильдиев Микромеханический вибрационный гироскоп-акселерометр
RU2217767C1 (ru) * 2002-04-01 2003-11-27 Российский Федеральный Ядерный Центр - Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Экспериментальной Физики Датчик резонаторный
RU2247993C2 (ru) * 2003-01-04 2005-03-10 Российский федеральный ядерный центр-Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики-РФЯЦ-ВНИИЭФ Датчик резонаторный
RU2402020C1 (ru) * 2009-04-10 2010-10-20 Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" - Корпорация Датчик резонаторный
RU2410705C2 (ru) * 2009-04-10 2011-01-27 Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом"-Корпорация Датчик резонаторный
RU2415441C1 (ru) * 2009-10-12 2011-03-27 Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" - Госкорпорация "Росатом" Датчик резонаторный

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5060039A (en) * 1988-01-13 1991-10-22 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Permanent magnet force rebalance micro accelerometer
US5165279A (en) * 1989-07-06 1992-11-24 Sundstrand Corporation Monolithic accelerometer with flexurally mounted force transducer
US5392650A (en) * 1991-01-11 1995-02-28 Northrop Grumman Corporation Micromachined accelerometer gyroscope
US5331854A (en) * 1991-02-08 1994-07-26 Alliedsignal Inc. Micromachined rate and acceleration sensor having vibrating beams
RU2064682C1 (ru) * 1993-09-28 1996-07-27 Владимир Михайлович Ачильдиев Микромеханический вибрационный гироскоп-акселерометр
RU2217767C1 (ru) * 2002-04-01 2003-11-27 Российский Федеральный Ядерный Центр - Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Экспериментальной Физики Датчик резонаторный
RU2247993C2 (ru) * 2003-01-04 2005-03-10 Российский федеральный ядерный центр-Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики-РФЯЦ-ВНИИЭФ Датчик резонаторный
RU2402020C1 (ru) * 2009-04-10 2010-10-20 Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" - Корпорация Датчик резонаторный
RU2410705C2 (ru) * 2009-04-10 2011-01-27 Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом"-Корпорация Датчик резонаторный
RU2415441C1 (ru) * 2009-10-12 2011-03-27 Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" - Госкорпорация "Росатом" Датчик резонаторный

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9229026B2 (en) Accelerometer systems and methods
US10024881B2 (en) MEMS sensor
JP5275661B2 (ja) 自己較正型加速度計
CN101839719A (zh) 一种基于陀螺、地磁传感器的惯性测量装置
WO2015031388A1 (en) Method and apparatus for measuring thrust
EP2930467A1 (en) A system and method for sensing the inclination of a moving platform with respect to gravity
Sushchenko et al. Nonorthogonal redundant configurations of inertial sensors
KR20190043306A (ko) 3차원 좌표 측정장치
CN103323625A (zh) 一种mems-imu中加速度计动态环境下的误差标定补偿方法
WO2021218731A1 (zh) Imu与刚体的位姿融合方法、装置、设备及存储介质
Vikas et al. Joint angle measurement using strategically placed accelerometers and gyroscope
JP5678357B2 (ja) 回転情報演算方法、回転情報演算プログラム、磁気型ジャイロスコープおよび移動体
RU2683144C1 (ru) Способ определения ошибок ориентации измерительных осей лазерных гироскопов и маятниковых акселерометров в бесплатформенной инерциальной навигационной системе
EP3073226B1 (en) Continuous calibration of an inertial system
RU2256881C2 (ru) Способ определения параметров ориентации и навигации и бесплатформенная инерциальная навигационная система для быстровращающихся объектов
RU2477491C1 (ru) Датчик резонаторный
He et al. Estimating the orientation of a rigid body moving in space using inertial sensors
KR20150036138A (ko) 회전각가속도 측정 장치
Luczak Single-axis tilt measurements realized by means of MEMS accelerometers
EP3093614B1 (en) System and method for estimating three-dimensional measurements of physical objects
Zhang et al. Implementation and complexity analysis of orientation estimation algorithms for human body motion tracking using low-cost sensors
RU168085U1 (ru) Устройство для измерения углового ускорения
KR101376598B1 (ko) 이동체의 움직임 측정장치, 그 측정 및 보정 방법
KR101130069B1 (ko) 링 레이저 자이로 Trapping 측정치를 이용한 각속도 계산방법
JP2015148497A (ja) 磁気型ジャイロスコープおよび三次元方位計