RU2473040C1 - Method to manufacture electromechanical initiators - Google Patents
Method to manufacture electromechanical initiators Download PDFInfo
- Publication number
- RU2473040C1 RU2473040C1 RU2011134148/11A RU2011134148A RU2473040C1 RU 2473040 C1 RU2473040 C1 RU 2473040C1 RU 2011134148/11 A RU2011134148/11 A RU 2011134148/11A RU 2011134148 A RU2011134148 A RU 2011134148A RU 2473040 C1 RU2473040 C1 RU 2473040C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- substrate
- initiators
- film
- formation
- dielectric
- Prior art date
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к способам изготовления электрических инициирующих элементов, а более конкретно к способам изготовления электромеханических инициаторов.The invention relates to methods for manufacturing electrical initiating elements, and more particularly to methods for manufacturing electromechanical initiators.
Заявляемое изобретение позволяет решить следующие задачи, стоящие в данной области техники: удешевление и упрощение изготовления инициаторов, что позволит обеспечить технологичность их массового производства.The claimed invention allows to solve the following problems in this technical field: cheaper and easier manufacture of initiators, which will ensure the manufacturability of their mass production.
Известен способ изготовления инициаторов (пат. US 4471697, опубл. 18.09.1984, F42C 19/12), включающий формирование пленочных медных мостиков одновременно с электродами на диэлектрической гибкой подложке, соединение подложки с диэлектрической пленкой и установку сапфировой втулки путем ее ручного позиционирования относительно пленочного мостика с точностью порядка нескольких микрометров. Изготовленный таким образом инициатор используют в конструкции детонатора, соединяя его с зарядом бризантного взрывчатого вещества (БВВ). Сапфировая втулка является формирователем ударника. Детонатор с инициатором, изготовленным описанным выше способом, работает следующим образом: при пропускании через пленочный мостик импульса тока амплитудой в несколько килоампер и длительностью несколько десятков наносекунд, пленочный мостик взрывается и образуется плазма, а из диэлектрической пленки посредством сапфировой втулки вырывается фрагмент, служащий ударником для заряда БВВ. В канале сапфировой втулки под воздействием расширяющейся плазмы ударник приобретает высокую скорость, необходимую для подрыва заряда БВВ.A known method of manufacturing initiators (US Pat. US 4471697, publ. 09/18/1984, F42C 19/12), including the formation of film copper bridges simultaneously with the electrodes on a dielectric flexible substrate, connecting the substrate with a dielectric film and installing a sapphire sleeve by manually positioning it relative to the film bridge with an accuracy of the order of several micrometers. The initiator made in this way is used in the design of the detonator, combining it with the charge of a blasting explosive (BVV). The sapphire sleeve is a drummer. A detonator with an initiator made in the manner described above works as follows: when a current pulse with a amplitude of several kiloamperes and a duration of several tens of nanoseconds is passed through the film bridge, the film bridge explodes and plasma is formed, and a fragment serving as a striker for exploding from the dielectric film charge BVV. In the channel of the sapphire sleeve, under the influence of an expanding plasma, the striker acquires the high speed necessary to undermine the charge of the explosive charge.
К недостаткам данного устройства следует отнести:The disadvantages of this device include:
1. Способ не адаптирован к массовому производству, т.к. подразумевает ручное позиционирование формирователя ударника - сапфировой втулки относительно пленочного мостика с точностью до 10 мкм.1. The method is not adapted to mass production, because implies manual positioning of the drummer - sapphire sleeve relative to the film bridge with an accuracy of 10 microns.
2. Способ предусматривает, фактически, штучное ручное изготовление инициаторов может привести к различиям в конструктивных параметрах, и не может не отразиться в дальнейшем на стабильности характеристик детонаторов, в частности, на разновременности срабатывания.2. The method provides, in fact, the piecewise manual manufacturing of initiators can lead to differences in design parameters, and cannot but affect the stability of detonator characteristics in the future, in particular, at different times of operation.
Еще известен способ изготовления инициаторов (пат. US 5969286, опубл. 19.10.1999, F42C 19/12), включающий формирование мостиков одновременно с электродами на подложке путем нанесения проводящего покрытия, соединение подложки с диэлектрической пленкой и последующее разделение соединенных между собой подложки с пленкой на отдельные элементы, формирование в диэлектрической пластине отверстий, расположение которых соответствует расположению мостиков на подложке, разделение пластины на отдельные элементы, являющиеся формирователями ударников, и соединение их с элементами, полученными при разделении соединенных между собой подложки и пленки. При этом необходима точность совмещения отверстия пластины с мостиком, сформированном на подложке.Another known method of manufacturing initiators (US Pat. US 5969286, publ. 19.10.1999, F42C 19/12), including the formation of bridges simultaneously with the electrodes on the substrate by applying a conductive coating, connecting the substrate with a dielectric film and subsequent separation of the interconnected substrate with the film into individual elements, forming holes in the dielectric plate, the location of which corresponds to the location of the bridges on the substrate, dividing the plate into individual elements, which are the formers of the projectiles, and ix them with the elements obtained in the separation of interconnected substrate and the film. In this case, the accuracy of combining the hole of the plate with the bridge formed on the substrate is required.
Недостатком данного способа так же, как и предыдущего, является то, что соединение формирователя ударника с остальной конструкцией осуществляют отдельной операцией, что может привести к различиям в конструктивных параметрах инициаторов, а при массовом производстве это усложняет процесс их изготовления.The disadvantage of this method, as well as the previous one, is that the drummer is connected to the rest of the structure by a separate operation, which can lead to differences in the structural parameters of the initiators, and in mass production this complicates the process of their manufacture.
Известен другой способ изготовления инициаторов, частично устраняющий недостатки вышеописанных способов и выбранный в качестве прототипа заявляемому способу по наибольшему количеству сходных признаков и решаемой задаче (заявка US 2009/0151584, публикация от 18.06.09, F42C 19/12). Данный способ включает в себя следующие операции: формирование мостиков одновременно с электродами на подложке путем нанесения проводящего покрытия с помощью фотолитографии, соединение подложки с диэлектрической пленкой и диэлектрической пластиной путем нанесения жидкого покрытия с последующим его отверждением, формирование в пластине отверстия, расположение которого соответствует расположению мостика на подложке путем фотолитографии, формирование электрических контактов инициатора путем фотолитографии и последующее разделение полученного соединения на отдельные инициаторы или группы инициаторов.There is another method of manufacturing initiators, partially eliminating the disadvantages of the above methods and selected as a prototype of the claimed method according to the greatest number of similar features and the problem to be solved (application US 2009/0151584, publication of 06/18/09, F42C 19/12). This method includes the following operations: the formation of bridges simultaneously with the electrodes on the substrate by applying a conductive coating using photolithography, connecting the substrate with a dielectric film and a dielectric plate by applying a liquid coating with its subsequent curing, forming a hole in the plate, the location of which corresponds to the location of the bridge on a substrate by photolithography, the formation of electrical contacts of the initiator by photolithography and subsequent separation the resulting compound into individual initiators or initiator groups.
Недостатком данного способа является использование фотолитографии - длительного процесса, осуществляемого в данном случае в шесть этапов, что усложняет и удлиняет технологический цикл изготовления инициаторов.The disadvantage of this method is the use of photolithography, a lengthy process carried out in this case in six stages, which complicates and lengthens the technological cycle of manufacturing initiators.
Техническим результатом изобретения является повышение технологичности изготовления инициаторов путем сокращения времени изготовления и упрощения. Дополнительным результатом является контролепригодность инициаторов на всех стадиях производства.The technical result of the invention is to increase the manufacturability of the manufacture of initiators by reducing the time of manufacture and simplification. An additional result is the suitability of the initiators at all stages of production.
Указанный технический результат достигается за счет того, что в способе изготовления инициаторов, включающем общие с прототипом признаки:The specified technical result is achieved due to the fact that in the method of manufacturing the initiators, which includes features common with the prototype:
- формирование мостиков одновременно с электродами на подложке путем нанесения проводящего покрытия;- the formation of bridges simultaneously with the electrodes on the substrate by applying a conductive coating;
- соединение подложки с диэлектрической пленкой, а затем с диэлектрической пластиной;- connection of the substrate with a dielectric film, and then with a dielectric plate;
- формирование в последней отверстий, расположенных в соответствии с месторасположением мостиков, сформированных на подложке;- the formation in the last holes located in accordance with the location of the bridges formed on the substrate;
- формирование электрических контактов инициаторов;- the formation of electrical contacts of the initiators;
- и последующее разделение полученного соединения на отдельные инициаторы или группы инициаторов,- and the subsequent separation of the resulting compounds into individual initiators or groups of initiators,
содержатся отличительные признаки:contains distinctive features:
- формирование отверстий в диэлектрической пластине и формирование электрических контактов инициаторов осуществляют до соединения между собой диэлектрической пластины, пленки и подложки,- the formation of holes in the dielectric plate and the formation of electrical contacts of the initiators is carried out before the interconnection of the dielectric plate, film and substrate,
- при этом формирование электрических контактов инициатора осуществляют путем выполнения прорезей в пленке и диэлектрической пластине, расположение которых соответствует расположению сформированных на подложке электродов,- while the formation of electrical contacts of the initiator is carried out by making slots in the film and the dielectric plate, the location of which corresponds to the location of the electrodes formed on the substrate,
- в качестве диэлектрической пленки используют полиимидную пленку с двухсторонним фторопластовым покрытием, причем толщина слоя покрытия в 4-5 раз меньше толщины пленки,- as a dielectric film using a polyimide film with a double-sided fluoroplastic coating, and the thickness of the coating layer is 4-5 times less than the thickness of the film,
- соединение пленки, подложки и пластины с отверстиями осуществляют путем термокомпрессионной сварки,- the connection of the film, the substrate and the plate with the holes is carried out by thermocompression welding,
- при которой соединение подложки с диэлектрической пленкой осуществляют под давлением (0,3±0,05) кгс/см2,- in which the connection of the substrate with the dielectric film is carried out under a pressure of (0.3 ± 0.05) kgf / cm 2 ,
- а соединение с диэлектрической пластиной - под давлением (0,03±0,005) кгс/см2.- and the connection with the dielectric plate is under pressure (0.03 ± 0.005) kgf / cm 2 .
Нанесение проводящего покрытия на подложку может быть осуществлено напылением.The application of a conductive coating to the substrate can be carried out by spraying.
Способ обеспечивает возможность:The method provides the ability to:
- выполнения подложки из материала, прозрачного к световому излучению;- performing a substrate of a material transparent to light radiation;
- выполнения инициатора в форме шестигранника, для их плотной компоновки.- execution of the initiator in the form of a hexagon, for their tight arrangement.
Выполнение операций по формированию отверстий в диэлектрической пластине до соединения диэлектрической пластины, пленки и подложки друг с другом, позволяет сократить по сравнению с прототипом время изготовления инициаторов.Performing operations on the formation of holes in the dielectric plate before connecting the dielectric plate, film and substrate to each other, reduces the manufacturing time of the initiators in comparison with the prototype.
Осуществление формирования электрических контактов инициатора путем выполнения прорезей в пленке и диэлектрической пластине, расположение которых соответствует расположению сформированных на подложке электродов, до соединения диэлектрической пластины, пленки и подложки позволяет при выполнении операции их соединения одновременно сформировать контакты для соединения инициаторов с электрической цепью подрыва.The implementation of the formation of electrical contacts of the initiator by making slots in the film and the dielectric plate, the location of which corresponds to the location of the electrodes formed on the substrate, prior to the connection of the dielectric plate, film and substrate allows, during the operation of their connection, to simultaneously form contacts for connecting the initiators to the electric circuit undermining.
Соединение между собой пленки, подложки и пластины с отверстиями путем термокомпрессионной сварки происходит при температуре (330±5)°С. Такой режим позволяет надежно соединить элементы за относительно короткое время.The interconnection of films, substrates and plates with holes by thermocompression welding occurs at a temperature of (330 ± 5) ° С. This mode allows you to reliably connect the elements in a relatively short time.
Соединение между собой пленки и подложки с нанесенными мостиками осуществляется отдельной технологической операцией. Давление, необходимое для соединения элементов с полным прилеганием друг к другу и без «пузырей», составляет величину (0,3±0,05) кгс/см2. Качество прилегания пленки к мостику является одним из важнейших критериев работоспособности инициатора. Соединение между собой подложки (с приклеенной пленкой) с диэлектрической пластиной (с отверстиями) является другой технологической операцией. Оптимальная величина давления, необходимая для соединения этих элементов, равна (0,03±0,005) кгс/см2. Такая величина давления позволяет осуществить соединение, исключающее попадание материала покрытия пленки в отверстия диэлектрической пластины, что является критическим фактором работоспособности инициатора. Режим сварки был выбран экспериментально.The interconnection of the film and the substrate with the applied bridges is carried out by a separate technological operation. The pressure required to connect the elements with a full fit to each other and without "bubbles" is (0.3 ± 0.05) kgf / cm 2 . The quality of the fit of the film to the bridge is one of the most important criteria for the operability of the initiator. The connection between a substrate (with a glued film) with a dielectric plate (with holes) is another technological operation. The optimal pressure required to connect these elements is (0.03 ± 0.005) kgf / cm 2 . Such a pressure value allows a connection to be made to prevent the film coating material from entering the holes of the dielectric plate, which is a critical factor in the operability of the initiator. The welding mode was chosen experimentally.
Выполнение покрытия из фторопласта, толщиной в 4-5 раз меньшей толщины пленки, позволяет обеспечить надежное соединение между собой пленки и подложки без применения каких-либо дополнительных, например, клеящих материалов. Выбор данных параметров покрытия был осуществлен экспериментально.The implementation of the coating of fluoroplastic, 4-5 times thicker than the film thickness, allows for reliable connection between the film and the substrate without the use of any additional, for example, adhesive materials. The choice of these parameters of the coating was carried out experimentally.
Формирование мостика и электродов на подложке может быть осуществлено напылением, что обеспечивает одинаковую толщину и размеры мостиков всех инициаторов при серийном производстве.The formation of the bridge and electrodes on the substrate can be carried out by sputtering, which ensures the same thickness and dimensions of the bridges of all initiators in serial production.
Выполнение подложки из материала, прозрачного к световому излучению, позволит задействовать инициатор импульсом лазерного излучения.The implementation of the substrate from a material transparent to light radiation will enable the initiator to use a laser pulse.
Изготовление инициаторов в форме шестигранника обеспечивает снижение отходов производства, в виду оптимальной формы элементов по компактности и по группировке друг с другом.The manufacture of initiators in the form of a hexagon ensures the reduction of production waste, in view of the optimal shape of the elements in terms of compactness and grouping with each other.
На чертеже показано поясняющее заявляемый способ аксонометрическое изображение подложки, пластины и пленки до их соединения между собой, где 1 - керамическая подложка с нанесенными на нее мостиками и электродами, 2 - диэлектрическая пленка, 3 - керамическая пластина с отверстиями.The drawing shows an axonometric image of the substrate, plate and film explaining the claimed method before they are connected to each other, where 1 is a ceramic substrate with bridges and electrodes deposited on it, 2 is a dielectric film, 3 is a ceramic plate with holes.
Инициаторы изготавливают в виде отдельных узлов блочным способом. В начале на керамической подложке 1 посредством вакуумного напыления формируют блок пленочных мостиков заодно с электродами для последующего формирования электрических контактов инициаторов. Далее в керамической пластине 3 вырезают отверстия (каналы для разгона ударников) и прорези. Прорези в пластине 3 соответствуют прорезям, которые также выполняют в диэлектрической пленке 2. Затем подложку с напыленными мостиками 1 соединяют с диэлектрической пленкой посредством термокомпрессионной сварки. После контроля качества прилегания пленки к мостикам осуществляют сварку с диэлектрической пластиной (с отверстиями) при определенном давлении, обеспечивающем отсутствие материала покрытия пленки в отверстиях пластины 3. Так как все составные части инициатора совмещаются в одном приспособлении, то точность их позиционирования будет не хуже той точности, с которой в пластине вырезаны отверстия для совмещения. Для современных машин лазерной резки эта величина составляет 1-2 мкм. Таким образом, за одну операцию удается изготовить 80-100 инициаторов из стандартных керамических пластин, используемых в производстве микроэлектронных изделий. Причем изготовленные таким образом инициаторы близки по своим конструктивным особенностям, что улучшает надежность и уменьшает разновременность срабатывания детонаторов, в конструкции которых их используют.The initiators are made in the form of separate nodes in a block way. At first, on the ceramic substrate 1, by means of vacuum deposition, a block of film bridges is formed at the same time with the electrodes for the subsequent formation of the electrical contacts of the initiators. Next, holes are cut out in the ceramic plate 3 (channels for accelerating the strikers) and slots. The slots in the plate 3 correspond to the slots, which are also performed in the dielectric film 2. Then, the substrate with the sprayed bridges 1 is connected to the dielectric film by thermocompression welding. After checking the quality of the adherence of the film to the bridges, they are welded with a dielectric plate (with holes) at a certain pressure, which ensures that there is no film coating material in the holes of the plate 3. Since all the components of the initiator are combined in one device, the accuracy of their positioning will be no worse than that accuracy with which holes for alignment are cut out in the plate. For modern laser cutting machines, this value is 1-2 microns. Thus, in one operation, it is possible to produce 80-100 initiators from standard ceramic plates used in the manufacture of microelectronic products. Moreover, the initiators manufactured in this way are close in their design features, which improves reliability and reduces the simultaneous operation of the detonators in the construction of which they are used.
Примером конкретного способа изготовления электромеханических инициаторов может служить следующая последовательность действий.An example of a specific method for manufacturing electromechanical initiators is the following sequence of actions.
На керамическую подложку 1, например, из «Поликора» Ще7.817.000-23 методом вакуумного напыления алюминия и последующего химического травления наносят мостики заодно с электродами. Толщина покрытия 3-5 мкм. В керамической пластине 3, выполненной как и подложка из «Поликора» Ще7.817.000-23, вырезают отверстия и прорези величиной 2-4 мкм и 1-2 мкм соответственно. В диэлектрической пленке 2, например, из полиимида ПМФ-352 также выполняют прорези, расположение которых соответствует расположению прорезей на керамической пластине 3.On the ceramic substrate 1, for example, from Polikor Shche7.817.000-23, bridges are applied along with electrodes by vacuum deposition of aluminum and subsequent chemical etching. Coating thickness 3-5 microns. In the ceramic plate 3, made like a substrate from "Polikor" Shche7.817.000-23, holes and cuts of 2-4 μm and 1-2 μm, respectively, are cut out. In the dielectric film 2, for example, from the PMF-352 polyimide, slots are also made, the arrangement of which corresponds to the location of the slots on the ceramic plate 3.
Посредством термокомпрессионной сварки при давлении 0,35 кгс/см2 в течение 45 мин склеивают подложку 1 (с напыленными мостиками и электродами диэлектрической пленкой 2 из полиимида. Внешним осмотром, или иным способом, убедившись в полноте прилегания пленки 2 к подложке 1 и особенно мостикам, осуществляют сварку подложки (с приваренной пленкой) с пластиной (с отверстиями) 3 при меньшем давлении - 0,035 кгс/см2 и длительности - 5 мин.By means of thermocompression welding at a pressure of 0.35 kgf / cm 2, substrate 1 is glued for 45 minutes (with sprayed bridges and electrodes a dielectric film 2 made of polyimide. An external examination, or in another way, making sure that the film 2 is completely adhered to the substrate 1 and especially the bridges weld the substrate (with a welded film) with a plate (with holes) 3 at a lower pressure of 0.035 kgf / cm 2 and a duration of 5 minutes
Разрезают полученный блок инициаторов лазером на отдельные инициаторы.The resulting initiator block is cut with a laser into individual initiators.
Так как для изготовления инициаторов не требуется ручной сборки отдельных малогабаритных деталей, а за небольшое число технологических операций удается изготовить от 80 до 100 инициаторов из стандартных керамических пластин, то и их стоимость будет гораздо ниже, а массовое производство - значительно проще, чем, например, инициаторов описанных в прототипе данного изобретения. К тому же, на всех стадиях производства, инициаторы являются контролепригодными, что обеспечивает их надежность.Since the manufacture of initiators does not require the manual assembly of individual small-sized parts, and for a small number of technological operations it is possible to produce from 80 to 100 initiators from standard ceramic plates, their cost will be much lower, and mass production will be much simpler than, for example, the initiators described in the prototype of the present invention. In addition, at all stages of production, the initiators are controllable, which ensures their reliability.
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011134148/11A RU2473040C1 (en) | 2011-08-12 | 2011-08-12 | Method to manufacture electromechanical initiators |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011134148/11A RU2473040C1 (en) | 2011-08-12 | 2011-08-12 | Method to manufacture electromechanical initiators |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2473040C1 true RU2473040C1 (en) | 2013-01-20 |
Family
ID=48806618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2011134148/11A RU2473040C1 (en) | 2011-08-12 | 2011-08-12 | Method to manufacture electromechanical initiators |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2473040C1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2563006C2 (en) * | 2013-12-10 | 2015-09-10 | Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации | Electric igniter |
| RU2723364C1 (en) * | 2019-10-31 | 2020-06-10 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом) | Electric detonator manufacturing method |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0864844A2 (en) * | 1997-03-11 | 1998-09-16 | Nikko Company | Bridge wire initiator for explosives and method for making such an initiator |
| RU2247925C1 (en) * | 2003-08-11 | 2005-03-10 | Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство по атомной энергии - Минатом РФ | Electric detonator |
| US20070261584A1 (en) * | 2006-05-09 | 2007-11-15 | Nance Christopher J | Full function initiator with integrated planar switch |
| US20090151584A1 (en) * | 2007-12-14 | 2009-06-18 | Amish Desai | Efficient exploding foil initiator and process for making same |
-
2011
- 2011-08-12 RU RU2011134148/11A patent/RU2473040C1/en active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0864844A2 (en) * | 1997-03-11 | 1998-09-16 | Nikko Company | Bridge wire initiator for explosives and method for making such an initiator |
| RU2247925C1 (en) * | 2003-08-11 | 2005-03-10 | Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство по атомной энергии - Минатом РФ | Electric detonator |
| US20070261584A1 (en) * | 2006-05-09 | 2007-11-15 | Nance Christopher J | Full function initiator with integrated planar switch |
| US20090151584A1 (en) * | 2007-12-14 | 2009-06-18 | Amish Desai | Efficient exploding foil initiator and process for making same |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2563006C2 (en) * | 2013-12-10 | 2015-09-10 | Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации | Electric igniter |
| RU2723364C1 (en) * | 2019-10-31 | 2020-06-10 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом) | Electric detonator manufacturing method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9899239B2 (en) | Carrier ultra thin substrate | |
| US20210035874A1 (en) | Through electrode substrate, manufacturing method thereof and mounting substrate | |
| JPS609910B2 (en) | Manufacturing method of laminated charged electrode plate | |
| CN102163531B (en) | Flat line type ion trap mass analyzer based on MEMS (micro electro mechanical system) process and manufacturing method thereof | |
| RU2473040C1 (en) | Method to manufacture electromechanical initiators | |
| US9326378B2 (en) | Thin-film wiring substrate and substrate for probe card | |
| EP2363374A2 (en) | Manufacturing Method of MEMS Package, and Oscillator | |
| CN109405657A (en) | A kind of plasma-enhanced microchip Exploding foil initiator and preparation method | |
| EP3130881A1 (en) | Integrated barrel/bridge subassembly for an exploding foil initiator (efi) | |
| CN109297364A (en) | A kind of microchip Exploding foil initiator and preparation method thereof containing Al/PTFE | |
| US20150219428A1 (en) | Surface mount exploding foil initiator | |
| Xu et al. | A shock-induced pulsed power switch utilizing electro-explosion of exploding bridge wire | |
| CN109115057A (en) | A kind of impact piece component and preparation method thereof using MEMS technology preparation | |
| WO2022160907A1 (en) | Process for manufacturing encapsulation circuit using additive process, and encapsulation circuit | |
| Töpper et al. | Development of a high density glass interposer based on wafer level packaging technologies | |
| CN106950396B (en) | Speed measurement method for driving flyer of exploding foil initiator | |
| JPH07202424A (en) | Production of multilayer wiring board | |
| CN100468670C (en) | Internal connection system for power semiconductors comprising large-area terminals | |
| US8114303B2 (en) | Method of manufacturing ceramic probe card | |
| CN112923800B (en) | Exploding foil chip based on electric explosion and plasma discharge coupling and preparation method thereof | |
| JP2010251758A (en) | Surface-mountable semiconductor bridge chip | |
| CN104387216A (en) | In-situ self-assembled slapper ignition component and preparation method thereof | |
| US20190353467A1 (en) | Low cost chip slapper detonator | |
| CN114111474A (en) | MEMS impact sheet and wafer-level preparation method thereof | |
| CN107238325A (en) | Method for assembling low-energy exploding foil initiator |