RU2455401C1 - Реактор для получения стержней поликристаллического кремния - Google Patents
Реактор для получения стержней поликристаллического кремния Download PDFInfo
- Publication number
- RU2455401C1 RU2455401C1 RU2010151188/05A RU2010151188A RU2455401C1 RU 2455401 C1 RU2455401 C1 RU 2455401C1 RU 2010151188/05 A RU2010151188/05 A RU 2010151188/05A RU 2010151188 A RU2010151188 A RU 2010151188A RU 2455401 C1 RU2455401 C1 RU 2455401C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cooling
- jacket
- reactor
- cooling jacket
- guide ribs
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
Изобретение относится к устройствам для выращивания поликристаллического кремния, преимущественно, путем осаждения из газовой фазы на подогреваемые стержневые подложки (основы). Реактор содержит охлаждаемый поддон 1, установленный на опорной конструкции, цилиндрический колпак 2, состоящий из внутренней рубашки охлаждения 3 и наружной рубашки охлаждения 4, направляющих ребер охлаждения 5. Наружная рубашка охлаждения 4 состоит из сегментов, которые жестко связаны между собой и посредством направляющих ребер 5 с внутренней рубашкой 3 сваркой. Конструкция снабжена средствами для подвода 7 и отвода 8 охлаждающей среды и шпангоутом 9 для крепления колпака к поддону 1. Между наружной 4, внутренней 3 рубашками охлаждения и направляющими ребрами 5 образованы кольцевые каналы, переходящие с одного уровня на другой по спирали. Технический результат изобретения заключается в уменьшении массы колпака реактора и улучшении условий охлаждения внутренней рубашки 3. 5 ил.
Description
Изобретение относится к устройствам специально предназначенным для выращивания поликристаллического кремния, преимущественно путем осаждения из газовой фазы на подогреваемые стержневые подложки (основы).
Известен реактор для получения стержней поликристаллического кремния фирмы «Ваккер» (Германия), содержащий охлаждаемый поддон, цилиндрический колпак, состоящий из наружной и внутренней рубашек охлаждения, средства для отвода и подвода охлаждающей среды, шпангоут для крепления колпака к поддону (Фалькевич Э.С. «Технология полупроводникового кремния». М.: Металлургия, 1992, с.218-219).
В данном реакторе, учитывая высокое давление со стороны охлаждающей среды на внутреннюю рубашку охлаждения колпака реактора, она, для обеспечения прочности, выполняется толстостенной, что ведет к увеличению массы колпака реактора.
Кроме того, при циркуляции охлаждающей среды в едином межрубашечном пространстве образуются застойные зоны в нижней части колпака, способствующие местному перегреву внутренней рубашки охлаждения.
Наиболее близким аналогам является реактор для получения стержней поликристаллического кремния, содержащий охлаждаемый поддон, цилиндрический колпак, состоящий из наружной и внутренней рубашек охлаждения, направляющих ребер между ними и средства для отвода и подвода охлаждающей среды, шпангоут для крепления колпака к поддону (патент WO 2010083899, МПК С30В 33/035, 2010-07-29).
Установка направляющих ребер на наружной поверхности внутренней рубашки охлаждения увеличивает ее поверхность и значительно улучшает теплопередачу между охлаждающей жидкостью и поверхностью рубашки, обеспечивает более равномерное распределение охлаждающей среды, но не исключает образование застойных зон.
Давление на внутреннюю рубашку колпака реактора остается со стороны охлаждающей жидкости неизменным, и она остается толстостенной.
Техническим результатом, на достижение которого направлено предлагаемое изобретение, является уменьшение массы колпака реактора и улучшение условий охлаждения внутренней рубашки.
Технический результат достигается за счет того, что в реакторе для получения стержней поликристаллического кремния, содержащем охлаждаемый поддон, цилиндрический колпак, состоящий из наружной и внутренней рубашек охлаждения и направляющих ребер между ними, средства для отвода и подвода охлаждающей среды и шпангоут для крепления колпака к поддону, наружная рубашка охлаждения выполнена из сегментов жестко связанных между собой и с внутренней рубашкой посредством направляющих ребер с образованием кольцевых каналов, переходящих с одного уровня на другой по спирали.
Выполнение наружной рубашки из сегментов жестко связанных между собой и с внутренней рубашкой посредством направляющих ребер позволяет повысить прочность конструкции и за счет этого уменьшить толщину внутренней рубашки охлаждения и, соответственно, массу колпака.
Образование кольцевых каналов увеличивает интенсивность отвода тепла, а переход их с одного уровня на другой по спирали обеспечивает равномерное распределение охлаждающей среды в межрубашечном пространстве колпака реактора, исключая появление застойных зон, что улучшает условия охлаждения.
Описание предлагаемого реактора иллюстрируется чертежами, где
на рис.1 показан общий вид реактора; на рис.2 - вид сверху; на рис.3 - разрез по А-А на рис.2; на рис.4 - вид Б на рис.3; на рис.5 - схема движения охлаждающей среды.
Ректор для получения стержней поликристаллического кремния (рис.1, 2, 3) содержит охлаждаемый поддон 1, установленный на опорной конструкции, цилиндрический колпак 2, состоящий из внутренней рубашки охлаждения 3 и наружной рубашки охлаждения 4, направляющих ребер охлаждения 5. Наружная рубашка охлаждения состоит из сегментов 6. Сегменты 6 жестко связаны между собой и посредством направляющих ребер 5 с внутренней рубашкой 3 сваркой (рис.4). Конструкция снабжена средствами для подвода 7 и отвода 8 охлаждающей среды и шпангоутом 9 для крепления колпака к поддону 1. Между наружной, внутренней рубашками охлаждения и направляющими ребрами образованы кольцевые каналы 10, переходящие с одного уровня на другой по спирали (рис.5).
Реактор работает следующим образом. На поддон 1 устанавливается цилиндрический колпак 2 и крепится посредством шпангоута 9 к поддону. Через средство подвода 7 охлаждающей среды (например, воды) она поступает под давлением в цилиндрические каналы, образованные сегментами 6 наружной рубашки охлаждения 4, стенкой внутренней рубашки охлаждения 3 и направляющими ребрами охлаждения 5 и, пройдя по спирали, сливается через средство для отвода 8 охлаждающей среды.
Claims (1)
- Реактор для получения стержней поликристаллического кремния, содержащий охлаждаемый поддон, цилиндрический колпак, состоящий из наружной и внутренней рубашек охлаждения и направляющих ребер между ними, средства для отвода и подвода охлаждающей среды и шпангоут для крепления колпака к поддону, отличающийся тем, что наружная рубашка охлаждения выполнена из сегментов, жестко связанных между собой и с внутренней рубашкой посредством направляющих ребер с образованием кольцевых каналов, переходящих с одного уровня на другой по спирали.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2010151188/05A RU2455401C1 (ru) | 2010-12-13 | 2010-12-13 | Реактор для получения стержней поликристаллического кремния |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2010151188/05A RU2455401C1 (ru) | 2010-12-13 | 2010-12-13 | Реактор для получения стержней поликристаллического кремния |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2455401C1 true RU2455401C1 (ru) | 2012-07-10 |
Family
ID=46848575
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2010151188/05A RU2455401C1 (ru) | 2010-12-13 | 2010-12-13 | Реактор для получения стержней поликристаллического кремния |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2455401C1 (ru) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5545387A (en) * | 1992-09-28 | 1996-08-13 | Advanced Silcon Materials, Inc. | Production of high-purity polycrystalline silicon rod for semiconductor applications |
WO2010083899A1 (de) * | 2009-01-22 | 2010-07-29 | G+R Technology Group Ag | Reaktor zur herstellung von polykristallinem silizium nach dem monosilan-prozess |
-
2010
- 2010-12-13 RU RU2010151188/05A patent/RU2455401C1/ru active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5545387A (en) * | 1992-09-28 | 1996-08-13 | Advanced Silcon Materials, Inc. | Production of high-purity polycrystalline silicon rod for semiconductor applications |
WO2010083899A1 (de) * | 2009-01-22 | 2010-07-29 | G+R Technology Group Ag | Reaktor zur herstellung von polykristallinem silizium nach dem monosilan-prozess |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
ФАЛЬКЕВИЧ Э.С. Технология полупроводникового кремния. - М.: Металлургия, 1992, стр.218-219. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20150000883A1 (en) | Heat exchanger apparatus for converting a shell-side liquid into a vapor | |
JP5628426B2 (ja) | SiC単結晶の製造装置及び製造方法 | |
EP1600621A3 (en) | Cylinder liner cooling structure | |
KR20170128593A (ko) | 원자로, 특히, 액체 금속냉각식 콤팩트 원자로 | |
RU2455401C1 (ru) | Реактор для получения стержней поликристаллического кремния | |
JP2007232505A (ja) | 自然循環式沸騰水型原子炉 | |
KR20130057424A (ko) | 열복사 차폐체를 포함하는 지멘스 반응기용 벨 자 | |
JP2011033229A (ja) | 排ガス熱回収装置 | |
US4101377A (en) | Fast neutron reactor | |
KR102015491B1 (ko) | 반응기 및 고순도 실리콘의 제조 방법 | |
KR101921406B1 (ko) | 냉각 신뢰도가 향상된 smr 원자로 시스템 | |
CN102049480B (zh) | 一种冷却辊 | |
WO2012080970A2 (en) | Thermal-energy- storage tank with integrated steam generator | |
RU2705583C2 (ru) | Реактор высокого давления для синтеза меламина | |
RU2678009C1 (ru) | Реактор с охлаждаемыми стенками для гидрогенизации со взвешенным слоем | |
JP2010024481A5 (ru) | ||
KR101720800B1 (ko) | J튜브의 태양열 차단장치 | |
JP2008209106A5 (ru) | ||
CN208952758U (zh) | 一种用于铝合金生产用水冷装置 | |
RU2006131103A (ru) | Устройство аварийной защиты ядерного реактора | |
CN205856517U (zh) | 一种新型35号钢热处理装置 | |
CN205929366U (zh) | 一种ldpe吹膜循环冷却系统装置 | |
CN220034732U (zh) | 单晶炉冷却结构及具有其的单晶炉 | |
CN205761252U (zh) | 一种化学实验用加热装置 | |
RU154092U1 (ru) | Парогенератор ядерного моноблочного паропроизводящего агрегата |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PD4A | Correction of name of patent owner |