RU2446530C1 - Pulse-periodic gas-discharge laser - Google Patents
Pulse-periodic gas-discharge laser Download PDFInfo
- Publication number
- RU2446530C1 RU2446530C1 RU2011103068/28A RU2011103068A RU2446530C1 RU 2446530 C1 RU2446530 C1 RU 2446530C1 RU 2011103068/28 A RU2011103068/28 A RU 2011103068/28A RU 2011103068 A RU2011103068 A RU 2011103068A RU 2446530 C1 RU2446530 C1 RU 2446530C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- gas
- laser
- electrode
- electrodes
- discharge
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к квантовой электронике, в частности к мощным эксимерным и другим лазерам высокого давления ТЕ-типа с автоматической УФ-предыонизацией.The invention relates to quantum electronics, in particular to high-power excimer and other TE-type high-pressure lasers with automatic UV preionization.
Известен импульсно-периодический газоразрядный лазер, в котором с целью уменьшения индуктивности разрядного контура конденсаторы, подсоединенные к электродам, размещены в корпусе лазера [1].Known pulse-periodic gas-discharge laser, in which, in order to reduce the inductance of the discharge circuit, capacitors connected to the electrodes are placed in the laser housing [1].
Недостатком данного технического решения является то, что конденсаторы препятствуют продуву газа через разрядную область, снижая частоту следования импульсов, а паразитный пробой по поверхности конденсаторов не позволяет заряжать их до номинального напряжения, что снижает энергию лазерного импульса.The disadvantage of this technical solution is that the capacitors prevent the gas from blowing through the discharge region, reducing the pulse repetition rate, and parasitic breakdown on the surface of the capacitors does not allow them to be charged to the nominal voltage, which reduces the energy of the laser pulse.
Этих недостатков лишен мощный импульсно-периодический эксимерный газоразрядный лазер с УФ-предыонизацией, в котором конденсаторы, малоиндуктивно подсоединенные к высоковольтному и заземленному электродам, размещены в специальных ячейках на наружной поверхности диэлектрического фланца корпуса [2].These drawbacks are deprived of a powerful pulsed-periodic excimer gas-discharge laser with UV preionization, in which capacitors connected inductively to high-voltage and grounded electrodes are placed in special cells on the outer surface of the dielectric flange of the housing [2].
Однако в лазере затруднено необходимое для достижения высокого времени жизни газовой смеси использование керамики в качестве материала фланца. Это связано с большой (до 15 тонн) величиной силы, действующей на диэлектрический фланец при использовании в эксимерном лазере газовой смеси высокого (до 5 атм) давления, приводящей к разрушению керамического фланца за сравнительное короткое время функционирования.However, the laser makes it difficult to use ceramics as a flange material to achieve a high lifetime of the gas mixture. This is due to the large (up to 15 tons) magnitude of the force acting on the dielectric flange when using a high-pressure (up to 5 atm) pressure gas mixture in an excimer laser, which leads to the destruction of the ceramic flange in a relatively short operating time.
Частично этого недостатка лишен газоразрядный лазер с рентгеновской предыонизацией, в котором конденсаторы, подключенные к электродам, размещены на наружной поверхности диэлектрического фланца, к которому подсоединена дополнительная камера с электрически прочным газом [3]. Нагрузка на фланец уменьшается за счет выравнивания внутреннего и наружного давлений, а малая индуктивность разрядного контура достигается за счет минимизации толщины диэлектрического фланца.Partially this drawback is deprived of a gas discharge laser with X-ray preionization, in which capacitors connected to the electrodes are placed on the outer surface of the dielectric flange, to which an additional chamber with an electrically strong gas is connected [3]. The load on the flange is reduced by equalizing the internal and external pressures, and the small inductance of the discharge circuit is achieved by minimizing the thickness of the dielectric flange.
Недостатком указанного устройства является сложность его эксплуатации. Кроме этого, деформация протяженного лазерного корпуса при его заполнении газом высокого давления может приводить к разрушению жестко закрепленного на нем фланца при его выполнении керамическим.The disadvantage of this device is the complexity of its operation. In addition, the deformation of an extended laser housing when it is filled with high-pressure gas can lead to the destruction of a flange rigidly fixed on it when it is made ceramic.
Наиболее близким техническим решением, выбранным в качестве прототипа, является импульсно-периодический газоразрядный лазер, преимущественно эксимерный, содержащий корпус, в котором размещены система формирования газового потока, предыонизатор, высоковольтный и заземленный электроды, к которым через газопроницаемые токопроводы подсоединены конденсаторы, расположенные в двух контейнерах, установленных по обе стороны плоскости, включающей в себя оси электродов [4].The closest technical solution, chosen as a prototype, is a pulsed-periodic gas-discharge laser, mainly an excimer, containing a housing in which there is a gas flow formation system, a preionizer, high-voltage and grounded electrodes, to which capacitors located in two containers are connected through gas-permeable conductors installed on both sides of the plane, including the axis of the electrodes [4].
Указанное устройство отличается малоиндуктивным подключением конденсаторов к электродам, что является условием высокоэффективной работы эксимерного лазера, высокой стабильностью работы в импульсно-периодическом режиме и большим временем жизни газовой смеси, поскольку корпус лазера и контейнеры выполнены из керамики, обычно А2О3, стойкой к воздействию УФ-облучения и компонентам газовой среды лазера. Керамические контейнеры, отделяющие конденсаторы от газовой среды лазера, также характеризуются высокой надежностью к воздействию механических нагрузок, обусловленных высоким давлением газа в лазере.The indicated device is characterized by a low-inductance connection of capacitors to the electrodes, which is a condition for highly efficient excimer laser operation, high stability in pulse-periodic mode, and a long gas mixture life, since the laser case and containers are made of ceramic, typically A 2 O 3 , which is resistant to UV exposure and laser gas components. Ceramic containers separating the capacitors from the gas medium of the laser are also characterized by high reliability against mechanical stress caused by high gas pressure in the laser.
В данном устройстве заземленный электрод размещен на протяженном металлическом фланце компактного керамического корпуса лазера. Это препятствует повышению энергии генерации и средней мощности лазера, так как требуемое для этого увеличение габаритов лазера и давления газа может приводить к разрушению металлокерамического корпуса лазера относительно сложной формы. Применение предыонизатора в виде двух рядов дискретных искр, расположенных сбоку от электродов, обусловливает неоднородности основного объемного разряда, снижая кпд лазера, ограничивает возможность увеличения поперечного сечения разрядной области и энергии генерации, а также уменьшает время жизни газовой смеси из-за повышенной эрозии искровых электродов. Кроме того, когда один из электродов размещен на фланце компактного корпуса лазера, контейнеры, расположенные вблизи электродов, препятствуют продуву газа в межэлектродной области, ограничивая частоту следования импульсов.In this device, a grounded electrode is placed on an extended metal flange of a compact ceramic laser housing. This prevents an increase in the generation energy and average laser power, since the required increase in the dimensions of the laser and gas pressure can lead to the destruction of the ceramic-metal laser housing of a relatively complex shape. The use of a preionizer in the form of two rows of discrete sparks located on the side of the electrodes determines the heterogeneity of the main volume discharge, reducing the laser efficiency, limits the possibility of increasing the cross section of the discharge region and the generation energy, and also reduces the lifetime of the gas mixture due to increased erosion of spark electrodes. In addition, when one of the electrodes is placed on the flange of a compact laser case, containers located near the electrodes prevent gas from being blown in the interelectrode region, limiting the pulse repetition rate.
Техническим результатом изобретения является увеличение кпд, энергии генерации и средней мощности лазерного излучения при повышении надежности работы импульсно-периодического газоразрядного лазера.The technical result of the invention is to increase the efficiency, generation energy and average laser radiation power while increasing the reliability of a repetitively pulsed gas-discharge laser.
Указанная задача может быть осуществлена усовершенствованием устройства, содержащего корпус, в котором размещены система формирования газового потока, предыонизатор, высоковольтный и заземленный электроды, к которым через газопроницаемые токопроводы подсоединены конденсаторы, расположенные в двух контейнерах, установленных по обе стороны плоскости, включающей в себя оси электродов.This task can be carried out by improving the device containing the housing, which contains the gas flow formation system, preionizer, high-voltage and grounded electrodes, to which capacitors are connected through gas-permeable conductors located in two containers installed on both sides of the plane, including the axis of the electrodes .
Усовершенствование устройства заключается в том, что в систему формирования газового потока введены направляющие с цилиндрическими поверхностями, при этом образующие цилиндрических поверхностей параллельны оси корпуса, а их кромки примыкают к газопроницаемым токопроводам, высоковольтный электрод расположен со стороны стенки корпуса, контейнеры установлены по обе стороны высоковольтного электрода так, что их стенки, обращенные к разрядной области, образуют часть системы формирования газового потока в приэлектродной области между газопроницаемыми токопроводами и высоковольтным электродом, один из электродов лазера выполнен частично прозрачным, предыонизатор размещен со стороны нерабочей поверхности частично прозрачного электрода и выполнен в виде симметричной системы формирования скользящего разряда по поверхности плоской диэлектрической пластины, при этом корпус выполнен металлическим.An improvement of the device lies in the fact that guides with cylindrical surfaces are introduced into the gas flow formation system, while the generators of the cylindrical surfaces are parallel to the axis of the housing, and their edges are adjacent to the gas-permeable current conductors, the high-voltage electrode is located on the side of the housing wall, the containers are installed on both sides of the high-voltage electrode so that their walls facing the discharge region form part of the gas flow formation system in the near-electrode region between r zopronitsaemymi conductive high voltage electrode and one of the laser electrodes is partially transparent, preioniser placed side surface broken partially transparent electrode and is formed as a symmetric system forming a sliding discharge on the surface of a flat dielectric plate, the body is metallic.
В одном из вариантов устройства заземленный электрод лазера выполнен частично прозрачным, и введена дополнительная система формирования газового потока через частично прозрачный электрод.In one embodiment of the device, the grounded laser electrode is partially transparent, and an additional system for generating gas flow through a partially transparent electrode is introduced.
На фиг.1 схематично изображен импульсно-периодический газоразрядный лазер;Figure 1 schematically shows a pulse-periodic gas-discharge laser;
на фиг.2 - лазер с дополнительной системой формирования газового потока через частично прозрачный заземленный электрод.figure 2 - laser with an additional system for the formation of gas flow through a partially transparent grounded electrode.
Импульсно-периодический газоразрядный лазер содержит протяженный корпус - 1, систему формирования газового потока, включающую в себя диаметральный вентилятор - 2, трубки теплообменника - 3 и направляющие потока - 4 с цилиндрическими поверхностями, образующие цилиндрических поверхностей параллельны продольной оси корпуса. В корпусе - 1 также размещены два протяженных керамических контейнера - 5, установленных по обе стороны плоскости, включающей в себя продольные оси заземленного электрода - 6 и высоковольтного электрода - 7. На фиг.1 высоковольтный электрод - 7, расположенный со стороны стенки корпуса, выполнен частично прозрачным, с щелевыми окнами, перпендикулярными продольной оси электрода. С нерабочей стороны полупрозрачного электрода размещен предыонизатор в виде системы формирования скользящего разряда по поверхности плоской диэлектрической пластины - 8 между поджигающим электродом - 9 и инициирующим электродом - 10. В контейнерах - 5 размещены конденсаторы - 11, которые подсоединены к электродам лазера - 6, 7 через токовводы - 12, 13 и газопроницаемые токопроводы - 14. При этом стенки контейнеров - 5, обращенные к разрядной области, образуют часть системы формирования газового потока в приэлектродной области между газопроницаемыми токопроводами - 14 и высоковольтным электродом - 7. Межэлектродный промежуток расположен в области между газопроницаемыми токопроводами - 14, снаружи этой области к газопроницаемым токопроводам - 14 примыкают кромки направляющих потока - 4. На фиг.2 корпус - 1 содержит элементы - 15, 16 дополнительной системы формирования газового потока через полупрозрачный электрод - 6.A pulsed-periodic gas-discharge laser contains an extended housing - 1, a gas flow formation system including a diametral fan - 2, heat exchanger tubes - 3 and flow guides - 4 with cylindrical surfaces, which form cylindrical surfaces parallel to the longitudinal axis of the housing. In the housing - 1 there are also two extended ceramic containers - 5, installed on both sides of the plane, including the longitudinal axis of the grounded electrode - 6 and the high voltage electrode - 7. In figure 1, the high voltage electrode - 7, located on the side of the housing wall, is made partially transparent, with slotted windows perpendicular to the longitudinal axis of the electrode. On the non-working side of the translucent electrode, a preionizer is placed in the form of a sliding discharge formation system on the surface of a flat dielectric plate - 8 between the ignition electrode - 9 and the initiating electrode - 10. Capacitors - 11 are placed in the containers - 5, which are connected to the laser electrodes - 6, 7 through current leads - 12, 13 and gas-permeable current conductors - 14. In this case, the walls of the containers - 5, facing the discharge region, form part of the gas flow formation system in the near-electrode region between gas-permeable conductors - 14 and a high-voltage electrode - 7. The interelectrode gap is located in the area between the gas-permeable conductors - 14, the edges of the flow guides - 4 are adjacent to the gas-permeable current conductors - 14. In figure 2, the housing - 1 contains elements - 15, 16 of an additional system formation of a gas stream through a translucent electrode - 6.
Импульсно-периодический газоразрядный лазер работает следующим образом. Содержащаяся в корпусе - 1 система формирования газового потока, в который входит вентилятор - 2 и трубки теплообменника - 3, обеспечивает циркуляцию газа в корпусе лазера и его охлаждение. Направляющие потока - 4 и обращенные к разрядной области стенки протяженных контейнеров - 5 формируют газовый поток между заземленным электродом - 6 и высоковольтным электродом - 7 с однородным распределением скорости газа между электродами. Включается предыонизатор, и на поверхности плоской диэлектрической пластины - 8 между инициирующим электродом - 9 и поджигающим электродом - 10 образуется плоский слой разрядной плазмы, излучение которой через частично прозрачный электрод осуществляет предварительную ионизацию активного объема лазера. Предыонизации через частично прозрачный электрод позволяет увеличить апертуру объемного разряда и повысить энергию генерации лазера. Выполнение системы формирования скользящего разряда симметричной относительно плоскости, включающей в себя продольные оси электродов, обеспечивает симметричное относительно указанной плоскости распределение начальных электронов и, как следствие, улучшает однородность объемного разряда, повышая качество лазерного пучка. Кроме этого, обеспечивается простота и компактность высокоэффективного предыонизатора. Уровень предыонизации выбирается оптимально высоким за счет регулируемого энерговклада в скользящий разряд. Все это обеспечивает увеличение энергии генерации и эффективности лазера.Pulse-periodic gas-discharge laser operates as follows. The gas flow formation system contained in the housing - 1, which includes the fan - 2 and the heat exchanger tubes - 3, ensures gas circulation in the laser housing and its cooling. The
Одновременно с работой предыонизатора осуществляется импульсная зарядка конденсаторов - 11, вслед за которой происходит зажигание объемного разряда между электродами - 6, 7. Энергия, запасенная в конденсаторах - 11, вкладывается в разряд. Энерговклад осуществляется по малоиндуктивному разрядному контуру, включающему конденсаторы - 11, токовводы - 12, 13, газопроницаемые токопроводы - 14, и электроды - 6, 7, что позволяет получить энергию генерации лазера. Размещение высоковольтного электрода со стороны стенки корпуса и размещение керамических контейнеров по обе стороны от высоковольтного электрода обеспечивает его изоляцию от корпуса. После того, как охлаждаемый трубками теплообменника - 3 газовый поток, циркулирующий в корпусе - 1, сменит газ между заземленным и высоковольтным электродами, цикл работы повторяется. Указанное размещение высоковольтного электрода - 7 и контейнеров - 5 совместно с введением направляющих - 4, выполненных в указанном виде, обеспечивает формирование высокоскоростного газового потока между электродами лазера. Это позволяет значительно увеличить частоту следования разрядных импульсов.Simultaneously with the operation of the preionizer, the
При введении дополнительной системы формирования газового потока - 15, 16 осуществляется выдув газа через частично прозрачный заземленный электрод - 6 (фиг.2). Это увеличивает скорость газа у поверхности электрода, вблизи которого она может снижаться из-за центробежной силы и позволяет реализовать высокую частоту следования импульсов в компактном варианте высокоэнергетичного широкоапертурного лазера.With the introduction of an additional system for the formation of a gas stream - 15, 16 is carried out by blowing gas through a partially transparent grounded electrode - 6 (figure 2). This increases the gas velocity near the electrode surface, near which it can decrease due to centrifugal force and allows for a high pulse repetition rate in the compact version of a high-energy wide-aperture laser.
Выполнение корпуса металлическим увеличивает его прочность, повышая надежность работы лазера при высоком давлении газовой смеси.The execution of the metal housing increases its strength, increasing the reliability of the laser at high pressure gas mixture.
Таким образом, выполнение импульсно-периодического газоразрядного лазера в предложенном виде позволяет увеличить кпд, энергию генерации и среднюю мощность лазерного излучения при повышении надежности работы лазера.Thus, the implementation of the pulse-periodic gas-discharge laser in the proposed form allows to increase the efficiency, generation energy and average laser radiation power while increasing the reliability of the laser.
Использованные источники информации.Used sources of information.
1. Reid J. et all. Proc. SPIE O-E / LASE'89 Conference, Paper 1041-29, January, 1989.1. Reid J. et all. Proc. SPIE O-E / LASE'89 Conference, Paper 1041-29, January, 1989.
2. Патент РФ №2064720, кл.6 Н01S 3/03, 06.10.92. 27.07.96 Бюл. №21.2. RF patent No. 2064720, cl. 6
3. Laser Focus Word, 25, №10, 23 1989.3. Laser Focus Word, 25, No. 10, 23 1989.
4. Заявка Японии №1175274, Int. C1.4 Н01S 3/097 от 29.12.1987.4. Japanese Application No. 1175274, Int. C1. 4
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2011103068/28A RU2446530C1 (en) | 2011-01-28 | 2011-01-28 | Pulse-periodic gas-discharge laser |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2011103068/28A RU2446530C1 (en) | 2011-01-28 | 2011-01-28 | Pulse-periodic gas-discharge laser |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2446530C1 true RU2446530C1 (en) | 2012-03-27 |
Family
ID=46031003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2011103068/28A RU2446530C1 (en) | 2011-01-28 | 2011-01-28 | Pulse-periodic gas-discharge laser |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2446530C1 (en) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2503104C1 (en) * | 2012-07-23 | 2013-12-27 | Олег Борисович Христофоров | Gas-discharge laser |
WO2014017951A1 (en) * | 2012-07-23 | 2014-01-30 | Khristoforov Oleg Borisovich | Gas-discharge laser, laser system and method for generating radiation |
WO2014017952A1 (en) * | 2012-07-23 | 2014-01-30 | Khristoforov Oleg Borisovich | Gas-discharge laser, laser system and method for generating radiation |
RU2506671C1 (en) * | 2012-07-23 | 2014-02-10 | Общество с ограниченной ответственностью "РнД-ИСАН" | Gas-discharge laser and method of generating radiation |
RU2510109C1 (en) * | 2012-07-23 | 2014-03-20 | Олег Борисович Христофоров | Gas discharge laser and method of radiation generation |
RU2519867C2 (en) * | 2012-07-23 | 2014-06-20 | Общество с ограниченной ответственностью "РнД-ИСАН" | Gas-discharge laser |
RU2531069C2 (en) * | 2012-07-23 | 2014-10-20 | Олег Борисович Христофоров | Gas-discharge laser system and method of generating radiation |
WO2015016740A1 (en) * | 2013-08-01 | 2015-02-05 | Khristoforov Oleg Borisovich | Gas-discharge excimer laser |
RU2548240C1 (en) * | 2013-11-18 | 2015-04-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (ФГУП "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") | Discharge system of high-efficiency gas laser |
RU2557325C2 (en) * | 2013-08-01 | 2015-07-20 | Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (АО "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") | Discharge system for excimer laser (versions) |
RU2559172C2 (en) * | 2013-08-01 | 2015-08-10 | Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (АО "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") | Laser discharge system with partially translucent electrode |
RU2559029C2 (en) * | 2013-08-01 | 2015-08-10 | Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (АО "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") | Gas laser discharge system |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2002120302A (en) * | 2002-07-31 | 2004-03-20 | Владимир Михайлович Борисов | EXIMER LASER |
EP1929595A2 (en) * | 2005-09-27 | 2008-06-11 | Cymer, Inc. (A Nevada Corporation) | Thermal-expansion tolerant, preionizer electrode for a gas discharge laser |
RU2368047C1 (en) * | 2008-03-25 | 2009-09-20 | Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Федеральне агентство по атомной энергии | Device for generating volumetric discharge |
-
2011
- 2011-01-28 RU RU2011103068/28A patent/RU2446530C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2002120302A (en) * | 2002-07-31 | 2004-03-20 | Владимир Михайлович Борисов | EXIMER LASER |
EP1929595A2 (en) * | 2005-09-27 | 2008-06-11 | Cymer, Inc. (A Nevada Corporation) | Thermal-expansion tolerant, preionizer electrode for a gas discharge laser |
RU2368047C1 (en) * | 2008-03-25 | 2009-09-20 | Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Федеральне агентство по атомной энергии | Device for generating volumetric discharge |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2514159C2 (en) * | 2012-07-23 | 2014-04-27 | Олег Борисович Христофоров | Gas-discharge laser, laser system and method of generating radiation |
RU2531069C2 (en) * | 2012-07-23 | 2014-10-20 | Олег Борисович Христофоров | Gas-discharge laser system and method of generating radiation |
WO2014017952A1 (en) * | 2012-07-23 | 2014-01-30 | Khristoforov Oleg Borisovich | Gas-discharge laser, laser system and method for generating radiation |
RU2506671C1 (en) * | 2012-07-23 | 2014-02-10 | Общество с ограниченной ответственностью "РнД-ИСАН" | Gas-discharge laser and method of generating radiation |
RU2507654C1 (en) * | 2012-07-23 | 2014-02-20 | Олег Борисович Христофоров | Gas discharge laser, laser system and method of radiation generation |
RU2510109C1 (en) * | 2012-07-23 | 2014-03-20 | Олег Борисович Христофоров | Gas discharge laser and method of radiation generation |
WO2014017951A1 (en) * | 2012-07-23 | 2014-01-30 | Khristoforov Oleg Borisovich | Gas-discharge laser, laser system and method for generating radiation |
RU2519867C2 (en) * | 2012-07-23 | 2014-06-20 | Общество с ограниченной ответственностью "РнД-ИСАН" | Gas-discharge laser |
RU2503104C1 (en) * | 2012-07-23 | 2013-12-27 | Олег Борисович Христофоров | Gas-discharge laser |
WO2015016740A1 (en) * | 2013-08-01 | 2015-02-05 | Khristoforov Oleg Borisovich | Gas-discharge excimer laser |
RU2557325C2 (en) * | 2013-08-01 | 2015-07-20 | Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (АО "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") | Discharge system for excimer laser (versions) |
RU2557327C2 (en) * | 2013-08-01 | 2015-07-20 | Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (АО "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") | Gas-discharge excimer laser (versions) |
RU2559172C2 (en) * | 2013-08-01 | 2015-08-10 | Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (АО "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") | Laser discharge system with partially translucent electrode |
RU2559029C2 (en) * | 2013-08-01 | 2015-08-10 | Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (АО "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") | Gas laser discharge system |
RU2548240C1 (en) * | 2013-11-18 | 2015-04-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (ФГУП "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") | Discharge system of high-efficiency gas laser |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2446530C1 (en) | Pulse-periodic gas-discharge laser | |
US9252557B2 (en) | Single cavity dual-electrode discharge cavity and excimer laser | |
EP0463815B1 (en) | Vacuum ultraviolet light source | |
US7251263B2 (en) | Capillary discharge x-ray laser | |
JP2750348B2 (en) | X-ray of gas laser, especially for plasma X-ray tube for pre-ionization and application as electron gun | |
US4592065A (en) | Gas laser excited by a transverse electrical discharge triggered by photoionization | |
RU2507654C1 (en) | Gas discharge laser, laser system and method of radiation generation | |
US6167065A (en) | Compact discharge pumped soft x-ray laser | |
RU2557327C2 (en) | Gas-discharge excimer laser (versions) | |
US4788691A (en) | Method for the operation of a gas laser and a gas laser operated in accord therewith | |
RU2064720C1 (en) | Gas laser | |
RU2477912C2 (en) | Pulse-periodic electric-discharge excimer laser | |
RU2510109C1 (en) | Gas discharge laser and method of radiation generation | |
RU2017289C1 (en) | Device for pumping of gas flowing laser | |
RU2510110C1 (en) | Gas discharge laser | |
RU2654493C1 (en) | Vacuum arrester | |
RU2212083C1 (en) | Facility to pump wide-aperture gas laser or high-pressure amplifier | |
RU2531069C2 (en) | Gas-discharge laser system and method of generating radiation | |
RU2141708C1 (en) | Device for pumping high-power pulse-periodic gas laser | |
RU2503104C1 (en) | Gas-discharge laser | |
JPS6321882A (en) | Excimer laser | |
RU2507653C1 (en) | Gas discharge laser | |
RU2506671C1 (en) | Gas-discharge laser and method of generating radiation | |
Averin et al. | A Multichannel TEA N 2 Laser for Visualizing Pulsed Plasma in the Nanosecond Range | |
RU2519867C2 (en) | Gas-discharge laser |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150129 |