RU2446530C1 - Pulse-periodic gas-discharge laser - Google Patents

Pulse-periodic gas-discharge laser Download PDF

Info

Publication number
RU2446530C1
RU2446530C1 RU2011103068/28A RU2011103068A RU2446530C1 RU 2446530 C1 RU2446530 C1 RU 2446530C1 RU 2011103068/28 A RU2011103068/28 A RU 2011103068/28A RU 2011103068 A RU2011103068 A RU 2011103068A RU 2446530 C1 RU2446530 C1 RU 2446530C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
gas
laser
electrode
electrodes
discharge
Prior art date
Application number
RU2011103068/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Владимир Михайлович Борисов (RU)
Владимир Михайлович Борисов
Александр Юрьевич Виноходов (RU)
Александр Юрьевич Виноходов
Олег Борисович Христофоров (RU)
Олег Борисович Христофоров
Original Assignee
Владимир Михайлович Борисов
Александр Юрьевич Виноходов
Олег Борисович Христофоров
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Владимир Михайлович Борисов, Александр Юрьевич Виноходов, Олег Борисович Христофоров filed Critical Владимир Михайлович Борисов
Priority to RU2011103068/28A priority Critical patent/RU2446530C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2446530C1 publication Critical patent/RU2446530C1/en

Links

Images

Abstract

FIELD: electricity.
SUBSTANCE: laser, preferably an eximer one, comprises a casing, where the following is installed: a gas flow generation system, a pre-ioniser, a high-voltage and a grounded electrodes. Capacitors placed in two containers installed at both sides of the plane including electrode axes are connected to electrodes via gas-permeable current conductors. Guides with cylindrical surfaces are introduced into the gas flow generation system, at the same time generatrices of the cylindrical surfaces are parallel to the axis of the body, and their edges adjoin the gas permeable current conductors. The high-voltage electrode is installed at the side of the casing wall. Containers are installed at both sides of the high-voltage electrode so that their walls facing the discharge area form a part of the gas flow generation system in the near-electrode area between the gas permeable current conductors and the high-voltage electrode. One of the laser electrodes is made as partially transparent. The pre-ioniser is installed at the side of the non-working surface of the partially transparent electrode and is made in the form of a symmetric system of sliding discharge generation on the surface of the flat dielectric plate, at the same time the body is made as metal.
EFFECT: increased efficiency factor, energy of generation and average capacity of laser radiation with higher reliability of laser operation.
2 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится к квантовой электронике, в частности к мощным эксимерным и другим лазерам высокого давления ТЕ-типа с автоматической УФ-предыонизацией.The invention relates to quantum electronics, in particular to high-power excimer and other TE-type high-pressure lasers with automatic UV preionization.

Известен импульсно-периодический газоразрядный лазер, в котором с целью уменьшения индуктивности разрядного контура конденсаторы, подсоединенные к электродам, размещены в корпусе лазера [1].Known pulse-periodic gas-discharge laser, in which, in order to reduce the inductance of the discharge circuit, capacitors connected to the electrodes are placed in the laser housing [1].

Недостатком данного технического решения является то, что конденсаторы препятствуют продуву газа через разрядную область, снижая частоту следования импульсов, а паразитный пробой по поверхности конденсаторов не позволяет заряжать их до номинального напряжения, что снижает энергию лазерного импульса.The disadvantage of this technical solution is that the capacitors prevent the gas from blowing through the discharge region, reducing the pulse repetition rate, and parasitic breakdown on the surface of the capacitors does not allow them to be charged to the nominal voltage, which reduces the energy of the laser pulse.

Этих недостатков лишен мощный импульсно-периодический эксимерный газоразрядный лазер с УФ-предыонизацией, в котором конденсаторы, малоиндуктивно подсоединенные к высоковольтному и заземленному электродам, размещены в специальных ячейках на наружной поверхности диэлектрического фланца корпуса [2].These drawbacks are deprived of a powerful pulsed-periodic excimer gas-discharge laser with UV preionization, in which capacitors connected inductively to high-voltage and grounded electrodes are placed in special cells on the outer surface of the dielectric flange of the housing [2].

Однако в лазере затруднено необходимое для достижения высокого времени жизни газовой смеси использование керамики в качестве материала фланца. Это связано с большой (до 15 тонн) величиной силы, действующей на диэлектрический фланец при использовании в эксимерном лазере газовой смеси высокого (до 5 атм) давления, приводящей к разрушению керамического фланца за сравнительное короткое время функционирования.However, the laser makes it difficult to use ceramics as a flange material to achieve a high lifetime of the gas mixture. This is due to the large (up to 15 tons) magnitude of the force acting on the dielectric flange when using a high-pressure (up to 5 atm) pressure gas mixture in an excimer laser, which leads to the destruction of the ceramic flange in a relatively short operating time.

Частично этого недостатка лишен газоразрядный лазер с рентгеновской предыонизацией, в котором конденсаторы, подключенные к электродам, размещены на наружной поверхности диэлектрического фланца, к которому подсоединена дополнительная камера с электрически прочным газом [3]. Нагрузка на фланец уменьшается за счет выравнивания внутреннего и наружного давлений, а малая индуктивность разрядного контура достигается за счет минимизации толщины диэлектрического фланца.Partially this drawback is deprived of a gas discharge laser with X-ray preionization, in which capacitors connected to the electrodes are placed on the outer surface of the dielectric flange, to which an additional chamber with an electrically strong gas is connected [3]. The load on the flange is reduced by equalizing the internal and external pressures, and the small inductance of the discharge circuit is achieved by minimizing the thickness of the dielectric flange.

Недостатком указанного устройства является сложность его эксплуатации. Кроме этого, деформация протяженного лазерного корпуса при его заполнении газом высокого давления может приводить к разрушению жестко закрепленного на нем фланца при его выполнении керамическим.The disadvantage of this device is the complexity of its operation. In addition, the deformation of an extended laser housing when it is filled with high-pressure gas can lead to the destruction of a flange rigidly fixed on it when it is made ceramic.

Наиболее близким техническим решением, выбранным в качестве прототипа, является импульсно-периодический газоразрядный лазер, преимущественно эксимерный, содержащий корпус, в котором размещены система формирования газового потока, предыонизатор, высоковольтный и заземленный электроды, к которым через газопроницаемые токопроводы подсоединены конденсаторы, расположенные в двух контейнерах, установленных по обе стороны плоскости, включающей в себя оси электродов [4].The closest technical solution, chosen as a prototype, is a pulsed-periodic gas-discharge laser, mainly an excimer, containing a housing in which there is a gas flow formation system, a preionizer, high-voltage and grounded electrodes, to which capacitors located in two containers are connected through gas-permeable conductors installed on both sides of the plane, including the axis of the electrodes [4].

Указанное устройство отличается малоиндуктивным подключением конденсаторов к электродам, что является условием высокоэффективной работы эксимерного лазера, высокой стабильностью работы в импульсно-периодическом режиме и большим временем жизни газовой смеси, поскольку корпус лазера и контейнеры выполнены из керамики, обычно А2О3, стойкой к воздействию УФ-облучения и компонентам газовой среды лазера. Керамические контейнеры, отделяющие конденсаторы от газовой среды лазера, также характеризуются высокой надежностью к воздействию механических нагрузок, обусловленных высоким давлением газа в лазере.The indicated device is characterized by a low-inductance connection of capacitors to the electrodes, which is a condition for highly efficient excimer laser operation, high stability in pulse-periodic mode, and a long gas mixture life, since the laser case and containers are made of ceramic, typically A 2 O 3 , which is resistant to UV exposure and laser gas components. Ceramic containers separating the capacitors from the gas medium of the laser are also characterized by high reliability against mechanical stress caused by high gas pressure in the laser.

В данном устройстве заземленный электрод размещен на протяженном металлическом фланце компактного керамического корпуса лазера. Это препятствует повышению энергии генерации и средней мощности лазера, так как требуемое для этого увеличение габаритов лазера и давления газа может приводить к разрушению металлокерамического корпуса лазера относительно сложной формы. Применение предыонизатора в виде двух рядов дискретных искр, расположенных сбоку от электродов, обусловливает неоднородности основного объемного разряда, снижая кпд лазера, ограничивает возможность увеличения поперечного сечения разрядной области и энергии генерации, а также уменьшает время жизни газовой смеси из-за повышенной эрозии искровых электродов. Кроме того, когда один из электродов размещен на фланце компактного корпуса лазера, контейнеры, расположенные вблизи электродов, препятствуют продуву газа в межэлектродной области, ограничивая частоту следования импульсов.In this device, a grounded electrode is placed on an extended metal flange of a compact ceramic laser housing. This prevents an increase in the generation energy and average laser power, since the required increase in the dimensions of the laser and gas pressure can lead to the destruction of the ceramic-metal laser housing of a relatively complex shape. The use of a preionizer in the form of two rows of discrete sparks located on the side of the electrodes determines the heterogeneity of the main volume discharge, reducing the laser efficiency, limits the possibility of increasing the cross section of the discharge region and the generation energy, and also reduces the lifetime of the gas mixture due to increased erosion of spark electrodes. In addition, when one of the electrodes is placed on the flange of a compact laser case, containers located near the electrodes prevent gas from being blown in the interelectrode region, limiting the pulse repetition rate.

Техническим результатом изобретения является увеличение кпд, энергии генерации и средней мощности лазерного излучения при повышении надежности работы импульсно-периодического газоразрядного лазера.The technical result of the invention is to increase the efficiency, generation energy and average laser radiation power while increasing the reliability of a repetitively pulsed gas-discharge laser.

Указанная задача может быть осуществлена усовершенствованием устройства, содержащего корпус, в котором размещены система формирования газового потока, предыонизатор, высоковольтный и заземленный электроды, к которым через газопроницаемые токопроводы подсоединены конденсаторы, расположенные в двух контейнерах, установленных по обе стороны плоскости, включающей в себя оси электродов.This task can be carried out by improving the device containing the housing, which contains the gas flow formation system, preionizer, high-voltage and grounded electrodes, to which capacitors are connected through gas-permeable conductors located in two containers installed on both sides of the plane, including the axis of the electrodes .

Усовершенствование устройства заключается в том, что в систему формирования газового потока введены направляющие с цилиндрическими поверхностями, при этом образующие цилиндрических поверхностей параллельны оси корпуса, а их кромки примыкают к газопроницаемым токопроводам, высоковольтный электрод расположен со стороны стенки корпуса, контейнеры установлены по обе стороны высоковольтного электрода так, что их стенки, обращенные к разрядной области, образуют часть системы формирования газового потока в приэлектродной области между газопроницаемыми токопроводами и высоковольтным электродом, один из электродов лазера выполнен частично прозрачным, предыонизатор размещен со стороны нерабочей поверхности частично прозрачного электрода и выполнен в виде симметричной системы формирования скользящего разряда по поверхности плоской диэлектрической пластины, при этом корпус выполнен металлическим.An improvement of the device lies in the fact that guides with cylindrical surfaces are introduced into the gas flow formation system, while the generators of the cylindrical surfaces are parallel to the axis of the housing, and their edges are adjacent to the gas-permeable current conductors, the high-voltage electrode is located on the side of the housing wall, the containers are installed on both sides of the high-voltage electrode so that their walls facing the discharge region form part of the gas flow formation system in the near-electrode region between r zopronitsaemymi conductive high voltage electrode and one of the laser electrodes is partially transparent, preioniser placed side surface broken partially transparent electrode and is formed as a symmetric system forming a sliding discharge on the surface of a flat dielectric plate, the body is metallic.

В одном из вариантов устройства заземленный электрод лазера выполнен частично прозрачным, и введена дополнительная система формирования газового потока через частично прозрачный электрод.In one embodiment of the device, the grounded laser electrode is partially transparent, and an additional system for generating gas flow through a partially transparent electrode is introduced.

На фиг.1 схематично изображен импульсно-периодический газоразрядный лазер;Figure 1 schematically shows a pulse-periodic gas-discharge laser;

на фиг.2 - лазер с дополнительной системой формирования газового потока через частично прозрачный заземленный электрод.figure 2 - laser with an additional system for the formation of gas flow through a partially transparent grounded electrode.

Импульсно-периодический газоразрядный лазер содержит протяженный корпус - 1, систему формирования газового потока, включающую в себя диаметральный вентилятор - 2, трубки теплообменника - 3 и направляющие потока - 4 с цилиндрическими поверхностями, образующие цилиндрических поверхностей параллельны продольной оси корпуса. В корпусе - 1 также размещены два протяженных керамических контейнера - 5, установленных по обе стороны плоскости, включающей в себя продольные оси заземленного электрода - 6 и высоковольтного электрода - 7. На фиг.1 высоковольтный электрод - 7, расположенный со стороны стенки корпуса, выполнен частично прозрачным, с щелевыми окнами, перпендикулярными продольной оси электрода. С нерабочей стороны полупрозрачного электрода размещен предыонизатор в виде системы формирования скользящего разряда по поверхности плоской диэлектрической пластины - 8 между поджигающим электродом - 9 и инициирующим электродом - 10. В контейнерах - 5 размещены конденсаторы - 11, которые подсоединены к электродам лазера - 6, 7 через токовводы - 12, 13 и газопроницаемые токопроводы - 14. При этом стенки контейнеров - 5, обращенные к разрядной области, образуют часть системы формирования газового потока в приэлектродной области между газопроницаемыми токопроводами - 14 и высоковольтным электродом - 7. Межэлектродный промежуток расположен в области между газопроницаемыми токопроводами - 14, снаружи этой области к газопроницаемым токопроводам - 14 примыкают кромки направляющих потока - 4. На фиг.2 корпус - 1 содержит элементы - 15, 16 дополнительной системы формирования газового потока через полупрозрачный электрод - 6.A pulsed-periodic gas-discharge laser contains an extended housing - 1, a gas flow formation system including a diametral fan - 2, heat exchanger tubes - 3 and flow guides - 4 with cylindrical surfaces, which form cylindrical surfaces parallel to the longitudinal axis of the housing. In the housing - 1 there are also two extended ceramic containers - 5, installed on both sides of the plane, including the longitudinal axis of the grounded electrode - 6 and the high voltage electrode - 7. In figure 1, the high voltage electrode - 7, located on the side of the housing wall, is made partially transparent, with slotted windows perpendicular to the longitudinal axis of the electrode. On the non-working side of the translucent electrode, a preionizer is placed in the form of a sliding discharge formation system on the surface of a flat dielectric plate - 8 between the ignition electrode - 9 and the initiating electrode - 10. Capacitors - 11 are placed in the containers - 5, which are connected to the laser electrodes - 6, 7 through current leads - 12, 13 and gas-permeable current conductors - 14. In this case, the walls of the containers - 5, facing the discharge region, form part of the gas flow formation system in the near-electrode region between gas-permeable conductors - 14 and a high-voltage electrode - 7. The interelectrode gap is located in the area between the gas-permeable conductors - 14, the edges of the flow guides - 4 are adjacent to the gas-permeable current conductors - 14. In figure 2, the housing - 1 contains elements - 15, 16 of an additional system formation of a gas stream through a translucent electrode - 6.

Импульсно-периодический газоразрядный лазер работает следующим образом. Содержащаяся в корпусе - 1 система формирования газового потока, в который входит вентилятор - 2 и трубки теплообменника - 3, обеспечивает циркуляцию газа в корпусе лазера и его охлаждение. Направляющие потока - 4 и обращенные к разрядной области стенки протяженных контейнеров - 5 формируют газовый поток между заземленным электродом - 6 и высоковольтным электродом - 7 с однородным распределением скорости газа между электродами. Включается предыонизатор, и на поверхности плоской диэлектрической пластины - 8 между инициирующим электродом - 9 и поджигающим электродом - 10 образуется плоский слой разрядной плазмы, излучение которой через частично прозрачный электрод осуществляет предварительную ионизацию активного объема лазера. Предыонизации через частично прозрачный электрод позволяет увеличить апертуру объемного разряда и повысить энергию генерации лазера. Выполнение системы формирования скользящего разряда симметричной относительно плоскости, включающей в себя продольные оси электродов, обеспечивает симметричное относительно указанной плоскости распределение начальных электронов и, как следствие, улучшает однородность объемного разряда, повышая качество лазерного пучка. Кроме этого, обеспечивается простота и компактность высокоэффективного предыонизатора. Уровень предыонизации выбирается оптимально высоким за счет регулируемого энерговклада в скользящий разряд. Все это обеспечивает увеличение энергии генерации и эффективности лазера.Pulse-periodic gas-discharge laser operates as follows. The gas flow formation system contained in the housing - 1, which includes the fan - 2 and the heat exchanger tubes - 3, ensures gas circulation in the laser housing and its cooling. The flow guides 4 and the walls of the extended containers 5 facing the discharge region form a gas flow between the grounded electrode 6 and the high voltage electrode 7 with a uniform distribution of gas velocity between the electrodes. The preionizer is turned on, and on the surface of a flat dielectric plate - 8 between the initiating electrode - 9 and the ignition electrode - 10, a flat layer of discharge plasma is formed, the radiation of which through the partially transparent electrode pre-ionizes the active volume of the laser. Preionization through a partially transparent electrode allows increasing the aperture of the volume discharge and increasing the laser generation energy. The implementation of the system for the formation of a sliding discharge symmetric with respect to the plane, including the longitudinal axis of the electrodes, provides a distribution of the initial electrons symmetrical with respect to the indicated plane and, as a result, improves the uniformity of the volume discharge, increasing the quality of the laser beam. In addition, the simplicity and compactness of the highly efficient preionizer are ensured. The preionization level is chosen optimally high due to the adjustable energy input into the sliding discharge. All this provides an increase in the generation energy and laser efficiency.

Одновременно с работой предыонизатора осуществляется импульсная зарядка конденсаторов - 11, вслед за которой происходит зажигание объемного разряда между электродами - 6, 7. Энергия, запасенная в конденсаторах - 11, вкладывается в разряд. Энерговклад осуществляется по малоиндуктивному разрядному контуру, включающему конденсаторы - 11, токовводы - 12, 13, газопроницаемые токопроводы - 14, и электроды - 6, 7, что позволяет получить энергию генерации лазера. Размещение высоковольтного электрода со стороны стенки корпуса и размещение керамических контейнеров по обе стороны от высоковольтного электрода обеспечивает его изоляцию от корпуса. После того, как охлаждаемый трубками теплообменника - 3 газовый поток, циркулирующий в корпусе - 1, сменит газ между заземленным и высоковольтным электродами, цикл работы повторяется. Указанное размещение высоковольтного электрода - 7 и контейнеров - 5 совместно с введением направляющих - 4, выполненных в указанном виде, обеспечивает формирование высокоскоростного газового потока между электродами лазера. Это позволяет значительно увеличить частоту следования разрядных импульсов.Simultaneously with the operation of the preionizer, the capacitors 11 are pulsedly charged, followed by the ignition of the volume discharge between the electrodes 6, 7. The energy stored in the capacitors 11 is invested in the discharge. The energy input is carried out through a low-inductance discharge circuit, including capacitors - 11, current leads - 12, 13, gas-permeable current conductors - 14, and electrodes - 6, 7, which makes it possible to obtain laser generation energy. Placing a high voltage electrode on the side of the housing wall and placing ceramic containers on both sides of the high voltage electrode ensures its isolation from the housing. After the gas stream cooled by the tubes of the heat exchanger - 3, circulating in the housing - 1, changes gas between the grounded and high-voltage electrodes, the operation cycle is repeated. The specified location of the high-voltage electrode - 7 and containers - 5, together with the introduction of guides - 4, made in the specified form, provides the formation of a high-speed gas flow between the laser electrodes. This allows you to significantly increase the repetition rate of discharge pulses.

При введении дополнительной системы формирования газового потока - 15, 16 осуществляется выдув газа через частично прозрачный заземленный электрод - 6 (фиг.2). Это увеличивает скорость газа у поверхности электрода, вблизи которого она может снижаться из-за центробежной силы и позволяет реализовать высокую частоту следования импульсов в компактном варианте высокоэнергетичного широкоапертурного лазера.With the introduction of an additional system for the formation of a gas stream - 15, 16 is carried out by blowing gas through a partially transparent grounded electrode - 6 (figure 2). This increases the gas velocity near the electrode surface, near which it can decrease due to centrifugal force and allows for a high pulse repetition rate in the compact version of a high-energy wide-aperture laser.

Выполнение корпуса металлическим увеличивает его прочность, повышая надежность работы лазера при высоком давлении газовой смеси.The execution of the metal housing increases its strength, increasing the reliability of the laser at high pressure gas mixture.

Таким образом, выполнение импульсно-периодического газоразрядного лазера в предложенном виде позволяет увеличить кпд, энергию генерации и среднюю мощность лазерного излучения при повышении надежности работы лазера.Thus, the implementation of the pulse-periodic gas-discharge laser in the proposed form allows to increase the efficiency, generation energy and average laser radiation power while increasing the reliability of the laser.

Использованные источники информации.Used sources of information.

1. Reid J. et all. Proc. SPIE O-E / LASE'89 Conference, Paper 1041-29, January, 1989.1. Reid J. et all. Proc. SPIE O-E / LASE'89 Conference, Paper 1041-29, January, 1989.

2. Патент РФ №2064720, кл.6 Н01S 3/03, 06.10.92. 27.07.96 Бюл. №21.2. RF patent No. 2064720, cl. 6 H01S 3/03, 10/06/92. 07/27/96 Bull. No. 21.

3. Laser Focus Word, 25, №10, 23 1989.3. Laser Focus Word, 25, No. 10, 23 1989.

4. Заявка Японии №1175274, Int. C1.4 Н01S 3/097 от 29.12.1987.4. Japanese Application No. 1175274, Int. C1. 4 H01S 3/097 dated 12.29.1987.

Claims (2)

1. Импульсно-периодический газоразрядный лазер, преимущественно эксимерный, содержащий корпус, в котором размещены система формирования газового потока, предыонизатор, высоковольтный и заземленный электроды, к которым через газопроницаемые токопроводы подсоединены конденсаторы, расположенные в двух контейнерах, установленных по обе стороны плоскости, включающей в себя оси электродов, отличающийся тем, что в систему формирования газового потока введены направляющие с цилиндрическими поверхностями, при этом образующие цилиндрических поверхностей параллельны оси корпуса, а их кромки примыкают к газопроницаемым токопроводам, высоковольтный электрод расположен со стороны стенки корпуса, контейнеры установлены по обе стороны высоковольтного электрода так, что их стенки, обращенные к разрядной области, образуют часть системы формирования газового потока в приэлектродной области между газопроницаемыми токопроводами и высоковольтным электродом, один из электродов лазера выполнен частично прозрачным, предыонизатор размещен со стороны нерабочей поверхности частично прозрачного электрода и выполнен в виде симметричной системы формирования скользящего разряда по поверхности плоской диэлектрической пластины, при этом корпус выполнен металлическим.1. Pulse-periodic gas-discharge laser, mainly excimer, containing a housing in which the gas flow formation system, a preionizer, high-voltage and grounded electrodes are placed, to which capacitors are connected through gas-permeable conductors located in two containers mounted on both sides of a plane including axis of the electrodes, characterized in that guides with cylindrical surfaces are introduced into the gas flow formation system, while forming cylindrical the surfaces are parallel to the axis of the casing, and their edges are adjacent to the gas-permeable current conductors, the high-voltage electrode is located on the side of the casing wall, the containers are mounted on both sides of the high-voltage electrode so that their walls facing the discharge region form part of the gas flow formation system in the near-electrode region between gas-permeable conductors and a high-voltage electrode, one of the laser electrodes is partially transparent, the preionizer is partially located on the non-working surface rozrachnogo electrode and is designed as a symmetric system forming a sliding discharge on the surface of a flat dielectric plate, the body is metallic. 2. Импульсно-периодический лазер по п.1, отличающийся тем, что заземленный электрод лазера выполнен частично прозрачным и введена дополнительная система формирования газового потока через частично прозрачный электрод. 2. The pulsed-periodic laser according to claim 1, characterized in that the grounded laser electrode is partially transparent and an additional system for generating a gas stream through a partially transparent electrode is introduced.
RU2011103068/28A 2011-01-28 2011-01-28 Pulse-periodic gas-discharge laser RU2446530C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011103068/28A RU2446530C1 (en) 2011-01-28 2011-01-28 Pulse-periodic gas-discharge laser

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011103068/28A RU2446530C1 (en) 2011-01-28 2011-01-28 Pulse-periodic gas-discharge laser

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2446530C1 true RU2446530C1 (en) 2012-03-27

Family

ID=46031003

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011103068/28A RU2446530C1 (en) 2011-01-28 2011-01-28 Pulse-periodic gas-discharge laser

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2446530C1 (en)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2503104C1 (en) * 2012-07-23 2013-12-27 Олег Борисович Христофоров Gas-discharge laser
WO2014017951A1 (en) * 2012-07-23 2014-01-30 Khristoforov Oleg Borisovich Gas-discharge laser, laser system and method for generating radiation
WO2014017952A1 (en) * 2012-07-23 2014-01-30 Khristoforov Oleg Borisovich Gas-discharge laser, laser system and method for generating radiation
RU2506671C1 (en) * 2012-07-23 2014-02-10 Общество с ограниченной ответственностью "РнД-ИСАН" Gas-discharge laser and method of generating radiation
RU2510109C1 (en) * 2012-07-23 2014-03-20 Олег Борисович Христофоров Gas discharge laser and method of radiation generation
RU2519867C2 (en) * 2012-07-23 2014-06-20 Общество с ограниченной ответственностью "РнД-ИСАН" Gas-discharge laser
RU2531069C2 (en) * 2012-07-23 2014-10-20 Олег Борисович Христофоров Gas-discharge laser system and method of generating radiation
WO2015016740A1 (en) * 2013-08-01 2015-02-05 Khristoforov Oleg Borisovich Gas-discharge excimer laser
RU2548240C1 (en) * 2013-11-18 2015-04-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (ФГУП "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") Discharge system of high-efficiency gas laser
RU2557325C2 (en) * 2013-08-01 2015-07-20 Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (АО "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") Discharge system for excimer laser (versions)
RU2559172C2 (en) * 2013-08-01 2015-08-10 Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (АО "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") Laser discharge system with partially translucent electrode
RU2559029C2 (en) * 2013-08-01 2015-08-10 Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (АО "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") Gas laser discharge system

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2002120302A (en) * 2002-07-31 2004-03-20 Владимир Михайлович Борисов EXIMER LASER
EP1929595A2 (en) * 2005-09-27 2008-06-11 Cymer, Inc. (A Nevada Corporation) Thermal-expansion tolerant, preionizer electrode for a gas discharge laser
RU2368047C1 (en) * 2008-03-25 2009-09-20 Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Федеральне агентство по атомной энергии Device for generating volumetric discharge

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2002120302A (en) * 2002-07-31 2004-03-20 Владимир Михайлович Борисов EXIMER LASER
EP1929595A2 (en) * 2005-09-27 2008-06-11 Cymer, Inc. (A Nevada Corporation) Thermal-expansion tolerant, preionizer electrode for a gas discharge laser
RU2368047C1 (en) * 2008-03-25 2009-09-20 Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Федеральне агентство по атомной энергии Device for generating volumetric discharge

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2514159C2 (en) * 2012-07-23 2014-04-27 Олег Борисович Христофоров Gas-discharge laser, laser system and method of generating radiation
RU2531069C2 (en) * 2012-07-23 2014-10-20 Олег Борисович Христофоров Gas-discharge laser system and method of generating radiation
WO2014017952A1 (en) * 2012-07-23 2014-01-30 Khristoforov Oleg Borisovich Gas-discharge laser, laser system and method for generating radiation
RU2506671C1 (en) * 2012-07-23 2014-02-10 Общество с ограниченной ответственностью "РнД-ИСАН" Gas-discharge laser and method of generating radiation
RU2507654C1 (en) * 2012-07-23 2014-02-20 Олег Борисович Христофоров Gas discharge laser, laser system and method of radiation generation
RU2510109C1 (en) * 2012-07-23 2014-03-20 Олег Борисович Христофоров Gas discharge laser and method of radiation generation
WO2014017951A1 (en) * 2012-07-23 2014-01-30 Khristoforov Oleg Borisovich Gas-discharge laser, laser system and method for generating radiation
RU2519867C2 (en) * 2012-07-23 2014-06-20 Общество с ограниченной ответственностью "РнД-ИСАН" Gas-discharge laser
RU2503104C1 (en) * 2012-07-23 2013-12-27 Олег Борисович Христофоров Gas-discharge laser
WO2015016740A1 (en) * 2013-08-01 2015-02-05 Khristoforov Oleg Borisovich Gas-discharge excimer laser
RU2557325C2 (en) * 2013-08-01 2015-07-20 Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (АО "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") Discharge system for excimer laser (versions)
RU2557327C2 (en) * 2013-08-01 2015-07-20 Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (АО "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") Gas-discharge excimer laser (versions)
RU2559172C2 (en) * 2013-08-01 2015-08-10 Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (АО "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") Laser discharge system with partially translucent electrode
RU2559029C2 (en) * 2013-08-01 2015-08-10 Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (АО "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") Gas laser discharge system
RU2548240C1 (en) * 2013-11-18 2015-04-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (ФГУП "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") Discharge system of high-efficiency gas laser

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2446530C1 (en) Pulse-periodic gas-discharge laser
US9252557B2 (en) Single cavity dual-electrode discharge cavity and excimer laser
EP0463815B1 (en) Vacuum ultraviolet light source
US7251263B2 (en) Capillary discharge x-ray laser
JP2750348B2 (en) X-ray of gas laser, especially for plasma X-ray tube for pre-ionization and application as electron gun
US4592065A (en) Gas laser excited by a transverse electrical discharge triggered by photoionization
RU2507654C1 (en) Gas discharge laser, laser system and method of radiation generation
US6167065A (en) Compact discharge pumped soft x-ray laser
RU2557327C2 (en) Gas-discharge excimer laser (versions)
US4788691A (en) Method for the operation of a gas laser and a gas laser operated in accord therewith
RU2064720C1 (en) Gas laser
RU2477912C2 (en) Pulse-periodic electric-discharge excimer laser
RU2510109C1 (en) Gas discharge laser and method of radiation generation
RU2017289C1 (en) Device for pumping of gas flowing laser
RU2510110C1 (en) Gas discharge laser
RU2654493C1 (en) Vacuum arrester
RU2212083C1 (en) Facility to pump wide-aperture gas laser or high-pressure amplifier
RU2531069C2 (en) Gas-discharge laser system and method of generating radiation
RU2141708C1 (en) Device for pumping high-power pulse-periodic gas laser
RU2503104C1 (en) Gas-discharge laser
JPS6321882A (en) Excimer laser
RU2507653C1 (en) Gas discharge laser
RU2506671C1 (en) Gas-discharge laser and method of generating radiation
Averin et al. A Multichannel TEA N 2 Laser for Visualizing Pulsed Plasma in the Nanosecond Range
RU2519867C2 (en) Gas-discharge laser

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20150129