RU2368047C1 - Device for generating volumetric discharge - Google Patents

Device for generating volumetric discharge Download PDF

Info

Publication number
RU2368047C1
RU2368047C1 RU2008111569/28A RU2008111569A RU2368047C1 RU 2368047 C1 RU2368047 C1 RU 2368047C1 RU 2008111569/28 A RU2008111569/28 A RU 2008111569/28A RU 2008111569 A RU2008111569 A RU 2008111569A RU 2368047 C1 RU2368047 C1 RU 2368047C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
discharge
electrode
electrodes
main
preionisation
Prior art date
Application number
RU2008111569/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Сергей Дмитриевич Великанов (RU)
Сергей Дмитриевич Великанов
Александр Федорович Запольский (RU)
Александр Федорович Запольский
Дмитрий Вячеславович Соколов (RU)
Дмитрий Вячеславович Соколов
Original Assignee
Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Федеральне агентство по атомной энергии
Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики"-ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Федеральне агентство по атомной энергии, Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики"-ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ" filed Critical Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Федеральне агентство по атомной энергии
Priority to RU2008111569/28A priority Critical patent/RU2368047C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2368047C1 publication Critical patent/RU2368047C1/en

Links

Images

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Abstract

FIELD: electricity.
SUBSTANCE: invention relates to quantum electronics and can be used in gas discharge devices, particularly in electrodischage pulse-periodic lasers with transverse discharge. The device comprises a discharge chamber with an electrode section, consisting of two main electrodes and a preionisation discharge electrode. One of the main electrodes is semi-transparent, and the preionisation discharge electrode in form of a metal run is separated from it on the reverse side of a dielectric plate. The second main electrode is semi-transparent. On its reverse side there is another preionisation discharge electrode in form of a metal run and separated from it by a dielectric plate. Both preionisation discharge electrodes are electrically connected. The power supply is a unipolar or alternating or oscillating pulse voltage generator.
EFFECT: obtaining uniform discharge in a device for generating volumetric discharge with simultaneous increase in reliability of its operation when using unipolar or alternating supply voltage, as well as obtaining a compact and modular structure of the device.
2 cl, 2 dwg

Description

Область техникиTechnical field

Изобретение относится к области квантовой электроники и может быть использовано в газоразрядных устройствах, в частности в электроразрядных импульсно-периодических лазерах с поперечным разрядом.The invention relates to the field of quantum electronics and can be used in gas-discharge devices, in particular in electric-discharge pulse-periodic lasers with a transverse discharge.

Уровень техникиState of the art

Известно, что в электроразрядных лазерах, в момент предшествующий формированию объемного разряда, создание в объеме разрядного промежутка некоторой величины начальной концентрации электронов, достаточной для перекрытия лавин, развивающихся из начальных электронов при приложении к промежутку импульса высокого напряжения, качественным образом улучшает характеристики разряда. Обычно для получения начальной концентрации электронов в разрядном промежутке применяется предыонизация газовой смеси.It is known that in electric-discharge lasers, at the time preceding the formation of the volume discharge, the creation in the volume of the discharge gap of a certain initial electron concentration sufficient to block the avalanches developing from the initial electrons when a high voltage pulse is applied to the gap, qualitatively improves the discharge characteristics. Usually, preionization of the gas mixture is used to obtain the initial electron concentration in the discharge gap.

Известно, что в импульсно-периодических газовых лазерах время горения объемного разряда обычно достаточно мало, а средняя скорость носителей заряда (электронов и ионов) отличается на несколько порядков. В связи с этим в разрядном промежутке происходит образование объемного заряда, смещающего среднюю напряженность поля в сторону катода. Реализация механизма предыонизации, противодействующего этому эффекту, позволяет улучшить условия формирования объемного разряда, тем самым повысить удельный энерговклад, качество лазерного излучения, КПД, частоту повторения импульсов и среднюю мощность лазера. Типичный источник предварительной ионизации - УФ-излучение искрового разряда (разряда по поверхности, барьерного или коронного).It is known that in pulse-periodic gas lasers the burning time of a volume discharge is usually quite short, and the average velocity of charge carriers (electrons and ions) differs by several orders of magnitude. In connection with this, a space charge is formed in the discharge gap, which biases the average field strength toward the cathode. The implementation of the preionization mechanism that counteracts this effect allows one to improve the conditions for the formation of a volume discharge, thereby increasing the specific energy input, laser radiation quality, efficiency, pulse repetition rate, and average laser power. A typical source of preliminary ionization is the UV radiation of a spark discharge (discharge on the surface, barrier or corona).

Известно устройство для формирования объемного разряда, включающее разрядную камеру с двумя противоположно расположенными электродами основного разряда, подключенными к источнику питания. Вдоль первого из основных электродов с двух сторон установлены электроды формирования емкостного разряда предварительной ионизации, каждый из которых выполнен в виде металлического проводника, заключенного в закрытую с одного конца и открытую с другого конца диэлектрическую трубку, и вспомогательного электрода. При этом металлический проводник соединен с дополнительным источником питания со стороны открытого конца трубки, а вспомогательный электрод соединен со вторым основным электродом [1].A device for forming a volume discharge is known, including a discharge chamber with two oppositely located electrodes of the main discharge connected to a power source. Along the first of the main electrodes, electrodes for the formation of a capacitive discharge of preliminary ionization are installed on both sides, each of which is made in the form of a metal conductor enclosed in a dielectric tube closed at one end and open at the other end, and an auxiliary electrode. In this case, the metal conductor is connected to an additional power source from the side of the open end of the tube, and the auxiliary electrode is connected to the second main electrode [1].

Недостатком данного устройства является то, что не обеспечивается однородная предыонизация по поперечному сечению разрядного промежутка из-за того, что источник УФ-излучения освещает разрядный промежуток по конусу, поскольку электроды формирования емкостного разряда расположены таким образом, чтобы исключить их влияние на условия течения рабочей среды.The disadvantage of this device is that it does not provide uniform preionization over the cross section of the discharge gap due to the fact that the UV radiation source illuminates the discharge gap along the cone, since the electrodes for the formation of a capacitive discharge are located in such a way as to exclude their influence on the flow conditions of the working medium .

Известно устройство для формирования объемного разряда, включающее: лазерную камеру; электроды, образованные секциями, расположенными в верхней и в нижней частях разрядной камеры параллельно оптической оси излучения. Причем секции одного электрода смещены в продольном направлении относительно секций другого электрода, в котором выполнены отверстия; зеркала резонатора; синхронизирующий разрядник, расположенный в диэлектрической экранирующей трубке с отверстиями, соосными с отверстиями в секциях одного из электродов; источник питания с подключенными секциями электродов, соединенными в последовательную электрическую цепь [2].A device for forming a volume discharge is known, including: a laser camera; electrodes formed by sections located in the upper and lower parts of the discharge chamber parallel to the optical axis of radiation. Moreover, the sections of one electrode are offset in the longitudinal direction relative to the sections of the other electrode, in which the holes are made; resonator mirrors; a synchronizing spark gap located in a dielectric shielding tube with holes coaxial with holes in the sections of one of the electrodes; a power source with connected sections of electrodes connected to a serial electric circuit [2].

Известно устройство для формирования объемного разряда, содержащее разрядную камеру, заполненную рабочей средой, два протяженных вдоль оптической оси лазера и расположенных симметрично относительно нее электрода, один из которых образован профилированными секциями и подключен к источнику питания, и предыонизатор. Предыонизатор расположен со стороны второго электрода, второй электрод также образован профилированными секциями. Секции одного электрода смещены в продольном направлении относительно секций другого электрода на половину их длины. На краях секций выполнены выступы, обращенные к оптической оси лазера, в выступах секций электрода, обращенного к предыонизатору, образованы сквозные отверстия. Предыонизатор выполнен в виде синхронизирующего разрядника, размещенного внутри диэлектрической экранирующей трубки с отверстиями напротив отверстий в секциях второго электрода, при этом источник питания подключен к крайним секциям первого электрода.A device for forming a volume discharge is known, comprising a discharge chamber filled with a working medium, two electrodes extended along the laser optical axis and located symmetrically relative to it, one of which is formed by profiled sections and connected to a power source, and a preionizer. The preionizer is located on the side of the second electrode, the second electrode is also formed by profiled sections. The sections of one electrode are offset in the longitudinal direction relative to the sections of the other electrode by half their length. At the edges of the sections, protrusions are made facing the optical axis of the laser, through holes are formed in the protrusions of the sections of the electrode facing the preionizer. The preionizer is made in the form of a synchronizing spark gap placed inside a dielectric shielding tube with holes opposite the holes in the sections of the second electrode, while the power source is connected to the extreme sections of the first electrode.

Недостатком данного устройства является то, что оно не обладает однородностью предварительной ионизации рабочей среды из-за того, что выбрано устройство предыонизации разрядного промежутка в виде засветки излучением искры, проходящим последовательно через соответствующее отверстие в диэлектрической трубке и отверстие в нижнем электроде. Кроме того, при приложении к крайним секциям первого электрода импульса напряжения от источника питания, распределение разности потенциалов между секциями, образующими последовательную электрическую цепь, будет неизбежно неравномерно.The disadvantage of this device is that it does not have uniformity of preliminary ionization of the working medium due to the choice of a device for preionization of the discharge gap in the form of illumination by spark radiation passing sequentially through the corresponding hole in the dielectric tube and the hole in the lower electrode. In addition, when a voltage pulse is applied to the extreme sections of the first electrode from the power source, the distribution of the potential difference between the sections forming a serial electric circuit will inevitably be uneven.

Известно устройство, содержащее разрядную камеру с двумя параллельно расположенными электродами основного разряда, подключенными к генератору импульсного напряжения питания основного разряда, электрод предыонизации, подключенный к вспомогательному генератору импульсного напряжения питания разряда предыонизации. При этом анод выполнен цельным и профилированным, а катод плоским и перфорированным, частично прозрачным для УФ излучения разряда предыонизации. Электрод предыонизации выполнен в виде металлической шины и отделен от катода диэлектрической пластиной [3].A device is known that contains a discharge chamber with two parallel electrodes of the main discharge connected to a generator of a pulsed supply voltage of the main discharge, a preionization electrode connected to an auxiliary generator of a pulsed supply voltage of a preionization discharge. In this case, the anode is made integral and profiled, and the cathode is flat and perforated, partially transparent to UV radiation of the preionization discharge. The preionization electrode is made in the form of a metal bus and is separated from the cathode by a dielectric plate [3].

К недостаткам данного устройства следует отнести то, что в нем не обеспечивается однородная по высоте засветка разрядного промежутка, поскольку источник УФ-излучения расположен под одним из основных электродов. Кроме того, использование отдельного источника импульсного напряжения для разряда предыонизации не позволяет применять для питания основного разряда источник знакопеременного (импульсно-периодический режим с изменением полярности основных электродов) или осциллирующего напряжения.The disadvantages of this device include the fact that it does not provide uniform illumination of the discharge gap in height, since the UV radiation source is located under one of the main electrodes. In addition, the use of a separate source of pulse voltage for the preionization discharge does not allow the source of alternating (pulse-periodic mode with a change in the polarity of the main electrodes) or oscillating voltage to be used to power the main discharge.

Последнее из рассмотренных решений [3], как наиболее близкое по технической и физической сущности к заявляемому изобретению, выбрано в качестве прототипа.The last of the considered solutions [3], as the closest in technical and physical nature to the claimed invention, is selected as a prototype.

Раскрытие изобретенияDisclosure of invention

Техническим результатом изобретения является получение однородного разряда в устройстве формирования объемного разряда при одновременном повышении надежности его работы при использовании как униполярного, так и знакопеременного напряжения питания разряда, а также получение компактной и модульной конструкции устройства.The technical result of the invention is to obtain a uniform discharge in a volume discharge forming device while simultaneously increasing the reliability of its operation using both unipolar and alternating discharge voltage, as well as obtaining a compact and modular device design.

Технический результат в заявляемом изобретении по п.1 достигается тем, что устройство формирования объемного разряда включает разрядную камеру, по крайней мере, одну электродную секцию, состоящую из двух основных электродов, расположенных параллельно и подключенных к источнику питания, электрод разряда предварительной ионизации, при этом один из основных электродов выполнен полупрозрачным, а электрод разряда предварительной ионизации в виде металлической шины отделен от него диэлектрической пластиной. Новым в устройстве является то, что второй основной электрод выполнен полупрозрачным, а с его обратной стороны установлен дополнительный электрод разряда предварительной ионизации в виде металлической шины и отделен от него диэлектрической пластиной, при этом оба электрода разряда предварительной ионизации электрически соединены, а источником питания служит генератор импульсных напряжений униполярного или знакопеременного напряжения. При этом в устройстве по п.2 электродные секции, число которых может быть как четным, так и нечетным, соединены в последовательную электрическую цепь таким образом, что анодный электрод какой либо секции соединен с катодным электродом смежной секции, а катодный с анодным другой смежной секции, а источник питания подключен к свободным электродам крайних секций.The technical result in the claimed invention according to claim 1 is achieved by the fact that the device for forming a volume discharge includes a discharge chamber, at least one electrode section, consisting of two main electrodes located in parallel and connected to a power source, an electrode of preliminary ionization, one of the main electrodes is translucent, and the electrode of the preliminary ionization discharge in the form of a metal bus is separated from it by a dielectric plate. New in the device is that the second main electrode is made translucent, and on its reverse side an additional pre-ionization discharge electrode is installed in the form of a metal bus and is separated from it by a dielectric plate, while both the pre-ionization discharge electrodes are electrically connected, and the generator serves as a power source impulse voltages of unipolar or alternating voltage. Moreover, in the device according to claim 2, the electrode sections, the number of which can be either even or odd, are connected in a series electric circuit so that the anode electrode of any section is connected to the cathode electrode of the adjacent section, and the cathode electrode of the other adjacent section , and the power source is connected to the free electrodes of the extreme sections.

Установка с обратной стороны второго полупрозрачного электрода дополнительного электрода разряда предварительной ионизации в виде металлической шины и отделенного от него диэлектрической пластиной и соединенного с первым электродом разряда предварительной ионизации позволяет повысить однородность начальной ионизации по высоте разрядного промежутка и получить однородный разряд в устройстве формирования объемного разряда при одновременном повышении надежности его работы при использовании как униполярного или знакопеременного, так и осциллирующего импульсного напряжения питания разряда.The installation on the reverse side of the second translucent electrode of an additional pre-ionization discharge electrode in the form of a metal bus and a pre-ionization discharge separated from it by a dielectric plate and connected to the first electrode makes it possible to increase the uniformity of the initial ionization over the height of the discharge gap and to obtain a uniform discharge in the volume discharge formation device while increasing the reliability of its operation when used as unipolar or alternating, ak and oscillating pulse discharge voltage.

Соединение электродных секций, число которых может быть как четным, так и нечетным, в последовательную электрическую цепь, подключенную к источнику питания, позволяет получить компактную и модульную конструкцию устройства. Кроме того, «перемешивание» прикатодных и прианодных зон генерации увеличивает однородность распределения энергии по высоте лазерного излучения.The connection of the electrode sections, the number of which can be even or odd, in a serial electric circuit connected to a power source, allows to obtain a compact and modular design of the device. In addition, the “mixing” of the near-cathode and anode zones of the generation increases the uniformity of the energy distribution over the height of the laser radiation.

Благодаря тому что электроды разряда предварительной ионизации не требуют подключения ни к потенциальным шинам, снижаются требования в диэлектрической изоляции соединения, ни к внешним источникам питания, электрически соединены только между собой, в конструкции лазерной камеры уменьшается количество вакуумных уплотнений - повышается надежность и упрощается конструкция лазера в целом.Due to the fact that the electrodes of the preliminary ionization discharge do not need to be connected to potential buses, the requirements for dielectric insulation of the compound and to external power sources are reduced, they are electrically connected only to each other, the number of vacuum seals in the design of the laser chamber is reduced - reliability is increased and the laser design is simplified whole.

Использование как униполярного или знакопеременного, так и осциллирующего импульсного напряжения питания основного разряда позволяет расширить функциональные возможности заявляемого устройства, а именно реализовывать квазинепрерывный режим работы лазера при его накачке ВЧ и СВЧ-разрядом.The use of both unipolar or alternating, and oscillating pulsed supply voltage of the main discharge allows you to expand the functionality of the inventive device, namely, to implement a quasi-continuous mode of operation of the laser when it is pumped by RF and microwave discharge.

Схема заявляемого устройства формирования объемного разряда с одной секцией представлена на фиг.1; на фиг.2 - по п.2, где 1 - разрядная камера, 2 и 3 - основные электроды, 4 - электроды предварительной ионизации, 4а - металлическая шина электрода предварительной ионизации, 4б - диэлектрическая пластина электрода предварительной ионизации, 5 - обратный токопровод электрода предварительной ионизации, 6 - генератор импульсного напряжения, 7 - электродная секция.A diagram of the inventive device for the formation of a volume discharge with one section is presented in figure 1; figure 2 - according to claim 2, where 1 is the discharge chamber, 2 and 3 are the main electrodes, 4 are the preliminary ionization electrodes, 4a is the metal bus of the preliminary ionization electrode, 4b is the dielectric plate of the preliminary ionization electrode, 5 is the reverse electrode current lead preliminary ionization, 6 - pulse voltage generator, 7 - electrode section.

Заявляемое устройство выполнено следующим образом.The inventive device is as follows.

В разрядной камере 1 устройства формирования объемного разряда по п.1 размещена, по крайней мере, одна электродная секция, состоящая из двух параллельно установленных основных электродов 2 и 3, подключенных к источнику питания 6, двух электродов предварительной ионизации 4 в виде металлических шин 4а, отделенных с обратных сторон основных электродов 2 и 3 диэлектрическими пластинами 4б. Основные электроды 2 и 3 выполнены полупрозрачными и расположены вплотную к диэлектрическим пластинам 4а или с зазором, постоянным или переменным в поперечном сечении. Оба электрода разряда предварительной ионизации 4 электрически соединены посредством обратного токопровода 5, а источником питания служит генератор импульсных напряжений униполярного или знакопеременного напряжения 6. Электродные секции 7, используемые в устройстве по п.2, число которых может быть как четным так и нечетным, соединены в последовательную электрическую цепь, подключенную к источнику питания 6.In the discharge chamber 1 of the volume discharge forming apparatus according to claim 1, at least one electrode section is arranged, consisting of two parallel main electrodes 2 and 3 connected to a power source 6, two pre-ionization electrodes 4 in the form of metal bars 4a, separated from the reverse sides of the main electrodes 2 and 3 by dielectric plates 4b. The main electrodes 2 and 3 are made translucent and are located close to the dielectric plates 4a or with a gap constant or variable in cross section. Both electrodes of the preliminary ionization discharge 4 are electrically connected by means of a reverse current lead 5, and the power source is a pulse voltage generator of unipolar or alternating voltage 6. The electrode sections 7 used in the device according to claim 2, the number of which can be either even or odd, are connected serial electrical circuit connected to a power source 6.

Основные электроды и электроды предыонизации образуют общую емкость (СОБ), подключенную параллельно разрядному промежутку и являющуюся последовательным соединением барьерных емкостей (СБАР) каждой пары: основной электрод - диэлектрическая пластина электрода предварительной ионизации - металлическая шина электрода предварительной ионизации.The main and preionization electrodes form a common capacitance (C OB ) connected in parallel with the discharge gap and being a series connection of the barrier capacitances (C BAR ) of each pair: the main electrode is the dielectric plate of the preionization electrode - the metal busbar of the preionization electrode.

Figure 00000001
Figure 00000001

В том случаем, когда основные электроды выполнены с зазором с диэлектрическими пластинами электрода предварительной ионизации, СБАР в свою очередь является последовательным соединением двух емкостей. Одна емкость образована диэлектрической пластиной (СДИЭЛ), другая (СГАЗ) - газовым промежутком.In the case when the main electrodes are made with a gap with the dielectric plates of the preliminary ionization electrode, C BAR, in turn, is a series connection of two containers. One container is formed by a dielectric plate (C DIEL ), the other (C GAS ) - a gas gap.

Figure 00000002
Figure 00000002

Причем в общем случае основные электроды могут быть выполнены с разными зазорами по отношению к соответствующим им диэлектрическим платанам электрода предварительной ионизации и их СБАР могут не совпадать.Moreover, in the general case, the main electrodes can be made with different gaps with respect to the corresponding dielectric plane plates of the preliminary ionization electrode, and their C BARs may not coincide.

Работу заявляемого устройства по п.1 формулы изобретения рассмотрим при реализации вариантов размещения основных электродов к диэлектрической пластине вплотную или с зазором.The operation of the claimed device according to claim 1, we consider when implementing options for placing the main electrodes to the dielectric plate close to or with a gap.

В первом варианте при подаче на основные электроды импульса напряжения происходит заряд емкости общей емкости (СОБ), сопровождающийся емкостным разрядом по поверхности диэлектрических пластин электрода предварительной ионизации - скользящим разрядом незавершенной стадии. При этом коэффициент прозрачности основных электродов выбирается таким, чтобы развивающийся емкостной разряд формировался по всей поверхности диэлектрических пластин электрода предварительной ионизации, незанятой металлом. Емкостные разряды, во-первых, являясь интенсивными и однородными распределенными источниками УФ-излучения, осуществляют предыонизацию разрядного промежутка, а во-вторых, развивают эффективную поверхность основных электродов.In the first embodiment, when a voltage pulse is applied to the main electrodes, a charge of the total capacitance (C OB ) occurs, accompanied by a capacitive discharge along the surface of the dielectric plates of the preliminary ionization electrode — a sliding discharge of an incomplete stage. In this case, the transparency coefficient of the main electrodes is chosen so that a developing capacitive discharge is formed over the entire surface of the dielectric plates of the preliminary ionization electrode, which is unoccupied by metal. Capacitive discharges, firstly, being intense and uniform distributed sources of UV radiation, preionize the discharge gap, and secondly, they develop the effective surface of the main electrodes.

Во втором варианте при подаче на основные электроды импульса напряжения происходит заряд емкости общей емкости (СОБ). При этом, так как емкость газового промежутка (СГАЗ) много меньше емкости диэлектрического барьера (СДИЭЛ), практически все прикладываемое напряжение падает на емкостях газовых зазоров. При достижении напряженностью поля в газовых зазорах определенной величины, определяемой природой газа, происходит пробой в газе - формирование барьерного разряда (разряда ограниченного с одной или двух сторон диэлектриком). УФ-излучение барьерного разряда осуществляет предыонизацию промежутка основного разряда. Расположение источников УФ-излучения, барьерных разрядов под обоими полупрозрачными основными электродами повышает объемную однородность предыонизации разрядного промежутка, а следовательно, и однородность энерговклада в объемный разряд и надежность работы устройства формирования объемного разряда.In the second embodiment, when a voltage pulse is applied to the main electrodes, the capacity of the total capacity (C OB ) is charged. Moreover, since the capacity of the gas gap (C GAS ) is much smaller than the capacity of the dielectric barrier (C DIEL ), almost all the applied voltage drops on the capacities of the gas gaps. When the field strength in the gas gaps reaches a certain value, determined by the nature of the gas, a breakdown in the gas occurs - the formation of a barrier discharge (a discharge limited by dielectric on one or both sides). The UV radiation of the barrier discharge carries out the preionization of the gap of the main discharge. The location of UV radiation sources, barrier discharges under both translucent main electrodes increases the volumetric homogeneity of the preionization of the discharge gap, and hence the uniformity of the energy input into the volumetric discharge and the reliability of the operation of the volumetric discharge forming device.

Заявляемое устройство по п.2 формулы изобретения работает следующим образом.The inventive device according to claim 2 of the claims works as follows.

При подаче на основные электроды крайних электродных секций 7 импульса напряжения происходит заряд емкости С′ОБ, образованной последовательным соединением СОБ n-секций. Таким образом С′ОБ выполняет роль шунта, обеспечивающего равномерное распределение прикладываемого напряжения между последовательно включенными электродными секциями, обеспечивая одинаковую разность потенциалов на каждом разрядном промежутке. Заряд СОБ каждой n-ой секции сопровождается формированием емкостного разряда и обеспечивает предыонизацию n-ого разрядного промежутка. В результате последовательного соединения секций происходит «перемешивание» прикатодных и прианодных зон генерации, что увеличивает однородность распределения энергии по высоте лазерного излучения. Кроме того, секционное выполнение устройства позволяет получить компактную и модульную конструкцию.When a voltage pulse is applied to the main electrodes of the extreme electrode sections 7, the capacitance C ′ OB is formed, which is formed by the serial connection C OB of n-sections. Thus, C ′ OB plays the role of a shunt, providing a uniform distribution of the applied voltage between the series-connected electrode sections, providing the same potential difference on each discharge gap. The charge C ON each n-th section is accompanied by the formation of capacitive discharge and provides preionisation n-th discharge gap. As a result of the series connection of the sections, “mixing” of the near-cathode and anode zones of generation occurs, which increases the uniformity of the energy distribution over the height of the laser radiation. In addition, the sectional implementation of the device allows to obtain a compact and modular design.

На предприятии проведена экспериментальная проверка работоспособности заявляемого устройства формирования объемного разряда. На экспериментальной установке с устройством формирования объемного разряда, выполненным по первому варианту п.1 (основные электроды расположены вплотную к диэлектрическим пластинам электродов предыонизации), получено экспериментальное подтверждение высокой однородности энерговклада в разрядный промежуток.The company conducted an experimental test of the health of the claimed device for the formation of a volume discharge. In an experimental setup with a volume discharge forming device made according to the first embodiment of claim 1 (the main electrodes are located close to the dielectric plates of the preionization electrodes), experimental confirmation of the high uniformity of the energy input into the discharge gap is obtained.

Заявляемое устройство найдет применение в газоразрядных устройствах, в частности в электроразрядных лазерах с повышенной частотой инициирования, с источниками знакопеременного импульсного напряжения, в технологических операциях, медицине, экологии и других областях техники.The inventive device will find application in gas-discharge devices, in particular in electric-discharge lasers with a high initiation frequency, with sources of alternating pulse voltage, in technological operations, medicine, ecology and other fields of technology.

Источники информацииInformation sources

1. Патент США №6650679, кл. H01S 3/0977 опубл. 18.11.2003.1. US patent No. 6650679, CL. H01S 3/0977 publ. 11/18/2003.

2. Патент RU №2008753, кл. Н01S 3/0977 опубл. 28.02.1994.2. Patent RU No. 2008753, cl. H01S 3/0977 publ. 02/28/1994.

3. В. Lacour «High average power HF/DF lasers» Proceedings of SPIE, vol.4071, p.9-16, 2000.3. B. Lacour "High average power HF / DF lasers" Proceedings of SPIE, vol. 4071, p. 9-16, 2000.

Claims (2)

1. Устройство формирования объемного разряда, включающее разрядную камеру с, по крайней мере, одной электродной секцией, состоящей из двух основных электродов, расположенных параллельно и подключенных к источнику питания, электрод разряда предварительной ионизации, при этом один из основных электродов выполнен полупрозрачным, а электрод разряда предварительной ионизации в виде металлической шины отделен от него с обратной стороны диэлектрической пластиной, отличающееся тем, что и второй основной электрод выполнен полупрозрачным, а с его обратной стороны установлен дополнительный электрод разряда предварительной ионизации в виде металлической шины и отделен от него диэлектрической пластиной, при этом оба электрода разряда предварительной ионизации электрически соединены, а источником питания служит генератор импульсных напряжений униполярного или знакопеременного или осциллирующего импульсного напряжения.1. The device for forming a volume discharge, including a discharge chamber with at least one electrode section, consisting of two main electrodes located in parallel and connected to a power source, a preliminary ionization discharge electrode, one of the main electrodes is translucent, and the electrode the preliminary ionization discharge in the form of a metal bus is separated from it on the reverse side by a dielectric plate, characterized in that the second main electrode is made translucent, and with e On the reverse side, an additional preliminary ionization discharge electrode in the form of a metal bus is installed and separated from it by a dielectric plate, both electrodes of the preliminary ionization discharge are electrically connected, and the power source is a pulse voltage generator of a unipolar or alternating or oscillating pulse voltage. 2. Устройство формирования объемного разряда по п.1, отличающееся тем, что электродные секции, число которых может быть как четным так и не четным, соединены в последовательную электрическую цепь, подключенную к источнику питания. 2. The device for forming a volume discharge according to claim 1, characterized in that the electrode sections, the number of which may be even or even, are connected to a serial electric circuit connected to a power source.
RU2008111569/28A 2008-03-25 2008-03-25 Device for generating volumetric discharge RU2368047C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008111569/28A RU2368047C1 (en) 2008-03-25 2008-03-25 Device for generating volumetric discharge

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008111569/28A RU2368047C1 (en) 2008-03-25 2008-03-25 Device for generating volumetric discharge

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2368047C1 true RU2368047C1 (en) 2009-09-20

Family

ID=41168102

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008111569/28A RU2368047C1 (en) 2008-03-25 2008-03-25 Device for generating volumetric discharge

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2368047C1 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2446530C1 (en) * 2011-01-28 2012-03-27 Владимир Михайлович Борисов Pulse-periodic gas-discharge laser
RU2454749C2 (en) * 2010-04-13 2012-06-27 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева Сибирского отделения Российской академии наук (ИОА СО РАН) Method of generating plasma of gaseous medium and apparatus for realising said method
RU2477912C2 (en) * 2011-05-20 2013-03-20 Владимир Михайлович Борисов Pulse-periodic electric-discharge excimer laser
RU2520374C1 (en) * 2013-02-20 2014-06-27 Государственное Научное Учреждение "Институт Физики Имени Б.И. Степанова Национальной Академии Наук Беларуси" Method for pulse length reduction of powerful shf radiation and method for its implementation
RU2596908C1 (en) * 2015-07-31 2016-09-10 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") Device for space charge generation

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2454749C2 (en) * 2010-04-13 2012-06-27 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева Сибирского отделения Российской академии наук (ИОА СО РАН) Method of generating plasma of gaseous medium and apparatus for realising said method
RU2446530C1 (en) * 2011-01-28 2012-03-27 Владимир Михайлович Борисов Pulse-periodic gas-discharge laser
RU2477912C2 (en) * 2011-05-20 2013-03-20 Владимир Михайлович Борисов Pulse-periodic electric-discharge excimer laser
RU2520374C1 (en) * 2013-02-20 2014-06-27 Государственное Научное Учреждение "Институт Физики Имени Б.И. Степанова Национальной Академии Наук Беларуси" Method for pulse length reduction of powerful shf radiation and method for its implementation
RU2596908C1 (en) * 2015-07-31 2016-09-10 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") Device for space charge generation

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4534035A (en) Tandem electric discharges for exciting lasers
US5875207A (en) Discharge arrangement for pulsed gas lasers
US4367553A (en) Pulse laser with an electrically excited gaseous active medium
RU2368047C1 (en) Device for generating volumetric discharge
EP0798823A1 (en) Low cost corona pre-ionizer for a laser
RU2303322C1 (en) Volume discharge generating device
Judd et al. Investigations of a UV preionized electrical discharge and CO 2 laser
Velikanov et al. Solid-state laser-pumped high-power electric-discharge HF laser
Hasama et al. 50 J discharge-pumped XeCl laser
Nagata et al. A compact high-power nitrogen laser
Razhev et al. Effect of the pump intensity on the efficiency of a KrF excimer electric-discharge laser on a He—Kr—F2 mixture
Panchenko et al. Laser on nitrogen-electronegative gas mixtures, pumped by inductive energy storage generator: Experiment and theoretical model
RU2465697C2 (en) Method to stabilise volume charge in hf/df pulse-periodic chemical laser
RU2507654C1 (en) Gas discharge laser, laser system and method of radiation generation
Billault et al. Pseudospark switches
RU2029423C1 (en) Method of generation in gas electric discharge laser and gas electric discharge laser
Panchenko et al. Laser action in runaway electron pre-ionized diffuse discharges
Kazantsev et al. Electrode system for electric-discharge generation of atomic iodine in a repetitively pulsed oxygen—iodine laser with a large active volume
RU2771664C1 (en) Electric discharge radiation source
Liu Electrical modeling and unipolar pulsed energization of dielectric barrier discharges
US20080019411A1 (en) Compact sealed-off excimer laser
Boichenko et al. The nature of emitting microdischarges in barrier-discharge lamps
RU2596908C1 (en) Device for space charge generation
Efthimion et al. Ferroelectric plasma source for heavy ion beam space charge neutralization
Averin et al. A Multichannel TEA N 2 Laser for Visualizing Pulsed Plasma in the Nanosecond Range