RU2441247C1 - Акселерометр - Google Patents

Акселерометр Download PDF

Info

Publication number
RU2441247C1
RU2441247C1 RU2010121021/28A RU2010121021A RU2441247C1 RU 2441247 C1 RU2441247 C1 RU 2441247C1 RU 2010121021/28 A RU2010121021/28 A RU 2010121021/28A RU 2010121021 A RU2010121021 A RU 2010121021A RU 2441247 C1 RU2441247 C1 RU 2441247C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pendulum
elastic suspension
gap
accelerometer
magnetic conductor
Prior art date
Application number
RU2010121021/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2010121021A (ru
Inventor
Валерий Иванович Курносов (RU)
Валерий Иванович Курносов
Марина Валерьевна Курносова (RU)
Марина Валерьевна Курносова
Наталья Валерьевна Смирнова (RU)
Наталья Валерьевна Смирнова
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Центр эксплуатации объектов наземной космической инфраструктуры"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Центр эксплуатации объектов наземной космической инфраструктуры" filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Центр эксплуатации объектов наземной космической инфраструктуры"
Priority to RU2010121021/28A priority Critical patent/RU2441247C1/ru
Publication of RU2010121021A publication Critical patent/RU2010121021A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2441247C1 publication Critical patent/RU2441247C1/ru

Links

Abstract

Изобретение относится к области точного приборостроения, в частности к приборам измерения параметров движения летательных аппаратов, и может быть использовано при изготовлении прецизионных маятниковых компенсационных акселерометров. Акселерометр содержит подвижную пластину - маятник 1 на упругом подвесе 2. На маятнике закреплены катушки 3 датчика момента, а на неподвижной части - магниты 4 и полюсные наконечники 5, при этом к торцам магнитов крепятся вставки 6 из пермаллоя. Между вставкой 6 и основным магнитопроводом 8 имеется круговой воздушный зазор 9. В основном (рабочем) зазоре 10, образованном магнитопроводом 8 и полюсным наконечником 5, помещается катушка 3 датчика момента. Зазор между маятником и неподвижными частями магнитопровода (боковые пластины) обеспечивается с помощью трех платиков (выступов) 11 с каждой стороны опорного кольца центральной кварцевой пластины. В качестве демпфирующего газа используется гелий, а между упругим подвесом и магнитопроводом введены алюминиевые вставки, что увеличивает теплоотдачу и повышает точность нулевого сигнала и надежность работы акселерометра. 1 ил.

Description

Изобретение относится к области точного приборостроения, в частности к приборам измерения параметров движения летательных аппаратов, и может быть использовано при изготовлении прецизионных маятниковых компенсационных акселерометров.
Известен маятниковый акселерометр на упругом кварцевом подвесе (1), который состоит из двух металлических пластин и одной находящейся между ними кварцевой пластины в форме диска с незамкнутой кольцевой прорезью. Перемычки между диском и кольцевой опорой выполнены также из кварца и являются упругими элементами пружинного подвеса. Для создания зазора между подвижными и неподвижными частями чувствительного элемента акселерометра на центральной кварцевой пластине, на ее кольцевой поверхности, имеются три выступа (платика) с каждой стороны, обращенной к неподвижным пластинам высотой 20 мкм. Акселерометр имеет магнитоэлектрический датчик силы, катушки которого расположены на подвижной части (маятника), а магниты с магнитопроводом и полюсными наконечниками расположены на неподвижной части. Датчиком положения являются емкости, образующиеся за счет токопроводящих поверхностей с двух сторон кварцевой поверхности маятника и неподвижными (металлическими) боковыми пластинами.
Для создания достаточного демпфирования и для предотвращения коррозии материалов внутрь герметичной полости закачивается газ - азот или осушенный воздух. Недостатком такого акселерометра является то, что при протекании большого тока (при измерении больших ускорений) на катушке датчика силы и токопроводящем покрытии выделяется значительная мощность, что приводит к повышению температуры упругих перемычек и катушки (токопроводящее покрытие и катушки располагаются на изоляционном материале - кварце, который является изолятором и плохо проводит тепло) и, как следствие, ухудшению точностных параметров и снижению надежности прибора.
Известен маятниковый акселерометр на упругом кварцевом подвесе (2), устройство которого аналогично устройству (1). При этом в устройстве (2) в магнитную систему введен воздушный зазор между основным магнитпроводом из инвара (36Н) и вставкой из пермаллоя (50Н), которая крепится к торцу магнита. С другого торца к магниту крепится полюсный наконечник. На эту сборку одевается титановая втулка и приклеивается к цилиндрической части магнита, а по внешнему диаметру вклеивается в основную магнитную систему. В рабочем зазоре, образуемом магнитопроводом и полюсным наконечником, помещается катушка датчика момента, крепящаяся на маятнике. При изменении окружающей температуры (например, при ее увеличении) индукция магнита падает, но от увеличения температуры размер вставки увеличивается больше, чем внутренний диаметр основной магнитной системы, и введенный в магнитную систему дополнительный воздушный зазор уменьшается, что уменьшает магнитное сопротивление цепи. Уменьшение этого сопротивления компенсирует уменьшение индукции собственно магнита, и индукция в рабочем зазоре стремится остаться прежней. Однако дополнительный зазор компенсирует в некоторой степени погрешность масштабного коэффициента и не уменьшает погрешность нулевого сигнала из-за перегревов.
Целью настоящего изобретения является повышение точности нулевого сигнала и надежности работы акселерометра за счет снижения местных перегревов.
Указанная цель достигается тем, что вместо азота (или осушенного воздуха) в качестве демпфирующего газа применяется гелий с давлением примерно 700 мм рт. столба (вязкость этих газов примерно одинакова, а теплопроводность гелия примерно в 7 раз больше теплопроводности азота) и, кроме того, в районе упругих перемычек располагаются алюминиевые теплоотводы, сокращающие зазор между упругими перемычками и корпусом и существенно увеличивающие теплоотдачу при нагреве токопроводящего материала на упругих перемычках.
Конструкция предлагаемого акселерометра приведена на чертеже.
Акселерометр содержит подвижную пластину - маятник 1 на упругом подвесе 2. На маятнике закреплены катушки 3 датчика момента, а на неподвижной части - магниты 4 и полюсные наконечники 5. При этом к торцу магнита 5 крепится вставка 6 из пермаллоя (50Н). На эту сборку одевается титановая втулка 7 и приклеивается к цилиндрической части магнита, а по внешнему диаметру втулка вклеивается в основную магнитную систему (магнитопровод) 8 из материала инвар (36Н). Между вставкой 6 и основным магнитопроводом 8 имеется круговой воздушный зазор 9 (дополнительный воздушный зазор, введенный в магнитную систему датчика момента). В основном (рабочем) зазоре 10, образуемом магнитопроводом 8 и полюсным наконечником 5, помещается катушка 3 датчика момента, крепящаяся на маятнике. Как и в прототипе, для создания зазора между подвижной и неподвижными частями чувствительного элемента акселерометра на центральной кварцевой пластине (на ее кольцевой поверхности) имеются три выступа (платика) 11 с каждой стороны, обращенной к неподвижным пластинам высотой порядка 20 мкм, т.е. зазор между маятником (когда он находится в среднем положении) и неподвижными боковыми пластинами составляет 20 мкм.
При этом, поскольку толщина упругого подвеса составляет величину тоже порядка 20 мкм, а толщина маятника - порядка 500 мкм, то номинальный зазор в районе упругих перемычек составит 260 мкм. Для усиления теплопередачи в районе упругого подвеса на неподвижной части (на боковых пластинах) укреплены металлические вставки из алюминия 12 такой высоты, чтобы зазор между поверхностями упругого подвеса и поверхностями упомянутых вставок составил бы величину порядка 30÷40 мкм.
Акселерометр работает следующим образом.
При действии ускорения вдоль оси Х-Х маятник 1 отклоняется от своего среднего положения. Это отклонение фиксируется дифференциальным емкостным датчиком положения, образованным поверхностями с металлическим напылением с двух сторон и расположенными на маятнике 1, и ответными поверхностями, обращенными к маятнику 1 и расположенными на магнитопроводах 8. Сигнал с датчика положения подается на усилитель обратной связи (не показан), который усиливает и преобразует данный сигнал и подает его в катушки 3. Ток, протекая по катушкам 3, образует магнитное поле, которое взаимодействуют с магнитным полем постоянных магнитов 4. Возникающая при этом сила компенсирует инерционную силу маятника 1 и последний возвращается в среднее положение. По величине тока, протекающего по катушкам 4, судят о величине ускорения, действующего на акселерометр.
Предлагаемое заполнение внутренней рабочей полости акселерометра, где расположен маятник с катушками и упругий подвес, гелием, обладающим в семь раз большей теплопроводностью, чем азот или воздух, а также уменьшение зазора между токопроводящим покрытием, расположенным на упругом подвесе, и поверхностью магнитопровода путем введения алюминиевых вставок 12 с зазором между ними и упругим подвесом величиной 30-40 мкм, существенно уменьшит перегрев катушек датчика момента и металлического напыления, нанесенного на упругий подвес. Реализация такого решения позволит уменьшить погрешность случайной составляющей нулевого сигнала примерно в два раза по сравнению с имеющейся в акселерометрах в настоящее время.
Источники информации
1. Патент США №3702073, кл.73-512, 1972 г. - аналог.
2. Патент RU №2313100 С1, G01P 15/13 - прототип.

Claims (1)

  1. Акселерометр, содержащий подвижную часть, на которой расположены катушки датчика момента, подвес подвижной части, расположенные на неподвижной части магниты, прикрепленные цилиндрическими поверхностями к внутренним поверхностям титановых втулок, к внешним диаметрам которых прикреплены вставки из магнитного материала с большим коэффициентом линейного расширения, с другой стороны по внешнему диаметру втулки прикреплены к магнитопроводам, и дифференциальный емкостный датчик положения, образованный поверхностями с металлическим напылением с двух сторон, расположенными на подвижной части, и ответными поверхностями, обращенными к подвижной части и расположенными на магнитопроводах, при этом на поверхности упругого подвеса также нанесено металлическое напыление для гальванической связи между подвижной и неподвижными частями, отличающийся тем, что внутренний герметичный объем, где расположены упомянутые маятник, катушки и упругий подвес, заполнен гелием с давлением примерно 700 мм рт. ст. и, кроме того, между упругим подвесом и магнитопроводом введены алюминиевые вставки, так что зазор между ними и поверхностью упругого подвеса составит 30-40 мкм.
RU2010121021/28A 2010-05-24 2010-05-24 Акселерометр RU2441247C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010121021/28A RU2441247C1 (ru) 2010-05-24 2010-05-24 Акселерометр

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010121021/28A RU2441247C1 (ru) 2010-05-24 2010-05-24 Акселерометр

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2010121021A RU2010121021A (ru) 2011-11-27
RU2441247C1 true RU2441247C1 (ru) 2012-01-27

Family

ID=45317804

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010121021/28A RU2441247C1 (ru) 2010-05-24 2010-05-24 Акселерометр

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2441247C1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2514151C1 (ru) * 2012-11-26 2014-04-27 Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" (ОАО "РПКБ") Компенсационный акселерометр
RU2796125C1 (ru) * 2022-12-29 2023-05-17 Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственный комплекс "Электрооптика" Акселерометр

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2514151C1 (ru) * 2012-11-26 2014-04-27 Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" (ОАО "РПКБ") Компенсационный акселерометр
RU2796125C1 (ru) * 2022-12-29 2023-05-17 Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственный комплекс "Электрооптика" Акселерометр

Also Published As

Publication number Publication date
RU2010121021A (ru) 2011-11-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102981131B (zh) 基于主辅线圈双重激励的低噪声微型平面磁通门传感器
JP6503142B2 (ja) 差動渦電流検知を用いた熱非感受性オープンループハングマス加速度計
EP1831701A1 (en) Super invar magnetic return path for high performance accelerometers
US7997136B2 (en) MEMS force balance accelerometer
JP2010169681A (ja) 磁束密度増加ダルソンバルmems加速度計のためのシステムおよび方法
CN102043068A (zh) 一种标度因数在线可调的高分辨率加速度计
RU2441247C1 (ru) Акселерометр
RU2313100C1 (ru) Акселерометр
RU2291450C1 (ru) Компенсационный маятниковый акселерометр
RU2485524C2 (ru) Акселерометр
US3438266A (en) Accelerometer
RU2559154C2 (ru) Компенсационный маятниковый акселерометр
CN114167082A (zh) 一种单晶硅挠性加速度计
RU154135U1 (ru) Гироскопический измеритель угловой скорости
RU111302U1 (ru) Акселерометр
EP2712421A1 (en) Magnetic sensor for displacement measurements
CN102650649A (zh) 一种加速度计
CN105277740A (zh) 一种金属挠性加速度计
RU2758892C1 (ru) Компенсационный маятниковый акселерометр
RU2543708C1 (ru) Компенсационный маятниковый акселерометр
RU2193209C1 (ru) Компенсационный акселерометр
RU2690708C2 (ru) Компенсационный акселерометр
US3362701A (en) Skin friction gauge
CN114264842B (zh) 一种轴尖支承摆式伺服加速度计
RU2545469C1 (ru) Компенсационный акселерометр

Legal Events

Date Code Title Description
PC43 Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions

Effective date: 20200826