RU2434233C1 - Compensation-type accelerometer - Google Patents

Compensation-type accelerometer Download PDF

Info

Publication number
RU2434233C1
RU2434233C1 RU2010108260/28A RU2010108260A RU2434233C1 RU 2434233 C1 RU2434233 C1 RU 2434233C1 RU 2010108260/28 A RU2010108260/28 A RU 2010108260/28A RU 2010108260 A RU2010108260 A RU 2010108260A RU 2434233 C1 RU2434233 C1 RU 2434233C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
temperature
accelerometer
output
force sensor
compensation
Prior art date
Application number
RU2010108260/28A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2010108260A (en
Inventor
Алексей Александрович Рязанов (RU)
Алексей Александрович Рязанов
Игорь Юрьевич Козлов (RU)
Игорь Юрьевич Козлов
Александр Николаевич Гусев (RU)
Александр Николаевич Гусев
Андрей Юрьевич Чемоданов (RU)
Андрей Юрьевич Чемоданов
Original Assignee
Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение электромеханики"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение электромеханики" filed Critical Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение электромеханики"
Priority to RU2010108260/28A priority Critical patent/RU2434233C1/en
Publication of RU2010108260A publication Critical patent/RU2010108260A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2434233C1 publication Critical patent/RU2434233C1/en

Links

Abstract

FIELD: instrument making.
SUBSTANCE: essence of invention consists in spatial division of temperature field of accelerometer into two areas in each of which the temperature is measured with a separate sensor, and compensation of temperature error of scaling factor is performed as per special algorithm. Spatial division of temperature field allows performing separate compensation of temperature errors of scaling factor, which are determined mainly by force sensor and damping liquid, which have various temperatures during acceleration measurement.
EFFECT: accelerometer accuracy improvement.
1 dwg

Description

1. Область техники, к которой относится изобретение1. The technical field to which the invention relates.

Изобретение относится к точному приборостроению и может быть использовано преимущественно в прецизионных инерциальных системах управления движением, например, самолетов, ракет, подводных лодок и других объектов.The invention relates to precision instrumentation and can be used mainly in precision inertial motion control systems, for example, airplanes, missiles, submarines and other objects.

Одной из важнейших задач, решаемых системами управления, является прецизионное измерение кажущегося ускорения объектов.One of the most important tasks solved by control systems is the precision measurement of the apparent acceleration of objects.

Для измерения ускорения предназначены акселерометры. Чтобы точно измерить ускорение, необходимо существенно снизить их погрешности, обусловленные внешними и внутренними возмущающими воздействиями.Accelerometers are designed to measure acceleration. In order to accurately measure acceleration, it is necessary to significantly reduce their errors due to external and internal disturbing influences.

Главным возмущающим воздействием для акселерометра является температура. Изменение температуры корпуса акселерометра происходит вследствие изменения окружающей температуры, а также вследствие собственного прогрева прибора после его включения. Из-за изменений температуры снижается точность акселерометра вследствие температурной погрешности его масштабного коэффициента. Это снижение очень велико, так как оно пропорционально измеряемому ускорению. В связи с этим усилия разработчиков акселерометров сосредоточены на уменьшении именно температурной погрешности масштабного коэффициента акселерометров.The main disturbing effect for the accelerometer is temperature. The change in temperature of the accelerometer case occurs due to changes in the ambient temperature, as well as due to the device’s own heating after it is turned on. Due to temperature changes, the accuracy of the accelerometer is reduced due to the temperature error of its scale factor. This decrease is very large, since it is proportional to the measured acceleration. In this regard, the efforts of the developers of accelerometers are focused on reducing the temperature error of the scale factor of the accelerometers.

2. Уровень техники2. The level of technology

Рассмотрим аналоги предлагаемого изобретения.Consider the analogues of the invention.

2.1. Библиографические данные аналогов изобретения2.1. Bibliographic data of analogues of the invention

[1] G01P 15/08, 15/13. Акселерометр компенсационного типа. Патент №2042955 по заявке №3158843/10 от 31.12.86 г. Авторы: Китанин Н.Г., Абаимов В.В., Гринь В.В., Шерстнев В.А.[1] G01P 15/08, 15/13. Accelerometer compensation type. Patent No. 2042955 for application No. 31588843/10 dated 12.31.86. Authors: Kitanin N.G., Abaimov V.V., Grin V.V., Sherstnev V.A.

Опубликован в бюл. №24 27.08.95 г.Published in bull. No.24 08/27/95

[2] G01P 15/08, 15/13. Акселерометр компенсационного типа. Патент №2050549 по заявке №3186551/10 от 11.12.87 г. Авторы: Китанин Н.Г., Ивченко Н.Н., Гринь В.В., Рязанов А.А.[2] G01P 15/08, 15/13. Accelerometer compensation type. Patent No. 2050549 for application No. 3186551/10 dated 12.12.87. Authors: Kitanin N.G., Ivchenko N.N., Grin V.V., Ryazanov A.A.

Опубликован в бюл. №35 20.12.95 г.Published in bull. No. 35 12/20/95

2.2. В акселерометре компенсационного типа по патенту РФ №2042955 [1] общими признаками с предлагаемым изобретением являются чувствительный элемент с обмоткой датчика силы, усилитель обратной связи. В этом акселерометре для достижения цели - увеличения точности компенсации температурного изменения масштабного коэффициента при значительных изменениях температуры окружающей среды - применен активный двухполюсник с отрицательным входным сопротивлением, вход которого шунтирует обмотку датчика силы.2.2. In the compensation type accelerometer according to the patent of the Russian Federation No. 2042955 [1], common features with the present invention are a sensing element with a winding of a force sensor, a feedback amplifier. In this accelerometer, to achieve the goal of increasing the accuracy of compensating for temperature changes in the scale factor with significant changes in the ambient temperature, an active two-terminal device with a negative input resistance is used, the input of which shunts the winding of the force sensor.

Недостатком этого акселерометра является низкая точность компенсации вследствие наличия температурной погрешности масштабного коэффициента, пропорциональной квадрату температуры. Эта погрешность, как указано в описании изобретения к патенту [1], равна произведению квадратов коэффициента температурного изменения масштабного коэффициента и температуры акселерометра.The disadvantage of this accelerometer is the low accuracy of compensation due to the presence of a temperature error of the scale factor proportional to the square of the temperature. This error, as indicated in the description of the invention to the patent [1], is equal to the product of the squares of the coefficient of temperature change of the scale factor and the temperature of the accelerometer.

Наиболее близким к заявляемому изобретению аналогом (прототипом) является изобретение по патенту РФ №2050549 «Акселерометр компенсационного типа» [2]. В этом акселерометре общими признаками с предлагаемым изобретением являются чувствительный элемент с магнитоэлектрическим датчиком силы, датчиком положения и демпфирующей жидкостью, усилители датчика силы и датчика положения, масштабный резистор.Closest to the claimed invention, an analogue (prototype) is the invention according to the patent of the Russian Federation No. 2050549 "Compensation-type accelerometer" [2]. In this accelerometer, common features with the present invention are a sensing element with a magnetoelectric force sensor, a position sensor and damping fluid, amplifiers of the force sensor and position sensor, a scale resistor.

В данном изобретении так же, как и в изобретении по патенту [1], осуществляется компенсация линейной составляющей температурной погрешности масштабного коэффициента акселерометра, причем эта компенсация выполнена подключением преобразователя напряжения - ток параллельно обмотке датчика силы, а направление выходного тока преобразователя выбирают, исходя из знака температурного изменения масштабного коэффициента.In this invention, as well as in the invention according to the patent [1], the linear component of the temperature error of the scale factor of the accelerometer is compensated, moreover, this compensation is made by connecting a voltage converter - current parallel to the winding of the force sensor, and the direction of the converter output current is selected based on the sign temperature change of the scale factor.

Этот акселерометр имеет невысокую точность измерений:This accelerometer has a low measurement accuracy:

- из-за большой температурной погрешности, обусловленной наличием квадратичного члена в температурной зависимости масштабного коэффициента;- due to the large temperature error due to the presence of a quadratic term in the temperature dependence of the scale factor;

- из-за остаточных температурных погрешностей масштабного коэффициента, кроме погрешностей, пропорциональных температуре в первой и второй степени.- due to residual temperature errors of the scale factor, except for errors proportional to the temperature in the first and second degree.

3. Раскрытие изобретения3. Disclosure of invention

3.1. Техническим результатом предлагаемого изобретения является повышение точности акселерометра за счет компенсации температурных погрешностей масштабного коэффициента.3.1. The technical result of the invention is to increase the accuracy of the accelerometer by compensating for temperature errors of the scale factor.

Технический результат достигается совокупностью существенных признаков - введением в акселерометр терморезистора, двух аналого-цифровых преобразователей, источника тока, микроконтроллера, делителя напряжения, шунтирующего резистора и связей введенных элементов.The technical result is achieved by a combination of essential features — the introduction of a thermistor, two analog-to-digital converters, a current source, a microcontroller, a voltage divider, a shunt resistor, and the connections of the elements introduced into the accelerometer.

Сущность изобретения заключается в пространственном разделении температурного поля акселерометра на две области, в каждой из которых:The invention consists in the spatial separation of the temperature field of the accelerometer into two areas, in each of which:

- температура измеряется отдельным датчиком;- temperature is measured by a separate sensor;

- компенсация температурной погрешности масштабного коэффициента осуществляется по специальному (отличающемуся) алгоритму.- compensation of the temperature error of the scale factor is carried out according to a special (different) algorithm.

Пространственное разделение температурного поля позволяет осуществить раздельную компенсацию температурных погрешностей масштабного коэффициента, обусловленных датчиком силы и демпфирующей жидкостью, имеющих различные температуры в процессе измерения ускорения, что и обеспечивает повышение точности акселерометра.Spatial separation of the temperature field allows for separate compensation of the temperature errors of the scale factor due to the force sensor and damping fluid, which have different temperatures in the process of measuring acceleration, which improves the accuracy of the accelerometer.

3.2. Заявляемое изобретение направлено на решение следующих трех задач:3.2. The invention is aimed at solving the following three problems:

- формирование специальной схемы получения информации о температуре;- the formation of a special scheme for obtaining temperature information;

- компенсация погрешностей масштабного коэффициента, пропорциональных квадрату температуры;- compensation of errors of the scale factor proportional to the square of the temperature;

- компенсация остаточных температурных погрешностей масштабного коэффициента, кроме погрешностей, пропорциональных температуре в первой и второй степени.- compensation of residual temperature errors of the scale factor, except for errors proportional to the temperature in the first and second degree.

Существенные признаки, характеризующие предлагаемое изобретение и общие с прототипом [2]: чувствительный элемент с магнитоэлектрическим датчиком силы, датчиком положения и демпфирующей жидкостью, усилители датчика силы и датчика положения, масштабный резистор.The essential features characterizing the invention and are common with the prototype [2]: a sensing element with a magnetoelectric force sensor, a position sensor and damping fluid, amplifiers of the force sensor and position sensor, a large-scale resistor.

Существенные признаки, характеризующие предлагаемое изобретение и отличающиеся от прототипа [2]: введенные терморезистор, два аналого-цифровых преобразователя, источник тока, микроконтроллер, делитель напряжения, шунтирующий резистор и связи введенных элементов между собой и с элементами прототипа.The essential features characterizing the invention and differing from the prototype [2]: the introduced thermistor, two analog-to-digital converters, a current source, a microcontroller, a voltage divider, a shunt resistor and the connection of the introduced elements with each other and with the elements of the prototype.

Для решения первой задачи - формирование специальной схемы получения информации о температуре, в результате введения в акселерометр новых элементов создано два новых канала измерения температуры.To solve the first problem - the formation of a special scheme for obtaining temperature information, as a result of introducing new elements into the accelerometer, two new channels for measuring temperature were created.

Источником информации о температуре для первого канала является обмотка датчика силы (ДС). Датчик силы в изобретении имеет два функциональных назначения. Во-первых, как и в прототипе, по протекающему через обмотку ДС току судят о величине измеряемого ускорения. Во-вторых, в отличие от прототипа, измеряя сопротивление обмотки датчика силы, определяют температуру ДС, по которой решают вторую задачу: компенсация погрешностей масштабного коэффициента, пропорциональных второй степени температуры. Одновременно осуществляют и компенсацию погрешностей масштабного коэффициента, пропорциональных первой степени температуры.The source of temperature information for the first channel is the winding of the force sensor (DC). The force sensor in the invention has two functional purposes. First, as in the prototype, the current measured through the winding of the DC is judged on the magnitude of the measured acceleration. Secondly, unlike the prototype, by measuring the resistance of the force sensor winding, the temperature of the DC is determined, by which the second task is solved: compensation of errors of the scale factor proportional to the second degree of temperature. At the same time, they also compensate for errors in the scale factor proportional to the first degree of temperature.

Источником информации о температуре для второго канала является введенный терморезистор, измеряющий в основном температуру демпфирующей жидкости. Второй канал измерения температуры используется для решения третьей задачи - компенсация погрешностей, оставшихся после компенсации погрешностей, пропорциональных первой и второй степени температуры.The source of temperature information for the second channel is the introduced thermistor, which mainly measures the temperature of the damping fluid. The second channel of temperature measurement is used to solve the third problem - compensation of errors remaining after compensation of errors proportional to the first and second degrees of temperature.

Для решения третьей задачи весь температурный диапазон акселерометра разделяют на r поддиапазонов (r больше 5) и в каждом поддиапазоне используют собственный коэффициент компенсации погрешности. В результате компенсируют не только погрешности масштабного коэффициента, пропорциональные температуре в степени выше второй, но и погрешности масштабного коэффициента, изменяющиеся по гармоническому (например, синусоидальному) закону температуры.To solve the third problem, the entire temperature range of the accelerometer is divided into r subbands (r is greater than 5), and each subband uses its own error compensation coefficient. As a result, not only errors of the scale factor proportional to temperature to a degree higher than the second are compensated, but also errors of the scale factor that vary according to the harmonic (for example, sinusoidal) law of temperature.

Решение трех вышеуказанных задач обеспечивает повышение точности акселерометра.The solution to the three above problems provides increased accuracy of the accelerometer.

4. Краткое описание чертежей4. Brief Description of the Drawings

Сущность изобретения поясняется чертежом, где представлена блок-схема предлагаемого устройства.The invention is illustrated in the drawing, which shows a block diagram of the proposed device.

На чертеже цифрами обозначены:In the drawing, the numbers indicate:

1 - обмотка датчика силы;1 - winding of the force sensor;

2 - усилитель датчика силы;2 - power sensor amplifier;

3 - датчик положения;3 - position sensor;

4 - усилитель датчика положения;4 - position sensor amplifier;

5 - масштабный резистор;5 - scale resistor;

6 - терморезистор;6 - thermistor;

7 - первый аналого-цифровой преобразователь;7 - the first analog-to-digital Converter;

8 - второй аналого-цифровой преобразователь;8 - the second analog-to-digital Converter;

9 - источник тока;9 - current source;

10 - микроконтроллер;10 - microcontroller;

11 - первый резистор делителя напряжения;11 - the first resistor of the voltage divider;

12 - второй резистор делителя напряжения;12 - the second resistor of the voltage divider;

13 - шунтирующий резистор.13 - shunt resistor.

5. Осуществление изобретения5. The implementation of the invention

5.1. Как и в прототипе, предлагаемый акселерометр компенсационного типа содержит чувствительный элемент с датчиком силы 1 и датчиком положения 3, масштабный резистор 5, усилители датчика силы 2 и положения 4, первый вывод обмотки датчика силы 1 соединен с первым выводом масштабного резистора 5, второй вывод обмотки датчика силы 1 подключен к выходу усилителя датчика силы 2, выход датчика положения 3 соединен с входом усилителя датчика положения 4.5.1. As in the prototype, the proposed compensation type accelerometer contains a sensing element with a force sensor 1 and a position sensor 3, a scale resistor 5, amplifiers of the force sensor 2 and position 4, the first output of the winding of the force sensor 1 is connected to the first output of the scale resistor 5, and the second output of the winding force sensor 1 is connected to the output of the amplifier of the force sensor 2, the output of the position sensor 3 is connected to the input of the amplifier of the position sensor 4.

В отличие от прототипа, в предлагаемый акселерометр введены блоки от шестого до тринадцатого и связи блоков: выход усилителя датчика положения 4 соединен с первым входом микроконтроллера 10, первый вывод масштабного резистора 5 через первый аналого-цифровой преобразователь (АЦП) 7 подключен к второму входу микроконтроллера 10, выход источника тока 9 соединен с выводами терморезистора 6, шунтирующего резистора 13 и третьим входом микроконтроллера 10, первый резистор делителя напряжения 11 через второй резистор делителя напряжения 12 подключен к второму выводу обмотки датчика силы 1 и через второй аналого-цифровой преобразователь (АЦП) 8 к четвертому входу микроконтроллера 10, а выход микроконтроллера соединен с входом усилителя датчика силы 2.Unlike the prototype, the proposed accelerometer contains blocks from the sixth to the thirteenth and communication blocks: the output of the position sensor amplifier 4 is connected to the first input of the microcontroller 10, the first output of the scale resistor 5 is connected through the first analog-to-digital converter (ADC) 7 to the second input of the microcontroller 10, the output of the current source 9 is connected to the terminals of the thermistor 6, the shunt resistor 13 and the third input of the microcontroller 10, the first resistor of the voltage divider 11 through the second resistor of the voltage divider 12 is connected to the second output of the winding of the force sensor 1 and through the second analog-to-digital converter (ADC) 8 to the fourth input of the microcontroller 10, and the output of the microcontroller is connected to the input of the amplifier of the force sensor 2.

5.2. Измерение ускорения с использованием предлагаемого акселерометра осуществляют следующим образом.5.2. The measurement of acceleration using the proposed accelerometer is as follows.

При воздействии на акселерометр ускорения gи возникает отклонение чувствительного элемента, не показанного на чертеже. Это отклонение фиксирует датчик положения 3, выходной сигнал которого после усиления в усилителе 4 поступает на первый вход микроконтроллера 10. Микроконтроллер формирует управляющий ШИМ-сигнал, поступающий с выхода микроконтроллера на вход усилителя 2. По этому ШИМ-сигналу усилитель 2 создает ток, поступающий с его выхода в обмотку датчика силы 1 и последовательно включенный с ним масштабный резистор 5. В результате датчик силы прикладывает к чувствительному элементу силу до обнуления отклонения чувствительного элемента (до обнуления выходного сигнала датчика положения).When the accelerometer g is affected by the accelerometer , a deviation of the sensor element, not shown in the drawing, occurs. This deviation is detected by the position sensor 3, the output signal of which after amplification in the amplifier 4 is supplied to the first input of the microcontroller 10. The microcontroller generates a PWM control signal from the microcontroller output to the input of the amplifier 2. According to this PWM signal, the amplifier 2 generates a current from of its output into the winding of the force sensor 1 and a scale resistor 5 connected in series with it. As a result, the force sensor applies force to the sensor until the deviation of the sensor is zero (until the output -stand position sensor signal).

Ток i, протекающий через датчик силы и масштабный резистор, пропорционален измеряемому ускорению gи:The current i flowing through the force sensor and a scale resistor is proportional to the measured acceleration g and :

Figure 00000001
Figure 00000001

где Км - масштабный коэффициент.where K m - scale factor.

Измерение тока i осуществляют с помощью первого АЦП 7.The current i is measured using the first ADC 7.

Напряжение UB1 на входе первого АЦП пропорционально току i:The voltage U B1 at the input of the first ADC is proportional to the current i:

Figure 00000002
Figure 00000002

где Rм - сопротивление масштабного резистора.where R m is the resistance of the scale resistor.

Масштабный резистор имеет малый температурный коэффициент сопротивления (ТКС).The scale resistor has a low temperature coefficient of resistance (TCR).

С учетом (1), (2) выходной (цифровой) сигнал АЦП 7Taking into account (1), (2) the output (digital) ADC signal 7

Figure 00000003
Figure 00000003

где Кц - коэффициент пропорциональности.where K c is the coefficient of proportionality.

Цифровой сигнал (3) поступает с выхода первого АЦП 7 на второй вход микроконтроллера.A digital signal (3) is supplied from the output of the first ADC 7 to the second input of the microcontroller.

Микроконтроллер корректирует значение U1 с учетом компенсации изменения масштабного коэффициента акселерометра в функции температуры. По скорректированному цифровому сигналу W с выхода микроконтроллера судят об ускорении gи.The microcontroller corrects the value of U 1 taking into account compensation for changes in the scale factor of the accelerometer as a function of temperature. The corrected digital signal W from the output of the microcontroller judges the acceleration g and .

5.3. Коррекцию температурной составляющей масштабного коэффициента акселерометра осуществляют следующим образом.5.3. The correction of the temperature component of the scale factor of the accelerometer is as follows.

Одновременно с определением тока i, протекающего через обмотку датчика силы, измеряют напряжение UB2 на входе второго АЦП 8. Это напряжение можно выразить через ток i и параметры делителя напряжения (ДН) следующим образом:Simultaneously with determining the current i flowing through the winding of the force sensor, measure the voltage U B2 at the input of the second ADC 8. This voltage can be expressed in terms of current i and the parameters of the voltage divider (DN) as follows:

Figure 00000004
Figure 00000004

где Rдс - сопротивление обмотки датчика силы;where R ds - resistance of the winding of the force sensor;

R1, R2 - сопротивления первого и второго резисторов ДН соответственно.R 1 , R 2 - the resistance of the first and second resistors DN, respectively.

Первый и второй резисторы ДН имеют малый ТКС, они приводят падение напряжения на нагрузке (Rдс+Rм) ко входу второго АЦП, обеспечивая максимальное напряжение не более допустимого.The first and second DN resistors have a small TCS, they lead to a voltage drop across the load (R ds + R m ) to the input of the second ADC, providing a maximum voltage of no more than permissible.

Выходной (цифровой) сигнал АЦП 8The output (digital) signal of the ADC 8

Figure 00000005
Figure 00000005

Микроконтроллер вычисляет отношение U2/U1 сигналов, поступивших на его четвертый и второй входы соответственно:The microcontroller calculates the ratio U 2 / U 1 of the signals received at its fourth and second inputs, respectively:

Figure 00000006
Figure 00000006

Сопротивление обмотки ДС зависит от температуры:The resistance of the DC winding depends on the temperature:

Figure 00000007
Figure 00000007

где Rдс0 - сопротивление обмотки датчика силы при номинальной температуре;where R ds0 - resistance of the winding of the force sensor at nominal temperature;

α - температурный коэффициент сопротивления обмотки датчика силы;α is the temperature coefficient of resistance of the winding of the force sensor;

Θ - отклонение температуры обмотки датчика силы от номинальной.Θ - deviation of the temperature of the winding of the force sensor from the nominal.

Поэтому выражение (6) можно представить в виде:Therefore, expression (6) can be represented as:

U2/U1=(Rдс0+Rм)R1/Rм(R1+R2)+Rдс0R1α·Θ/Rм(R1+R2)U 2 / U 1 = (R ds0 + R m ) R 1 / R m (R 1 + R 2 ) + R ds0 R 1 α · Θ / R m (R 1 + R 2 )

После калибровки акселерометра (в процессе его изготовления) составляющая (Rдс0+Rм)R1/Rм(R1+R2) учитывается и последующая температурная коррекция осуществляется с использованием отношения:After calibrating the accelerometer (during its manufacture), the component (R ds0 + R m ) R 1 / R m (R 1 + R 2 ) is taken into account and the subsequent temperature correction is carried out using the ratio:

Figure 00000008
Figure 00000008

где Кт=Rдс0R1·α/Rм(R1+R2)where K t = R ds0 R 1 · α / R m (R 1 + R 2 )

Таким образом, отношение сигналов U2/U1 пропорционально температуре Θ обмотки датчика силы, измеряемой относительно номинальной температуры.Thus, the signal ratio U 2 / U 1 is proportional to the temperature Θ of the winding of the force sensor, measured relative to the nominal temperature.

Выходной (цифровой) сигнал микроконтроллера с учетом компенсации погрешности масштабного коэффициента, пропорциональной первой и второй степени температуры Θ, имеет вид:The output (digital) signal of the microcontroller, taking into account the compensation of the error of the scale factor proportional to the first and second degrees of temperature Θ, has the form:

Figure 00000009
Figure 00000009

где К=g/M0fCe - коэффициент учета систематической составляющей относительной погрешности масштабного коэффициента;where K = g / M 0 fC e is the coefficient of accounting for the systematic component of the relative error of the scale factor;

g - ускорение земного тяготения в месте испытаний акселерометра;g is the acceleration of gravity at the test site of the accelerometer;

f - частота опроса первого и второго АЦП;f is the polling frequency of the first and second ADCs;

Се - цена единицы младшего разряда выходного кода;C e is the unit price of the least significant bit of the output code;

Figure 00000010
Figure 00000010

М0 - расчетное значение выходного сигнала акселерометра при действии ускорения lg без учета систематической составляющей относительной погрешности масштабного коэффициента, причем второй индекс в обозначении выходных сигналов АЦП означает положение прибора - 1, 2. Положение прибора 1 - ось чувствительности прибора направлена вертикально вверх. Положение прибора 2 - ось чувствительности прибора направлена вертикально вниз;M 0 is the calculated value of the output signal of the accelerometer under the action of acceleration lg without taking into account the systematic component of the relative error of the scale factor, and the second index in the designation of the ADC output signals means the position of the device - 1, 2. The position of the device 1 - the sensitivity axis of the device is directed vertically upward. Position of the device 2 - the axis of sensitivity of the device is directed vertically downward;

K1, К2 - коэффициенты аппроксимирующего полинома.K 1 , K 2 - coefficients of the approximating polynomial.

5.4. Коэффициенты полинома К1, К2 определяют при изготовлении акселерометра из условия равенства масштабных коэффициентов акселерометра на краях и в центре рабочего температурного диапазона. Система уравнений для определения коэффициентов имеет вид:5.4. The coefficients of the polynomial K 1 , K 2 are determined in the manufacture of the accelerometer from the condition of equality of scale factors of the accelerometer at the edges and in the center of the operating temperature range. The system of equations for determining the coefficients has the form:

Figure 00000011
Figure 00000011

где МВ, MC, МН - масштабный коэффициент акселерометра при максимальной, средней и низкой температурах соответственно.where M In , M C , M N - scale factor of the accelerometer at maximum, medium and low temperatures, respectively.

С учетом выходного сигнала (9) систему уравнений (10) можно записать в виде:Given the output signal (9), the system of equations (10) can be written as:

Figure 00000012
Figure 00000012

Figure 00000013
Figure 00000013

Решение системы уравнений относительно К1, К2:The solution of the system of equations for K 1 , K 2 :

Figure 00000014
,
Figure 00000014
,

Figure 00000015
Figure 00000015

где a1=(UB1-UB12)-(UH11-UH12);where a1 = (U B1 -U B12 ) - (U H11 -U H12 );

a2=(UB1-UB12)-(UC11-UC12);a2 = (U B1 -U B12 ) - (U C11 -U C12 );

в1=(UB21-UB22)-(UH21-UH22);b1 = (U B21 -U B22 ) - (U H21 -U H22 );

в2=(UB21-UB22)-(UC21-UC22);B2 = (U B21 -U B22 ) - (U C21 -U C22 );

Figure 00000016
;
Figure 00000016
;

Figure 00000017
Figure 00000017

UB11, UC11, UH11 - выходной сигнал первого АЦП при высокой, средней, низкой температуре соответственно в положении 1 прибора - измерительная ось направлена вертикально вверх;U B11 , U C11 , U H11 - the output signal of the first ADC at high, medium, low temperature, respectively, in position 1 of the device - the measuring axis is directed vertically upwards;

UB12, UC12, UH12 - выходной сигнал первого АЦП при высокой, средней, низкой температуре соответственно в положении 2 прибора - измерительная ось направлена вертикально вниз;U B12 , U C12 , U H12 - the output signal of the first ADC at high, medium, low temperature, respectively, in position 2 of the device - the measuring axis is directed vertically downward;

UB21, UC21, UH21 - выходной сигнал второго АЦП при высокой, средней, низкой температуре соответственно в положении 1 прибора - измерительная ось направлена вертикально вверх;U B21 , U C21 , U H21 - the output signal of the second ADC at high, medium, low temperature, respectively, in position 1 of the device - the measuring axis is directed vertically upwards;

UB22, UC22, UH22 - выходной сигнал второго АЦП при высокой, средней, низкой температуре соответственно в положении 2 прибора - измерительная ось направлена вертикально вниз.U B22 , U C22 , U H22 - the output signal of the second ADC at high, medium, low temperature, respectively, in position 2 of the device - the measuring axis is directed vertically downward.

Значения коэффициентов K1, K2 (при изготовлении акселерометра) записывают в оперативную память микроконтроллера.The values of the coefficients K 1 , K 2 (in the manufacture of the accelerometer) are recorded in the RAM of the microcontroller.

5.5. Учет остаточной температурной погрешности масштабного коэффициента проводят следующим образом.5.5. The residual temperature error of the scale factor is taken into account as follows.

С выхода источника тока 9 постоянный ток поступает на терморезистор, сопротивление которого изменяется пропорционально текущей температуре Tt корпуса терморезистора. В результате на шунтирующем сопротивлении формируется напряжение, пропорциональное температуре Tt. Сигнал, соответствующий температуре Tt, поступает на 3 вход микроконтроллера.From the output of the current source 9, direct current is supplied to the thermistor, the resistance of which changes in proportion to the current temperature T t of the thermistor housing. As a result, a voltage proportional to the temperature T t is formed on the shunt resistance. The signal corresponding to the temperature T t enters the 3 input of the microcontroller.

Весь температурный диапазон акселерометра (при его изготовлении) разделяют на r поддиапазонов (r больше 5) и для каждого поддиапазона температуры от Ti до Ti+1 (i от 1 до r+1) определяют начальный поправочный коэффициент Mi (для температуры Ti) и конечный поправочный коэффициент Mi+1 (для температуры Tj+1).The entire temperature range of the accelerometer (during its manufacture) is divided into r sub-bands (r is greater than 5) and for each temperature sub-range from T i to T i + 1 (i from 1 to r + 1), the initial correction coefficient M i is determined (for temperature T i ) and the final correction coefficient M i + 1 (for temperature T j + 1 ).

С учетом линейной зависимости остаточной температурной погрешности в выбранном поддиапазоне от Ti до Ti+1 коэффициент учета остаточной температурной погрешности масштабного коэффициента имеет вид:Given the linear dependence of the residual temperature error in the selected sub-range from T i to T i + 1, the coefficient for taking into account the residual temperature error of the scale factor has the form:

Figure 00000018
Figure 00000018

где Tt - текущее значение температуры, измеренное терморезистором;where T t is the current temperature value measured by a thermistor;

Figure 00000019
Figure 00000019

Figure 00000020
- стартовое (исходное) значение поправочного коэффициента (в момент включения прибора);
Figure 00000020
- starting (initial) value of the correction factor (at the moment of switching on the device);

Figure 00000021
- стартовый поправочный коэффициент для i-й температуры;
Figure 00000021
- starting correction factor for the i-th temperature;

Figure 00000022
- стартовое значение i-го интервала температуры;
Figure 00000022
- starting value of the i-th temperature interval;

Figure 00000023
- начальная температура в момент включения прибора.
Figure 00000023
- initial temperature at the moment of switching on the device.

Поправочный коэффициент Mi определяют по формулам:The correction factor M i is determined by the formulas:

Figure 00000024
,
Figure 00000024
,

Figure 00000025
, δµ1=0, М1=0,
Figure 00000025
, δµ 1 = 0, M 1 = 0,

Figure 00000026
Figure 00000026

где µi,

Figure 00000027
- относительная погрешность масштабного коэффициента на i-й температуре Ti (i от 1 до r+1) до и после калибровки акселерометра соответственно. Коэффициенты Mi записывают в оперативную память микроконтроллера.where μ i ,
Figure 00000027
- the relative error of the scale factor at the ith temperature T i (i from 1 to r + 1) before and after calibration of the accelerometer, respectively. The coefficients M i are recorded in the RAM of the microcontroller.

5.6. Результирующий выходной (цифровой) сигнал акселерометра с учетом компенсации температурных погрешностей масштабного коэффициента, пропорциональных первой и второй степени температуры Θ, а также компенсации остаточных температурных погрешностей масштабного коэффициента с использованием температуры Tt имеет вид:5.6. The resulting output (digital) signal of the accelerometer, taking into account the compensation of temperature errors of the scale factor proportional to the first and second degrees of temperature Θ, as well as the compensation of residual temperature errors of the scale factor using temperature T t, has the form:

Figure 00000028
Figure 00000028

5.7. Для реализации предлагаемого акселерометра могут быть использованы полупроводниковый терморезистор ТР-1 и микроконтроллер ATMEGA 8535. В качестве аналого-цифрового преобразователя может быть применена микросхема AD7711. Для реализации резисторов делителя напряжения и шунтирующего резистора могут быть использованы резисторы С2-29 В.5.7. To implement the proposed accelerometer, a TP-1 semiconductor thermistor and an ATMEGA 8535 microcontroller can be used. The AD7711 chip can be used as an analog-to-digital converter. For the implementation of the resistors of the voltage divider and the shunt resistor, resistors C2-29 V can be used.

5.8. Расчет эффективности изобретения5.8. The calculation of the effectiveness of the invention

В акселерометре компенсационного типа по патенту РФ №2050549 [2] повышение точности достигается за счет снижения температурной погрешности, а конкретно уменьшением линейной составляющей температурной зависимости масштабного коэффициента, с помощью усилителя термокомпенсации.In the compensation type accelerometer according to the patent of the Russian Federation No. 2050549 [2], an increase in accuracy is achieved by reducing the temperature error, and specifically by reducing the linear component of the temperature dependence of the scale factor, using a thermal compensation amplifier.

Однако в реальных акселерометрах зависимость масштабного коэффициента от температуры существенно отличается от линейной.However, in real accelerometers, the dependence of the scale factor on temperature differs significantly from linear.

Подсчитаем температурную погрешность масштабного коэффициента акселерометра-прототипа для зависимости масштабного коэффициента от температуры, описываемой, например, полиномом третьей степени:We calculate the temperature error of the scale factor of the accelerometer prototype for the dependence of the scale factor on the temperature, described, for example, by a polynomial of the third degree:

Figure 00000029
Figure 00000029

где i - ток в цепи обратной связи акселерометра [2] без усилителя термокомпенсации;where i is the current in the feedback circuit of the accelerometer [2] without a thermal compensation amplifier;

i0 - ток в цепи обратной связи акселерометра [2] без усилителя термокомпенсации при номинальной температуре;i 0 - current in the feedback circuit of the accelerometer [2] without a thermal compensation amplifier at nominal temperature;

D1, D2, D3 - температурные коэффициенты изменения масштабного коэффициента акселерометра при температуре в первой, второй и третьей степени соответственно.D 1 , D 2 , D 3 - temperature coefficients of change of the scale factor of the accelerometer at a temperature in the first, second and third degree, respectively.

В соответствии с [2]In accordance with [2]

Figure 00000030
Figure 00000030

а суммарный ток в цепи обратной связи акселерометра с учетом тока усилителя термокомпенсации:and the total current in the feedback circuit of the accelerometer, taking into account the current of the thermal compensation amplifier:

Figure 00000031
Figure 00000031

С учетом (19) выражение для температурной погрешности масштабного коэффициента акселерометра-прототипа можно записать в виде:Given (19), the expression for the temperature error of the scale factor of the accelerometer prototype can be written in the form:

Figure 00000032
Figure 00000032

Тогда величина температурной погрешности при следующих реальных исходных данных: D1=4·10-41/°C, D2=6·10-71/(°С)2, D3=5·10-91/(°С)3, Θ=35°С - может составить:Then the temperature error with the following real initial data: D 1 = 4 · 10 -4 1 / ° C, D 2 = 6 · 10 -7 1 / (° С) 2 , D 3 = 5 · 10 -9 1 / ( ° C) 3 , Θ = 35 ° C - may be:

δiк=-16·10-8·1225+6·10-7·1225-4·10-4·6·10-7·42875+5·10-9·42875-δi k = -16 · 10 -8 · 1225 + 6 · 10 -7 · 1225-4 · 10 -4 · 6 · 10 -7 · 42875 + 5 · 10 -9 · 42875-

-4·10-4·5·10-9·1500625=7,4·10-4.-4 · 10 -4 · 5 · 10 -9 · 1500625 = 7.4 · 10 -4 .

Таким образом, при наличии нелинейной зависимости температурной погрешности масштабного коэффициента погрешность акселерометра-прототипа достигает значительных величин (порядка 7,4·10-4).Thus, in the presence of a non-linear dependence of the temperature error of the scale factor, the error of the accelerometer prototype reaches significant values (about 7.4 · 10 -4 ).

В предлагаемом акселерометре повышение точности, по сравнению с прототипом, достигается за счет снижения квадратичной и более высокого порядка составляющих температурной зависимости масштабного коэффициента.In the proposed accelerometer, improved accuracy, compared with the prototype, is achieved by reducing the quadratic and higher order components of the temperature dependence of the scale factor.

Рассчитаем во сколько раз (по сравнению с прототипом) повышается точность предлагаемого акселерометра за счет снижения (компенсации) температурной составляющей масштабного коэффициента.We calculate how many times (compared with the prototype) increases the accuracy of the proposed accelerometer by reducing (compensating) the temperature component of the scale factor.

Представим зависимость тока в цепи обратной связи от температуры без компенсации в предлагаемом акселерометре в виде (18).Imagine the dependence of the current in the feedback circuit on temperature without compensation in the proposed accelerometer in the form (18).

Выходная информация о токе в цепи обратной связи с компенсацией:Compensated feedback current output:

Figure 00000033
Figure 00000033

Учитывая, что

Figure 00000034
а отношение
Figure 00000035
пропорционально сопротивлению обмотки датчика силы Rдс, выходную информацию можно представить в виде:Given that
Figure 00000034
and attitude
Figure 00000035
in proportion to the resistance of the coil of the force sensor R ds , the output information can be represented as:

Figure 00000036
Figure 00000036

гдеWhere

Figure 00000037
,
Figure 00000037
,

Figure 00000038
Figure 00000038

Figure 00000039
Figure 00000039

Учитывая зависимость (7) сопротивления обмотки датчика силы от температуры, можно записать выходную информацию акселерометра с компенсацией температурной погрешности в виде зависимости от температуры:Given the dependence (7) of the resistance of the winding of the force sensor on temperature, one can record the output information of the accelerometer with compensation for the temperature error in the form of a temperature dependence:

Figure 00000040
Figure 00000040

гдеWhere

Figure 00000041
,
Figure 00000041
,

Figure 00000042
,
Figure 00000042
,

Figure 00000043
.
Figure 00000043
.

Из (22) следует, что подбирая коэффициенты C1 и С2 (в процессе настройки акселерометра), можно компенсировать температурную погрешность масштабного коэффициента, пропорциональную первой и второй степени температуры.From (22) it follows that, choosing the coefficients C 1 and C 2 (during the setup of the accelerometer), it is possible to compensate for the temperature error of the scale factor proportional to the first and second degrees of temperature.

Настройку акселерометра проводят (как показано в п.5.4) по условию равенства масштабных коэффициентов на краях и в средней точке рабочего температурного диапазона.The accelerometer is adjusted (as shown in Section 5.4) according to the condition that the scale factors are equal at the edges and at the midpoint of the operating temperature range.

Пусть рабочий температурный диапазон акселерометра составляет 70°С - от минус 5°С до +65°С. В средней точке рабочего температурного диапазона (30°С) Θ=0, на верхней границе рабочего температурного диапазона отклонение температуры от среднего значения составит 35°С, на нижней - минус 35°С. Тогда можно записать систему двух уравнений:Let the operating temperature range of the accelerometer be 70 ° С - from minus 5 ° С to + 65 ° С. At the midpoint of the operating temperature range (30 ° С) Θ = 0, at the upper boundary of the operating temperature range the temperature deviation from the average value will be 35 ° С, at the lower - minus 35 ° С. Then we can write a system of two equations:

Figure 00000044
Figure 00000044

Решение системы уравнений относительно C1, C2:The solution of the system of equations for C 1 , C 2 :

Figure 00000045
Figure 00000045

Температурная составляющая относительной погрешности масштабного коэффициента при компенсации линейного и квадратичного членов описывается выражением:The temperature component of the relative error of the scale factor in the compensation of linear and quadratic terms is described by the expression:

Figure 00000046
Figure 00000046

где Θ - отклонение текущего значения температуры прибора от температуры в средней точке рабочего температурного диапазона.where Θ is the deviation of the current value of the temperature of the device from the temperature at the midpoint of the operating temperature range.

Значения остаточной температурной погрешности масштабного коэффициента δik при D1=4·10-4 1/°C, D2=6·10-71/(°С)2, D3=5·10-9 1/(°С)3, Θ=35°С представлены в таблице 1. При этом C1=-4,06·10-41/°C, С2=-4,35·10-71/(°С)2.The values of the residual temperature error of the scale factor δi k at D 1 = 4 · 10 -4 1 / ° C, D 2 = 6 · 10 -7 1 / (° С) 2 , D 3 = 5 · 10 -9 1 / (° C) 3 , Θ = 35 ° C are presented in table 1. Moreover, C 1 = -4.06 · 10 -4 1 / ° C, C 2 = -4.35 · 10 -7 1 / (° С) 2 .

Таблица 1Table 1 Θi, °СΘ i , ° С δiк δi to -35-35 00 -30-thirty 4,53·10-5 4.53 · 10 -5 -25-25 6,95·10-5 6.95 · 10 -5 -20-twenty 7,63·10-5 7.63 · 10 -5 -15-fifteen 6,92·10-5 6.92 · 10 -5 -10-10 5,18·10-5 5.18 · 10 -5 -5-5 2,75·10-5 2.7510 -5 00 00 55 -2,74·10-5 -2.74 · 10 -5 1010 -5,13·10-5 -5.1310 -5 15fifteen -6,82·10-5 -6.8210 -5 20twenty -7,48·10-5 -7.4810 -5 2525 -6,78·10-5 -6.7810 -5 30thirty -4,40·10-5 -4.4010 -5 3535 00

Из таблицы 1 следует, что остаточная температурная погрешность не превышает 7,63·10-5.From table 1 it follows that the residual temperature error does not exceed 7.63 · 10 -5 .

Таким образом, компенсация квадратичного члена температурной зависимости масштабного коэффициента повышает точность акселерометра в 7,4·10-4/7,63·10-5=9,7 раза.Thus, the compensation of the quadratic term of the temperature dependence of the scale factor increases the accuracy of the accelerometer by 7.4 · 10 -4 / 7.63 · 10 -5 = 9.7 times.

Перейдем к рассмотрению эффективности изобретения в части компенсации остаточной температурной погрешности масштабного коэффициента δiк (таблица 1) с использованием измеренных терморезистором значений температуры Ti. Температура жидкости Ti, измеряемая терморезистором, может отличаться на величину от 1 до 5°С от температуры датчика силы Θi.We proceed to consider the effectiveness of the invention in terms of compensating for the residual temperature error of the scale factor δi k (table 1) using the temperature values T i measured by the thermistor. The liquid temperature T i measured by the thermistor may differ by 1 to 5 ° C from the temperature of the force sensor Θ i .

Для компенсации этой остаточной температурной погрешности масштабного коэффициента рабочий температурный диапазон акселерометра разбивают, например, на r=7 поддиапазонов (величиной от 8 до 12°С каждый), как показано в таблице 2.To compensate for this residual temperature error of the scale factor, the operating temperature range of the accelerometer is divided, for example, into r = 7 sub-ranges (from 8 to 12 ° C each), as shown in table 2.

Таблица 2table 2 Номер поддиапазона jSubband Number j Ti, °СT i , ° C (δiк)i (δi k ) i Δj Δ j 1one -38-38 00 -33-33 4,53·10-5 4.53 · 10 -5 -1,05·10-5 -1.0510 -5 -28-28 6,95·10-5 6.95 · 10 -5 22 -24-24 7,63·10-5 7.63 · 10 -5 -6,95·10-6 -6.9510 -6 -16-16 6,92·10-5 6.92 · 10 -5 33 -12-12 5,18·10-5 5.18 · 10 -5 -3,45·10-6 -3.4510 -6 -8-8 2,75·10-5 2.7510 -5 4four -3-3 00 5·10-8 5 · 10 -8 22 -2,74·10-5 -2.74 · 10 -5 55 1010 -5,13·10-5 -5.1310 -5 3,5·10-6 3.5 · 10 -6 14fourteen -6,82·10-5 -6.8210 -5 66 1919 -7,48·10-5 -7.4810 -5 6,80·10-6 6.80 · 10 -6 2424 -6,78·10-5 -6.7810 -5 77 2828 -4,40·10-5 -4.4010 -5 1,01·10-5 1.01 · 10 -5 3232 00

В каждом из этих поддиапазонов температурное изменение масштабного коэффициента компенсируют со своим линейным коэффициентом. В этом случае температурная погрешность после компенсации остаточной температурной погрешности может быть определена (таблица 2) по формуле:In each of these subranges, the temperature change in the scale factor is compensated with its linear coefficient. In this case, the temperature error after compensation of the residual temperature error can be determined (table 2) by the formula:

Figure 00000047
Figure 00000047

Эта температурная погрешность в соответствии с таблицей 2 не превышает по абсолютной величине 1,05·10-5.This temperature error in accordance with table 2 does not exceed the absolute value of 1.05 · 10 -5 .

Таким образом, по сравнению с прототипом, точность предлагаемого акселерометра по масштабному коэффициенту повышается дополнительно в 7,63·10-5/1,05·10-5=7,26 раза. В результате повышение точности в 9,7·7,26=70,4 раза по сравнению с прототипом позволяет создать акселерометр, обладающий высокой точностью в широком диапазоне температур.Thus, in comparison with the prototype, the accuracy of the proposed accelerometer in terms of the scale factor increases by an additional 7.63 · 10 -5 / 1.05 · 10 -5 = 7.26 times. As a result, an increase in accuracy of 9.7 · 7.26 = 70.4 times compared with the prototype allows you to create an accelerometer with high accuracy in a wide temperature range.

Claims (1)

Акселерометр компенсационного типа, содержащий чувствительный элемент с датчиком силы и датчиком положения, масштабный резистор, усилители датчиков силы и положения, первый вывод обмотки датчика силы соединен с первым выводом масштабного резистора, второй вывод обмотки датчика силы подключен к выходу усилителя датчика силы, выход датчика положения соединен с входом усилителя датчика положения, отличающийся тем, что в него дополнительно введены терморезистор, первый и второй аналого-цифровые преобразователи, источник тока, микроконтроллер, первый и второй резисторы делителя напряжения, шунтирующий резистор, причем выход усилителя датчика положения соединен с первым входом микроконтроллера, первый вывод масштабного резистора через первый аналого-цифровой преобразователь подключен к второму входу микроконтроллера, выход источника тока соединен с выводами терморезистора, шунтирующего резистора и третьим входом микроконтроллера, первый резистор делителя напряжения через второй резистор делителя напряжения подключен к второму выводу обмотки датчика силы и через второй аналого-цифровой преобразователь к четвертому входу микроконтроллера, а выход микроконтроллера соединен с входом усилителя датчика силы. A compensation type accelerometer comprising a sensor with a force sensor and a position sensor, a scale resistor, power and position sensor amplifiers, a first output of the force sensor winding connected to a first output of a scale resistor, a second force sensor winding connected to the output of the force sensor amplifier, position sensor output connected to the input of the position sensor amplifier, characterized in that a thermistor, first and second analog-to-digital converters, a current source, microcontrol are additionally introduced into it ller, first and second resistors of the voltage divider, a shunt resistor, the output of the position sensor amplifier connected to the first input of the microcontroller, the first output of the scale resistor through the first analog-to-digital converter connected to the second input of the microcontroller, the output of the current source connected to the terminals of the thermistor, the shunt resistor, and the third input of the microcontroller, the first resistor of the voltage divider through the second resistor of the voltage divider is connected to the second terminal of the winding of the force sensor and through w There is an analog-to-digital converter to the fourth input of the microcontroller, and the output of the microcontroller is connected to the input of the amplifier of the force sensor.
RU2010108260/28A 2010-03-05 2010-03-05 Compensation-type accelerometer RU2434233C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010108260/28A RU2434233C1 (en) 2010-03-05 2010-03-05 Compensation-type accelerometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010108260/28A RU2434233C1 (en) 2010-03-05 2010-03-05 Compensation-type accelerometer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2010108260A RU2010108260A (en) 2011-09-10
RU2434233C1 true RU2434233C1 (en) 2011-11-20

Family

ID=44757366

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010108260/28A RU2434233C1 (en) 2010-03-05 2010-03-05 Compensation-type accelerometer

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2434233C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2741277C1 (en) * 2020-02-17 2021-01-22 Акционерное Общество "Научно-Производственное Объединение Электромеханики" Compensation type accelerometer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2741277C1 (en) * 2020-02-17 2021-01-22 Акционерное Общество "Научно-Производственное Объединение Электромеханики" Compensation type accelerometer

Also Published As

Publication number Publication date
RU2010108260A (en) 2011-09-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105388356B (en) Current measuring device
CN203037265U (en) Temperature compensating circuit
US8874387B2 (en) Air flow measurement device and air flow correction method
KR102266217B1 (en) Thermal flow meter, temperature measurement device, and thermal flow meter program
RU2434233C1 (en) Compensation-type accelerometer
US7301352B1 (en) High sensitivity single or multi sensor interface circuit with constant voltage operation
CN106289043B (en) A kind of capacitive distance measurement method, device and its calibrating method
RU2408857C1 (en) Pressure sensor based on nano- and micro-electromechanical system with frequency-domain output signal
SE427502B (en) VERMEGENOMGANGSMETARE
KR101074599B1 (en) Temperature Detector and Measurement Method Of The Same
US20200049744A1 (en) Apparatus and method for determining a power value of a target
Ghosh et al. A novel sensitivity enhancement technique employing wheatstone's bridge for strain and temperature measurement
RU2311621C1 (en) Device for measuring temperature difference
CN102080994A (en) Isolated measurement technology of strain bridge circuit
RU2741277C1 (en) Compensation type accelerometer
RU2502970C1 (en) Pressure converter
US10718678B2 (en) Aircraft engine multi-channel pressure transducer
Hucl et al. Automatic unit for measuring refractive index of air based on Ciddor equation and its verification using direct interferometric measurement method
RU2549255C1 (en) Digital temperature meter
RU2789106C1 (en) Method for measuring liquid or gas pressure and device for its implementation
RU2745106C1 (en) Method and a device for measuring pressure with correction of the dynamic measurement error
CN102818650A (en) Bridge circuit isolation measurement method and measurement circuit
CN214583317U (en) High-precision physical quantity measuring device
RU2418275C1 (en) Method of measuring pressure
CN219738060U (en) uA level high-precision constant current source system

Legal Events

Date Code Title Description
PD4A Correction of name of patent owner