RU2420379C1 - Method of applying wavy texture on surface - Google Patents
Method of applying wavy texture on surface Download PDFInfo
- Publication number
- RU2420379C1 RU2420379C1 RU2009149277/02A RU2009149277A RU2420379C1 RU 2420379 C1 RU2420379 C1 RU 2420379C1 RU 2009149277/02 A RU2009149277/02 A RU 2009149277/02A RU 2009149277 A RU2009149277 A RU 2009149277A RU 2420379 C1 RU2420379 C1 RU 2420379C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- wavy texture
- texture
- applying
- laser radiation
- wavy
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к способам специализированной обработки поверхности, в частности гравированию, а более конкретно к способам нанесения волнистой фактуры, и может применяться для создания текстурированной подложки, на которую производят запись информации, например, в виде кода.The invention relates to methods for specialized surface treatment, in particular engraving, and more particularly to methods for applying a wavy texture, and can be used to create a textured substrate on which information is recorded, for example, in the form of a code.
Известен способ помехоустойчивой записи и считывания кодовой информации [патент РФ №2348076 от 02.04.2007, кл. G06K 7/10, G06K 1/12, G06K 19/14]. В известном техническом решении поверхность, на которую планируется нанести кодовую информацию, состоящую из совокупности трехмерных меток, предварительно обрабатывают на фрезерном станке, нарезая волнистую фактуру. Затем данную поверхность электрополируют для удаления заусенцев, образованных после обработки на фрезерном станке. После удаления заусенцев поверхность принимает вид волнистой фактуры с фиксированным шагом и глубиной рельефа профиля.A known method of noise-immune recording and reading of code information [RF patent No. 2348076 from 04/02/2007, cl. G06K 7/10, G06K 1/12, G06K 19/14]. In a known technical solution, the surface on which it is planned to apply code information consisting of a combination of three-dimensional marks is pre-treated on a milling machine, cutting a wavy texture. Then, this surface is electropolished to remove the burrs formed after processing on the milling machine. After deburring, the surface takes the form of a wavy texture with a fixed pitch and profile relief depth.
Недостатком этого способа является относительно низкая точность и нестабильность волнистой фактуры, так как происходит неконтролируемое стирание кромок фрезы, приводящее к отклонению от заданных значений параметров шага и глубины рельефа профиля. Кроме того, из-за образования заусенцев в процессе обработки поверхности на фрезерном станке требуется дополнительная механическая операция (электрополирование), что снижает технологичность процесса нанесения волнистой фактуры на поверхность.The disadvantage of this method is the relatively low accuracy and instability of the wavy texture, as there is an uncontrolled erasing of the edges of the cutter, leading to a deviation from the specified values of the step parameters and the profile relief depth. In addition, due to the formation of burrs during surface treatment on a milling machine, an additional mechanical operation (electropolishing) is required, which reduces the manufacturability of the process of applying a wavy texture to the surface.
Известен другой метод нанесения фоновой волнистой фактуры на поверхность, описанный в приведенном выше патенте, согласно которому поверхность механически накатывают для создания требуемого рельефа профиля неровностей. Однако в этом случае происходит нагартовка материала, что приводит к необходимости дополнительного электрополирования, к тому же искажающего волновой профиль.There is another method for applying a background wavy texture to a surface described in the above patent, according to which the surface is mechanically rolled to create the desired relief profile of the irregularities. However, in this case, the material is hardened, which leads to the need for additional electro polishing, which also distorts the wave profile.
В качестве прототипа выбрана известная технология прямого лазерного гравирования, [http://slovari.yandex.ru/dict/stefanov/article/ste/ste-1054.htm, от 12.12.2009], заключающаяся в создании на маркируемой поверхности рельефного изображения (в частности, волнистой фактуры) с использованием лазерного излучения в качестве инструмента гравирования. Требуемая фактура может быть нанесена на гравируемую поверхность посредством фокусирования лазерного излучения в виде пятна на поверхности и перемещения образовавшейся в результате фокусирования зоны локального испарения материала, размеры которой не превышают расстояния между двумя соседними хребтами волн фактуры, вдоль впадин наносимой волнистой фактуры. К преимуществам данного способа можно отнести высокую производительность, отсутствие нагартовки гравируемой поверхности, вследствие испарения ее материала (и как следствие, очистки материала от внешних загрязнений), а также дополнительное механическое упрочнение гравируемой поверхности посредством локального термического воздействия лазерного излучения. Также к преимуществам лазерного гравирования можно отнести возможность выполнения на том же технологическом оборудовании операции вырезания, например, из листовой заготовки таблички, и нанесения кодовой и визуальной информации.As a prototype, the well-known technology of direct laser engraving was selected, [http://slovari.yandex.ru/dict/stefanov/article/ste/ste-1054.htm, dated 12.12.2009], which consists in creating a relief image on the marked surface ( in particular, wavy texture) using laser radiation as an engraving tool. The required texture can be applied to the engraved surface by focusing the laser radiation in the form of a spot on the surface and moving the zone of local evaporation of the material formed as a result of focusing, the dimensions of which do not exceed the distance between two adjacent ridges of the texture waves along the troughs of the applied wavy texture. The advantages of this method include high productivity, the absence of fretting of the engraved surface due to the evaporation of its material (and, as a result, the cleaning of the material from external contaminants), as well as additional mechanical hardening of the engraved surface through local thermal exposure to laser radiation. Also, the advantages of laser engraving include the ability to perform cutting operations on the same technological equipment, for example, from a sheet blank of a plate, and applying code and visual information.
Недостатком фоновой волнистой фактуры поверхности, созданной согласно прототипу, является то, что при наблюдении отраженного от нее света формируются полосчатые блики, затрудняющие процесс считывания информации, нанесенной на данную волнистую фактуру (которая служит фоном). Указанный недостаток обусловлен высокой чистотой получаемой поверхности, приводящей к образованию на ней фактуры цилиндрических вогнутых микрозеркал, фокусирующих падающий на них свет.The disadvantage of the background wavy texture of the surface created according to the prototype is that when observing the light reflected from it, banded glare forms that impede the process of reading the information applied to this wavy texture (which serves as the background). This drawback is due to the high purity of the resulting surface, which leads to the formation on it of a texture of cylindrical concave micromirrors focusing the light incident on them.
Задачей изобретения является создание способа нанесения волнистой фактуры с безбликовыми отражательными способностями и заданным профилем рельефа.The objective of the invention is to provide a method of applying a wavy texture with glareless reflectivity and a given profile of the relief.
Поставленная задача достигается тем, что в способе нанесения волнистой фактуры на поверхность, заключающемся в фокусировании лазерного излучения в виде пятна на поверхности и перемещении образовавшейся в результате фокусирования зоны локального испарения материала поверхности, глубина которой равна заданной глубине впадин волнистой фактуры, а диаметр близок, но не превышает заданного расстояния между двумя соседними хребтами волн фактуры, вдоль заданного положения впадин наносимой волнистой фактуры, согласно изобретению в процессе перемещения зоны локального испарения материала поверхности вдоль впадин наносимой волнистой фактуры организуют мелкомасштабную осцилляцию положения зоны локального испарения, при этом амплитуда осцилляционного движения не превышает половины диаметра воронки зоны локального испарения.The problem is achieved in that in the method of applying a wavy texture to the surface, which consists in focusing the laser radiation in the form of a spot on the surface and moving the surface of the local evaporation of the material formed as a result of focusing, the depth of which is equal to the specified depth of the troughs of the wavy texture and the diameter is close, but does not exceed a predetermined distance between two adjacent ridges of the texture waves, along a given position of the troughs of the applied wave texture, according to the invention in the process displacements of the zone of local evaporation of the surface material along the depressions of the applied wavy texture organize a small-scale oscillation of the position of the zone of local evaporation, while the amplitude of the oscillatory motion does not exceed half the diameter of the funnel of the zone of local evaporation.
Техническая сущность способа заключается в создании вдоль впадин заданной волнистой фактуры более мелкомасштабной периодической чешуйчатой ("рябьевидной") текстуры, обеспечивающей наряду с заданным профилем рельефа большую безбликовость отражения под всеми углами падения оптического излучения на гравируемую поверхность.The technical essence of the method consists in creating along the troughs of a given wavy texture a smaller-scale periodic scaly ("scalloped") texture, which provides, along with a given profile of the relief, a high reflectionlessness at all angles of incidence of optical radiation on the engraving surface.
Кроме того, лазерное излучение подают в импульсном режиме, а пятно фокусировки перемещают равномерно.In addition, laser radiation is supplied in a pulsed mode, and the focus spot is moved uniformly.
Кроме того, лазерное излучение подают в непрерывном или квазинепрерывном режиме, а пятно фокусировки периодически смещают на расстояние, меньшее размеров зоны локального испарения материала поверхности.In addition, laser radiation is supplied in a continuous or quasi-continuous mode, and the focus spot is periodically shifted to a distance less than the size of the zone of local evaporation of the surface material.
Кроме того, мощность лазерного излучения варьируется по периодическому закону с периодом, не большим времени перемещения пятна фокусировки на расстояние, соответствующее размеру зоны локального испарения.In addition, the laser radiation power varies according to a periodic law with a period not exceeding the time the focus spot moves for a distance corresponding to the size of the local evaporation zone.
Благодаря этому дополнительно формируются микронеровности на поверхности впадин волнистой фактуры (наподобие чешуек), что также препятствует образованию бликов при отражении сигнала от гравируемой поверхности.Due to this, microroughnesses are additionally formed on the surface of the depressions of the wavy texture (like flakes), which also prevents the formation of glare when the signal is reflected from the engraved surface.
Кроме того, вокруг пятна фокусировки лазерного излучения формируют защитную газовую среду, что препятствует образованию окисной пленки на гравируемой поверхности.In addition, a protective gas medium is formed around the focus spot of the laser radiation, which prevents the formation of an oxide film on the engraved surface.
На фиг.1 показана общая схема нанесения требуемой волнистой фактуры на поверхность. На фиг.2 показана впадина заданной волнистой фактуры с более мелкомасштабной периодической чешуйчатой ("рябьевидной") текстурой на поверхности впадины.Figure 1 shows the General scheme of applying the desired wavy texture to the surface. Figure 2 shows the trough of a given wavy texture with a smaller scale periodic scaly ("ruffle") texture on the surface of the trough.
Способ реализуется следующим образом.The method is implemented as follows.
С помощью лазера 1 генерируют когерентные электромагнитные волны (лазерное излучение, представленное на фиг.1 в виде лучей 2), которые при помощи устройства фокусирования 3 (например, линзы или дифракционной решетки) собирают в виде пятна на поверхности 4, куда предполагается нанести заданную волнистую фактуру 5. В процессе поглощения материалом поверхности лазерного излучения 2 образуется зона локального термического воздействия в месте, куда сфокусировано лазерное излучение, т.е. во впадине заданной волнистой фактуры. В указанной зоне происходит быстрый разогрев материала поверхности с достижением температурных полей, равных или превышающих температуру парообразования данного материала. В результате чего происходит локальное испарение материала. Размеры и форма зоны локального испарения 6 зависит от типа материала поверхности, размеров пятна фокусировки лазерного излучения на гравируемой поверхности, мощности лазерного излучения и времени экспозиции. Варьируя данные параметры (в ходе теоретических расчетов или на основе экспериментальных исследований), обеспечивается, во-первых, равенство глубины зоны локального испарения с заданной глубиной впадин волнистой фактуры, а во-вторых, условие близости, но не превышения, диаметром воронки зоны испарения заданного значения расстояния между двумя соседними хребтами волн фактуры (на фиг.1 данное расстояние обозначено буквой D).Using laser 1, coherent electromagnetic waves are generated (the laser radiation shown in FIG. 1 as rays 2), which are collected using a focusing device 3 (for example, a lens or diffraction grating) in the form of a spot on
Для образования заданной конфигурации рельефа поверхности полученную зону локального испарения перемещают вдоль впадин волнистой фактуры. Для этой цели перемещают пятно фокусировки по гравируемой поверхности, обеспечивая поступательное движение пятна, при этом суммарное положение геометрических мест центров пятен совпадает с заданными линиями впадин волнистого профиля. В итоге образуется серия впадин, а за счет того, что диаметр воронки зоны испарения близок, но не превышает заданного значения расстояния между двумя соседними хребтами волн фактуры, указанная серия впадин воспринимается как волнистая фактура, т.е. последовательное перемещение хребтов и впадин с заданным шагом и высотой профиля.For the formation of a given configuration of the surface topography, the resulting zone of local evaporation is moved along the troughs of the wavy texture. For this purpose, the focus spot is moved along the engraved surface, providing translational movement of the spot, while the total position of the geometric places of the spot centers coincides with the specified lines of the troughs of the wavy profile. As a result, a series of troughs is formed, and due to the fact that the diameter of the funnel of the evaporation zone is close, but does not exceed a predetermined distance between two adjacent ridges of texture waves, this series of troughs is perceived as a wavy texture, i.e. sequential movement of ridges and depressions with a given step and profile height.
Перемещение пятна фокусировки может осуществляться за счет подвижки устройства фокусирования 3 относительно неподвижной гравируемой поверхности, и/или перемещения указанной поверхности относительно неподвижного устройства 3, и/или отклонения фокусируемых лучей 2 при помощи устройства 3.The focus spot can be moved by moving the focusing device 3 relative to the stationary engraved surface, and / or moving the specified surface relative to the stationary device 3, and / or deflecting the focused beams 2 using the device 3.
В ходе обработки лазерным излучением гравируемой поверхности может образовываться окисная пленка на поверхности зоны локального термического воздействия. Для предотвращения процесса образования окисной пленки вокруг пятна фокусировки лазерного излучения формируется защитная газовая среда, состоящая, например, из азота. Газовая среда может подаваться из газового баллона высокого давления (за счет большего, по сравнению с внешним, внутреннего давления газа в баллоне) через соответствующие регулировочные клапаны и газовые трубопроводы к выходному патрубку 7, расположенному вблизи области пятна фокусировки. На фиг.1 стрелкой с буквой V показано направление инжекции струи газовой защитной среды.During laser treatment of the engraved surface, an oxide film may form on the surface of the local thermal exposure zone. In order to prevent the formation of an oxide film, a protective gaseous medium is formed around a laser focusing spot, consisting, for example, of nitrogen. The gas medium can be supplied from the high-pressure gas cylinder (due to the greater, compared with the external, internal gas pressure in the cylinder) through the corresponding control valves and gas pipelines to the outlet pipe 7 located near the focus spot region. 1, an arrow with the letter V shows the direction of injection of a jet of gas protective medium.
В ходе перемещения зоны локального испарения вдоль заданного положения впадин волнистой фактуры осуществляется мелкомасштабная двумерная осцилляция положения зоны локального испарения. Амплитуда данного осцилляционного движения не превышает половины диаметра воронки зоны испарения. В ходе перемещения пятна фокусировки с указанной мелкомасштабной осцилляцией получаемая поверхность впадин имеет периодическую чешуйчатую ("рябьевидную") текстуру 8, однако при этом сохраняется заданный шаг и глубина волнистой поверхности, фиг.2. При этом получаемая волнистая поверхность лишь напоминает регулярную фактуру цилиндрических вогнутых микрозеркал (как у прототипа), так как сильно искажена указанной чешуйчатостью (рябью), что не позволяет фокусировать падающий на отгравированную поверхность свет, т.е. позволяет не формировать ярко выраженные полосчатые блики.During the movement of the local evaporation zone along the given position of the troughs of the wavy texture, a small-scale two-dimensional oscillation of the position of the local evaporation zone is carried out. The amplitude of this oscillatory motion does not exceed half the diameter of the funnel of the evaporation zone. During the movement of the focus spot with the indicated small-scale oscillation, the resulting surface of the depressions has a periodic scaly ("pock-like")
Осцилляция может организовываться, например, за счет собственной осцилляции сервоприводов системы перемещения пятна фокусировки относительно точки равновесия (текущей точки траектории движения геометрического центра пятна фокусировки). Данные колебания достаточно легко можно обеспечить, применяя в качестве сервоприводов шаговые электрические двигатели или ультразвуковые двигатели (широко применяемые в оптике), создающие осцилляцию за счет дискретности движения перемещаемого ими объекта (устройства фокусирования 3 и/или поверхности 4). При этом величина дискретности напрямую соотноситься с требуемой амплитудой осцилляции.The oscillation can be organized, for example, due to the self-oscillation of the servos of the system for moving the focus spot relative to the equilibrium point (the current point of the path of the geometric center of the focus spot). These oscillations can be quite easily achieved by using stepper electric motors or ultrasonic motors (widely used in optics) as servo drives, which create oscillations due to the discrete movement of the object they move (focusing device 3 and / or surface 4). In this case, the discreteness value is directly related to the required oscillation amplitude.
Возможен способ организации осцилляции посредством введения ее в движения отклоняющей подсистемы устройства фокусирования 3, которая перемещает пятно фокусировки. Что также можно реализовать посредством указанного выше использования шаговых электрических или ультразвуковых двигателей.A possible way of organizing the oscillation by introducing it into the movement of the deflecting subsystem of the focusing device 3, which moves the focus spot. What can also be realized through the above use of stepper electric or ultrasonic motors.
Для формирования дополнительных микронеровностей на поверхности впадин волнистой фактуры, улучшающих безбликовость отгравированной поверхности, организуют следующие операции. Лазерное излучение подают в импульсном режиме, а пятно фокусировки перемещают равномерно. Аналогичного эффекта достигают, если лазерное излучение подают в непрерывном или квазинепрерывном (высокочастотном или сверхвысокочастотном) режиме, а пятно фокусировки периодически смещают на расстояние, меньшее размеров зоны локального испарения материала поверхности. Для достижения той же цели мощность лазерного излучения варьируется по периодическому закону с периодом, не большим времени перемещения пятна фокусировки на расстояние, соответствующее размеру зоны локального испарения. Организация перечисленных действий осуществляется за счет управления работой лазера 1 и механизмов подвижки пятна фокусировки.To form additional microroughnesses on the surface of the depressions of the wavy texture, which improve the glarelessness of the engraved surface, the following operations are organized. Laser radiation is supplied in a pulsed mode, and the focus spot is moved uniformly. A similar effect is achieved if the laser radiation is supplied in a continuous or quasi-continuous (high-frequency or ultra-high-frequency) mode, and the focus spot is periodically shifted to a distance less than the size of the zone of local evaporation of the surface material. To achieve the same goal, the laser radiation power varies according to a periodic law with a period not exceeding the time of the focusing spot moving a distance corresponding to the size of the local evaporation zone. The organization of these actions is carried out by controlling the operation of the laser 1 and the mechanisms of movement of the focus spot.
Реализация предлагаемого способа является возможной, т.к. на сегодняшний день промышленностью освоены и широко применяются лазерные гравировальные станции при соответствующей настройке которых организуется режим работы согласно изобретению. Наиболее эффективно выглядит использование предложенного способа нанесения волнистой фактуры для создания текстурированной подложки, на которую производят запись информации, например, в виде кода. Он позволяет создать относительно безбликовую волнистую поверхность, облегчающую считывание нанесенной на нее кодовой информации за счет повышения уровня контрастности сигнал-фон.The implementation of the proposed method is possible, because To date, the industry has mastered and widely used laser engraving stations with appropriate settings which organize the mode of operation according to the invention. The most effective way is to use the proposed method of applying a wavy texture to create a textured substrate on which information is recorded, for example, in the form of a code. It allows you to create a relatively glare-free wavy surface that facilitates the reading of the code information applied to it by increasing the signal-background contrast level.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009149277/02A RU2420379C1 (en) | 2009-12-28 | 2009-12-28 | Method of applying wavy texture on surface |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009149277/02A RU2420379C1 (en) | 2009-12-28 | 2009-12-28 | Method of applying wavy texture on surface |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2420379C1 true RU2420379C1 (en) | 2011-06-10 |
Family
ID=44736615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2009149277/02A RU2420379C1 (en) | 2009-12-28 | 2009-12-28 | Method of applying wavy texture on surface |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2420379C1 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2546720C1 (en) * | 2013-12-06 | 2015-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирская государственная геодезическая академия" (ФГБОУ ВПО "СГГА") | Forming of microstructure on surface by plastic strain |
| RU2576292C2 (en) * | 2014-03-05 | 2016-02-27 | Открытое акционерное общество "Красногорский завод им. С.А. Зверева" | Method for surface treatment to increase emissivity |
| WO2016065340A1 (en) * | 2014-10-24 | 2016-04-28 | Gentex Corporation | Reducing diffraction effects on an ablated surface |
| RU2711287C1 (en) * | 2016-05-04 | 2020-01-16 | Прецитек Гмбх Унд Ко. Кг | Projection optics for metal processing by means of laser radiation and containing its laser processing head |
-
2009
- 2009-12-28 RU RU2009149277/02A patent/RU2420379C1/en not_active IP Right Cessation
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Прямое лазерное гравирование форм флексографической и высокой печати, Флексо Плюс №6, декабрь 2004, [on-line] [найдено 04.10.2010]. Найдено в Интернет hht://kursiv.ru/kursivnew/flexoplus_magazine/archive/42/34.php. * |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2546720C1 (en) * | 2013-12-06 | 2015-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирская государственная геодезическая академия" (ФГБОУ ВПО "СГГА") | Forming of microstructure on surface by plastic strain |
| RU2576292C2 (en) * | 2014-03-05 | 2016-02-27 | Открытое акционерное общество "Красногорский завод им. С.А. Зверева" | Method for surface treatment to increase emissivity |
| WO2016065340A1 (en) * | 2014-10-24 | 2016-04-28 | Gentex Corporation | Reducing diffraction effects on an ablated surface |
| US9703166B2 (en) | 2014-10-24 | 2017-07-11 | Gentex Corporation | Reducing diffraction effects on an ablated surface |
| CN107073652A (en) * | 2014-10-24 | 2017-08-18 | 金泰克斯公司 | Reduce the diffraction effect on ablated surface |
| US10317765B2 (en) | 2014-10-24 | 2019-06-11 | Gentex Corporation | Reducing diffraction effects on an ablated surface |
| CN107073652B (en) * | 2014-10-24 | 2020-08-11 | 金泰克斯公司 | Method and product for reducing diffraction effects on ablated surfaces |
| RU2711287C1 (en) * | 2016-05-04 | 2020-01-16 | Прецитек Гмбх Унд Ко. Кг | Projection optics for metal processing by means of laser radiation and containing its laser processing head |
| US11103958B2 (en) | 2016-05-04 | 2021-08-31 | Precitec Gmbh & Co. Kg | Imaging optic for material machining by means of laser radiation and laser machining head having same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Teixidor et al. | Optimization of process parameters for pulsed laser milling of micro-channels on AISI H13 tool steel | |
| Behrmann et al. | Excimer laser micromachining for rapid fabrication of diffractive optical elements | |
| RU2420379C1 (en) | Method of applying wavy texture on surface | |
| JPH03500620A (en) | A method for laser processing an object and a device for carrying out the method | |
| CN104625417B (en) | The method of optimal control nickel surface pattern based on dynamic control | |
| US8674258B2 (en) | Method and apparatus for scale manufacture without substantial removal of material | |
| Wlodarczyk et al. | Laser microsculpting for the generation of robust diffractive security markings on the surface of metals | |
| Hilton et al. | Use of a diffractive optic for high power laser cutting | |
| Bruening et al. | Ultra-fast laser micro processing by multiple laser spots | |
| CN104625416A (en) | Method for electronic dynamic control of crystal silicon surface periodic micro-nano structures based on square hole assistance | |
| Pong-Ryol et al. | Laser micro-polishing for metallic surface using UV nano-second pulse laser and CW laser | |
| Imran et al. | Fabrication of microchannels on PMMA using a low power CO2 laser | |
| JP2010207889A (en) | Method and device for producing periodic structure | |
| JP2009056467A (en) | Apparatus and method for laser beam machining | |
| CN102091863B (en) | Laser processing device and laser processing method | |
| Li et al. | Femtosecond laser polishing of additively manufactured parts at grazing incidence | |
| Lasagni et al. | Large area micro-/nano-structuring using direct laser interference patterning | |
| Nabetani et al. | Development of a simulation method for three-dimensional shape generation by femtosecond laser ablation on binderless nano-polycrystalline diamond | |
| JP4092256B2 (en) | Metal surface treatment method | |
| Venkatakrishnan et al. | Fabrication of planar gratings by direct ablation using an ultrashort pulse laser in a common optical path configuration | |
| CN114131208B (en) | Laser-induced plasma profiling device and method | |
| Morimoto et al. | Effect of high-frequency orbital and vertical oscillations of the laser focus position on the quality of the cut surface in a thick plate by laser beam machining | |
| JP2004360011A (en) | Method and device for treating sliding metal surface | |
| CN106808091B (en) | The laser system processed for two and three dimensions brittle material substrate | |
| CN115981104A (en) | Nanosecond laser-based direction control method for metal surface hundred-nanometer stripe structure |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20171229 |