RU2407959C1 - Способ получения тепловой энергии - Google Patents

Способ получения тепловой энергии Download PDF

Info

Publication number
RU2407959C1
RU2407959C1 RU2009139414/06A RU2009139414A RU2407959C1 RU 2407959 C1 RU2407959 C1 RU 2407959C1 RU 2009139414/06 A RU2009139414/06 A RU 2009139414/06A RU 2009139414 A RU2009139414 A RU 2009139414A RU 2407959 C1 RU2407959 C1 RU 2407959C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
heat
layer
thermal energy
generating assembly
radionuclides
Prior art date
Application number
RU2009139414/06A
Other languages
English (en)
Inventor
Юрий Михайлович Степаненко (UA)
Юрий Михайлович Степаненко
Федор Александрович Децюра (UA)
Федор Александрович Децюра
Виктор Всеволодович Астафьев (UA)
Виктор Всеволодович Астафьев
Андрей Александрович Децюра (UA)
Андрей Александрович Децюра
Original Assignee
Общество С Ограниченной Ответственностью "Аб"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество С Ограниченной Ответственностью "Аб" filed Critical Общество С Ограниченной Ответственностью "Аб"
Priority to RU2009139414/06A priority Critical patent/RU2407959C1/ru
Priority to PCT/RU2010/000078 priority patent/WO2011053183A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2407959C1 publication Critical patent/RU2407959C1/ru

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24VCOLLECTION, PRODUCTION OR USE OF HEAT NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F24V99/00Subject matter not provided for in other main groups of this subclass
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H2240/00Testing
    • H05H2240/10Testing at atmospheric pressure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)

Abstract

Изобретение относится к физико-химическим технологиям получения тепла, которое генерируется иначе, чем в процессах горения, и может быть использовано в промышленности, а также при создании бытовых нагревателей. Способ получения тепловой энергии включает формирование электроплазменных зон в теплогенерирующей сборке путем пропускания электрического тока через материалы, составляющие теплогенерирующую сборку, и осуществление теплосъема из теплогенерирующей сборки. В теплогенерирующей сборке для формирования электроплазменных зон используют радионуклиды и создают двойной конденсаторный электрический слой. На поверхности, по меньшей мере, одного из электродов из электропроводящего материала формируют слой из измельченного материала, в который входят радионуклиды или частицы с электретными свойствами, и обеспечивают частичную диффузию составляющих указанного слоя в поверхность покрываемого слоя. В зоне нанесения сформированного покрытия создают не проводящую электрический ток пленку, ионизируют зону двойного конденсаторного электрического слоя и возбуждают электрический разряд путем подачи напряжения. После развития плазменного разряда в зоне двойного конденсаторного электрического слоя осуществляют теплосъем. Изобретение позволяет повысить энергетическую эффективность получения тепловой энергии. 8 з.п. ф-лы, 2 ил., 1 табл.

Description

Изобретение относится к физико-химическим технологиям получения тепла, которое генерируется иначе, чем в процессах горения, и может быть использовано в промышленности, а также при создании бытовых нагревателей.
Известен способ получения теплового излучения (см. патент CA 2124364, МПК F24J 3/00, дата публикации 27.11.1995), в соответствии с которым в центральной части шаровой полости создают электрический разряд, ударная волна от которого концентрируется на шаровой поверхности и отражается в зону формирования разряда, что, при определенной частоте разрядов и связанных с ними волн сжатия, создает в центральной части шаровой полости зону повышенного давления, формирует плазму и повышает электронную температуру в зоне разряда, позволяющую повысить параметры теплового излучения.
Недостатком такого способа является то, что формирование излучения в способе требует значительного потенциала электроэнергии, высоких токов и узкого интервала частот разрядов, что усложняет управление процессом и ограничивает сферу применения такого способа. Применение жесткой шаровой поверхности вокруг сформированной плазмы для отражения ударных волн накладывает ограничения на использование полученного в способе теплового излучения.
Известен способ получения нагретого теплоносителя с применением плазмы (см. патент RU 2165561, МПК F24J 3/00, дата публикации: 20.04.2001), в соответствии с которым формируют дуговой разряд, подают в зону дугового разряда воду и за счет ее нагрева дугой формируют пар, который подают в камеру сгорания, где образуется плазменный факел, и полученные в два этапа тепловой обработки продукты используют как источник тепловой энергии.
Способ, работающий на указанной форме разряда (на указанном принципе дугового разряда), имеет ряд недостатков. Общеизвестным недостатком такого способа является то, что формирование дугового разряда в способе требует значительного потенциала электроэнергии и высоких токов. При применении обычного способа зажигания дуги для зажигания тлеющего разряда нужно при атмосферном давлении напряжение порядка десятков киловольт.
В способе сложно управлять дугой. Требуются дополнительные специальные (общеизвестные) средства для зажигания дуги и для преодоления проблемы малой устойчивости дугового разряда. Существование дугового разряда в способе связано с ускоренным разрушением электродов и с переменным расстоянием между электродами. Малый разрядный промежуток (небольшое расстояние между анодом и катодом при атмосферных условиях) создает проблемы с подачей в его зону нагреваемой воды, вследствие чего малая производительность процесса накладывает ограничения на единичную мощность устройства, реализующего такой способ.
Наиболее близким к изобретению является способ получения тепловой энергии (см. патент UA 30564, МПК F24J 3/00, дата публикации 25.02.2008), предусматривающий создание теплогенерирующей сборки с формированием теплогенерирующего элемента, в качестве которого используют электреты, которые формируют из смеси минералов, с использованием природных радионуклидов, формирование электроплазменных зон в теплогенерирующем элементе (в порах между частицами теплогенерирующего элемента) путем пропускания через него электрического тока и осуществление теплосъема с наружной поверхности ограждения теплогенерирующей сборки.
Существенным недостатком способа является большой объем используемых в техническом решении радионуклидов, которые в таком решении применяются для создания основной массы насыпного теплогенерирующего элемента.
Усложняет процесс использования решения пористое состояние теплогенерирующего элемента, который вследствие этого характеризуется низкими прочностными свойствами.
Способ связан с необходимостью длительного периода предварительного выдерживания изготовленного по способу теплогенерирующего элемента (в муфельной печи при температуре 900-1100°C до трех суток) перед практическим использованием.
Способ характеризуется существенным загрязнением теплоснимающего вещества радионуклидами вследствие их наличия и их высокого содержания в объеме теплогенерирующего элемента, что усложняет процесс теплосъема и ограничивает сферу использования теплоснимающего вещества. Применение промежуточного (ограждающего) экрана теплогенерирующей сборки, для снижения загрязнения теплоснимающего вещества радионуклидами, содержащимися в теплогенерирующем элементе дополнительно ухудшает процесс теплосъема, снижает потенциал снимаемого тепла.
В таком способе возможно применение только кондукционного способа теплосъема с внешних элементов ограждения теплогенерирующей сборки. Невозможность использования ряда свойств излучения, возникающего во внутреннем объеме теплогенерирующего элемента между частицами составляющих его материалов в процессе формирования электроплазменных зон, например для проведения технологических процессов на основе этого излучения, например деструкции веществ, вследствие того, что при таком техническом решении в такой теплогенерирующей сборке указанное излучение возможно использовать только опосредованно для передачи энергии от внутренних зон излучения к соседним частицам, а дальше только кондукционным способом к внешним частицам и далее к промежуточному экрану теплогенерирующей сборки.
Осуществление способа связано с частичным выгоранием составляющих теплогенерирующего элемента или изменением положения частиц насыпного материала даже вследствие теплового расширения, что приводит к постепенному увеличению геометрических размеров пор в нем и соответствующему изменению параметров генерации тепловой энергии.
Задачей изобретения является создание способа получения тепловой энергии, в котором за счет новой совокупности действий по формированию зоны теплогенерации и условий осуществления указанных действий, в том числе использования веществ, улучшаются характеристики технических результатов, в частности существенно снижается объем применения радионуклидов, улучшаются условия осуществления теплосъема и передачи тепла потребителю, открывается возможность теплопередачи тепловой энергии излучением, повышается стабильность процесса теплогенерации, что в целом повышает энергетическую эффективность получения тепловой энергии.
Для решения указанной задачи способ получения тепловой энергии предусматривает формирование электроплазменных зон в теплогенерирующей сборке путем пропускания электрического тока через материалы, составляющие теплогенерирующую сборку с использованием в теплогенерирующей сборке для формирования электроплазменных зон радионуклидов и осуществление теплосъема из теплогенерирующей сборки.
Новым в способе является то, что создают в теплогенерирующей сборке двойной конденсаторный электрический слой, формируют на поверхности, по меньшей мере, одного из электродов, выполненных из электропроводящего материала, слой из измельченного материала, в который входят радионуклиды или частицы с электретными свойствами, обеспечивают частичную диффузию составляющих указанного слоя в поверхность покрываемого электрода, создают не проводящую электрический ток пленку в зоне нанесения сформированного покрытия, ионизируют зону двойного конденсаторного электрического слоя и возбуждают электрический разряд путем подачи напряжения, а после развития плазменного разряда в зоне двойного конденсаторного электрического слоя осуществляют теплосъем.
Применение нового способа приводит к изменению процессов в зоне теплогенерации и появлению новых технических эффектов. В зоне плазменного разогревания происходит интенсивное испарение веществ, возникают плазмохимические реакции на парах веществ, которые окружают плазменный разряд, ионизация указанных веществ, и вследствие указанных процессов плазменный разряд увеличивается и стабилизируется.
Использование радионуклидов только для формирования слоя покрытия на поверхности конденсаторного электрического слоя резко, на несколько порядков, снижает объем используемых в техническом решении радионуклидов, поскольку масса слоя покрытия на поверхности конденсаторного электрического слоя и масса теплогенерирующего элемента, который в аналоге содержит радионуклиды, резко отличаются.
Замена пористого насыпного теплогенерирующего элемента на сформированную по способу сборку жестких элементов повышает прочностные свойства используемых в решении материалов, что упрощает процесс использования решения.
Отсутствует необходимость длительного периода предварительного выдерживания изготовленной по способу теплогенерирующей сборки перед практическим использованием, так как механически собранную теплогенерирующую сборку из применяемых в способе средств можно использовать сразу.
Осуществление способа не связано с существенным изменением геометрических размеров применяемых в нем материалов, что повышает стабильность процесса, происходящего в нем, и не требует применения дополнительных средств для управления возникшей газоразрядной плазмой.
Открывается возможность осуществления теплосъема другими технологическими приемами, например излучением, обливанием используемых материалов жидким теплоносителем и др. вследствие отсутствия излучения внутри массы насыпного материала.
В новом способе состав и концентрация радионуклидов в теплоснимающем веществе не имеют ярко выраженных превышений и находятся на природных уровнях, обусловленных глобальными выпадениями радионуклидов в природных системах.
Практическое отсутствие загрязнения теплоснимающего вещества радионуклидами (в пределах предельно допустимого содержания) обусловлено тем, что масса покрытия, в котором применяются радионуклиды, и масса теплогенерирующего элемента в аналоге резко, на несколько порядков, отличаются, а теплогенерирующая сборка в заявляемом способе не содержит дополнительных радионуклидов (только естественное их содержание, присущее применяемому минералу).
Появляется возможность прямого использования свойств возникающего излучения в процессе формирования электроплазменных зон, например для проведения связанных с теплогенерацией новых технологических процессов, которые невозможно было осуществить в прототипе, например для деструкции веществ указанным излучением вследствие того, что при таком техническом решении его возможно использовать непосредственно.
Поскольку в способе применяются материалы устойчивой формы, отсутствует необходимость крепежных ограждений для сыпучих веществ.
В частных вариантах реализации способа получения тепловой энергии электрический разряд возбуждают путем подачи переменного напряжения в пределах от 20 до 60 В.
Использование указанных пределов напряжения является оптимальным для реализации способа с распространенными материалами и источниками электроэнергии.
В частных вариантах реализации способа теплосъем осуществляют обливанием зоны формирования плазменного разряда распыленной жидкостью, или обдуванием газом.
Применение указанных действий расширяет сферу применения такого способа.
В частных вариантах реализации способа применяют дополнительный элемент, который формируют из тугоплавких материалов, и размещают в зоне теплогенерации, а теплосъем осуществляют из указанного элемента из тугоплавких материалов.
Применение указанного дополнительного элемента из тугоплавких материалов обеспечивает стабилизацию процесса теплогенерации и создает дополнительные возможности по организации процесса теплосъема.
В отдельных вариантах осуществления способа слой из измельченного материала, в который входят радионуклиды или частицы с электретными свойствами, формируют способом детонационного напыления или с использованием дугового разряда, или способом электроплазменного напыления.
Применение указанных действий расширяет диапазон возможных средств для осуществления способа.
В частных вариантах реализации способа слой из измельченного материала, в который входят природные радионуклиды или природные частицы с электретными свойствами, формируют в виде отдельных, не соединенных между собой пятен.
Применение указанных границ осуществления процесса нанесения покрытия вызывает возникновение снопа плазменных разрядов в способе, что улучшает и дополнительно стабилизирует процесс токопереноса. Кроме того, это уменьшает количество применяемых в способе радионуклидов.
В частных вариантах реализации способа толщину слоя из материала, в который входят природные радионуклиды или частицы с электретными свойствами, формируют в пределах от 10 до 150 мкм.
Применение указанных пределов границ нанесения покрытия обеспечивает стабильный процесс формирования плазменного разряда на длительный период и не требует применения дополнительных средств для управления газоразрядной плазмой, которая возникает в способе.
Способ иллюстрируется чертежами, где на фиг.1 изображена структурная схема реализации способа получения тепловой энергии в виде схемы варианта выполнения элементарной теплогенерирующей сборки, а на фиг.2 показана схема подключения источника электропитания к системе последовательно соединенных теплогенерирующих сборок. В таблице приведены условия осуществления способа в примерах.
Температуру в зоне теплогенерации измеряли пирометром «Проминь-КХ2», изготовляемым заводом «Львовприбор» в модификации для интервала 1500-6000°C. Глубину диффузии в примерах определяли исследованием элемента торцевого среза диска с помощью Металлургического микроскопа ML7500 в зонах размещения слоя покрытия из измельченного материала как среднеарифметическое трех изменений в трех зонах среза диска. Загрязнение теплоносителя оценивали с помощью Измерителя мощности дозы ИМД-ИР (С).
На фиг.1 представлены электроды 1 и 2. На поверхность электрода 1 нанесен слой 3 и сформирована не проводящая электрический ток пленка 4. Между электродом 1 и электродом 2 размещены элементы 5 из тугоплавких материалов. Электроды 1 и 2 элементарной (отдельной) теплогенерирующей сборки 6 или концы электродов последовательно соединенной цепочки теплогенерирующих сборок 6 подключены к источнику электропитания, в частности к трансформатору 7 (фиг.2).
Способ осуществляют следующим образом.
Для формирования зоны теплогенерации создают двойной конденсаторный электрический слой с помощью параллельно расположенных электродов из металлических дисков 1 и 2 (в примерах 1-3 из стали НХС 20, в примерах 4-9 из стали НХС 18), размещенных на расстоянии, указанном в Таблице. Предварительно на поверхность диска 1, обращенного к диску 2, наносят слой 3 из измельченного материала, в который входят природные радионуклиды или природные частицы с электретными свойствами (полевой шпат), указанные в Таблице. Для упрощения нанесения радионуклидов, или природных частиц с электретными свойствами, на поверхность диска, примененный в примерах базовый материал слоя 3 покрытия включает композитный тонкодисперсный порошок, составленный смесью полнокристаллических горных пород с включением в них в равных долях, в частности, в примерах 1-3 силицидов, карбидов, гранита и гранитойда, в примерах 4-6 диабаза, норита, базальта с мелкокристаллической структурой, а в примерах 7-9 кварца, сиенита, лабрадорита, и указанные в Таблице радионуклиды или электреты. В примерах 1-3 слой наносили напылением детонационным способом, а в примерах 4-6 способом электроплазменного напыления, а в примерах 7-9 способом с использованием дугового разряда. Примененные методы нанесения слоя обеспечивали также и частичную диффузию составляющих указанного слоя в поверхность диска 1. Слой 3 в представленных примерах формировали в виде отдельных пятен (фиг.1).
Создавали непроводящую пленку 4 в зоне слоя 3 в примерах 4-9 методом термической закалки электрода 1 с напылением в муфельной печи, а в примерах 1-3 методом обработки пламенем пропан-бутановой горелки с использованием кислорода. Вследствие указанной обработки кислород соединяется с веществами, входящими в материал слоя и материал подложки, а на поверхности образуется закись железа, окись железа, окись магния, двуокись титана и др. непроводящие соединения. Элементы из тугоплавких материалов 5 формируют из указанных в Таблице веществ (в том числе природных минералов), размещают их между сформированными ранее электродами 1 и 2 и закрепляют общеизвестными способами с применением традиционных крепежных резьбовых элементов (на схеме не показано).
При подаче напряжения от трансформатора 7 на металлические диски электродов 1 и 2 электроемкость периодически разряжается и формируется вновь, ионизируется зона двойного конденсаторного электрического слоя, создается разряд и возникает газоразрядная плазма, а после развития плазменного разряда в зонах элементов из тугоплавких материалов 5 он в указанных условиях и в указанной зоне благодаря, в том числе и разогреву элементов из тугоплавких материалов 5 становится стабильным, и соответственно теплогенерация в указанной зоне становится стабильной. Теплосъем из зоны теплогенерации осуществляют, например обдуванием воздухом, или обливанием распыленной водой (на схеме не показано). Плазменный разряд, возникающий в способе, при атмосферном давлении характеризуется собственным излучением широкого диапазона, которое открывает принципиальную возможность осуществлять различные дополнительные технологические процессы, связанные с генерацией тепла, например радиолиз, фотолиз и экзотермию различных соединений.
В указанных примерах плазменный разряд в зонах элементов из тугоплавких материалов 5 является стабильным и на его стабильность не влияет, например, обливание зоны теплогенерации водой. Как видно из примеров и из параметров способа, осуществление способа связано с существенным снижением объема применения радионуклидов, вследствие чего способ возможно применять и при создании бытовых приборов. Улучшаются условия передачи тепла потребителю. Вследствие наличия возможности формирования жесткой конструкции без закрытия зоны формирования плазменных разрядов открывается возможность теплопередачи излучением, совокупностью применяемых средств повышается стабильность процесса теплогенерации.
Figure 00000001

Claims (9)

1. Способ получения тепловой энергии, включающий формирование электроплазменных зон в теплогенерирующей сборке путем пропускания электрического тока через материалы, составляющие теплогенерирующую сборку с использованием в теплогенерирующей сборке для формирования электроплазменных зон радионуклидов, и осуществление теплосъема из теплогенерирующей сборки, отличающийся тем, что создают в теплогенерирующей сборке двойной конденсаторный электрический слой, формируют на поверхности, по меньшей мере, одного из электродов, выполненных из электропроводящего материала, слой из измельченного материала, в который входят радионуклиды или частицы с электретными свойствами, обеспечивают частичную диффузию составляющих указанного слоя в поверхность покрываемого слоя, создают не проводящую электрический ток пленку в зоне нанесения сформированого покрытия, ионизируют зону двойного конденсаторного электрического слоя и возбуждают электрический разряд путем подачи напряжения, а после развития плазменного разряда в зоне двойного конденсаторного электрического слоя осуществляют теплосъем.
2. Способ получения тепловой энергии по п.1, отличающийся тем, что плазменный разряд возбуждают путем подачи переменного напряжения в пределах от 20 до 60 В.
3. Способ получения тепловой энергии по п.1, отличающийся тем, что теплосъем осуществляют обливанием зоны формирования плазменного разряда жидкостью.
4. Способ получения тепловой энергии по п.1, отличающийся тем, что теплосъем осуществляют обдуванием зоны формирования плазменного разряда газом.
5. Способ получения тепловой энергии по п.1, отличающийся тем, что применяют дополнительный элемент, который формируют из тугоплавких материалов, и размещают в зоне теплогенерации, а теплосъем осуществляют из указанного элемента из тугоплавких материалов.
6. Способ получения тепловой энергии по п.1, отличающийся тем, что слой из измельченного материала, в который входят радионуклиды или частицы с электретными свойствами, формируют способом детонационного напыления.
7. Способ получения тепловой энергии по п.1, отличающийся тем, что слой из измельченного материала, в который входят радионуклиды или частицы с электретными свойствами, формируют с использованием дугового разряда.
8. Способ получения тепловой энергии по п.1, отличающийся тем, что слой из измельченного материала, в который входят радионуклиды или частицы с электретными свойствами, формируют в виде отдельных не соединенных между собой пятен.
9. Способ получения тепловой энергии по п.1, отличающийся тем, что толщину слоя из материала, в который входят радионуклиды или частицы с электретными свойствами, формируют в пределах от 10 до 150 мкм.
RU2009139414/06A 2009-10-27 2009-10-27 Способ получения тепловой энергии RU2407959C1 (ru)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009139414/06A RU2407959C1 (ru) 2009-10-27 2009-10-27 Способ получения тепловой энергии
PCT/RU2010/000078 WO2011053183A1 (ru) 2009-10-27 2010-02-19 Способ получения тепловой энергии

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009139414/06A RU2407959C1 (ru) 2009-10-27 2009-10-27 Способ получения тепловой энергии

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2407959C1 true RU2407959C1 (ru) 2010-12-27

Family

ID=43922312

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009139414/06A RU2407959C1 (ru) 2009-10-27 2009-10-27 Способ получения тепловой энергии

Country Status (2)

Country Link
RU (1) RU2407959C1 (ru)
WO (1) WO2011053183A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2557141C1 (ru) * 2014-07-10 2015-07-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Алтайский государственный аграрный университет" (ФГБОУ ВПО АГАУ) Способ и устройство получения тепловой энергии из электрической

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5685997A (en) * 1994-11-14 1997-11-11 Lopresti; Daniel R. Plasma oscillator water heater/steam boiler
RU2165561C2 (ru) * 1999-07-08 2001-04-20 Пономарев Сергей Николаевич Способ применения плазмы для получения теплоносителя
RU2006111328A (ru) * 2006-04-06 2007-10-20 Владимир Яковлевич Шафоростов (RU) Способ увеличения кпд устройств
UA30564U (ru) * 2007-12-20 2008-02-25 Виктор Всеволодович Астафьев Способ получения тепловой энергии

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2557141C1 (ru) * 2014-07-10 2015-07-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Алтайский государственный аграрный университет" (ФГБОУ ВПО АГАУ) Способ и устройство получения тепловой энергии из электрической

Also Published As

Publication number Publication date
WO2011053183A1 (ru) 2011-05-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6316244B2 (ja) プラズマ源、及びプラズマ強化化学蒸着を利用して薄膜被覆を堆積させる方法
JP3652702B2 (ja) プラズマ処理用線形アーク放電発生装置
CN107615888B (zh) 利用宏粒子减少涂层的等离子体源和将等离子体源用于沉积薄膜涂层和表面改性的方法
TW201709253A (zh) 電漿生成裝置及熱電子放出部
WO2007035182A2 (en) Field enhanced electrodes for additive-injection non-thermal plasma (ntp) processor
CN102668721A (zh) Dbd电极的极化方法和装置
Boulos et al. Basic concepts of plasma generation
RU2407959C1 (ru) Способ получения тепловой энергии
JP2011514441A (ja) 表面波開始プラズマ放電源の予備イオン化のためのシステム及び方法
WO2013099044A1 (ja) イオンビーム処理装置および中和器
US9490121B2 (en) Plasma-assisted chemical gas separation method having increased plasma density and device for implementing the method
Ryabchikov et al. Equipment and methods for hybrid technologies of ion beam and plasma surface materials modification
RU2597447C2 (ru) Лазерный способ получения функциональных покрытий
RU112678U1 (ru) Устройство для получения углеродных наноструктур (варианты)
RU2333619C2 (ru) Многолучевой генератор газоразрядной плазмы
JP2004111396A (ja) プラズマ源
Wang et al. Computational study on the discharge dynamics of atmospheric pressure He plasma driven by high frequency AC voltage
RU2496283C1 (ru) Генератор широкоаппертурного потока газоразрядной плазмы
JP2009280875A (ja) 成膜装置
KR100460601B1 (ko) 플라즈마 발생용 복합소재 전극 및 그 제조방법
JPH11209105A (ja) オゾン発生装置
JP3905572B2 (ja) 高融点物質蒸発装置
TWI433611B (zh) A plasma source, an ion manufacturing method, a plasma manufacturing method, and a method of manufacturing the inner package carbon cluster
RU2801364C1 (ru) Способ генерации потоков ионов твердого тела
RU2477935C1 (ru) Нейтронный генератор

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20121028