RU2383025C1 - Трехкомпонентный датчик механических колебаний - Google Patents

Трехкомпонентный датчик механических колебаний Download PDF

Info

Publication number
RU2383025C1
RU2383025C1 RU2008140697/28A RU2008140697A RU2383025C1 RU 2383025 C1 RU2383025 C1 RU 2383025C1 RU 2008140697/28 A RU2008140697/28 A RU 2008140697/28A RU 2008140697 A RU2008140697 A RU 2008140697A RU 2383025 C1 RU2383025 C1 RU 2383025C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
piezoelectric
sensor
housing
plates
base
Prior art date
Application number
RU2008140697/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Константин Львович Захаров (RU)
Константин Львович Захаров
Анатолий Алексеевич Сперанский (RU)
Анатолий Алексеевич Сперанский
Лариса Семеновна Калина (RU)
Лариса Семеновна Калина
Original Assignee
Константин Львович Захаров
Анатолий Алексеевич Сперанский
Лариса Семеновна Калина
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Константин Львович Захаров, Анатолий Алексеевич Сперанский, Лариса Семеновна Калина filed Critical Константин Львович Захаров
Priority to RU2008140697/28A priority Critical patent/RU2383025C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2383025C1 publication Critical patent/RU2383025C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области конструирования измерительной техники, в частности к датчикам измерения параметров механических колебаний, работающим в широкой полосе частот, и может быть использовано для измерения параметров механических колебаний различных объектов в строительстве, машиностроении и т.д. Техническим результатом изобретения является создание трехкомпонентного датчика колебательного ускорения, работающего в широкой полосе частот и позволяющего измерять величину и направление вектора колебательного ускорения в любом направлении, что позволяет получать более точные измерения. Трехкомпонентный датчик колебательного ускорения содержит корпус, который жестко закреплен на базовом основании и закрыт колпачком. Корпус выполнен из металла в форме трехгранной пирамиды с тремя ортогональными плоскостями, на каждой из которых консольным способом закреплены по одному чувствительному элементу. Чувствительные элементы выполнены в виде пьезоэлектрических или биморфных пластин. 3 ил.

Description

Изобретение относится к области конструирования измерительной техники, в частности к датчикам измерения параметров механических колебаний, работающим в широкой полосе частот, и может быть использовано для измерения параметров механических колебаний различных объектов в строительстве, машиностроении, сейсмо- и гидроакустике и т.д.
Известно, что для измерения параметров механических колебаний в настоящее время существуют различные датчики, отличающиеся способом преобразования определяемого параметра в измеряемый электрический сигнал. Так возможно измерение следующих параметров - деформации, колебательной скорости и колебательного ускорения.
Предлагаемый датчик относится к датчикам измерения колебательного ускорения.
Для измерения колебательного ускорения чаще других используются однокомпонентные пьезоэлектрические датчики, измеряющие проекцию вектора колебательного ускорения на измерительную ось датчика. Для того чтобы измерить величину и направление вектора колебательного ускорения, используют двухкомпонентные и трехкомпонентные пьезоэлектрические датчики, объединенные в одном корпусе. Такие датчики имеют два или три чувствительных элемента, которые позволяют определить направление вектора колебательного ускорения в плоскости (два чувствительных элемента) или в пространстве (три чувствительных элемента в трех ортогональных плоскостях).
Для получения достоверных измерений эти чувствительные элементы должны находиться физически, электрически и пространственно близко друг к другу (оптимальное расположение - в одной точке), а корпус, на котором размещаются чувствительные элементы, должен быть выполнен из однородного материала.
Именно эту задачу решает предложенный в данном изобретении трехкомпонентный датчик колебательного ускорения.
Известен трехкомпонентный пьезоэлектрический виброаксельрометр с одним чувствительным элементом, приведенный в патенте RU 2229136 С1. В патенте описан датчик с одним пьезоэлементом, выполненным в виде прямоугольного параллелепипеда. В этом устройстве все шесть граней пьезоэлемента покрыты тонким слоем металла, а между собой грани электрически разомкнуты. Пьезоэлемент жестко закреплен на подложке датчика и имеет инерционную массу - пластину, расположенную на верхней грани прямоугольного параллелепипеда. При таком способе крепления пьезоэлемента возможны лишь три вида деформации: растяжение-сжатие вдоль полярной оси Z, сдвиг в плоскости XZ и сдвиг в плоскости YZ, что приводит к возникновению для каждой из них зарядов только на двух противоположных гранях прямоугольного параллелепипеда в соответствии с матрицей пьезомодулей. Однако данное устройство имеет ограничения, так как матрица пьезомодулей обеспечивает отсутствие поперечной чувствительности по всем трем осям X, Y, Z только теоретически, т.е. в случае, когда пьезоэлемент находится в механически свободном состоянии, а также в случае, когда по всему объему и поверхности пьезоэлемента механические напряжения являются однородными. В реальной конструкции в пьезоэлементе возникают локальные механические напряжения из-за крепления его к подложке, из-за наличия элементов съема заряда с поверхности граней, из-за качества электропроводного слоя. Матрица пьезомодулей кристалла, находящегося в механически неоднородном напряженном состоянии, изменяет свой вид - становятся не равными нулю те компоненты тензора (и, следовательно, матрицы), которые обуславливают наличие поперечной чувствительности. Особенно сильно это проявляется для боковых граней прямоугольного параллелепипеда, так как они используют сдвиг в плоскостях XZ и YZ. Если локальные напряжения достаточно велики, то поперечная чувствительность может достигать 30-50% и более, несмотря на то, что пьезоэлемент кристалла в свободном состоянии описывается соответствующей идеальной матрицей.
Для решения данной проблемы требуется создание специальной конструкции, которая обеспечила бы однородность возникающих в пьезоэлементе механических напряжений, т.е. чтобы они были одинаковыми по всему объему и поверхности кристалла.
Известно устройство по патенту ЕР 0869367 А1. Данное устройство представляет собой трехкомпонентный виброаксельрометр, содержащий опорную базу, в которой имеется углубление в форме дупла, в центре которого расположен в подвешенном состоянии инерционный элемент (вес), и гибкие пластины, часть которых выполнена из пьезокерамического материала. Инерционный элемент (вес) удерживается в центре дупла с помощью пластин, которые одним концом соединены с опорной базой, а вторым концом с висящим инерционным элементом (весом) Когда датчик воспринимает вибрацию, инерционный элемент оказывает усилие в направлении, противоположном вектору виброускорения. В результате гибкая пластина расширяется в горизонтальном направлении между весом и опорной базой и деформируется усилием веса. В зависимости от направления и суммы деформации в соответствующих пьезоэлектрических элементах, расположенных на гибких пластинах, могут быть сгенерированы электрические сигналы. Обнаруживая эти сигналы, возможно выполнить трехмерное измерение вектора виброускорения.
Однако в данном устройстве требуется, чтобы гибкая пластина имела высокую гибкость для получения достаточной чувствительности. С другой стороны, инерционный элемент (вес) и опорная база должны иметь высокую прочность и низкую гибкость. Для удовлетворения этих противоположных свойств необходимо собирать устройство из разных деталей и материалов.
Наиболее близким аналогом предлагаемого устройства является устройство, описанное в Японском патенте JP 57139664. Аналог представляет собой датчик механических колебаний, измеряющий виброускорение. Датчик содержит корпус с расположенными внутри него пьезоэлектрическими чувствительными элементами, выполненными в форме пластин. Пластины одним концом прикреплены консольным способом к вертикальной внутренней поверхности корпуса датчика. Таким образом, все пластины (их может быть две или три) располагаются в горизонтальной плоскости, а угол между двумя рабочими пластинами в базовом датчике составляет 90 градусов. Для возможности изменения угла между рабочими пластинами может использоваться третья пластина. Когда вибрация воспринимается датчиком, на чувствительных элементах возникает механическое напряжение, пропорциональное принимаемому воздействию. Использование двух рабочих чувствительных элементов, расположенных ортогонально друг к другу, дает возможность измерять параметры вектора виброускорения в плоскости.
Однако это устройство не может быть использовано для измерения вектора виброускорения в любом направлении относительно датчика, что может быть выполнено с помощью предлагаемого изобретения.
Предлагаемое изобретение решает техническую задачу создания устройства для измерения параметров механических колебаний, а именно величины и направления трехмерного вектора колебательного ускорения в широкой полосе частот, имеющего малые размеры и однородный корпус, на котором закреплены расположенные близко друг к другу чувствительные элементы, что позволяет получить более точные измерения.
Техническое решение поставленной задачи заключается в том, что предлагаемое устройство (датчик трехмерного вектора колебательного ускорения) содержит три чувствительных элемента в виде пьезоэлектрических или биморфных пластин, жестко закрепленных на корпусе, который жестко закреплен на базовом основании и закрыт колпачком. Корпус датчика выполнен в форме трехгранной пирамиды с тремя ортогональными плоскостями, на каждой из которых консольно закреплены по одному пьезоэлектрическому чувствительному элементу. Пьезоэлектрические или биморфные чувствительные элементы в виде пластин через электроды соединены с проводами, идущими к приборам тракта приема и обработки информации. Датчик работает в широкой полосе частот, при этом рабочая частота датчика определяется геометрической формой пластин (чувствительных элементов) и упругими свойствами используемых материалов.
Техническим результатом осуществления изобретения является создание трехкомпонентного датчика колебательного ускорения, работающего в широкой полосе частот и позволяющего измерять величину и направление вектора колебательного ускорения в любом направлении относительно датчика, имеющего малые размеры и однородный корпус, на котором закреплены близко расположенные друг к другу чувствительные элементы, что позволяет получать более точные измерения.
Такой результат может быть достигнут, так как измерения вектора колебательного ускорения проводятся в трех ортогональных плоскостях на близко расположенных друг к другу пьезоэлектрических чувствительных элементах, закрепленных на однородном корпусе датчика и закрытых колпачком.
Механические колебания через базовое основание воздействуют на корпус датчика и вызывают механические напряжения в пьезоэлектрических чувствительных элементах, которые преобразуются в электрические сигналы и передаются через электроды и провода к приборам тракта приема и обработки информации.
Таким образом, предложенная конструкция датчика обеспечивает решение поставленной задачи - измерение и определение направления вектора колебательного ускорения в любом направлении относительно датчика.
Из сравнения аналога и предлагаемого датчика следует, что общими существенными признаками являются: содержание в устройствах корпуса, к которому прикреплены чувствительные пьезоэлектрические элементы в форме пластин, реагирующие на параметры механических колебаний корпуса, электроды и провода для снятия и передачи электрических сигналов на приборы обработки информации, а отличительные существенные признаки заключаются в том, что в предлагаемом устройстве содержится три чувствительных элемента в виде пьезоэлектрических или биморфных пластин, жестко закрепленных на корпусе, который жестко закреплен на базовом основании и закрыт колпачком, где корпус выполнен в форме трехгранной пирамиды с тремя ортогональными плоскостями, на каждой из которых консольным образом закреплены по одному чувствительному элементу.
Предлагаемое устройство обладает новизной, так как заявители не нашли подтверждения применения такого же устройства по такому же назначению.
Заявителям не известны технические решения, имеющие признаки, совпадающие с отличительными признаками заявляемого устройства, поэтому мы считаем, что заявленное техническое решение соответствует критерию «изобретательский уровень».
Заявляемое изобретение может широко использоваться для измерения параметров механических колебаний различных объектов в строительстве, машиностроении, сейсмо- и гидроакустике и т.п., поэтому данное изобретение соответствует критерию «промышленная применимость».
Изобретение иллюстрируется фиг.1-3, где схематично изображено предлагаемое устройство - трехкомпонентный датчик механических колебаний.
На фиг.1 представлено схематическое изображение датчика, вид сбоку.
На фиг.2 показан вид устройства сверху.
На фиг.3 представлено схематическое изображение механизма преобразования чувствительными элементами механических колебаний в электрические сигналы для одного чувствительного элемента.
На фиг.1-3 общее обозначение: 1 базовое основание, 2 колпачок, 3 корпус, 4 чувствительные элементы, 5 провода, 6 электроды, 7 ортогональные плоскости корпуса в форме пирамиды.
Конструкция датчика содержит корпус 3, к которому прикреплены чувствительные элементы 4, электроды 6 и провода 5. Корпус 3 закреплен на базовом основании 1 и закрыт колпачком 2. Базовое основание может иметь форму круга или квадрата. На фиг.1-2 показано квадратное базовое основание 1. Корпус 3 устройства выполнен в форме трехгранной пирамиды с тремя ортогональными плоскостями 7.
Работа трехкомпонентного датчика осуществляется следующим образом. Базовое основание 1 может жестко закрепляться на объекте, испытывающем механические колебания, с помощью шпильки или клея. Механические колебания через базовое основание 1 воспринимаются корпусом датчика 3 и вызывают механические напряжения в пьезоэлектрических или биморфных чувствительных элементах 4 (свободные концы чувствительных элементов начинают изгибаться), которые преобразуются в электрические сигналы и с помощью электродов 6 передаются по проводам 5 на приборы тракта приема и обработки информации. С помощью трех ортогональных плоскостей вектор колебательного ускорения раскладывается на три ортогональные компоненты, измерение которых позволяет получить значение и направление этого вектора в любом направлении относительно датчика. Следовательно, предложенная конструкция датчика обеспечивает решение задачи измерения и определения направления вектора колебательного ускорения в любом направлении относительно датчика.

Claims (1)

  1. Трехкомпонентный (векторный) датчик колебательного ускорения, содержащий корпус, к которому прикреплены пьезоэлектрические чувствительные элементы в форме пластин, реагирующие на параметры колебательного ускорения, электроды и провода для снятия и передачи электрических сигналов на приборы обработки информации, отличающийся тем, что содержит три чувствительных элемента в виде пьезоэлектрических или биморфных пластин, жестко закрепленных на корпусе, который жестко закреплен на базовом основании и закрыт колпачком, а корпус выполнен из однородного материала - металла в форме трехгранной пирамиды с тремя ортогональными плоскостями, на каждой из которых консольным способом закреплены по одному чувствительному элементу.
RU2008140697/28A 2008-10-15 2008-10-15 Трехкомпонентный датчик механических колебаний RU2383025C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008140697/28A RU2383025C1 (ru) 2008-10-15 2008-10-15 Трехкомпонентный датчик механических колебаний

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008140697/28A RU2383025C1 (ru) 2008-10-15 2008-10-15 Трехкомпонентный датчик механических колебаний

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2383025C1 true RU2383025C1 (ru) 2010-02-27

Family

ID=42127935

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008140697/28A RU2383025C1 (ru) 2008-10-15 2008-10-15 Трехкомпонентный датчик механических колебаний

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2383025C1 (ru)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011145968A1 (ru) 2010-05-20 2011-11-24 Speranskiy Anatoly Alekseevich Способ и зd-приемник измерения вектора механических колебаний
WO2012033425A1 (ru) 2010-09-07 2012-03-15 Speranskiy Anatoly Alekseevich Способ реконструкции трехмерного образа физического состояния объекта мониторинга в измерительной точке
RU2602408C1 (ru) * 2015-09-10 2016-11-20 Акционерное общество "Вибро-прибор" Пьезоэлектрический преобразователь пространственной вибрации и способ контроля его работоспособности на работающем объекте
RU203317U1 (ru) * 2020-08-11 2021-03-31 Федеральное Государственное Казенное Военное Образовательное Учреждение Высшего Образования "Военный Учебно-Научный Центр Сухопутных Войск "Общевойсковая Ордена Жукова Академия Вооруженных Сил Российской Федерации" Устройство идентификации деструктивного воздействия на робототехническое средство противотанкового средства

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011145968A1 (ru) 2010-05-20 2011-11-24 Speranskiy Anatoly Alekseevich Способ и зd-приемник измерения вектора механических колебаний
EP2573528A1 (de) * 2010-05-20 2013-03-27 Advanced Vector Analytics Sia Verfahren und 3d-empfänger zur messung eines vektors mechanischer schwingungen
RU2530479C2 (ru) * 2010-05-20 2014-10-10 ЭДВАНСТ ВЕКТОР АНАЛИТИКС СиАйЭй, Способ и 3d-приемник измерения вектора механических колебаний
WO2012033425A1 (ru) 2010-09-07 2012-03-15 Speranskiy Anatoly Alekseevich Способ реконструкции трехмерного образа физического состояния объекта мониторинга в измерительной точке
RU2602408C1 (ru) * 2015-09-10 2016-11-20 Акционерное общество "Вибро-прибор" Пьезоэлектрический преобразователь пространственной вибрации и способ контроля его работоспособности на работающем объекте
RU203317U1 (ru) * 2020-08-11 2021-03-31 Федеральное Государственное Казенное Военное Образовательное Учреждение Высшего Образования "Военный Учебно-Научный Центр Сухопутных Войск "Общевойсковая Ордена Жукова Академия Вооруженных Сил Российской Федерации" Устройство идентификации деструктивного воздействия на робототехническое средство противотанкового средства

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105531564B (zh) 改进的陀螺仪结构和陀螺仪
US20160025492A1 (en) MEMS Gyroscope for Determining Rotational Movements about an X, Y, and/or Z Axis
CN102597699A (zh) 微机械惯性传感器器件
KR20120030343A (ko) 가속 및 회전율을 검출하기 위한 방법 및 mems 센서
CA2733940A1 (en) Solid-state inertial sensor on chip
CN110388906A (zh) 传感器单元及结构物监视装置
US20130277775A1 (en) Planar Structure For A Triaxial Gyrometer
RU2383025C1 (ru) Трехкомпонентный датчик механических колебаний
JP2007198744A (ja) 圧電型加速度センサ
US20130255402A1 (en) External force detection sensor and external force detection equipment
Sotnik et al. Overview of Modern Accelerometers
CN104181578B (zh) 地震检测系统及检测方法
KR101915954B1 (ko) 멤스 기반의 3축 가속도 센서
US7956602B2 (en) Tilt angle sensor and detection-target device comprising the same
US7332849B2 (en) Method and transducers for dynamic testing of structures and materials
KR102337688B1 (ko) 가속도 센서 및 이를 구비하는 음향 벡터 센서
WO2011145968A1 (ru) Способ и зd-приемник измерения вектора механических колебаний
KR20150141912A (ko) 마이크로기계 가속도 센서
US11371904B2 (en) Sensor module and sensor system with improved abnormality detection and abnormality determination method for an inertial sensor
Xue et al. Development of a novel two axis piezoresistive micro accelerometer based on silicon
US5396801A (en) Vibrometer
JP2013007734A (ja) 外力検出装置及び外力検出センサー
Kumme et al. Dynamic properties and investigations of piezoelectric force measuring devices
RU168085U1 (ru) Устройство для измерения углового ускорения
JP2867103B2 (ja) 振動計

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20101016

NF4A Reinstatement of patent

Effective date: 20120610

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20141016