RU23816U1

RU23816U1 - AUTOMATED INSTALLATION OF LASER MARKING OF SEMICONDUCTOR PLATES

Info

Publication number: RU23816U1
Application number: RU2001134381/20U
Authority: RU
Inventors: Е.Н. Панкратов; С.В. Примин
Original assignee: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт "ИЗОТЕРМ"
Priority date: 2001-12-17
Filing date: 2001-12-17
Publication date: 2002-07-20

Description

МПКВ25Н7/00MPKV25N7 / 00

АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ УСТАНОВКА ЛАЗЕРНОЙ МАРКИРОВКИ НОЛУИРОВОДНИКОВЫХ НЛАСТИНAUTOMATED INSTALLATION OF LASER LABELING OF ZERO-ELECTRIC FLOORING

Полезная модель относится к технологическому оборудованию и предназначена для лазерной маркировки полупроводниковых пластин.The utility model relates to technological equipment and is intended for laser marking of semiconductor wafers.

Известна .установка для лазерной маркировки пластин Sigma Clean. (Промышленный каталог фирмы GSIL Lumonics США, прототип, копия прилагается).Known. Installation for laser marking plates Sigma Clean. (Industrial catalog of GSIL Lumonics USA, prototype, copy attached).

Педостатком этой установки является применение робота для перемещения пластин из кассеты в зону маркировки, ориентации перед маркировкой, удержания пластины в позиции маркировки и выгрузки в кассету. Все операции выполняются последовательно, что ограничивает производитель-, ность установки.The pedagogue of this installation is the use of a robot to move the plates from the cassette to the marking area, orientations before marking, hold the plate in the marking position and unload it into the cassette. All operations are performed sequentially, which limits the productivity of the installation.

Задача полезной модели - повышение производительности процесса маркировки полупроводниковых пластин, за счет того, что установка обеспечивает многопозиционную транспортировку по конвейерному типу с возможностью выполнения операций транспортировки, ориентации и маркировки одновременно.The objective of the utility model is to increase the productivity of the process of marking semiconductor wafers, due to the fact that the installation provides multi-position transportation along the conveyor type with the ability to perform transportation, orientation and marking operations at the same time.

Технический результат достигается тем, что в автоматизированной установке лазерной маркировки полупроводниковых пластин, состояш,ей из установленной на основании транспортной системы, содержаш,ей механизм предварительной ориентации пластин в кассете, механизм перемещения кассеты загрузки, механизм загрузки пластин, механизм перемещения кассеты выгрузки и устройства маркировки, транспортная система дополнительно снабжена транспортером, механизмом ориентации пластин, транспортирующим устройством с пассиками и механизм выгрузки пластин, где операции по многопозиционной транспортировке, ориентации пластин и маркировке выполняются одновременно, при этом операция предварительной ориентации пластин в кассете выполняется параллельно.The technical result is achieved by the fact that in an automated installation for laser marking of semiconductor wafers, it consists of a mechanism for preliminary orientation of the plates in the cassette installed on the basis of the transport system, a mechanism for moving the loading cassette, a mechanism for loading the plates, a mechanism for moving the unloading cassette and the marking device , the transport system is additionally equipped with a conveyor, a mechanism for orienting the plates, a conveying device with straps and a mechanism for unloading Astin, where the operations of multi-position transportation, plate orientation and labeling are performed simultaneously, while the preliminary orientation of the plates in the cassette is performed in parallel.

На фиг. 1 изображена установка - общий вид; на фиг.2 вид - вид сбоку; на фиг.З - транспортер.In FIG. 1 shows the installation - a General view; figure 2 view is a side view; in Fig.Z - conveyor.

Заявляемая установка состоит из установленной на основание 1 транспортной системы 2 и устройства 3 маркировки.The inventive installation consists of a transport system 2 installed on the base 1 and a marking device 3.

Транспортная система 2 содержит механизм 4 предварительной ориентации пластин в кассете, механизм 5 перемещения кассеты загрузки, механизм 6 загрузки пластин, транспортер 7, механизм 8 перемещения кассеты выгрузки.The transport system 2 includes a mechanism 4 for the preliminary orientation of the plates in the cassette, a mechanism 5 for moving the loading cassette, a mechanism 6 for loading the plates, a conveyor 7, a mechanism 8 for moving the unloading cassette.

Транспортер 7 имеет основание 9, переднюю и заднюю направляющие 10, 11, между которыми производится транспортировка пластин, механизм 12 ориентации пластин, транспортирующее устройство 13, выполненное в виде двух цилиндрических пассиков 14, приводимых в движение механизмом транспортера, механизм 15 выгрузки пластин.The conveyor 7 has a base 9, front and rear guides 10, 11, between which the plates are transported, the plate orientation mechanism 12, the conveying device 13, made in the form of two cylindrical straps 14, driven by the conveyor mechanism, the plate unloading mechanism 15.

Устройство 3 маркировки включает лазерно-оптический блок 16 и оптико-механический блок 17.The marking device 3 includes a laser-optical unit 16 and an optical-mechanical unit 17.

Установка работает следующим образом. Все механизмы и связанные с ними технологические операции можно разделить на четыре группы.Installation works as follows. All mechanisms and related technological operations can be divided into four groups.

В первую группу входит механизм 4 предварительной ориентации пластин в кассете, который выполняет групповую ориентацию полупроводниковых пластин в кассете 18.The first group includes the mechanism 4 of the preliminary orientation of the plates in the cassette, which performs the group orientation of the semiconductor wafers in the cassette 18.

Во вторую группу входят механизм 5 перемещения кассеты загрузки и механизм 6 загрузки пластин, которые обеспечивают транспортировку пластин из кассеты 19 загрузки на транспортер 7.The second group includes the mechanism 5 for moving the loading cassette and the mechanism 6 for loading the plates, which provide transportation of the plates from the cassette 19 to the conveyor 7.

Механизм 5 перемещения кассеты загрузки обеспечивает ориентацию кассеты 19 загрузки таким образом, что кассета 19 загрузки за счет перемещения вниз устанавливается из свободной позиции пластины на следующую занятую пластиной позицию. После выгрузки пластины из последней заня 1 //:§ 5 /The mechanism 5 for moving the loading cassette ensures the orientation of the loading cassette 19 in such a way that the loading cassette 19 is moved from the free position of the plate to the next position occupied by the plate by moving down. After unloading the plate from the last lesson 1 //: § 5 /

той пластиной позиции кассета 19 загрузки перемещается в верхнее положение, обеспечивающее загрузку пластины из первой позиции кассеты 19 загрузки.with that position plate, the loading cassette 19 is moved to the upper position for loading the plate from the first position of the loading cassette 19.

Механизм 6 загрузки пластин при помощи толкателя обеспечивает перемещение пластин на пассики 14 транспортирующего устройства 13.The mechanism 6 loading plates using a pusher provides movement of the plates on the passics 14 of the conveying device 13.

В третью группу входят транспортирующее устройство 13, механизм 12 ориентации пластин и устройство 3 маркировки. Третья группа механизмов обеспечивает с помощью пассиков 14 транспортирующего устройства 13 перемещение пластины в позицию I ориентации, толкателем механизма 12 ориентации пластин - перемещение пластины из позиции I ориентации в позицию II маркировки, возврат механизма 12 ориентации пластин, маркировку пластины, находящуюся в позиции II маркировки устройством 3 маркировки и транспортировку промаркированной пластины в позицию III выгрузки. После маркировки первой пластины происходит одновременная транспортировка пластин в позицию I ориентации и позицию III выгрузки.The third group includes a conveying device 13, a plate orientation mechanism 12, and a marking device 3. The third group of mechanisms provides, with the help of the straps 14 of the transporting device 13, the plate to be moved to the I orientation position, the plate pusher of the plate orientation mechanism 12 — the plate is moved from the I position to the marking position II, the plate orientation mechanism 12 is returned, the plate marking is in the marking position II of the device 3 marking and transportation of the marked plate to the unloading position III. After marking the first plate, the plates are simultaneously transported to position I of orientation and position III of unloading.

В четвертую группу входят механизм 15 выгрузки пластин и механизм 8 перемещения кассеты выгрузки. Четвертая группа механизмов обеспечивает транспортировку пластин с пассиков 14 транспортирующего устройства 13 из позиции III выгрузки пластины в кассету 20 выгрузки механизма 8 перемещения кассеты выгрузки. После выгрузки пластины механизм возвращается в исходное состояние. Механизм 8 перемещения кассеты выгрузки обеспечивает ориентацию кассеты 20 выгрузки таким образом, что кассета 20 выгрузки за счет перемещения вниз устанавливается из занятой позиции пластиной на следующую свободную от пластины позицию. После загрузки пластинь в последнюю свободную от пластины позицию кассета перемещается в верхнее положение, обеспечивающее загрузку пластины с первой позиции кассеты.The fourth group includes a mechanism 15 for unloading the plates and the mechanism 8 for moving the cartridge unloading. The fourth group of mechanisms provides transportation of the plates from the passions 14 of the conveying device 13 from the position III of the plate unloading to the cassette 20 of the unloading mechanism 8 of the movement of the unloading cassette. After unloading the plate, the mechanism returns to its original state. The mechanism for moving the unloading cassette 8 provides orientation of the unloading cassette 20 in such a way that the unloading cassette 20 is moved from the occupied position by the plate to the next position free from the plate. After loading the plates into the last position free from the plate, the cassette moves to the upper position, providing loading of the plate from the first position of the cassette.

пластины из позиции II маркировки в позицию III выгрузки; маркировка пластины из позиции П маркировки и операций выгрузки пластины из позиции выгрузки в кассету выгрузки, возвраты механизма 6 загрузки пластин, механизма 12 ориентации пластин, механизма 15 выгрузки пластин и перемещения механизмов 5 и 8 перемещения кассеты загрузки и кассеты выгрузки. Со всеми операциями одновременно может производиться операция предварительной ориентации пластин.plates from marking position II to unloading position III; marking the plate from position П marking and operations of unloading the plate from the unloading position to the unloading cassette, returning the plate loading mechanism 6, the plate orientation mechanism 12, the plate unloading mechanism 15 and moving the loading cassette 5 and 8 of the loading cassette and the unloading cassette. With all operations, the operation of preliminary orientation of the plates can be performed simultaneously.

Таким образом, автоматизированная установка лазерной маркировки полупроводниковых пластин повыщает производительность процесса маркировки за счет использования в пей многопозиционной транспортной системы конвейерного типа, которая позволяет выполнять операции транспортировке, ориентации и маркировке одновременно.Thus, the automated installation of laser marking of semiconductor wafers enhances the performance of the marking process by using a conveyor-type multiposition transport system that allows you to perform transportation, orientation and marking operations simultaneously.

Claims

An automated laser marking system for semiconductor wafers, consisting of a transport system installed on the basis of the system, comprising a mechanism for preliminary orientation of the wafers in the cassette, a mechanism for moving the loading cassette, a mechanism for loading the wafers, a mechanism for moving the unloading cassettes and a laser device, characterized in that the transport system is additionally equipped with a conveyor with a plate orientation mechanism, a conveyor with passives and a plate unloading mechanism, where m positional transport, plate orientation and marking are performed simultaneously, while the operation of preliminary orientation of the plates in the cassette is performed in parallel.