RU2377620C2 - Device for sample shift - Google Patents
Device for sample shift Download PDFInfo
- Publication number
- RU2377620C2 RU2377620C2 RU2005141333/28A RU2005141333A RU2377620C2 RU 2377620 C2 RU2377620 C2 RU 2377620C2 RU 2005141333/28 A RU2005141333/28 A RU 2005141333/28A RU 2005141333 A RU2005141333 A RU 2005141333A RU 2377620 C2 RU2377620 C2 RU 2377620C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- carriage
- sample
- guides
- piezoelectric actuators
- housing
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к нанотехнологии, а более конкретно, к устройствам, обеспечивающим перемещения образца по трем координатам (X, Y, Z). Например, устройство может быть использовано для перемещения образцов, держателей образцов и других элементов в сканирующей зондовой микроскопии.The invention relates to nanotechnology, and more particularly, to devices for moving a sample along three coordinates (X, Y, Z). For example, the device can be used to move samples, sample holders, and other elements in scanning probe microscopy.
Известен координатный стол, состоящий из основания, каретки и направляющих с роликами, расположенных вдоль координат X, Y [1].Known coordinate table, consisting of a base, carriage and guides with rollers located along the coordinates X, Y [1].
Первый недостаток указанного устройства заключается в невозможности быстрого снятия каретки с платформы, что затрудняет замену образца. Второй недостаток связан со сложностью конструкции направляющих с роликами, что не позволяет создать компактное устройство. Третьим недостатком является отсутствие возможности перемещения каретки по третьей координате Z. Четвертый недостаток заключается в невозможности точного повторения установки каретки.The first disadvantage of this device is the inability to quickly remove the carriage from the platform, which makes it difficult to replace the sample. The second disadvantage is associated with the complexity of the design of the guides with rollers, which does not allow to create a compact device. The third disadvantage is the inability to move the carriage along the third coordinate Z. The fourth disadvantage is the inability to accurately repeat the installation of the carriage.
Известен координатный стол, где платформа и каретка выполнены в виде одной детали, а направляющими по координатам Х и Y являются тонкие перемычки в виде плоских пружин [2].Known coordinate table, where the platform and the carriage are made in one piece, and the guides along the coordinates X and Y are thin jumpers in the form of flat springs [2].
Недостатками указанного устройства являются невозможность снятия каретки с платформы, малый ход координатного стола и отсутствие возможности перемещения каретки по третьей координате Z.The disadvantages of this device are the inability to remove the carriage from the platform, the small travel of the coordinate table and the inability to move the carriage along the third coordinate Z.
Известен также координатный стол, содержащий платформу, на которой посредством четырех плоских пружин закреплена первая каретка с возможностью перемещения по первой координате X. Внутри первой каретки, также с помощью четырех плоских пружин, закреплена вторая каретка с возможностью перемещения по второй координате Y, перпендикулярной координате X. Первая и вторая каретки расположены с возможностью взаимодействия с первым и вторым пьезоприводами, закрепленными на платформе координатного стола. Положения кареток зафиксированы первым и вторым пружинными упорами, также закрепленными на платформе [3].There is also known a coordinate table containing a platform on which, by means of four flat springs, the first carriage is fixed with the ability to move along the first coordinate X. Inside the first carriage, also using four flat springs, a second carriage is fixed with the ability to move along the second coordinate Y, perpendicular to the coordinate X The first and second carriages are arranged to interact with the first and second piezoelectric actuators mounted on the platform of the coordinate table. The positions of the carriages are fixed by the first and second spring stops, also fixed on the platform [3].
Первым недостатком указанного устройства является малый ход кареток координатного стола, связанный с использованием пьезоприводов. Второй недостаток заключается в невозможности снятия кареток, например, для замены образца, что бывает необходимым при использовании координатного стола в сложных технологических устройствах, например, в сканирующих зондовых микроскопах (СЗМ). Третий недостаток состоит в отсутствии возможности перемещения каретки по третьей координате Z. Четвертый недостаток связан с невозможностью разворота второй каретки.The first disadvantage of this device is the small stroke of the carriages of the coordinate table associated with the use of piezo drives. The second drawback is the inability to remove the carriages, for example, to replace the sample, which is necessary when using the coordinate table in complex technological devices, for example, in scanning probe microscopes (SPM). The third disadvantage is the inability to move the carriage along the third coordinate Z. The fourth disadvantage is the inability to turn the second carriage.
Указанное устройство выбрано в качестве прототипа предложенного решения.The specified device is selected as a prototype of the proposed solution.
Задачей изобретения является создание устройства подвижки образца, позволяющего использовать его, например, в сканирующей зондовой микроскопии для перемещения образцов в широком диапазоне по трем координатам с возможностью быстрой замены образцов при жестком креплении их к каретке и прецизионной повторяемости позиции каретки с образцом при ее установке.The objective of the invention is to provide a device for moving a sample, allowing it to be used, for example, in scanning probe microscopy to move samples in a wide range along three coordinates with the possibility of quick replacement of samples with rigid attachment to the carriage and the precision of the position of the carriage with the sample when it is installed with precision.
Технический результат изобретения заключается в расширении функциональных возможностей предложенного устройства.The technical result of the invention is to expand the functionality of the proposed device.
Указанный технический результат достигается тем, что в устройство подвижки образца, содержащее корпус, на котором посредством первых направляющих установлена первая каретка со вторыми направляющими, закреплены первый и второй пьезоприводы, сопряженные с первой кареткой, и вторую каретку с держателем образца, установленную посредством вторых направляющих на первой каретке, введены третий или третий и четвертый пьезоприводы, закрепленные на корпусе и сопряженные с первой кареткой, при этом первый, второй, третий и четвертый пьезоприводы выполнены в виде секционированных: пьезотрубок, продольные оси которых расположены в одной плоскости под углами друг к другу соответственно 120° и 90°, первыми концами сопряженных с корпусом, а вторыми концами - с первой кареткой посредством шарниров и представляющих собой первые направляющие, при этом вторая каретка установлена на первой каретке с возможностью съема с нее.The specified technical result is achieved in that in the device for moving the sample containing the housing, on which the first carriage with the second guides is mounted by means of the first guides, the first and second piezoelectric actuators, coupled with the first carriage, and the second carriage with the sample holder, mounted by means of the second guides on the first carriage, introduced the third or third and fourth piezoelectric actuators mounted on the housing and interfaced with the first carriage, while the first, second, third and fourth piezoelectric actuators made in the form of sectioned: piezotubes, the longitudinal axes of which are located in the same plane at angles to each other of 120 ° and 90 °, respectively, the first ends mating with the housing, and the second ends with the first carriage by means of hinges and representing the first guides, while the second the carriage is mounted on the first carriage with the possibility of removal from it.
Возможен вариант, в котором пьезоприводы закреплены на корпусе с помощью первых бобышек с выборками.A variant is possible in which piezoelectric actuators are mounted on the housing using the first bosses with samples.
Существует также вариант, в котором каждый шарнир выполнен в виде соединенных винтом второй бобышки и гайки с обнижением по оси, изготовленной из пружинного материала и имеющей осевую жесткость меньше фрагмента винта, расположенного в обнижении между бобышкой и гайкой.There is also an option in which each hinge is made in the form of a second boss connected by a screw and a nut with an axial stiffening made of spring material and having an axial stiffness less than a screw fragment located in the collapse between the boss and the nut.
На фиг.1 и 2 изображены виды устройства подвижки образца сверху и сбоку.Figures 1 and 2 show views of the device for moving the sample from above and from the side.
На фиг.3 и 4 изображены варианты выполнения пьезоприводов.Figures 3 and 4 show embodiments of piezoelectric actuators.
На фиг.5 и 6 - варианты подключения пьезоприводов к блоку питания.Figure 5 and 6 are options for connecting piezoelectric actuators to the power supply.
На фиг.7 и 8 - возможные варианты выполнения устройства.7 and 8 are possible embodiments of the device.
На фиг.9 - вариант использования устройства в сканирующем зондовом микроскопе.Figure 9 is an embodiment of the use of the device in a scanning probe microscope.
Один из вариантов устройства подвижки образца содержит корпус 1 (фиг.1, фиг.2), на котором посредством винтов 2 с осевыми отверстиями и первых бобышек 3 с выборками 4 установлены, например, с использованием клеевых швов 5, первыми концами 6, пьезоприводы 7, 8, 9 и 10, в качестве которых использованы секционированные пьезотрубки (см., например [4, 5, 6, 7, 8]). При этом продольные оси пьезотрубок расположены в одной плоскости под углом 90° друг к другу. Вторые концы 11 этих пьезоприводов сопряжены с первой кареткой 12 с использованием вторых бобышек 13 с винтами 14, которые посредством шаровых поверхностей 15 взаимодействуют с конусными упорами 16, выполненными в первой каретке 12. Винты 14 сопряжены с гайками 17, имеющими обнижения 18. Совокупность элементов 14, 15, 16 и 17 выполняет функцию шарнира. В простейшем случае роль шарнира может выполнять клеевой шов (не показан) между бобышкой 13 и пьезотрубкой. Бобышки 13 на пьезоприводах 7, 8, 9 и 10 могут быть установлены на скользящей посадке без применения клея. Следует заметить, что возможен вариант установки пьезоприводов 7, 8, 9 и 10 на корпусе 1 без применения бобышек 3, а путем непосредственного вклеивания в корпус 1. Пьезоприводы 7, 8, 9 и 10 в обоих случаях одновременно с функцией перемещения выполняют роль первых направляющих первой каретки 12. Первая каретка 12 содержит установленный на винте 19 с возможностью осевой подвижки ферромагнитный элемент 20, выполненный, например, из никеля. На первой каретке 12 закреплен фланец 21 со вторыми направляющими в виде регулируемых опор 22, на которых посредством установочных элементов 23 размещена вторая каретка 24 с магнитом 25 с возможностью съема с первой каретки 12. В качестве установочных элементов 23 могут быть использованы три V-образные опоры, расположенные под углами 120° своими ребрами друг к другу. Возможен также вариант параллельной установки трех V-образных опор либо использование двух, параллельно установленных V-образных опор и одной плоской, либо использование трех плоских опор. В отдельных случаях возможен вариант использования одной V-образной, одной конусообразной и одной плоской опоры (не показано).One of the variants of the sample moving device comprises a housing 1 (Fig. 1, Fig. 2), on which
На второй каретке 24, например, посредством клея или прижимных планок (не показаны) закрепляют держатель образца или непосредственно образец 26. На корпусе 1 установлен разъем (разъемы) 27 и два защитных кожуха 28 и 29.On the
Пьезоприводы 7, 8, 9 и 10, выполненные в виде секционированных пьезотрубок, могут содержать два внешних 30, 31 (фиг.3) и два внутренних 32 и 33 электрода. Возможен также вариант, в котором каждая пьезотрубка содержит четыре внешних 34, 35, 36, 37 и четыре внутренних 38, 39, 40 и 41 электрода. В одном из вариантов подключения электроды 30, 31, 32 и 33, например пьезопривода, 10 перекрестно подключены к блоку управления 41, как показано на фиг.5. Аналогично подключены электроды пьезоприводов 7, 8, и 9.The
В этом случае устройство работает следующим образом. На пары электродов 30, 33 и 31, 32 подают постоянное напряжение, пьезотрубки пьезоприводов 7, 8, 9 и 10 синхронно изгибаются по часовой или против часовой стрелке и осуществляют разворот кареток 12 и 24 с образцом 26 в плоскости первой координаты Х и второй Y в ту или иную сторону. Механизм изгиба пьезотрубок см. в [6, 7].In this case, the device operates as follows. A constant voltage is applied to the pairs of
Существуют также другие варианты использования электродов. В случае перекрестного подключения электродов пьезоприводов 7, 8, 9 и 10 (как показано на фиг.5), но только с возможностью изгиба трубок по третьей координате Z (при этом пьезоприводы повернуты на 90° вокруг оси), возможно перемещение образца 26 по координате Z. Если же на каждый пьезопривод подают разные напряжения, возможно осуществление качания плоскости образца 26.There are also other uses for electrodes. In the case of cross-connection of the electrodes of the
Возможно также перекрестное подключение электродов (каждый наружный соединяют с противолежащим внутренним) пьезопривода, изображенного на фиг.4, таким образом, что при подаче соответствующих напряжений он одновременно будет изгибаться в плоскости координат X, Y и по координате Z. Подключение пьезопривода по фиг.4 в объеме четырех электродов 34, 40 и 36, 38 изображено на фиг.6. Остальные электроды 37, 39 и 35, 41 подключены аналогично. В этом случае можно как вращать образец в плоскости координат X, Y, так и качать его плоскость.It is also possible to cross-connect the electrodes (each outer one is connected to the opposite inner one) of the piezoelectric actuator shown in Fig. 4, so that when the corresponding voltages are applied, it will simultaneously bend in the X, Y coordinate plane and along the Z coordinate. The piezoelectric actuator according to Fig. 4 in the volume of four
Кроме этого, существует вариант, в котором объединяют внутренние электроды 38, 39, 40, 41 и наружные электроды 34, 35, 36, 37. В этом случае при подаче на них напряжений возможно осуществление противофазного растяжения и сжатия приводов 8 и 10 (аналог работы пьезопривода со сплошным наружным и внутренним электродами). При этом в случае расположения трех V-образных опор 23 параллельно координате Х возможно инерционное перемещение каретки 24 по этой координате (подробно принцип инерционного перемещения см. в [9, 10]). Следует также заметить, что в этом случае можно пьезоприводы 7 и 9 включить в режим синхронного изгиба в сторону растяжений и сжатий приводов 8 и 10. Это будет способствовать увеличению шага инерционного перемещения. Подачей напряжений на электроды могут управлять электронные ключи.In addition, there is an option in which the
В отдельных случаях, когда требования к точности перемещения каретки 24 невысоки, в качестве установочных элементов 23 можно использовать плоские пластины. В этом случае перемещение каретки 24 может осуществляться также по координате X. Для этого дополнительно приводы 7 и 9 включают на противофазное сжатие - растяжение, а приводы 8 и 10 - на синхронный изгиб.In some cases, when the requirements for the accuracy of movement of the
Сборку устройства производят следующим образом. Устанавливают бобышки 3 с пьезоприводами 7, 8, 9, 10 и шарнирами на корпус 1. Устанавливают каретку 12 между винтами 14. Используя осевые отверстия винтов 2, создают предварительный натяг первой каретки 12 винтами 14. Изгибают пьезоприводы 7 и 9 по оси Х в положительном направлении. Пьезоприводы 8 и 10 при этом соответственно растягивают и сжимают. После этого осуществляют дополнительный натяг первой каретки 12 винтами 14 и фиксируют их гайками 17 с их прижимным изгибом по оси (гайки 17 при этом, за счет обнижений 18, работают как плоские мембраны).The assembly of the device is as follows. Install
Упругость фрагментов 14 подбирают таким образом, чтобы она превышала упругость гаек в 5-10 раз.The elasticity of the
Величина изгибного перемещения пьезоприводов составляет величину порядка 10-20 мкм, осевое же их перемещение при этом будет в пределах 0,1-0,2 мкм.The magnitude of the bending movement of the piezoelectric actuators is of the order of 10–20 μm, while their axial movement will be in the range of 0.1–0.2 μm.
После этого фиксируют бобышки 3 винтами 2, осуществляя их небольшую (0,1-0,5 мкм) деформацию.After that, bosses are fixed with 3
Следует заметить, что возможен вариант использования трех секционированных пьезотрубок 43, 44 и 45 (фиг.7), закрепленных на корпусе 46 и сопряженных с первой кареткой 47 и второй кареткой 48. При этом их продольные оси расположены в одной плоскости под углом 120° друг к другу. Более подробно устройство не показано.It should be noted that it is possible to use three sectioned
Существует также вариант, в котором три секционированных пьезотрубки 49, 50 и 51 (фиг.8) установлены на корпусе 52 под углом 120° друг к другу и сопряжены с первой кареткой 53 и второй кареткой 54. При этом их продольные оси параллельны.There is also an option in which three sectioned
Возможен также вариант, в котором вместо пьезотрубок можно использовать пьезоприводы другого конструктивного исполнения [11].A variant is also possible in which, instead of piezotubes, piezoelectric drives of another design can be used [11].
При использовании устройства 55 в СЗМ 56 (фиг.9) его устанавливают на платформу 57, осуществляют сближение блока анализа 58 с образцом 26. После контакта зонда 59 с образцом 26 производят сканирования образца, используя пьезосканер 60 (см. подробно [4, 5, 6, 7]). В случае последовательных съемов и установок второй каретки 24 на первую каретку 12 и при расположении V-образных опор (установочных элементов 23) под 120° друг к другу ее положение сохраняется. В предложенном устройстве погрешность установки каретки 24 находится в пределах 1 мкм, что заведомо перекрывается диапазоном подвижек пьезоприводов.When using the
Описанные режимы использования устройства подвижки образца 26 можно применять в нанолитографических системах, где необходимо совмещать рисунки топологий на образце на различных стадиях их формирования.The described modes of using the device for moving the
После инерционного перемещения образца 26 к очередному модулю может возникнуть необходимость доворота образца относительно системы координат поля сканирования зонда 59, которое осуществляют за счет изгибов пьезоприводов (описано выше).After inertial movement of the
Введение, по меньшей мере, одного третьего пьезопривода, закрепленного на корпусе и сопряженного с первой кареткой шарнирно, а также выполнение приводов в виде секционных пьезотрубок позволяет корректировать положение образца в пространстве, что расширяет функциональные возможности устройства. Это особенно актуально в нанотехнологии при использовании многозондовых линеек или матриц для компенсации нефункционального разворота матрицы зондов относительно образца.The introduction of at least one third piezoelectric actuator mounted pivotally on the housing and coupled to the first carriage, as well as the implementation of the actuators in the form of sectional piezotubes, allows you to adjust the position of the sample in space, which extends the functionality of the device. This is especially true in nanotechnology when using multi-probe rulers or matrices to compensate for the non-functional rotation of the probe matrix relative to the sample.
Кроме этого, предложенное устройство позволяет осуществлять инерционную подвижку образца относительно зонда в широком диапазоне.In addition, the proposed device allows for inertial movement of the sample relative to the probe in a wide range.
Закрепление пьезоприводов на корпусе с использованием первых бобышек с выборками позволяет за счет подвижки бобышек по корпусу упростить настройку устройства, уменьшить нефункциональное качание бобышек по плоскости прижима к плоскости, а также за счет увеличения величины натяга при закреплении бобышек повысить надежность их закрепления и эксплуатации устройства.Fixing the piezoelectric actuators to the housing using the first bosses with samples allows simplifying the device setup, reducing the non-functional swing of the bosses along the plane of the clamp to the plane due to the movement of the bosses along the housing, and also by increasing the interference tightness when fixing the bosses, to increase the reliability of their fastening and operation of the device.
Выполнение шарнира в виде соединенных винтом второй бобышки и гайки с обнижением по оси, изготовленной из пружинного материала, имеющего жесткость, меньшую фрагмента винта, расположенной между второй бобышкой и гайкой, позволяет уменьшить нефункциональные колебания первой каретки за счет более надежного закрепления винтов и уменьшения их нефункциональных качаний в зазорах.The execution of the hinge in the form of a second boss connected by a screw and a nut with an axial decrease, made of a spring material having a stiffness less than a screw fragment located between the second boss and the nut, allows to reduce non-functional vibrations of the first carriage due to more reliable fastening of the screws and decrease their non-functional swings in the gaps.
Перечисленное также расширяет функциональные возможности устройства за счет исследования образцов с большими размерами и массой.The above also extends the functionality of the device by examining samples with large dimensions and mass.
ЛИТЕРАТУРАLITERATURE
1. Патент US №5561299, 01.10.1996.1. US patent No. 5561299, 01.10.1996.
2. Патент US №5051594, 24.09.1991.2. US patent No. 5051594, 09.24.1991.
3. Патент US №5360974, 01.11.1994.3. US patent No. 5360974, 01/01/1994.
4. Патент RU №2199171, 20.02.2003.4. Patent RU No. 2199171, 02.20.2003.
5. Scanning tunneling microscope instrumentation. Y.Kyk, P.Sulverman. Rev. Sci.Instrum. 60 (1989), N2, 165-180.5. Scanning tunneling microscope instrumentation. Y. Kyk, P. Sulverman. Rev. Sci.Instrum. 60 (1989), N2, 165-180.
6. Зондовая микроскопия для биологии и медицины. В.А.Быков и др., Сенсорные системы, т.12, №1, 1998 г., с.99-121.6. Probe microscopy for biology and medicine. V.A. Bykov et al., Sensory Systems, vol. 12, No. 1, 1998, pp. 99-121.
7. Сканирующая туннельная и атомно-силовая микроскопия в электрохимии поверхности. А. И. Данилов, Успехи химии 64 (8), 1995 г, с.818-833.7. Scanning tunneling and atomic force microscopy in surface electrochemistry. A.I. Danilov, Advances in Chemistry 64 (8), 1995, p. 818-833.
8. В.Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии. М.: Техносфера, 2004, 143 с.8. V. Mironov. The basics of scanning probe microscopy. M .: Technosphere, 2004, 143 p.
9. Патент RU №2152103, 27.06.2000.9. Patent RU No. 2152103, 06/27/2000.
10. S.Gregory, C.T.Rogers. // STM2. p.390.10. S. Gregory, C. T. Rogers. // STM2. p.390.
11. Патент US №4874979, 03.10.1988.11. US patent No. 4874979, 10/03/1988.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005141333/28A RU2377620C2 (en) | 2005-12-29 | 2005-12-29 | Device for sample shift |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005141333/28A RU2377620C2 (en) | 2005-12-29 | 2005-12-29 | Device for sample shift |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2005141333A RU2005141333A (en) | 2007-07-10 |
| RU2377620C2 true RU2377620C2 (en) | 2009-12-27 |
Family
ID=38316386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005141333/28A RU2377620C2 (en) | 2005-12-29 | 2005-12-29 | Device for sample shift |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2377620C2 (en) |
-
2005
- 2005-12-29 RU RU2005141333/28A patent/RU2377620C2/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2005141333A (en) | 2007-07-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Cai et al. | Design and control of a 6-degree-of-freedom precision positioning system | |
| CN104297065B (en) | A kind of Piezoelectric Driving micro-stretching test device | |
| CN101216390A (en) | Micro-element dynamic performance off-chip tensile test experimental bench | |
| CN1202937C (en) | Super accurate fine motion work platform with function of restraining vibration. | |
| US11159103B2 (en) | Six-degree-of-freedom large-stroke uncoupling large hollow series-parallel piezoelectric micro-motion platform | |
| US9535086B2 (en) | Interface of a microfabricated scanning force sensor for combined force and position sensing | |
| Polit et al. | Design of high-bandwidth high-precision flexure-based nanopositioning modules | |
| CN106671061B (en) | Singly refer to structure, microoperation clamper and micro OS | |
| JP2013530387A (en) | Ball spacer method for leveling of flat objects | |
| CN2621876Y (en) | Twe-D superprecision positioning, damping vernier working platform based on piezoelectric driver | |
| Ghafarian et al. | An XYZ micromanipulator for precise positioning applications | |
| KR20130022253A (en) | Ultra-precision moving apparatus | |
| KR101476808B1 (en) | Scanner apparatus and atomic force microscope including the same | |
| RU2377620C2 (en) | Device for sample shift | |
| JP4936112B2 (en) | Cell manipulator | |
| KR100675331B1 (en) | Nano dimensional driving manipulator with four degree of freedoms | |
| CN205928616U (en) | Singly indicate structure, microoperation holder and little operating system | |
| US8493692B2 (en) | Position determining system with arm center line crossing expanding/contracting direction of hinged actuator unit | |
| RU2297078C1 (en) | Three-coordinate positioner | |
| JP2000009867A (en) | Stage moving device | |
| KR100738415B1 (en) | Fine motion manipulator with three joints and three axes parallel fine planar motion manipulation apparatus using the same | |
| JPH08334519A (en) | Driving device | |
| KR20110026029A (en) | Scanner for scanning probe microscope | |
| Polit et al. | Design of a high-bandwidth XY nanopositioning stage for high-throughput micro/nano manufacturing | |
| KR20040086183A (en) | Fine-control stage apparatus |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20111230 |