RU2375677C1 - Roughness metre - Google Patents

Roughness metre Download PDF

Info

Publication number
RU2375677C1
RU2375677C1 RU2008113691/28A RU2008113691A RU2375677C1 RU 2375677 C1 RU2375677 C1 RU 2375677C1 RU 2008113691/28 A RU2008113691/28 A RU 2008113691/28A RU 2008113691 A RU2008113691 A RU 2008113691A RU 2375677 C1 RU2375677 C1 RU 2375677C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
roughness
input
amplifier
output
signal
Prior art date
Application number
RU2008113691/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Геннадий Алексеевич Копылов (RU)
Геннадий Алексеевич Копылов
Вячеслав Данилович Ковалев (RU)
Вячеслав Данилович Ковалев
Валерий Георгиевич Бондарев (RU)
Валерий Георгиевич Бондарев
Вера Федоровна Резуненко (RU)
Вера Федоровна Резуненко
Максим Сергеевич Иванов (RU)
Максим Сергеевич Иванов
Original Assignee
Геннадий Алексеевич Копылов
Вячеслав Данилович Ковалев
Валерий Георгиевич Бондарев
Вера Федоровна Резуненко
Максим Сергеевич Иванов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Геннадий Алексеевич Копылов, Вячеслав Данилович Ковалев, Валерий Георгиевич Бондарев, Вера Федоровна Резуненко, Максим Сергеевич Иванов filed Critical Геннадий Алексеевич Копылов
Priority to RU2008113691/28A priority Critical patent/RU2375677C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2375677C1 publication Critical patent/RU2375677C1/en

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

FIELD: physics; optics.
SUBSTANCE: invention relates to devices for measuring surface roughness. The roughness metre has a light emitter and a reflected signal photodetector. The light emitter is a laser and the reflected signal photodetector is a photodiode. The roughness metre also has devices for defocusing the light beam incident on the analysed surface and focusing light reflected by this surface, an amplifier for amplifying signal from the photodiode, comparator, AND circuit, binary pulse counter, pulse decoder, memory storage for standard codes, digital comparison device, display device. The signal from the photodiode is transmitted to the amplifier, from the output of the amplifier to the comparator input, from the comparator output to the AND circuit, then to the input of the binary pulse counter, further to the input of the decode, from the output of the decoder to the input of the digital comparison device where signals from the memory storage for standard codes are also transmitted at the same time, and from the output of the digital comparison device to the input of the display device.
EFFECT: wider operational characteristics of the roughness metre.
2 dwg

Description

Изобретение относится к области измерения неровностей поверхностей, в частности к устройствам для измерения шероховатости различных поверхностей.The invention relates to the field of measuring surface roughness, in particular to devices for measuring the roughness of various surfaces.

Известен измеритель шероховатости цилиндрической поверхности изделий [1], в котором исследуемое изделие вращают относительно его оси симметрии с заданной окружной скоростью, а наконечник измерительного преобразователя, совершая возвратно-поступательное перемещение, снимает показания шероховатости поверхности.A known roughness meter of the cylindrical surface of products [1], in which the test product is rotated about its axis of symmetry with a given peripheral speed, and the tip of the measuring transducer, making a reciprocating movement, takes readings of the surface roughness.

Недостатком этого измерителя является то, что он контактный, используется для определения шероховатости только цилиндрических деталей, требует обязательного их вращения с определенной скоростью на специальном оборудовании, требует снятия детали с изделия.The disadvantage of this meter is that it is a contact meter, it is used to determine the roughness of only cylindrical parts, it requires their rotation at a certain speed on special equipment, and requires removal of the part from the product.

Известно устройство определения шероховатости валов и цилиндров [2], в котором на нагретую контролируемую поверхность накладывают измерительный сегмент из другого материала, не имеющий такую же чистоту поверхности. Сегмент соединен с термопарами и измерительным прибором. От нагретого вала тепловой поток передается сегменту через зазор между ними, нагревая этот сегмент. Если чистота (шероховатость) контролируемой поверхности соответствует чистоте поверхности сегмента, то нагрев последнего происходит за определенное время, если не соответствует, то время нагрева будет иным.A device for determining the roughness of shafts and cylinders [2] is known, in which a measuring segment of another material that does not have the same surface finish is applied to a heated controlled surface. The segment is connected to thermocouples and a measuring device. From the heated shaft, the heat flux is transmitted to the segment through the gap between them, heating this segment. If the cleanliness (roughness) of the controlled surface corresponds to the cleanliness of the segment surface, then heating of the latter occurs in a certain time, if it does not, then the heating time will be different.

Недостатком этого устройства является низкая точность определения шероховатости, необходимость нагрева контролируемой детали и остановка технологического процесса.The disadvantage of this device is the low accuracy of determining the roughness, the need for heating the controlled part and the shutdown of the process.

Наиболее близким техническим решением является устройство измерения шероховатости поверхности оптическим методом [3], в котором на контролируемую поверхность изделия проецируется узкий пучок света от источника через щель. На поверхности образуется освещенная полоса, представляющая собой след пересечения профиля плоскостью светового потока. Лучи, отраженные от выступов и впадин профиля, смещаются на окулярной сетке относительно друг друга. Величина смещения зависит от высоты неровностей. Совмещая линии, нанесенные на сетке окуляра-микрометра, с выступами и впадинами профиля контролируемой поверхности, определяется шероховатость поверхности.The closest technical solution is a device for measuring surface roughness by the optical method [3], in which a narrow beam of light from a source through a slit is projected onto a controlled surface of the product. An illuminated strip forms on the surface, which is the trace of the intersection of the profile by the plane of the light flux. The rays reflected from the protrusions and depressions of the profile are displaced on the ocular mesh relative to each other. The amount of displacement depends on the height of the bumps. By combining the lines drawn on the grid of the eyepiece-micrometer, with the protrusions and depressions of the profile of the controlled surface, the surface roughness is determined.

Двойной микроскоп [3], ИМС-11, являющийся этим устройством, состоит из осветительного тубуса и микроскопа, закрепленных в корпусе. Измерение проводят окулярным микрометром.A double microscope [3], IMS-11, which is this device, consists of a lighting tube and a microscope fixed in a housing. The measurement is carried out by an ocular micrometer.

Недостатком микроскопа ИМС-11 является то, что с его помощью можно определять шероховатость поверхности небольших, по размеру, деталей и, естественно, с разборкой изделия. Кроме того, сам двойной микроскоп имеет довольно сложную и массивную конструкцию и неудобен для применения в полевых условиях.The disadvantage of the IMS-11 microscope is that it can be used to determine the surface roughness of small, in size, parts and, of course, with disassembly of the product. In addition, the double microscope itself has a rather complex and massive design and is inconvenient for use in the field.

Задачей изобретения является разработка устройства определения шероховатости поверхности, которое должно быть компактным и позволяло бы определять шероховатость в любых условиях, в том числе и полевых, с разборкой или без разборки изделия.The objective of the invention is to develop a device for determining surface roughness, which should be compact and would allow to determine the roughness in any conditions, including field, with or without disassembly of the product.

Технический результат изобретения достигается тем, что в измерителе шероховатости, содержащем излучатель света и фотоприемник отраженного сигнала, в качестве излучателя света применен лазер, при этом измеритель дополнительно содержит устройства расфокусировки падающего на проверяемую поверхность детали луча и фокусировки отраженного этой поверхностью потока: в качестве фотоприемника отраженного потока применен фотодиод; усилитель сигнала от фотодиода; компаратор, сравнивающий поступающее на него напряжение с усилителя с линейно изменяющимся напряжением генератора и формирующий импульс напряжения; схема «И», кодирующая поступающий на нее с компаратора импульс в пачку коротких импульсов генератора образцовой частоты; двоичный счетчик импульсов, подсчитывающий число импульсов в пачке; дешифратор импульсов; устройство памяти эталонных кодов, где заранее записываются значения сигналов от известных эталонов шероховатости; цифровое устройство сравнения, осуществляющее сравнение полученного с контролируемой поверхности детали сигнала с эталонными сигналами; устройство индикации, где высвечивается величина шероховатости контролируемой поверхности детали, причем сформированный в фотодиоде сигнал поступает в усилитель, с выхода усилителя - на вход компаратора, а с выхода компаратора - на схему «И», затем на вход двоичного счетчика импульсов, далее - на вход дешифратора, с выхода дешифратора - на вход цифрового устройства сравнения, куда одновременно с этим сигналом приходят сигналы с устройства памяти эталонных кодов, а с выхода устройства сравнения - на вход устройства индикации.The technical result of the invention is achieved by the fact that in a roughness meter containing a light emitter and a photodetector of the reflected signal, a laser is used as a light emitter, while the meter further comprises devices for defocusing the beam incident on the surface to be tested and focusing the stream reflected by this surface: as a reflected photodetector flow applied photodiode; signal amplifier from the photodiode; a comparator comparing the voltage supplied to it from the amplifier with a ramp of the generator and generating a voltage pulse; the “I” circuit encoding a pulse arriving at it from the comparator into a packet of short pulses of a generator of a reference frequency; a binary pulse counter that counts the number of pulses in a packet; pulse decoder; a memory device for reference codes, where values of signals from known roughness standards are recorded in advance; a digital comparison device comparing the signal received from the surface to be monitored with the reference signals; an indication device where the roughness value of the controlled surface of the part is displayed, and the signal generated in the photodiode enters the amplifier, from the amplifier output to the comparator input, and from the comparator output to the “I” circuit, then to the input of the binary pulse counter, then to the input of the decoder, from the output of the decoder to the input of the digital comparison device, where signals from the memory device of the reference codes come simultaneously with this signal, and from the output of the comparison device to the input of the display device.

На поверхность контролируемой детали падает расфокусированный поток излучения от любого источника, например от лазера, любого диапазона и любой интенсивности, в частности малой. Контролируемая поверхность поглощает часть энергии падающего потока, а оставшуюся часть отражает, которая фокусируется и попадает в фотоэлектрический приемник, в частности фотодиод, сравнивается с эталонной величиной отраженного потока, заранее полученного с эталонных образцов шероховатости для используемого источника облучения поверхности контролируемой детали. В фотодиоде отраженный поток превращается в сигнал в виде электрического напряжения или тока. В зависимости от шероховатости поверхности будет изменяться и интенсивность отраженного потока, а следовательно, и величина сигнала, образуемого в фотодиоде: чем выше класс чистоты, т.е. меньше шероховатость поверхности, тем больше, по величине, будет отраженный поток и выше величина сигнала, образуемого фотодиодом.A defocused radiation flux from any source, for example, from a laser, of any range and any intensity, in particular low, falls onto the surface of the controlled part. The controlled surface absorbs part of the energy of the incident flux, and the remaining part reflects, which focuses and enters the photoelectric detector, in particular the photodiode, is compared with the reference value of the reflected flux obtained in advance from the reference roughness samples for the used source of irradiation of the surface of the controlled part. In a photodiode, the reflected stream is converted into a signal in the form of an electric voltage or current. Depending on the surface roughness, the intensity of the reflected flux and, consequently, the magnitude of the signal generated in the photodiode will also change: the higher the purity class, i.e. the smaller the surface roughness, the larger the magnitude will be the reflected flux and the higher the magnitude of the signal generated by the photodiode.

При сравнении сигнала с фотодиода с эталонными сигналами какой-то эталонный сигнал будет равен (или наиболее близок) полученному сигналу. Это и будет соответствовать определенной шероховатости.When comparing a signal from a photodiode with reference signals, some reference signal will be equal to (or closest to) the received signal. This will correspond to a certain roughness.

Новыми признаками, обладающими существенными отличиями, являются:New features with significant differences are:

- наличие расфокусирующей и фокусирующей систем;- the presence of defocusing and focusing systems;

- фотоприемник, например фотодиод;- photodetector, for example a photodiode;

- блок обработки сигналов от фотоприемника;- a block for processing signals from a photodetector;

- связи между элементами.- The relationship between the elements.

Использование новых признаков, в совокупности с известными, и новых связей между ними обеспечивает достижение технического результата изобретения, а именно: возможность создания компактного устройства, которое можно использовать в любых условиях, в том числе и полевых, как с разборкой изделия, так и без разборки (в рабочем положении).The use of new features, together with the well-known, and new connections between them ensures the achievement of the technical result of the invention, namely: the possibility of creating a compact device that can be used in any conditions, including field conditions, both with disassembly of the product, and without disassembly (in working position).

На фиг.1 приведены схема определения шероховатости поверхности и структурная схема измерителя шероховатости, на фиг.2 - формирование сигналов в элементах блока обработки отраженного от контролируемой поверхности светового потокаIn Fig.1 shows a diagram for determining surface roughness and structural diagram of a roughness meter, Fig.2 - the formation of signals in the elements of the processing unit reflected from the controlled surface of the light flux

В предлагаемом устройстве (фиг.1) используется источник излучения, например лазер 1, расфокусирующее устройство, например линза 2, исследуемая поверхность детали 8, фокусирующее устройство, например линза 3, приемник отраженного сигнала, например фотодиод 4.The proposed device (Fig. 1) uses a radiation source, such as a laser 1, a defocusing device, such as a lens 2, a test surface of a part 8, a focusing device, such as a lens 3, a reflected signal receiver, such as a photodiode 4.

Так как шероховатость поверхности определяется размерами выступов и впадин, имеющих неодинаковую величину, поэтому осуществляется расфокусировка падающего на контролируемую поверхность луча, чтобы усреднить отраженную часть этого луча с какой-то площади поверхности. Каждый выступ на поверхности детали и каждая впадина будут отражать падающий луч индивидуально. Однако, если взять определенную площадь контролируемой поверхности (площадь пятна падающего луча), то ее отражательная способность будет определять отражательную способность всей исследуемой поверхности. В данном случае делают выборку из всей совокупности, где вся контролируемая поверхность есть исследуемая совокупность выступов и впадин, а площадь падающего на поверхность луча - выборка из этой совокупности. Поэтому падающий луч не фокусируется, а расфокусируется. И, наоборот, чтобы собрать фотоприемником как можно больше энергии отраженного от контролируемой поверхности потока, отраженный луч фокусируется на фотоприемнике, например фотодиоде, в котором, под действием этого луча, появляется сигнал в виде электрического напряжения или тока. Чем выше класс чистоты (меньше шероховатость) поверхности, тем больше по величине будет отраженный поток и возникающий в фотоприемнике сигнал.Since the surface roughness is determined by the size of the protrusions and depressions, which have an unequal size, therefore, the beam incident on the controlled surface is defocused in order to average the reflected part of this beam from a certain surface area. Each protrusion on the surface of the part and each cavity will reflect the incident beam individually. However, if we take a certain area of the controlled surface (the spot area of the incident beam), then its reflectivity will determine the reflectivity of the entire surface under study. In this case, a sample is taken from the entire set, where the entire controlled surface is the studied set of protrusions and depressions, and the area of the ray incident on the surface is a sample from this set. Therefore, the incident beam is not focused, but defocused. And, on the contrary, in order to collect as much energy as possible from the stream reflected from the surface to be monitored by the photodetector, the reflected beam is focused on the photodetector, for example a photodiode, in which, under the action of this beam, a signal appears in the form of an electric voltage or current. The higher the cleanliness class (less roughness) of the surface, the greater will be the reflected flux and the signal that appears in the photodetector.

Полученный от отраженного луча в фотоприемнике сигнал сравнивается с эталонными сигналами, полученными заранее от поверхностей с известной шероховатостью, и с которым из них совпадет по величине, такую шероховатость и будет иметь проверяемая поверхность.The signal received from the reflected beam in the photodetector is compared with reference signals received in advance from surfaces with a known roughness, and with which of them coincides in magnitude, such a roughness will have a test surface.

Измеритель шероховатости (фиг.1) содержит световой излучатель, например лазер 1, расфокусирующее устройство, например линзу 2, фокусирующее устройство, например линзу 3, фотоприемник 4, например фотодиод, фотоусилитель 5, компаратор 6, схему «И» 7, контролируемую поверхность детали 8, генератор линейно изменяющегося напряжения 9, генератор импульсов образцовой частоты 10, двоичный счетчик импульсов 11, дешифратор 12, устройство памяти эталонных кодов 14, устройство сравнения 13 (цифровое), устройство индикации 15.The roughness meter (figure 1) contains a light emitter, such as a laser 1, a defocusing device, such as a lens 2, a focusing device, such as a lens 3, a photodetector 4, such as a photodiode, photo amplifier 5, comparator 6, circuit "And" 7, the controlled surface of the part 8, a ramp generator 9, a pulse generator of a reference frequency 10, a binary pulse counter 11, a decoder 12, a memory device for reference codes 14, a comparison device 13 (digital), an indication device 15.

Измеритель шероховатости работает следующим образом.The roughness meter works as follows.

Излучатель 1, в частности лазер, образует падающий луч и направляет его на расфокусирующее устройство 2, например линзу (если лазерный луч расфокусирован, то устройства 2 не требуется). Затем лазерный (или любой другой) луч падает на контролируемую поверхность детали 8 под любым углом, обеспечивающим отражение части падающего излучения. С площади падающего на поверхность луча происходит отражение части энергии этого луча (форма сечения отраженного луча повторяет форму пятна падающего на поверхность луча, будь то эллипсовидная или любая другая).The emitter 1, in particular a laser, forms an incident beam and directs it to a defocusing device 2, for example a lens (if the laser beam is defocused, then device 2 is not required). Then the laser (or any other) beam falls on the controlled surface of the part 8 at any angle, providing reflection of part of the incident radiation. Part of the energy of this ray is reflected from the area of the ray incident on the surface of the ray (the cross-sectional shape of the reflected ray repeats the shape of the spot of the ray incident on the surface, whether it is ellipsoidal or any other).

Энергия отраженного потока может быть очень малой, источник излучения 1 может представлять из себя световой источник с очень слабой энергией, с рассеиванием в пространстве. Поэтому на пути отраженного потока устанавливается фокусирующее устройство 3, обеспечивающее сбор рассеянной в отраженном луче энергии в фокусе, где располагается фотоприемник 4, например фотодиод. Однако и в этом случае величина образующегося под действием энергии этого отраженного и сфокусированного светового потока электрического напряжения (или тока) может оказаться небольшой, поэтому после фотоприемника в измерителе шероховатости установлен усилитель 5 этого напряжения (или тока), обеспечивающий работу всех последующих за ним элементов устройства.The energy of the reflected flux can be very small, the radiation source 1 can be a light source with a very weak energy, with scattering in space. Therefore, a focusing device 3 is installed in the path of the reflected flux, which collects the energy scattered in the reflected beam at the focus where the photodetector 4 is located, for example, a photodiode. However, in this case, the magnitude of the electric voltage (or current) generated by the energy of this reflected and focused light flux may turn out to be small, therefore, after the photodetector, a voltage amplifier (or current) 5 is installed in the roughness meter, which ensures the operation of all subsequent device elements .

В предлагаемом измерителе шероховатости используется принцип действия времяимпульсного преобразования, основанного на преобразовании значения измеряемого напряжения Ux с выхода усилителя 5 во временной интервал, с последующим кодированием этого интервала методом последовательного счета в пачку импульсов. Значение напряжения Ux посредством сравнения его компаратором 6 с линейно изменяющимся напряжением U1 генератора 9 (см. фиг.2, наклонная прямая; горизонтальная прямая - это Ux) преобразуется в импульс напряжения U2 длительностью Δt, который поступает на схему «И» 7, где кодируется в пачку коротких импульсов генератора 10 импульсов образцовой частоты U3. Подсчет числа импульсов «n» в пачке осуществляется в двоичном счетчике импульсов 11, куда со схемы «И» 7 поступает сигнал U4In the proposed roughness meter, the principle of the time-pulse conversion is used, based on the conversion of the measured voltage value U x from the output of the amplifier 5 into a time interval, followed by coding of this interval by sequential counting into a pulse train. The voltage value U x by comparing it with a comparator 6 with a linearly varying voltage U 1 of the generator 9 (see figure 2, the sloping straight line; the horizontal line is U x ) is converted into a voltage pulse U 2 of duration Δt, which is fed to the circuit "And" 7, where it is encoded into a packet of short pulses of a generator 10 pulses of an exemplary frequency U 3 . The count of the number of pulses "n" in the packet is carried out in a binary pulse counter 11, where the signal U4 is supplied from the circuit "And" 7

Figure 00000001
Figure 00000001

где С - коэффициент, характеризующий скорость изменения напряжения U(t), т.е. U1 в генераторе линейно изменяющегося напряжения 9;where C is a coefficient characterizing the rate of change of voltage U (t), i.e. U 1 in the generator of a ramp voltage 9;

Т0, f0 - период и частота выходного напряжения U3 генератора импульсов образцовой частоты 10.T 0 , f 0 - period and frequency of the output voltage U 3 of the pulse generator of the reference frequency 10.

Из уравнения видно, что число импульсов «n» пропорционально напряжению Ux с усилителя 5. Выбирая коэффициент пропорциональности

Figure 00000002
(m - целое число), можно получить показания значений напряжения Ux в требуемых единицах измерения (В, мВ и т.д.). Затем в дешифраторе 12 этот сигнал дешифрируется и поступает в устройство сравнения (цифровое) 13, куда одновременно с этим сигналом приходят сигналы с устройства памяти эталонных кодов (заранее сняты с эталонов шероховатости). Сравнивая эти сигналы, и когда сигнал с дешифратора 12 сравняется (или будет близок) к одному из эталонных сигналов с устройства памяти эталонных кодов, то с выхода устройства сравнения 13 на устройство индикации 15 подается сигнал в виде номера класса чистоты (шероховатости), например «5» - высвечивается на индикаторе.The equation shows that the number of pulses "n" is proportional to the voltage U x from the amplifier 5. Choosing the proportionality coefficient
Figure 00000002
(m is an integer), you can get readings of the voltage values U x in the required units of measurement (V, mV, etc.). Then, in the decoder 12, this signal is decrypted and fed to the comparator (digital) 13, where signals from the memory device of the reference codes come simultaneously with this signal (previously removed from the roughness standards). Comparing these signals, and when the signal from the decoder 12 is equalized (or will be close) to one of the reference signals from the memory device of the reference codes, then from the output of the comparison device 13 to the display device 15 a signal is sent in the form of a class number of cleanliness (roughness), for example, " 5 ”- is displayed on the indicator.

Использование заявляемого изобретения позволяет расширить номенклатуру проверяемых деталей (можно проверять поверхность деталей любого размера), улучшает условия работы и повышает производительность труда, дает возможность создания малогабаритного и легкого измерителя шероховатости, который можно было бы использовать в любых условиях, в том числе и в полевых, с разборкой и без разборки изделий (в рабочем положении).Using the claimed invention allows to expand the range of tested parts (you can check the surface of parts of any size), improves working conditions and increases labor productivity, makes it possible to create a small-sized and lightweight roughness meter that could be used in any conditions, including field ones, with disassembly and without disassembly of products (in working position).

Источники информацииInformation sources

1. Авторское свидетельство СССР №11104356, кл. G01В 5/28, опубл. 29.09.1982 г.1. USSR author's certificate No. 11104356, cl. G01B 5/28, publ. 09/29/1982

2. Авторское свидетельство СССР №1608419, кл. G01В 5/28, опубл. 29.11.1988 г.2. USSR copyright certificate No. 1608419, cl. G01B 5/28, publ. 11/29/1988

3. Васильев А.С. Основы метрологии и технические измерения. - М.: Машиностроение, 1980. - С.180-183.3. Vasiliev A.S. Fundamentals of metrology and technical measurements. - M .: Mechanical Engineering, 1980. - S.180-183.

Claims (1)

Измеритель шероховатости, содержащий излучатель света, фотоприемник отраженного сигнала, отличающийся тем, что в качестве излучателя света применен лазер, при этом измеритель дополнительно содержит устройства расфокусировки падающего на проверяемую поверхность детали луча и фокусировки отраженного этой поверхностью потока; в качестве фотоприемника отраженного потока применен фотодиод; усилитель сигнала от фотодиода; компаратор, сравнивающий поступающее на него напряжение с усилителя с линейно изменяющимся напряжением генератора и формирующий импульс напряжения; схема «И», кодирующая поступающий на нее с компаратора импульс в пачку коротких импульсов генератора образцовой частоты; двоичный счетчик импульсов, подсчитывающий число импульсов в пачке; дешифратор импульсов; устройство памяти эталонных кодов, где заранее записываются значения сигналов от известных эталонов шероховатости; цифровое устройство сравнения, осуществляющее сравнение полученного с контролируемой поверхности детали сигнала с эталонными сигналами; устройство индикации, где высвечивается величина шероховатости контролируемой поверхности детали, причем сформированный в фотодиоде сигнал поступает в усилитель, с выхода усилителя - на вход компаратора, а с выхода компаратора - на схему «И», затем на вход двоичного счетчика импульсов, далее - на вход дешифратора, с выхода дешифратора - на вход цифрового устройства сравнения, куда одновременно с этим сигналом приходят сигналы с устройства памяти эталонных кодов, а с выхода цифрового устройства сравнения - на вход устройства индикации. A roughness meter comprising a light emitter, a photodetector of a reflected signal, characterized in that a laser is used as a light emitter, the meter further comprising defocusing the beam incident on the test surface of the part and focusing the beam reflected by this surface; a photodiode is used as a photodetector of the reflected flow; signal amplifier from the photodiode; a comparator comparing the voltage supplied to it from the amplifier with a ramp of the generator and generating a voltage pulse; the “I” circuit encoding a pulse arriving at it from the comparator into a packet of short pulses of a generator of a reference frequency; a binary pulse counter that counts the number of pulses in a packet; pulse decoder; a memory device for reference codes, where values of signals from known roughness standards are recorded in advance; a digital comparison device comparing the signal received from the surface to be monitored with the reference signals; an indication device where the roughness value of the controlled surface of the part is displayed, and the signal generated in the photodiode enters the amplifier, from the amplifier output to the comparator input, and from the comparator output to the “I” circuit, then to the input of the binary pulse counter, then to the input the decoder, from the output of the decoder - to the input of the digital comparison device, where signals from the memory device of the reference codes come simultaneously with this signal, and from the output of the digital comparison device - to the input of the display device.
RU2008113691/28A 2008-04-07 2008-04-07 Roughness metre RU2375677C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008113691/28A RU2375677C1 (en) 2008-04-07 2008-04-07 Roughness metre

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008113691/28A RU2375677C1 (en) 2008-04-07 2008-04-07 Roughness metre

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2375677C1 true RU2375677C1 (en) 2009-12-10

Family

ID=41489695

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008113691/28A RU2375677C1 (en) 2008-04-07 2008-04-07 Roughness metre

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2375677C1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2534565C1 (en) * 2013-06-05 2014-11-27 Геннадий Алексеевич Копылов Non-destructive method of stress measurement in object surface layer and stress gauge
RU2535519C2 (en) * 2013-03-12 2014-12-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирская государственная геодезическая академия" (ФГБОУ ВПО "СГГА") Method of remote measurement of surface roughness parameters
RU2544713C1 (en) * 2013-10-23 2015-03-20 Геннадий Алексеевич Копылов Method of mechanical treatment of stocks on nc machines
CN114813747A (en) * 2022-04-12 2022-07-29 中国科学院精密测量科学与技术创新研究院 System and method for detecting internal defects and testing surface morphology of ceramic rotor

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2535519C2 (en) * 2013-03-12 2014-12-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирская государственная геодезическая академия" (ФГБОУ ВПО "СГГА") Method of remote measurement of surface roughness parameters
RU2534565C1 (en) * 2013-06-05 2014-11-27 Геннадий Алексеевич Копылов Non-destructive method of stress measurement in object surface layer and stress gauge
RU2544713C1 (en) * 2013-10-23 2015-03-20 Геннадий Алексеевич Копылов Method of mechanical treatment of stocks on nc machines
CN114813747A (en) * 2022-04-12 2022-07-29 中国科学院精密测量科学与技术创新研究院 System and method for detecting internal defects and testing surface morphology of ceramic rotor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20210333190A1 (en) Method for measuring light field distribution and device therefor
KR101857950B1 (en) High accuracy real-time particle counter
CN107132029B (en) Method for simultaneously measuring reflectivity, transmittance, scattering loss and absorption loss of high-reflection/high-transmission optical element
CN106404794A (en) High-speed measuring device and method for surface scattering of large-aperture material
CN103175837B (en) Method and device for detecting defect in matrix
CN105928906B (en) A kind of material reflectance dynamic measurement system varied with temperature and measurement method
JP4183370B2 (en) Torque measuring device
RU2375677C1 (en) Roughness metre
CN110243729A (en) Corpuscular counter
CN107490563A (en) A kind of measurement apparatus and method of monitoring instrument diaphragm laying dust
CN103940341A (en) Displacement and inclination angle integrated test instrument
CN102589447B (en) Micro linear displacement sensor based on two-channel grating
CN108801377A (en) A kind of Optical devices for specialized fluids flow velocity and flow measurement
RU2445589C1 (en) Method of measuring surface temperature and temperature measuring device
US6844537B2 (en) Method and device for measuring the velocity of a moving surface
KR101647063B1 (en) Plasma diagnostic system using multiple round trip Thomson scattering
CN210533985U (en) Three-dimensional absorption characteristic detection device based on laser-induced photothermal effect
RU2460988C1 (en) Method of measuring particle size distribution in wide range of concentrations and apparatus for realising said method (versions)
JP7170954B1 (en) Particle measurement sensor
JP3950567B2 (en) Torque measuring device
RU2534565C1 (en) Non-destructive method of stress measurement in object surface layer and stress gauge
Hao et al. Application of laser diode fiber alignment in measuring large-scale perpendicularity and parallelism
JPH0357914A (en) Optical probe
RU2691978C1 (en) Optical dust meter
JPH09281134A (en) Laser current meter