RU2349829C1 - Device to apply protective coatings on main line inner surface - Google Patents
Device to apply protective coatings on main line inner surface Download PDFInfo
- Publication number
- RU2349829C1 RU2349829C1 RU2007148508/06A RU2007148508A RU2349829C1 RU 2349829 C1 RU2349829 C1 RU 2349829C1 RU 2007148508/06 A RU2007148508/06 A RU 2007148508/06A RU 2007148508 A RU2007148508 A RU 2007148508A RU 2349829 C1 RU2349829 C1 RU 2349829C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- pipeline
- partitions
- vacuum
- coating
- pressure
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
Устройство для нанесения защитных покрытий на внутреннюю поверхность магистральных трубопроводовDevice for applying protective coatings on the inner surface of trunk pipelines
Изобретение относится к области вакуумной техники и технологий, связанных с использованием вакуума как технологической среды при очистке поверхности труб и нанесении на поверхность труб магистральных трубопроводов защитных покрытий.The invention relates to the field of vacuum equipment and technologies associated with the use of vacuum as a process medium when cleaning the surface of pipes and applying protective coatings to the surface of pipes of main pipelines.
В настоящее время для предотвращения процессов развития «коррозионного растрескивания под напряжением» (КРН) используются следующие технические решения:Currently, the following technical solutions are used to prevent the development of "stress corrosion cracking" (SCC):
- использование труб с заводским изоляционным покрытием на участках трубопроводов с внешними условиями, благоприятными для протекания процесса КРН стенок трубы;- the use of pipes with a factory insulating coating on sections of pipelines with external conditions favorable for the process of the SCC of the pipe walls;
- переизоляция участков действующих магистральных газопроводов (МГ), подверженных КРН, изоляционными покрытиями, исключающими их отслоение в процессе эксплуатации. Процесс восстановления работоспособности газопроводов путем замены труб и переизоляции участков трубопроводов, пораженных КРН, в настоящее время находится в начальной стадии (см., например, Карпов С.В. Перспектива решения проблемы КРН магистральных трубопроводов. - Четырнадцатая международная деловая встреча «Диагностика-2004", Москва, 2004, с.3-15).- re-isolation of sections of existing trunk gas pipelines (MG), subject to SCC, with insulating coatings that exclude their delamination during operation. The process of restoring the performance of gas pipelines by replacing pipes and re-insulating sections of pipelines affected by SCC is currently in the initial stage (see, for example, Karpov S.V. The prospect of solving the SCC problem of main pipelines. - Fourteenth international business meeting "Diagnostics-2004" Moscow, 2004, p. 3-15).
Существует множество методов нанесения тонкопленочных защитных покрытий в вакууме (см., например, Handbook of Thin Film Technology / Ed by L.f.Maissei and R. Gland / Mc. Graw Hill HOOK Company. 1970. VI. - 668 pp. или Handbook of Thin Film Technology / Ed. by L.I.Maissei and R.Gland / Mc.Graw Hill HOOK Company. 1970. V2. - 766 pp.).There are many methods for applying thin-film protective coatings in a vacuum (see, for example, Handbook of Thin Film Technology / Ed by Lf Maissei and R. Gland / Mc. Graw Hill HOOK Company. 1970. VI. - 668 pp. Or Handbook of Thin Film Technology / Ed. By LIMaissei and R. Gland / Mc.Graw Hill HOOK Company. 1970. V2. - 766 pp.).
Также известны решения, обеспечивающие реализацию вакуумных технологических процессов в больших герметизированных объемах, образованных цилиндрическими корпусами, близкими по геометрии формы к магистральным газопроводам и нефтепроводам (см. авторское свидетельство SU №171930, кл. Н01J 9/48, 01.01.1965).Solutions are also known that ensure the implementation of vacuum technological processes in large sealed volumes formed by cylindrical bodies close in shape to the gas pipelines and oil pipelines (see copyright certificate SU No. 171930, class H01J 9/48, 01.01.1965).
Существующие вакуумные методы нанесения защитных покрытий на участках действующих магистральных газопроводов в настоящее время неприемлемы из-за отсутствия устройств для вакуумно-плотной герметизации внутренних объемов магистральных трубопроводов (см., например, Рот А. Вакуумные уплотнения. М.: Энергия, 1974. - 235 с.), внутри которых должна производиться защита поверхности, что не позволяет получить требуемое разряжение внутри герметизируемого объема рабочей трубы.Existing vacuum methods for applying protective coatings on sections of existing gas pipelines are currently unacceptable due to the lack of devices for vacuum-tight sealing of the internal volumes of gas pipelines (see, for example, Rot A. Vacuum seals. M .: Energy, 1974. - 235 sec.), inside of which surface protection should be carried out, which does not allow to obtain the required vacuum inside the sealed volume of the working pipe.
Известны устройства для вакуумно-плотной герметизации внутренних объемов, имеющих кольцевую форму и использующих радиальную деформацию уплотнительных колец, за счет использования силы осевого нагружения и осевого сжатия этих колец (см., например, Пипко А.И. и др. Конструирование и расчет вакуумных систем, Москва, Энергия, 1970, табл.3-4, схемы 7, 8), однако они также не приспособлены для использования на газопроводах и нефтепроводах.Known devices for vacuum-tight sealing of internal volumes, having a ring shape and using radial deformation of the sealing rings, through the use of axial loading and axial compression of these rings (see, for example, A. Pipko and others. Design and calculation of vacuum systems , Moscow, Energy, 1970, Tables 3-4, schemes 7, 8), however, they are also not suitable for use on gas pipelines and oil pipelines.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является устройство для нанесения защитных покрытий на внутреннюю поверхность магистральных трубопроводов, содержащее размещенные в трубе средство для очистки внутренней поверхности трубопровода и средство для нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубопровода (см. патент RU №2213653, кл. В233 13/00, 10.10.2003).The closest to the invention in technical essence and the achieved result is a device for applying protective coatings to the inner surface of pipelines, containing means for cleaning the inner surface of the pipeline and means for coating the inner surface of the pipeline (see patent RU No. 2213653, class .233 13/00, 10/10/2003).
Данное устройство позволяет наносить защитные покрытия на внутреннюю поверхность трубопровода, однако не способно герметично перекрывать трубопровод и не приспособлено для создания вакуумно-плотно изолированных объемов внутри трубопровода для проведения эффективной очистки его стенок, что ведет к снижению качества нанесения на них защитного покрытия.This device allows you to apply protective coatings on the inner surface of the pipeline, however, it is not able to seal the pipeline hermetically and is not suitable for creating vacuum-tightly isolated volumes inside the pipeline for effective cleaning of its walls, which leads to a decrease in the quality of applying a protective coating to them.
Задачей, на решение которой направлено настоящее изобретение, является создание вакуумно-плотных герметизирующих устройств, защищающих рабочий объем металлических (в основном стальных) труб магистральных трубопроводов, в которых производится вакуумная плазменная очистка и нанесение защитных покрытий от проникновения в материал трубы водорода, благоприятствующего в дальнейшем КРН стенок трубы, и ее усталостное или механическое разрушение со временем, в первую очередь, в зонах около сварных швов.The problem to which the present invention is directed, is the creation of vacuum-tight sealing devices that protect the working volume of metal (mainly steel) pipes of main pipelines, in which vacuum plasma cleaning and protective coating are applied from penetration of hydrogen into the pipe material, which is favorable in the future The SCC of the pipe walls, and its fatigue or mechanical failure over time, primarily in areas near welds.
Техническим результатом, достигаемым в результате реализации изобретения, является повышение качества защитных покрытий, наносимых на внутренние стенки магистральных трубопроводов.The technical result achieved by the invention is to improve the quality of the protective coatings applied to the inner walls of the main pipelines.
Указанная задача решается, а технический результат достигается за счет того, что устройство для нанесения защитных покрытий на внутреннюю поверхность магистральных трубопроводов содержит размещенные в трубопроводе средство для очистки внутренней поверхности трубопровода и средство для нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубопровода, причем устройство снабжено, по крайней мере, двумя герметичными дисковыми металлическими перегородками, соединенными с трубопроводом кольцевыми уплотнениями, нажимными кольцами, сжимающими кольцевые уплотнения с деформацией последних в радиальном сечении, достаточной для перекрытия высоты микронеровностей уплотняемого профиля внутренней поверхности трубопровода, осевыми упорами для нагружения нажимных колец, приводами стяжки дисковых металлических перегородок с нажимными кольцами, при этом средство для очистки внутренней поверхности трубопровода выполнено в виде плазменного очистного устройства, а средство для нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубопровода выполнено в виде многокомпонентного магнетронного испарителя, причем плазменное очистное устройство и многокомпонентный магнетронный испаритель закреплены на одном вращающемся вокруг оси трубопровода устройстве с возможностью направления рабочих ионных пучков в противоположных направлениях и по траекториям, взаимно перекрывающим друг друга, а устройство снабжено системой откачки и системой напуска рабочих газов в зону, образованную в трубопроводе между герметичными дисковыми металлическими перегородками, и выполнено с возможностью формирования противоположно направленных сил, возникающих в результате разницы атмосферного давления и давления вакуума, действующей на наружные дисковые металлические перегородки, взаимно передаваемых кольцевым уплотнениям, которые посредством приводов стяжки дисковых металлических перегородок с нажимными кольцами предварительно радиально деформированы.This problem is solved, and the technical result is achieved due to the fact that the device for applying protective coatings on the inner surface of the main pipelines comprises means for cleaning the inner surface of the pipeline and means for applying a coating on the inner surface of the pipeline, the device being provided with at least two sealed disc metal partitions connected to the pipeline by ring seals, pressure rings, compressing O-rings with a deformation of the latter in a radial section sufficient to overlap the height of the microroughness of the sealing profile of the inner surface of the pipeline, axial stops for loading pressure rings, screed drives of metal disk partitions with pressure rings, while the means for cleaning the inner surface of the pipeline is made in the form of a plasma cleaning device and the means for coating the inner surface of the pipeline is made in the form of a multicomponent magnetro an evaporator, the plasma cleaning device and the multi-component magnetron evaporator mounted on one device rotating around the axis of the pipeline with the possibility of directing the working ion beams in opposite directions and along trajectories mutually overlapping each other, and the device is equipped with a pumping system and a system for letting working gases into the zone, formed in the pipeline between the sealed disk metal partitions, and is configured to form oppositely directed forces arising as a result of the difference between atmospheric pressure and vacuum pressure acting on the outer disk metal partitions, mutually transmitted to the annular seals, which are preliminary radially deformed by means of the coupler drives of the disk metal partitions with pressure rings.
Создание вакуумно-плотного герметичного объема внутри рабочей трубы с помощью предлагаемого устройства герметизации создает основу для процесса формирования защитной пленки методами осаждения в вакууме. Для предотвращения процесса «наводораживания», т.е. процесса растворения атомов водорода в материале стенки трубы (атомы которого обычно сорбируются на поверхности), поверхность защищаемого металла должна быть «ювенильной», т.е. совершенно чистой от сорбата - слоя молекул водородосодержащих газов, являющихся источником наводораживания (см. Deulin E.A., "Exchange of gases at friction in vacuum", ECASIA ′97 / John Wiley & sons /, Nov. 1997, p.p.1170-1175 или E.A.Deulin. S.A.Goncharov, J.L.de Segovia and R.A.Nevshoupa, "Mechanically stimulated solution of adsorbed hydrogen and deuterium in steel" / Surface and Interface Analysis /. 30 (2000) p.p.635-637).Creating a vacuum-tight sealed volume inside the working pipe using the proposed sealing device creates the basis for the process of forming a protective film by deposition methods in vacuum. To prevent the process of "hydrogen disturbance", i.e. the process of dissolution of hydrogen atoms in the material of the pipe wall (whose atoms are usually sorbed on the surface), the surface of the protected metal must be “juvenile", i.e. completely free from sorbate - a layer of molecules of hydrogen-containing gases that are a source of hydrogenation (see Deulin EA, "Exchange of gases at friction in vacuum", ECASIA ′97 / John Wiley & sons /, Nov. 1997, pp1170-1175 or EADeulin SAGoncharov, JLde Segovia and RANevshoupa, "Mechanically stimulated solution of adsorbed hydrogen and deuterium in steel" / Surface and Interface Analysis /. 30 (2000) pp635-637).
Осаждение защитной пленки на ювенильную поверхность реализуется в электронике, как правило, на высоковакуумном или сверхвысоковакуумном технологическом оборудовании (см. Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники.: Под ред. проф. Л.К.Ковалева и Н.В.Василенко. - т.1, Сиб. Аэрокосм. Акад. 1995. - 265 с. или Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники; Под ред. проф. Л.К.Ковалева и Н.В.Василенко. - т.2, Сиб. Аэрокосм. Акад. 1996. - 416 с.), где очистка поверхности до ювенильного состояния решается вакуумными методами в связи с требованиями т.н. «Вакуумной Гигиены» (см. Розанов Л.Н. Вакуумная техника: Учебник для вузов. - Москва, Высшая школа, 1990, 320 с.). Для очистки «грязной» поверхности газопроводов или нефтепроводов может использоваться плазменный метод, который позволяет в считанные минуты очистить поверхность трубы, покрытую слоями окисных пленок, окалиной, следами механической обработки, даже в низком или в среднем вакууме.The deposition of a protective film on a juvenile surface is realized in electronics, as a rule, on high-vacuum or ultra-high-vacuum technological equipment (see Vacuum equipment of thin-film technology for the manufacture of electronic products: Edited by Prof. L.K. Kovaleva and N.V. Vasilenko. - Vol. 1, Sib. Aerospace Academ. 1995. - 265 pp. or Vacuum equipment for thin-film technology for the production of electronic equipment; Edited by Prof. L.K. Kovaleva and N.V. Vasilenko. - Vol. 2, Sib. Aerospace. Acad. 1996. - 416 p.), Where surface cleaning up to the vanilla state is solved by vacuum methods in connection with the requirements of the so-called “Vacuum Hygiene” (see Rozanov LN Vacuum technology: Textbook for universities. - Moscow, Higher School, 1990, 320 pp.). To clean the “dirty” surface of gas pipelines or oil pipelines, the plasma method can be used, which allows you to clean the pipe surface covered with layers of oxide films, scale, traces of machining, even in low or medium vacuum in a matter of minutes.
Устройство для вакуумно-плотной герметизации внутренних объемов магистральных трубопроводов построено таким образом, что две подвижные герметичные дисковые металлические перегородки герметично уплотняют «грязную» трубу и образуют рабочий вакуумный объем внутри трубы, что позволяет одновременно работающим в нем плазменному очистному устройству и многокомпонентному магнетронному испарителю, закрепленным на одном вращающемся вокруг оси трубопровода устройстве, работать так, что рабочие ионные пучки направлены в противоположных направлениях и по траекториям, взаимно перекрывающим друг друга. Как результат слой сорбата не успевает образоваться на очищенной поверхности до начала процесса нанесения защитной пленки внутренней поверхности обрабатываемого участка магистрального трубопровода.The device for vacuum-tight sealing of the internal volumes of the main pipelines is constructed in such a way that two movable sealed disk metal partitions hermetically seal the “dirty” pipe and form a working vacuum volume inside the pipe, which allows a plasma cleaning device and a multicomponent magnetron evaporator mounted simultaneously on one device rotating around the axis of the pipeline, work so that the working ion beams are directed in opposite directions systematic way and paths overlap each other. As a result, the sorbate layer does not have time to form on the cleaned surface before the process of applying a protective film to the inner surface of the treated section of the main pipeline.
На чертеже схематически представлено устройство для нанесения защитных покрытий на внутреннюю поверхность магистральных трубопроводов.The drawing schematically shows a device for applying protective coatings on the inner surface of trunk pipelines.
Устройство для нанесения защитных покрытий на внутреннюю поверхность магистральных трубопроводов содержит размещенные в трубопроводе 1 средство для очистки внутренней поверхности трубопровода 1 и средство для нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубопровода 1. Устройство снабжено, по крайней мере, двумя герметичными дисковыми металлическими перегородками 2 и 3, соединенными с трубопроводом 1 кольцевыми уплотнениями 4 и 5, нажимными кольцами 6 и 7, сжимающими кольцевые уплотнения, соответственно, 4 и 5 с деформацией последних в радиальном сечении, достаточной для перекрытия высоты микронеровностей уплотняемого профиля внутренней поверхности трубопровода 1, осевыми упорами 8 и 9 для нагружения нажимных колец, соответственно, 6 и 7, приводами стяжки (на чертеже) дисковых металлических перегородок 2 и 3, соответственно, с нажимными кольцами 6 и 7. Средство для очистки внутренней поверхности трубопровода 1 выполнено в виде плазменного очистного устройства 10, а средство для нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубопровода 1 выполнено в виде многокомпонентного магнетронного испарителя 11. Плазменное очистное устройство 10 и многокомпонентный магнетронный испаритель 11 закреплены на одном вращающемся вокруг оси трубопровода 1 устройстве 12, содержащем систему подвода питающего напряжения и охлаждающей жидкости и выполненном с возможностью направления рабочих ионных пучков, соответственно плазменного очистного устройства 10 и многокомпонентного магнетронного испарителя 11 в противоположных направлениях и по траекториям, взаимно перекрывающим друг друга. Кроме того, устройство 12 снабжено системой откачки 13 и системой напуска 14 рабочих газов в зону, образованную в трубопроводе 1 между герметичными дисковыми металлическими перегородками 2 и 3, и выполнено с возможностью формирования противоположно направленных сил, возникающих в результате разницы атмосферного давления и давления вакуума, действующей на наружные дисковые металлические перегородки 2 и 3, взаимно передаваемых кольцевым уплотнениям 4 и 5, которые посредством приводов стяжки дисковых металлических перегородок 2 и 3 с нажимными кольцами 6 и 7 предварительно радиально деформированы.A device for applying protective coatings to the inner surface of pipelines contains means for cleaning the inner surface of the pipeline 1 and means for applying a coating to the inner surface of the pipeline 1. The device is provided with at least two sealed disk metal partitions 2 and 3 connected with pipeline 1, O-rings 4 and 5, pressure rings 6 and 7, compressing O-rings, respectively 4 and 5, with deformation of the latter in rad cross section sufficient to cover the height of the microroughness of the sealing profile of the inner surface of the pipeline 1, axial stops 8 and 9 for loading the pressure rings, respectively, 6 and 7, the screed drives (in the drawing) of the disk metal partitions 2 and 3, respectively, with pressure rings 6 and 7. The means for cleaning the inner surface of the pipeline 1 is made in the form of a plasma cleaning device 10, and the means for coating the inner surface of the pipeline 1 is made in the form of a multicomponent an electron evaporator 11. The plasma cleaning device 10 and the multicomponent magnetron evaporator 11 are mounted on one device 12 that rotates around the axis of the pipe 1 and includes a supply system for supply voltage and coolant and configured to direct working ion beams, respectively, of a plasma cleaning device 10 and a multicomponent magnetron evaporator 11 in opposite directions and along trajectories mutually overlapping each other. In addition, the device 12 is equipped with a pumping system 13 and a system of inlet 14 of the working gases into the zone formed in the pipe 1 between the sealed disk metal partitions 2 and 3, and is configured to generate oppositely directed forces resulting from the difference in atmospheric pressure and vacuum pressure, acting on the outer disk metal partitions 2 and 3, mutually transmitted to the annular seals 4 and 5, which, by means of coupler drives of the disk metal partitions 2 and 3 with pressure sealing rings 6 and 7 are pre-deformed radially.
Две подвижные герметичные дисковые металлические перегородки 2 и 3 вместе с многокомпонентным магнетронным испарителем 11 и плазменным очистным устройством 10 располагают в трубопроводе 1 и таким образом образуют зону для формирования вакуумного объема внутри трубопровода 1. С помощью приводов стяжки дисковых металлических перегородок 2 и 3, соответственно, с нажимными кольцами 6 и 7 производят герметизацию зоны между герметичными дисковыми металлическими перегородками. С помощью системы откачки 13 формируют в зоне требуемую величину разряжения, что позволяет одновременно работающим плазменному очистному устройству 10 и многокомпонентному магнетронному испарителю 11 производить вакуумную плазменную очистку и нанесение защитного покрытия от проникновения в материал трубопровода 1 водорода, в первую очередь в зонах около сварных швов, а слой сорбата не успевает образоваться на очищенной поверхности трубопровода 1 до начала процесса нанесения защитного покрытия. После обработки внутренней поверхности трубопровода 1 и нанесения на ее поверхность защитного покрытия производят перемещение устройства для нанесения защитных покрытий на внутреннюю поверхность магистральных трубопроводов 1. В результате очищается новый участок внутренней поверхности трубопровода 1 и на него наносится защитное покрытие.Two movable sealed disk metal partitions 2 and 3 together with a multicomponent magnetron evaporator 11 and a plasma cleaning device 10 are located in the pipe 1 and thus form a zone for the formation of vacuum volume inside the pipe 1. Using the coupler drives, the disk metal partitions 2 and 3, respectively, with pressure rings 6 and 7, the zone is sealed between the sealed disk metal partitions. Using the pumping system 13, the required vacuum value is formed in the zone, which allows the simultaneously working plasma cleaning device 10 and the multicomponent magnetron evaporator 11 to carry out vacuum plasma cleaning and applying a protective coating against penetration of hydrogen into the pipe material 1, primarily in areas near the welds, and the sorbate layer does not have time to form on the cleaned surface of the pipeline 1 before the process of applying a protective coating. After processing the inner surface of the pipeline 1 and applying a protective coating to its surface, the device for applying protective coatings to the inner surface of the main pipelines is moved 1. As a result, a new section of the inner surface of the pipeline 1 is cleaned and a protective coating is applied to it.
Настоящее изобретение может быть использовано при создании надежных распределительных и транспортных систем газа и нефти, в частности систем, используемых ОАО «Газпром» и «Оргнефтегаз».The present invention can be used to create reliable distribution and transportation systems for gas and oil, in particular the systems used by Gazprom and Orgneftegaz.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007148508/06A RU2349829C1 (en) | 2007-12-27 | 2007-12-27 | Device to apply protective coatings on main line inner surface |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007148508/06A RU2349829C1 (en) | 2007-12-27 | 2007-12-27 | Device to apply protective coatings on main line inner surface |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2349829C1 true RU2349829C1 (en) | 2009-03-20 |
Family
ID=40545336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2007148508/06A RU2349829C1 (en) | 2007-12-27 | 2007-12-27 | Device to apply protective coatings on main line inner surface |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2349829C1 (en) |
-
2007
- 2007-12-27 RU RU2007148508/06A patent/RU2349829C1/en not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI600067B (en) | Innovative top-coat approach for advanced device on-wafer particle performance | |
| RU2161661C1 (en) | Method of applying wear-resistant coatings and improvement of durability of parts | |
| CN1798867A (en) | Deposition chamber surface enhancement and resulting deposition chambers | |
| KR20140015409A (en) | Method and apparatus for forming a cylindrical target assembly | |
| CN112680706B (en) | Magnetron sputtering device for coating inner wall of pipe with large length-diameter ratio | |
| US8337619B2 (en) | Polymeric coating of substrate processing system components for contamination control | |
| RU2349829C1 (en) | Device to apply protective coatings on main line inner surface | |
| US20150099069A1 (en) | Low-cost plasma reactor | |
| RU2495154C2 (en) | Application method onto metal part of complex coating for protection of part against hydrogen corrosion, which consists of many microlayers | |
| RU2362938C2 (en) | Device for vacuum-tight sealing interior of main pipelines | |
| US20150197847A1 (en) | Endblock for rotatable target with electrical connection between collector and rotor at pressure less than atmospheric pressure | |
| RU2362084C1 (en) | Method of protecting surface of metallic pipes of oil and gas pipelines from hydrogen saturation | |
| US20150179418A1 (en) | Miniature physical vapour deposition station | |
| US6136167A (en) | Portable apparatus for thin deposition | |
| KR101613154B1 (en) | Pipe line coating apparatus | |
| CN201672085U (en) | Ball valve | |
| CN112553598B (en) | Method for enhancing repair of anodic oxidation coating of etching equipment component by using ALD (atomic layer deposition) technology | |
| CN113463062A (en) | Deposition method of diamond-like carbon-based coating on inner wall of bent pipe | |
| CN109659213A (en) | Reaction chamber and semiconductor processing equipment | |
| JPH08193659A (en) | Super high vacuum gasket and vacuum container using it | |
| JP5880474B2 (en) | Vacuum deposition system | |
| RU2490368C1 (en) | Device for application of multi-layered coatings onto products | |
| US7850819B2 (en) | Plasma reactor with high productivity | |
| CN101831606A (en) | Ball valve surface treatment method | |
| CN101148763A (en) | Construction method for weldable wear-proof thick coating |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20131228 |