RU2343511C2 - Optical system with temperature compensation of focusing - Google Patents
Optical system with temperature compensation of focusing Download PDFInfo
- Publication number
- RU2343511C2 RU2343511C2 RU2005129660/28A RU2005129660A RU2343511C2 RU 2343511 C2 RU2343511 C2 RU 2343511C2 RU 2005129660/28 A RU2005129660/28 A RU 2005129660/28A RU 2005129660 A RU2005129660 A RU 2005129660A RU 2343511 C2 RU2343511 C2 RU 2343511C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- housing
- frame
- optical system
- compensation element
- compensation
- Prior art date
Links
Landscapes
- Lens Barrels (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано в устройствах приема и фокусировки оптического излучения в условиях больших изменений температуры окружающей среды.The invention relates to optical instrumentation and can be used in devices for receiving and focusing optical radiation in conditions of large changes in ambient temperature.
Известна оптическая система (патент Японии № 271957, М. кл. G02B 7/10, опубл. 25.09.1995 г.) с подвижными линзами, содержащая приводы для перемещения линз, детекторы для определения положения линз, память для хранения данных о положениях линз и систему управления, которая на основе результатов детектирования положения линз, данных памяти и результатов измерения температуры сохраняет наилучшую фокусировку системы.A known optical system (Japan patent No. 271957, M. class. G02B 7/10, publ. 09/25/1995) with movable lenses, containing drives for moving lenses, detectors for determining the position of the lenses, a memory for storing data on the positions of the lenses and a control system that, based on the results of detecting the position of the lenses, memory data and temperature measurement results, maintains the best focusing of the system.
Недостатком этого устройства является то, что точность отработки алгоритма системы управления, т.е. выставление положения линз, обеспечивающих наилучшую фокусировку оптической системы, зависит от точности измерений положения линз и температуры, а также заложенных в алгоритм температурных зависимостей свойств системы. Эта точность может оказаться недостаточной для прецизионных систем, работающих в широком диапазоне изменений температуры окружающей среды. К тому же устройство сложно в реализации.The disadvantage of this device is that the accuracy of testing the algorithm of the control system, i.e. setting the position of the lenses providing the best focusing of the optical system depends on the accuracy of measurements of the position of the lenses and temperature, as well as the temperature dependences of the system properties embedded in the algorithm. This accuracy may not be sufficient for precision systems operating over a wide range of ambient temperature changes. In addition, the device is difficult to implement.
Наиболее близкой к предлагаемому изобретению по технической сущности и достигаемому эффекту является оптическая система (патент США № 6631040, М. кл. G02В 7/02, опубл. 07.10.2003 г.), содержащая, по крайней мере одну линзу с оправой, установленную с возможностью перемещения вдоль оптической оси относительно корпуса оптической системы, и узел температурной компенсации, включающий компенсационный элемент, изготовленный из материала с существенно отличающимся от материала корпуса коэффициентом линейного расширения и установленный параллельно оптической оси, который одним концом жестко закреплен на оправе, а другим концом упруго сопряжен с корпусом.Closest to the proposed invention in technical essence and the achieved effect is an optical system (US patent No. 6631040, M. CL G02B 7/02, publ. 07.10.2003), containing at least one lens with a frame mounted with the ability to move along the optical axis relative to the body of the optical system, and a temperature compensation unit including a compensation element made of a material with a coefficient of linear expansion significantly different from the material of the case and installed parallel to the optical Coy axis, one end of which is rigidly fixed to the frame and the other end resiliently coupled to the housing.
Вследствие изменения температуры окружающей среды из-за разности величин линейного расширения материалов корпуса и компенсационного элемента происходит перемещение линзы с оправой относительно корпуса. Материал компенсационного элемента выбирается таким образом, чтобы величина перемещения линзы компенсировала влияние температуры окружающей среды на величину фокусного расстояния оптической системы. Этим достигается независимость качества фокусировки оптического излучения от температуры окружающей среды.Due to changes in the ambient temperature due to the difference in the linear expansion of the materials of the housing and the compensation element, the lens with the frame is moved relative to the housing. The material of the compensation element is selected so that the magnitude of the displacement of the lens compensates for the effect of the ambient temperature on the focal length of the optical system. This ensures that the focusing quality of optical radiation is independent of the ambient temperature.
Однако указанное устройство имеет существенный недостаток. Оно применимо только для тех случаев, когда перемещение линзы с оправой, необходимое для компенсации изменения фокусного расстояния оптической системы вследствие линейного расширения материалов корпуса и других составляющих оптической системы, а также изменений радиусов кривизны и показателя преломления линзы в оправе при изменении температуры окружающей среды, имеет незначительные величины. В случаях более сильной расфокусировки оптической системы при изменении температуры, когда необходимы большие значения перемещения линзы с оправой для компенсации расфокусировки, не удается подобрать соответствующий материал для изготовления компенсационного элемента.However, this device has a significant drawback. It is applicable only for those cases when the movement of a lens with a frame, necessary to compensate for changes in the focal length of the optical system due to the linear expansion of the body materials and other components of the optical system, as well as changes in the radii of curvature and the refractive index of the lens in the frame when the ambient temperature changes, has insignificant quantities. In cases of stronger defocusing of the optical system when the temperature changes, when large values of the displacement of the lens with a frame are required to compensate for defocusing, it is not possible to select the appropriate material for the manufacture of the compensation element.
Задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является увеличение значения возможного перемещения линзы с оправой с целью обеспечения температурной компенсации при более сильной расфокусировке оптической системы.The problem to which the invention is directed, is to increase the value of the possible movement of the lens with a frame in order to provide temperature compensation with a stronger defocusing of the optical system.
Поставленная задача решается тем, что в оптической системе с температурной компенсацией фокусировки, содержащей по крайней мере одну линзу с оправой, установленную с возможностью перемещения вдоль оптической оси относительно корпуса, и упруго закрепленный между оправой и корпусом узел температурной компенсации, содержащий компенсационный элемент, изготовленный из материала с отличающимся от материала корпуса коэффициентом линейного расширения и установленный параллельно оптической оси, узел температурной компенсации выполнен в виде шарнирного механизма, содержащего коромысло, упругий элемент и прижим, при этом компенсационный элемент жестко соединен одним концом с корпусом, а другим концом шарнирно соединен с первым плечом коромысла, которое установлено с возможностью качения относительно первого кулачка, выполненного на корпусе, второе плечо коромысла состыковано с помощью прижима со вторым кулачком, выполненным на оправе и расположенным диаметрально противоположно первому, и соединено через упругий элемент с корпусом.The problem is solved in that in an optical system with temperature compensation of focusing, comprising at least one lens with a frame mounted with the possibility of movement along the optical axis relative to the body, and a temperature compensation unit elastically fixed between the frame and the body, comprising a compensation element made of material with a linear expansion coefficient different from the housing material and installed parallel to the optical axis, the temperature compensation unit is made in de hinge mechanism containing a rocker, an elastic element and a clamp, while the compensation element is rigidly connected at one end to the housing, and the other end is pivotally connected to the first arm of the rocker arm, which is installed with the possibility of rolling relative to the first cam made on the housing, the second arm of the rocker is joined by means of a clamp with a second cam, made on the frame and located diametrically opposite to the first, and connected through an elastic element to the housing.
А также тем, что положение кулачков определяется из соотношенияAnd also the fact that the position of the cams is determined from the ratio
ΔX=(ΔL1-ΔL2)·у2/у1,ΔX = (ΔL 1 -ΔL 2 ) y 2 / y 1 ,
где ΔХ - величина перемещения оправы относительно корпуса при изменении температуры;where ΔX is the amount of movement of the frame relative to the body when the temperature changes;
ΔL1 и ΔL2 - соответственно величины изменения длины компенсационного элемента и части корпуса от точки крепления к нему компенсационного элемента до вершины первого кулачка при изменении температуры;ΔL 1 and ΔL 2 , respectively, the magnitude of the change in the length of the compensation element and part of the housing from the point of attachment to it of the compensation element to the top of the first cam when the temperature changes;
у1 и у2 - соответственно проекции минимальных отрезков, соединяющих ось шарнирного соединения с вершинами первого и второго кулачков на плоскость, ортогональную оптической оси. 1 and 2 - respectively, the projection of the minimum segments connecting the axis of the articulation with the vertices of the first and second cams on a plane orthogonal to the optical axis.
А также тем, что компенсационный элемент изготовлен из материала с меньшим коэффициентом линейного расширения, чем у материала корпуса.And also because the compensation element is made of a material with a lower coefficient of linear expansion than the case material.
А также тем, что компенсационный элемент изготовлен из материала с большим коэффициентом линейного расширения, чем у материала корпуса.And also the fact that the compensation element is made of a material with a greater coefficient of linear expansion than that of the housing material.
На чертеже представлена оптическая система с температурной компенсацией фокусировки, где линза 1 в оправе 2 установлена с возможностью перемещения вдоль оптической оси 0-01 относительно корпуса 3. Параллельно оптической оси 0-01 вдоль корпуса 3 установлен компенсационный элемент 4, который одним концом жестко соединен с корпусом 3, а вторым концом шарнирно соединен с первым плечом коромысла 5, которое установлено с возможностью качения относительно кулачка 6, выполненного на корпусе 3. Второе плечо коромысла с помощью прижима 7 состыковано с кулачком 8, выполненным на оправе 2 и расположенным диаметрально противоположно кулачку 6. Упругий элемент 9 соединяет корпус 3 с вторым плечом коромысла 5. Положение кулачков 6 и 8 определяется из соотношенияThe drawing shows an optical system with temperature compensation of the focus, where the lens 1 in the frame 2 is mounted with the possibility of movement along the optical axis 0-0 1 relative to the housing 3. Parallel to the optical axis 0-0 1 along the housing 3 is installed a compensation element 4, which is rigidly fixed at one end connected to the housing 3, and the second end is pivotally connected to the first arm of the rocker arm 5, which is mounted with the possibility of rolling relative to the cam 6, made on the housing 3. The second arm of the rocker arm using the clamp 7 is connected to Lacko 8 formed on the frame 2 and disposed diametrically opposite cam 6. The elastic member 9 connects the housing 3 with the second arm of the rocker 5. The position of the cams 6 and 8 is determined by the relation
ΔX=(ΔL1-ΔL2)·у2/у1,ΔX = (ΔL 1 -ΔL 2 ) y 2 / y 1 ,
где ΔX - величина перемещения оправы 2 относительно корпуса 3 при изменении температуры;where ΔX is the amount of movement of the frame 2 relative to the housing 3 with a change in temperature;
ΔL1 и ΔL2 - соответственно величины изменения длины компенсационного элемента 4 и части корпуса 3 от точки крепления к нему компенсационного элемента 4 до вершины первого кулачка 6 при изменении температуры;ΔL 1 and ΔL 2 , respectively, the magnitude of the change in the length of the compensation element 4 and part of the housing 3 from the attachment point of the compensation element 4 to the top of the first cam 6 when the temperature changes;
у1 и у2 - соответственно проекции минимальных отрезков, соединяющих ось шарнирного соединения с вершинами первого 6 и второго 8 кулачков на плоскость, ортогональную оптической оси. 1 and 2 - respectively, the projection of the minimum segments connecting the axis of the articulation with the vertices of the first 6 and second 8 cams on a plane orthogonal to the optical axis.
Компенсационный элемент 4 может быть изготовлен из материала с меньшим коэффициентом линейного расширения, чем у материала корпуса 3, или из материала с большим коэффициентом линейного расширения, чем у материала корпуса 3.The compensation element 4 can be made of a material with a lower coefficient of linear expansion than the material of the housing 3, or of a material with a higher coefficient of linear expansion than the material of the housing 3.
Устройство работает следующим образом.The device operates as follows.
При изменении температуры окружающего воздуха изменяются линейные размеры, радиусы кривизны оптических поверхностей и показатель преломления материала линзы 1. При этом также происходит изменение длины корпуса 3 вдоль оптической оси 0-01. В связи с этим изменяется воздушный промежуток между линзой 1 и фокальной плоскостью F, на которую фокусируется оптическое излучение, а при наличии в оптической системе кроме линзы 1 еще нескольких линз (на чертеже не показаны), изменяются также воздушные промежутки между линзами. Вследствие перечисленных причин происходит расфокусировка системы.When the ambient temperature changes, the linear dimensions, the radii of curvature of the optical surfaces and the refractive index of the lens material 1 change. In this case, the length of the housing 3 along the optical axis 0-0 1 also changes. In this regard, the air gap between the lens 1 and the focal plane F, on which the optical radiation is focused, changes, and if there are several lenses in the optical system besides lens 1 (not shown), the air gaps between the lenses also change. Due to these reasons, the system is defocusing.
При изменении температуры также изменяется длина компенсационного элемента 4 и под действием молекулярных сил, вследствие разности коэффициентов линейного расширения материалов корпуса 3 и компенсационного элемента 4 происходит изменение взаимного положения кулачка 6 и первого плеча коромысла 5 таким образом, что точка их соприкосновения перемещается параллельно оптической оси на расстояниеWhen the temperature changes, the length of the compensation element 4 also changes under the influence of molecular forces, due to the difference in the linear expansion coefficients of the materials of the housing 3 and the compensation element 4, the relative position of the cam 6 and the first arm of the rocker arm 5 changes so that the contact point moves parallel to the optical axis by distance
ΔX1=(ΔL1-ΔL2),ΔX 1 = (ΔL 1 -ΔL 2 ),
где ΔL1 и ΔL2 - соответственно величины изменения длины компенсационного элемента 4 и части корпуса 3 от точки крепления к нему компенсационного элемента 3 до вершины кулачка 6 при изменении температуры.where ΔL 1 and ΔL 2 are, respectively, the change in the length of the compensation element 4 and part of the housing 3 from the attachment point of the compensation element 3 to the top of the cam 6 when the temperature changes.
При увеличении температуры коромысло 5 поворачивается относительно оси шарнирного соединения или по часовой стрелке (если коэффициент линейного расширения материала компенсационного элемента 4 меньше аналогичного коэффициента материала корпуса 3), или против часовой стрелки (если коэффициент линейного расширения материала компенсационного элемента 4 больше аналогичного коэффициента материала корпуса 3). Угловое отклонение коромысла 5 тем больше, чем больше разница коэффициентов линейного расширения материалов корпуса 3 и компенсационного элемента 4.With increasing temperature, the rocker arm 5 rotates relative to the axis of the swivel joint either clockwise (if the coefficient of linear expansion of the material of the compensation element 4 is less than the same coefficient of the material of the housing 3) or counterclockwise (if the coefficient of linear expansion of the material of the compensation element 4 is greater than the same coefficient of the material of the body 3 ) The angular deviation of the rocker arm 5 is the greater, the greater the difference between the linear expansion coefficients of the materials of the housing 3 and the compensation element 4.
При повороте коромысла 5 оно перемещает линзу 1 с оправой 2 вдоль оптической оси 0-01. Упругий прижим 7 и упругий элемент 9 (выполненный, например, в виде пружины) обеспечивают постоянный упругий контакт между кулачком 8 на оправе 2 и вторым плечом коромысла 5.When the beam 5 is rotated, it moves the lens 1 with the frame 2 along the optical axis 0-0 1 . The elastic clamp 7 and the elastic element 9 (made, for example, in the form of a spring) provide constant elastic contact between the cam 8 on the frame 2 and the second arm of the rocker 5.
Таким образом значение перемещения ΔХ линзы 1 в оправе 2 относительно корпуса 3 так же, как в прототипе, зависит от разности изменения длин компенсационного элемента 4 и соответствующей части корпуса 3. Но в заявляемой оптической системе оно зависит и от того, насколько кулачок 8 по сравнению с кулачком 6 установлен дальше от оси шарнирного соединения.Thus, the value of the displacement ΔX of the lens 1 in the frame 2 relative to the housing 3, as in the prototype, depends on the difference in the lengths of the compensation element 4 and the corresponding part of the housing 3. But in the inventive optical system, it also depends on how much the cam 8 is compared with cam 6 mounted further from the axis of the swivel.
Для варианта исполнения оптической системы, представленной на чертеже, в котором вершины кулачков 6 и 8 и ось шарнирного соединения находятся в одной ортогональной оптической оси плоскости, справедливо выражениеFor the embodiment of the optical system shown in the drawing, in which the tops of the cams 6 and 8 and the axis of the swivel are in the same orthogonal optical axis of the plane, the expression
ΔX=(ΔL1-ΔL2)·у2/у1=·ΔХ1·у2/у1,ΔX = (ΔL 1 -ΔL 2 ) y 2 / y 1 = ΔX 1 y 2 / y 1 ,
где у1 и у2 - соответственно проекции минимальных отрезков, соединяющих ось шарнирного соединения с вершинами кулачка 6 и кулачка 8 на плоскость, ортогональную оптической оси.where 1 and 2 are, respectively, the projections of the minimum segments connecting the axis of the hinge to the vertices of the cam 6 and cam 8 on a plane orthogonal to the optical axis.
Выбирая положение кулачков 6 и 8, можно значительно расширить возможность перемещения линзы 1 в оправе 2 относительно корпуса 3. При этом увеличение диапазона перемещения линзы 1 равно отношению у2/у1.By choosing the position of the cams 6 and 8, it is possible to significantly expand the possibility of moving the lens 1 in the frame 2 relative to the housing 3. Moreover, the increase in the range of movement of the lens 1 is equal to the ratio of 2 / y 1 .
Например, для оптической системы, работающей в ИК-области спектра, при изменении температуры в диапазоне от Tmin=-50°С до Тmax=50°С необходима подвижка последней линзы с оправой на величину 1,69 мм (определяется расчетным путем в каждом конкретном случае). Допустим, что в оптической системе-прототипе и в заявляемой оптической системе корпус и компенсационный элемент соответственно выполнены из алюминиевого сплава Д16 и инвара с коэффициентами линейного расширения α1=22,3·10-6 и α2=0,9·10-6 (град-1), а длина компенсационного элемента 4 равна L=100 мм. В этом случае в оптической системе-прототипе при изменении температуры в указанных пределах значение перемещения линзы 1 в оправе 2 не превышает ΔX1=(α1-α2)·(Тmax-Tmin)·L=(22,3·10-6-0,9·10-6)·100·100 мм=0,214 мм, что значительно меньше необходимого и не обеспечивает компенсацию температурной расфокусировки.For example, for an optical system operating in the infrared region of the spectrum, when the temperature changes in the range from T min = -50 ° С to Т max = 50 ° С, the last lens with a frame must be moved by 1.69 mm (determined by calculation in each case). Suppose that in the optical prototype system and in the claimed optical system, the housing and the compensation element are respectively made of aluminum alloy D16 and Invar with linear expansion coefficients α 1 = 22.3 · 10 -6 and α 2 = 0.9 · 10 -6 (deg -1 ), and the length of the compensation element 4 is L = 100 mm In this case, in the optical system of the prototype, when the temperature changes within the specified limits, the value of the displacement of the lens 1 in the frame 2 does not exceed ΔX 1 = (α 1 -α 2 ) · (T max -T min ) · L = (22.3 · 10 -6 -0.9 · 10 -6 ) · 100 · 100 mm = 0.214 mm, which is much less than necessary and does not provide compensation for temperature defocusing.
В заявляемой же оптической системе при расположении кулачка 6 на корпусе 3 и кулачка 8 на оправе 2 с соблюдением условия у2/у1=1,69/0,214≅7,90 (например, у1=5,0 мм и у2=39,5 мм) достигается перемещение линзы 1 в оправе 2 параллельно оптической оси 0-01 относительно корпуса 3 до значения ΔХ=ΔХ1·у2/у1=0,214·7,9=1,69 мм, что обеспечивает компенсацию расфокусировки оптической системы при изменении температуры в диапазоне от -50 до +50°С.In the claimed optical system, when the cam 6 is located on the housing 3 and the cam 8 on the frame 2, subject to the conditions for 2 / y 1 = 1.69 / 0.214≅7.90 (for example, 1 = 5.0 mm and 2 = 39.5 mm), the movement of the lens 1 in the mount 2 is achieved parallel to the optical axis 0-0 1 relative to the housing 3 to the value ΔX = ΔX 1 · y 2 / y 1 = 0.214 · 7.9 = 1.69 mm, which provides defocus compensation optical system when the temperature changes in the range from -50 to + 50 ° C.
Claims (4)
ΔX=(ΔL1-ΔL2)·у2/у1,
где ΔХ - величина перемещения оправы относительно корпуса при изменении температуры;
ΔL1 и ΔL2 - соответственно величины изменения длины компенсационного элемента и части корпуса от точки крепления к нему компенсационного элемента до вершины первого кулачка при изменении температуры;
у1 и у2 - соответственно проекции минимальных отрезков, соединяющих ось шарнирного соединения с вершинами первого и второго кулачков на плоскость, ортогональную оптической оси.2. The optical system according to claim 1, characterized in that the position of the cams is determined from the ratio
ΔX = (ΔL 1 -ΔL 2 ) y 2 / y 1 ,
where ΔX is the amount of movement of the frame relative to the body when the temperature changes;
ΔL 1 and ΔL 2 , respectively, the magnitude of the change in the length of the compensation element and part of the housing from the point of attachment to it of the compensation element to the top of the first cam when the temperature changes;
1 and 2 - respectively, the projection of the minimum segments connecting the axis of the articulation with the vertices of the first and second cams on a plane orthogonal to the optical axis.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005129660/28A RU2343511C2 (en) | 2005-09-22 | 2005-09-22 | Optical system with temperature compensation of focusing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005129660/28A RU2343511C2 (en) | 2005-09-22 | 2005-09-22 | Optical system with temperature compensation of focusing |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2005129660A RU2005129660A (en) | 2007-03-27 |
| RU2343511C2 true RU2343511C2 (en) | 2009-01-10 |
Family
ID=37998976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005129660/28A RU2343511C2 (en) | 2005-09-22 | 2005-09-22 | Optical system with temperature compensation of focusing |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2343511C2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2636257C2 (en) * | 2016-01-25 | 2017-11-21 | Публичное акционерное общество "Ростовский оптико-механический завод" | Infrared lens with temperature compensation of focusing |
| RU2698522C1 (en) * | 2018-06-04 | 2019-08-28 | Публичное акционерное общество "Ростовский оптико-механический завод" | Infrared lens with temperature compensation of focusing |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115308918B (en) * | 2022-09-29 | 2023-01-03 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | Machine body device of large-caliber coaxial collimator |
-
2005
- 2005-09-22 RU RU2005129660/28A patent/RU2343511C2/en active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2636257C2 (en) * | 2016-01-25 | 2017-11-21 | Публичное акционерное общество "Ростовский оптико-механический завод" | Infrared lens with temperature compensation of focusing |
| RU2698522C1 (en) * | 2018-06-04 | 2019-08-28 | Публичное акционерное общество "Ростовский оптико-механический завод" | Infrared lens with temperature compensation of focusing |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2005129660A (en) | 2007-03-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8245317B2 (en) | Atomic force microscope | |
| US20150055078A1 (en) | Variable beam expander | |
| US9329058B2 (en) | Encoder that detects displacement of an object, and lens apparatus and camera having the same | |
| RU2343511C2 (en) | Optical system with temperature compensation of focusing | |
| US20210286146A1 (en) | Optical component mount | |
| RU52203U1 (en) | OPTICAL SYSTEM WITH TEMPERATURE FOCUS COMPENSATION | |
| KR101708198B1 (en) | Projection system with metrology | |
| CN108200325B (en) | Sensor adjusting device | |
| Rommeveaux et al. | The long trace profilers | |
| RU2698522C1 (en) | Infrared lens with temperature compensation of focusing | |
| CN112099121B (en) | Scanning interference photoetching system based on 4f system | |
| Parks | Rapid centering of optics | |
| JP4431381B2 (en) | Microscope tube | |
| US20050094020A1 (en) | Image sensing device, image sensing apparatus, a method of manufacturing an image sensing device, and a method of adjusting an image sensing device | |
| TWI483054B (en) | Manufacturable micropositioning system | |
| US2403737A (en) | Mount for optical elements | |
| JP4201693B2 (en) | Optical interference unit, optical interference objective lens device and measuring device | |
| US20220311918A1 (en) | Imaging optical system | |
| KR102634125B1 (en) | Photo-induced force microcscope having optics module causing total reflection | |
| JPS63210605A (en) | Apparatus for measuring configuration of optical surface | |
| KR101035305B1 (en) | The large aperture mirror system having the automatic focus adjusting athermalization mechanism that is less sensitive to the temperature change using standard laser | |
| US8045250B1 (en) | Optical scanning using rotating parallel plate | |
| US7248405B2 (en) | Re-focusing mechanism for imaging system | |
| KR101076022B1 (en) | The large aperture mirror system having the automatic alignment mechanism that is less sensitive to the temperature change using laser collimator | |
| WO2007137528A3 (en) | Device for attachment of radiating source to microscope objective |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PC43 | Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions |
Effective date: 20111031 |