RU2335691C2 - Method of filling vessels of smaller volumes with high-purity high-pressure nitrogen with monitoring of humidity and device for its implementation - Google Patents

Method of filling vessels of smaller volumes with high-purity high-pressure nitrogen with monitoring of humidity and device for its implementation Download PDF

Info

Publication number
RU2335691C2
RU2335691C2 RU2006132747/06A RU2006132747A RU2335691C2 RU 2335691 C2 RU2335691 C2 RU 2335691C2 RU 2006132747/06 A RU2006132747/06 A RU 2006132747/06A RU 2006132747 A RU2006132747 A RU 2006132747A RU 2335691 C2 RU2335691 C2 RU 2335691C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pressure
nitrogen
dried
filling
vessel
Prior art date
Application number
RU2006132747/06A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2006132747A (en
Inventor
вцев Дмитрий Александрович Кудр (RU)
Дмитрий Александрович Кудрявцев
Сергей Иванович Голов (RU)
Сергей Иванович Голов
Павел Дмитриевич Макарычев (RU)
Павел Дмитриевич Макарычев
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Производственное объединение "Старт" ФГУП "ПО "Старт"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Производственное объединение "Старт" ФГУП "ПО "Старт" filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Производственное объединение "Старт" ФГУП "ПО "Старт"
Priority to RU2006132747/06A priority Critical patent/RU2335691C2/en
Publication of RU2006132747A publication Critical patent/RU2006132747A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2335691C2 publication Critical patent/RU2335691C2/en

Links

Abstract

FIELD: technological processes; chemistry.
SUBSTANCE: in suggested method of vessels filling initial material is dried down to required norm of humidity by dew point at deep drying installation, gas pipeline of cryocompressor is blown with dried nitrogen until required norm of humidity is obtained, internal cavity of filled vessel prior to filling is subjected to multiple pressure "pulling-drop" (so called "rinsing") with system of electromagnet valves, pressure of dried gas is increased in cryocompressor, and required pressure is obtained in filled vessel of deeply dried gaseous nitrogen with guaranteed norm of humidity by dew point. Device for implementation of method for filling of small volume vessels with high-purity high-pressure nitrogen contains pressurised vessel, installation of deep drying, cryocompressor of flow type and protected filling device. Cryocompressor consists of designed airtight volume for required pressure at single defrosting, Dewar bottle with liquid nitrogen for condensation of dried nitrogen, systems of electromagnet valves intended for drying of internal cavity of filled vessel, high-precision manometers, stop valves, nitrogen flow meter and safety valves.
EFFECT: reduction of works cost and power inputs.
2 cl, 1 dwg

Description

Изобретение имеет общепромышленное значение и найдет применение, например, при зарядке баллонов особо чистым сухим азотом с избыточным давлением до 100 МПа (1000 кгс/см2) и нормой влажности по точке росы не выше минус 110°С. Качество заправляемого газа обеспечивается 100% аналитическим контролем на всех этапах.The invention is of general industrial importance and will find application, for example, when charging cylinders with especially pure dry nitrogen with an overpressure of up to 100 MPa (1000 kgf / cm 2 ) and a humidity norm at the dew point of not higher than minus 110 ° C. The quality of the refueling gas is ensured by 100% analytical control at all stages.

Ближайшим аналогом предлагаемого изобретения является патент ЕР 0823584, F17C 5/06, 1998.02.11 «Способ и оборудование для заправки газом», включающий заправку азота в сосуд высокого давления (ВД) посредством соединения конца подающего газ трубопровода с заправочным трубопроводом в сквозном очищенном отсеке.The closest analogue of the invention is the patent EP 0823584, F17C 5/06, 1998.02.11 "Method and equipment for filling gas", including filling nitrogen in a pressure vessel (HP) by connecting the end of the gas supply pipe to the filling pipe in a cleaned through compartment.

В состав установки для заправки азотом ВД входят:The composition of the installation for refueling with nitrogen VD includes:

- первый чистый отсек, где хранится и подсоединяется к заправляемым баллонам заправочный трубопровод и устройство его очистки консервирующим особо чистым газом [1].- the first clean compartment, where the filling pipeline and the device for its cleaning with preserving highly pure gas are stored and connected to refueling cylinders [1].

- второй чистый отсек, имеющий сквозное открывающееся и закрывающееся отверстие для подсоединения заправочного трубопровода к подающему трубопроводу, а также для его очищения консервирующим газом.- a second clean compartment having a through opening and closing hole for connecting the filling pipe to the supply pipe, as well as for cleaning it with preservative gas.

Недостатками данного способа и устройства являются:The disadvantages of this method and device are:

- сложность конструкции и большие материальные затраты,- the complexity of the design and high material costs,

- сложная и длинная система трубопроводов,- a complex and long piping system,

- отсутствие контроля влажности заправляемого газа.- lack of control of the humidity of the refueling gas.

Целью изобретения является: уменьшение энергозатрат при заправке сосудов ВД чистым сухим азотом, снижение стоимости работ и получение гарантируемой нормы влажности и давления газа в заправленном сосуде.The aim of the invention is: to reduce energy consumption when refueling VD vessels with clean dry nitrogen, reducing the cost of work and obtaining a guaranteed rate of humidity and gas pressure in a refilled vessel.

Указанная цель достигается осушкой исходного сырья (азот газообразный ГОСТ 9293-74) до нормы влажности не выше минус 110°С по точке росы и повышение давления чистого глубоко осушенного газа до 100 МПа (1000 кгс/см2) с помощью криокомпрессора проточного типа, принцип работы которого основан на использовании физических свойств азота [3, 4].This goal is achieved by drying the feedstock (gaseous nitrogen GOST 9293-74) to a moisture norm of not higher than minus 110 ° C at the dew point and increasing the pressure of pure deeply dried gas to 100 MPa (1000 kgf / cm 2 ) using a flow-type cryocompressor, principle whose work is based on the use of the physical properties of nitrogen [3, 4].

Предлагаемый метод наполнения сосудов особо чистым азотом высокого давления (ВД), включает заправку особо чистого газообразного азота в сосуд ВД и отличается тем, что исходный материал, газообразный азот, осушают до требуемой нормы влажности по точке росы на установке глубокой осушки. Далее производят продувку газопроводного тракта установки для повышения давления осушенным азотом до достижения требуемой нормы влажности. Внутреннюю полость заправляемого сосуда перед наполнением подвергают многократному "набору-сбросу" давления ("полосканию") системой электромагнитных клапанов установки для повышения давления до достижения требуемой нормы влажности и повышают давление осушенного газа криокомпрессором до получения необходимого давления глубоко осушенного газообразного азота в заправляемом сосуде с гарантируемой нормой влажности по точке росы.The proposed method of filling vessels with high-purity high-pressure nitrogen (HP), includes filling high-purity nitrogen gas into a high-pressure gas vessel and differs in that the source material, nitrogen gas, is dried to the required moisture norm at the dew point in a deep-drying unit. Then, the gas pipeline of the installation is purged to increase the pressure with dried nitrogen until the required humidity level is reached. Before filling, the internal cavity of the refueling vessel is subjected to repeated “set-release” of pressure (“rinsing”) by the system of electromagnetic valves of the installation to increase the pressure until the required humidity level is reached, and the pressure of the dried gas is increased by the cryocompressor until the required pressure of deeply dried nitrogen gas in the refueling vessel is guaranteed humidity standard for dew point.

Устройство для осуществления способа наполнения сосудов особо чистым азотом ВД отличается тем, что оно включает в себя установку глубокой осушки азота, установку для повышения давления глубоко осушенного азота и защищенное заправочное устройство. Для получения особо чистого сухого азота ВД с гарантируемой нормой влажности и давления используется установка для повышения давления, состоящая из криокомпрессора проточного типа, с рассчитанным герметичным объемом на требуемое давление при однократном отеплении, сосуда Дьюара с жидким азотом для конденсации осушенного азота, системы электромагнитных клапанов, предназначенных для осушки внутренней полости заправляемого сосуда, высокоточных манометров, запорной арматуры, гигрометра, регулятора давления, расходомера азота и предохранительных клапанов. Заправка сосуда ВД особо чистым газообразным азотом осуществляется в защищенном заправочном устройстве, включающем в себя заправочный штуцер и устройство для охлаждения сосуда ВД с трубопроводом.A device for implementing a method for filling vessels with especially pure VD nitrogen is characterized in that it includes a deep nitrogen dehydration unit, a device for increasing the pressure of deeply dried nitrogen, and a protected refueling device. To obtain very pure dry VD dry nitrogen with a guaranteed rate of humidity and pressure, a pressure boosting system is used, consisting of a flow-type cryocompressor with a calculated tight volume for the required pressure at a single heating, a Dewar vessel with liquid nitrogen to condense dried nitrogen, a system of electromagnetic valves, designed for drying the internal cavity of the refueling vessel, high-precision pressure gauges, shut-off valves, hygrometer, pressure regulator, nitrogen flow meter and safety valve valves. The VD vessel is charged with especially pure nitrogen gas in a protected refueling device, which includes a filling nozzle and a device for cooling the VD vessel with a pipeline.

На чертеже изображена схема устройства для реализации предлагаемого способа заправки. Устройство состоит из источников исходного сырья 1 и 2 (азот газообразный ГОСТ 9293-74 в стандартных баллонах емкостью 40 л с давлением газа 15 МПа (150 кгс/см2)), запорных вентилей 3 и 4, необходимых для замены использованных баллонов без прекращения процесса осушки, редуктора ВД 7 с манометрами 5 и 6, установки глубокой осушки 8, установки для повышения давления глубоко осушенного азота 28 и защищенного заправочного устройства 46.The drawing shows a diagram of a device for implementing the proposed method of refueling. The device consists of sources of feedstock 1 and 2 (gaseous nitrogen GOST 9293-74 in standard cylinders with a capacity of 40 l with a gas pressure of 15 MPa (150 kgf / cm 2 )), shut-off valves 3 and 4, necessary to replace used cylinders without stopping the process dehydration, VD 7 gearbox with pressure gauges 5 and 6, deep dehydration units 8, installations for increasing the pressure of deeply dried nitrogen 28 and a protected refueling device 46.

Основными элементами установки глубокой осушки 8 являются: адсорбционные аппараты 14 и 15 полочного типа, запорная и регулирующая аппаратура 9, 10, 11, 12, 22, 23, 24, 25, термостаты 16 и 17, измерители-регуляторы 18 и 19, манометры 20 и 21, ротаметр 13, фильтр финишной очистки от механических примесей 26 и гигрометр 27 [5].The main elements of the deep-drying unit 8 are: shelf-type adsorption apparatuses 14 and 15, shut-off and control equipment 9, 10, 11, 12, 22, 23, 24, 25, thermostats 16 and 17, meter-regulators 18 and 19, pressure gauges 20 and 21, a rotameter 13, a filter for final cleaning of mechanical impurities 26 and a hygrometer 27 [5].

Основными элементами установки для повышения давления глубоко осушенного азота 28 являются: криокомпрессор проточного типа 36 с рассчитанным герметичным объемом на требуемое давление при однократном отеплении, сосуд Дьюара 37 (термос), запорная арматура 31, 33, 34, 38, 40, 41 и 43, предохранительные клапаны 29, 30 и 32, манометры 35 и 39, регулятор давления 44, ротаметр 45 и гигрометр 42.The main elements of the installation for increasing the pressure of deeply dried nitrogen 28 are: a flow-type cryocompressor 36 with a calculated hermetic volume for the required pressure at a single heating, a Dewar vessel 37 (thermos), shut-off valves 31, 33, 34, 38, 40, 41 and 43, safety valves 29, 30 and 32, pressure gauges 35 and 39, pressure regulator 44, rotameter 45 and hygrometer 42.

Защищенное заправочное устройство 46 состоит из заправочного штуцера 47 и устройства для охлаждения сосуда 48 с трубопроводом 50.Protected refueling device 46 consists of a filling nozzle 47 and a device for cooling the vessel 48 with the pipe 50.

Реализация метода заправки осуществляется следующим образом.The refueling method is implemented as follows.

Открывают вентиль 3 и редуктором 7 по манометру 6 устанавливают давление осушаемого газа 1,0 МПа (10,0 кгс/см2). Открывают вентиль 9 или 10 и газ давлением 1,0 МПа (10,0 кгс/см2), которое контролируется по манометру 20 или 21, направляют на глубокую осушку в один из подготовленных адсорбционных аппаратов 14 или 15. Переключение вентилями 9, 10, 23 и 24. Осушку производят при рабочем давлении газа в адсорбционном аппарате 1,0 МПа (10,0 кгс/см2), а регенерацию - под давлением, близким к атмосферному и температуре (350-360)°С. Газ на регенерацию подают через вентиль 22 и отводят на сброс, при этом расход газа контролируют по, ротаметру 13, температуру нагрева термостатов задают и контролируют измерителями-регуляторами 18 и 19.Open the valve 3 and the gear 7 on the manometer 6 set the pressure of the drained gas to 1.0 MPa (10.0 kgf / cm 2 ). Open the valve 9 or 10 and the gas pressure of 1.0 MPa (10.0 kgf / cm 2 ), which is controlled by a pressure gauge 20 or 21, is sent for deep drying to one of the prepared adsorption apparatuses 14 or 15. Switching by valves 9, 10, 23 and 24. Drying is carried out at a gas operating pressure in the adsorption apparatus of 1.0 MPa (10.0 kgf / cm 2 ), and regeneration is performed under pressure close to atmospheric and temperature (350-360) ° С. Gas for regeneration is supplied through valve 22 and discharged to a discharge, while the gas flow rate is controlled by flowmeter 13, the heating temperature of the thermostats is set and controlled by meter-regulators 18 and 19.

Осушенный и очищенный азот подают из установки через вентиль 25 и фильтр финишной очистки 26, при этом поток проходит через измерительную камеру гигрометра 27. Таким образом азот осушают до достижения требуемой нормы влажности по точке росы [5].Dried and purified nitrogen is supplied from the installation through the valve 25 and the finish filter 26, while the flow passes through the measuring chamber of the hygrometer 27. Thus, the nitrogen is dried to achieve the required humidity level at the dew point [5].

Перед заправкой внутреннюю полость сосуда 49 тщательно очищают многократной промывкой спиртом и продувают чистым сухим азотом. Затем устанавливают в защищенное заправочное устройство 46 и закрепляют заправочный штуцер 47. На охлаждающее устройство 48 подают охлаждающий газ (воздух) по трубопроводу 50 на стенки сосуда 49 для предотвращения его нагрева во время заправки азотом ВД.Before refueling, the inner cavity of the vessel 49 is thoroughly cleaned by repeated washing with alcohol and purged with clean dry nitrogen. Then, they are installed in the protected filling device 46 and the filling fitting 47 is fixed. Cooling gas (air) is supplied to the cooling device 48 via a pipe 50 to the walls of the vessel 49 to prevent it from heating up during the filling with VD nitrogen.

Осушенный азот с давлением 1,0 МПа (10 кгс/см2), которое контролируют по манометру 35, через клапан 33 и вентиль 34 подают в объем криокомпрессора 36. Открывают вентиль 41 и регулятором давления 44 устанавливают расход азота для продувки тракта по ротаметру 45. Поток газа проходит через измерительную камеру гигрометра 42. С целью поддержания датчика гигрометра 42, находящегося в измерительной камере в "сухом" состоянии, предусмотрена обводная линия подачи сухого азота через вентиль 43 [6]. Далее производят осушку внутренней полости заполняемого сосуда 49 через вентиль 38 методом "полоскания" с помощью системы электромагнитных клапанов 33 и 31, которые позволяют проводить операции набора - сброса давления переключением одного тумблера.Dried nitrogen with a pressure of 1.0 MPa (10 kgf / cm 2 ), which is controlled by a manometer 35, is fed into a cryocompressor 36 through a valve 33 and a valve 34. The valve 41 is opened and the pressure regulator 44 sets the nitrogen flow rate to purge the path through the rotameter 45 The gas flow passes through the measuring chamber of the hygrometer 42. In order to maintain the sensor of the hygrometer 42, which is in the “dry” state in the measuring chamber, a bypass line for supplying dry nitrogen through the valve 43 is provided [6]. Next, the internal cavity of the filled vessel 49 is dried through the valve 38 by the method of "rinsing" using a system of electromagnetic valves 33 and 31, which allow for dialing and pressure relief operations by switching one toggle switch.

После осушки внутренней полости сосуда 49 закрывают вентили 38 и 43 и помещают объем криокомпрессора 36 в сосуд Дьюара 37 с жидким азотом для конденсации осушенного азота.After drying the inner cavity of the vessel 49, the valves 38 and 43 are closed and the volume of the cryocompressor 36 is placed in a Dewar vessel 37 with liquid nitrogen to condense the dried nitrogen.

После осушки внутренней полости сосуда 49 закрывают вентили 38 и 43 и помещают объем криокомпрессора 36 в сосуд Дьюара 37 с жидким азотом для конденсации осушенного азота.After drying the inner cavity of the vessel 49, the valves 38 and 43 are closed and the volume of the cryocompressor 36 is placed in a Dewar vessel 37 with liquid nitrogen to condense the dried nitrogen.

По окончании процесса конденсации, что определяется прекращением интенсивного кипения жидкого азота, перекрывают вентиль ВЗ и клапан 33, сосуд Дьюара снимают и отогревают криокомпрессор 36 до положительных температур вентилятором. При этом наблюдают за ростом давления по манометру 39. Предохранительные клапаны 29 и 32 предназначены для предотвращения завышения давления более 1,5 МПа (15 кгс/см2), а клапан 30 - более 40 МПа (400 кгс/см2).At the end of the condensation process, which is determined by the termination of the intense boiling of liquid nitrogen, the VZ valve and valve 33 are closed, the Dewar vessel is removed and the cryocompressor 36 is heated to positive temperatures by a fan. At the same time, an increase in pressure is monitored by pressure gauge 39. Safety valves 29 and 32 are designed to prevent overpressure of more than 1.5 MPa (15 kgf / cm 2 ), and valve 30 - more than 40 MPa (400 kgf / cm 2 ).

По достижении требуемого давления в криокомпрессоре 36 плавно открывают вентиль В2 и заполняют сосуд 49 чистым сухим азотом высокого давления. Производят герметизацию сосуда 49 заправочным штуцером 47 и сбрасывают давление в криокомпрессоре 36 вентилем 40 до нуля.Upon reaching the required pressure in the cryocompressor 36, the valve B2 is smoothly opened and the vessel 49 is filled with clean, dry high-pressure nitrogen. Seal the vessel 49 with the filling nozzle 47 and release the pressure in the cryocompressor 36 by the valve 40 to zero.

ЛитератураLiterature

1. Патент ЕР 0823584, F17C 5/06, от 1998.02.11.1. Patent EP 0823584, F17C 5/06, 1998.02.11.

2. А.К.Михайлов, В.П.Ворошилов. Компрессорные машины. - М.: Энергоиздат, 1989.2. A.K. Mikhailov, V.P. Voroshilov. Compressor machines. - M.: Energoizdat, 1989.

3. Р.Хэфер. Криовакуумная техника. - М.: Энергоиздат, 1983.3. R. Hefer. Cryovacuum technology. - M .: Energoizdat, 1983.

4. Журнал "Новые промышленные технологии", 2/2006 г., с.19, ЦНИИЛОТ, Управление промышленности ядерных боеприпасов.4. Magazine "New Industrial Technologies", 2/2006, p.19, Central Research Institute of Nuclear Technology, Department of Nuclear Ammunition Industry.

5. Установка глубокой осушки азота "УГОА-2,5/10". Руководство по эксплуатации КД 04-032102 ООЗРЭ. - М.: НТА "Наука", 2003.5. Installation of deep drying of nitrogen "UGOA-2.5 / 10". Operation manual KD 04-032102 OOZRE. - M.: NTA "Science", 2003.

6. Гигрометр "ИВА-9". Руководство по эксплуатации КД 4-02.010 РЭ. - М.: НТА "Наука", 2003.6. Hygrometer "IVA-9". Operation manual KD 4-02.010 OM. - M.: NTA "Science", 2003.

Claims (2)

1. Способ наполнения сосудов особо чистым азотом высокого давления (ВД), включающий заправку азота в сосуд ВД, отличающийся тем, что исходный материал осушают до требуемой нормы влажности по точке росы на установке глубокой осушки, производят продувку газопроводного тракта установки для повышения давления осушенным азотом до достижения требуемой нормы влажности, внутреннюю полость заправляемого сосуда перед наполнением подвергают многократному "набору-сбросу" давления ("полосканию") системой электромагнитных клапанов, повышают давление осушенного газа в криокомпрессоре и получают необходимое давление в заправляемом сосуде глубоко осушенного газообразного азота с гарантируемой нормой влажности по точке росы.1. A method of filling vessels with especially pure high-pressure nitrogen (VD), including filling nitrogen into the VD vessel, characterized in that the source material is dried to the required humidity level at the dew point in a deep-drying unit, and the gas pipeline of the installation is purged to increase the pressure with dried nitrogen Before reaching the required humidity norm, the internal cavity of the refueling vessel is subjected to repeated “pressure set-up” (“rinsing”) by a system of electromagnetic valves before filling, increasing the pressure e dried gas in the cryocompressor and receive the necessary pressure in the refueling vessel of the deeply dried gaseous nitrogen with a guaranteed humidity level at the dew point. 2. Устройство для осуществления способа наполнения сосудов особо чистым азотом высокого давления, отличающееся тем, что оно снабжено установкой глубокой осушки, установкой для повышения давления глубоко осушенного азота и защищенным заправочным устройством, причем для получения особо чистого сухого азота ВД с гарантируемой нормой влажности и давления используют установку для повышения давления, включающую в себя: криокомпрессор проточного типа, с рассчитанным герметичным объемом на требуемое давление при однократном отеплении, сосуд Дъюара с жидким азотом для конденсации осушенного азота, систему электромагнитных клапанов, предназначенных для осушки внутренней полости заправляемого сосуда, высокоточные манометры, запорную аппаратуру, гигрометр, регулятор давления, расходомер азота и предохранительные клапаны.2. A device for implementing the method of filling vessels with highly pure high-pressure nitrogen, characterized in that it is equipped with a deep-drying unit, a unit for increasing the pressure of deeply dried nitrogen and a protected refueling device, moreover, to obtain very pure dry nitrogen of the high pressure with a guaranteed norm of humidity and pressure use the installation to increase the pressure, which includes: a flow-type cryocompressor, with a calculated tight volume for the required pressure with a single heating, a vessel Dyuara with liquid nitrogen for condensation of dried nitrogen, a system of electromagnetic valves designed to dry the internal cavity of the refueling vessel, high-precision pressure gauges, locking equipment, hygrometer, pressure regulator, nitrogen flow meter and safety valves.
RU2006132747/06A 2006-09-12 2006-09-12 Method of filling vessels of smaller volumes with high-purity high-pressure nitrogen with monitoring of humidity and device for its implementation RU2335691C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006132747/06A RU2335691C2 (en) 2006-09-12 2006-09-12 Method of filling vessels of smaller volumes with high-purity high-pressure nitrogen with monitoring of humidity and device for its implementation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006132747/06A RU2335691C2 (en) 2006-09-12 2006-09-12 Method of filling vessels of smaller volumes with high-purity high-pressure nitrogen with monitoring of humidity and device for its implementation

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2006132747A RU2006132747A (en) 2008-03-20
RU2335691C2 true RU2335691C2 (en) 2008-10-10

Family

ID=39279467

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006132747/06A RU2335691C2 (en) 2006-09-12 2006-09-12 Method of filling vessels of smaller volumes with high-purity high-pressure nitrogen with monitoring of humidity and device for its implementation

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2335691C2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112963728B (en) * 2021-02-02 2021-09-24 福建德尔科技有限公司 Electronic-grade chlorine trifluoride filling device and filling method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
RU2006132747A (en) 2008-03-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102654241B (en) Gas decompression supplier, the gas cabinet with this gas decompression supplier, clack box and substrate board treatment
CN102359859B (en) Clean vacuum system used for engine plume test research and vacuumizing and repressing method thereof
CN105909493B (en) Cryogenic pump system, low temperature apparatus for controlling pump and cryopump regeneration method
KR101824092B1 (en) Nitrogen gas supply system capable of controlling nitrogen flow rate and concentration and method of supplying nitrogen gas using the same
KR101722080B1 (en) Nitrogen gas supply system for storage tank and the method thereof
RU2730129C1 (en) Method for cryogenic-strength test of hydrogen tank
CN104047831B (en) Cryogenic pump and renovation process thereof
CN110410662A (en) A kind of the steel cylinder processing system and method for ultra-pure gases
WO2012103675A1 (en) Apparatus for separating and cleaning sulfur hexafluoride gas and method for cleaning sulfur hexafluoride by using the same
CN103775822A (en) Full-automatic high-precision super-pure gas filling system
CN109932272B (en) CO (carbon monoxide) 2 Displacement experiment system and displacement experiment method
RU83712U1 (en) DEVICE FOR DRYING COMPRESSED AIR
CN105937486A (en) Cryopump system, control device of cryopump, regeneration method of cryopump
RU2335691C2 (en) Method of filling vessels of smaller volumes with high-purity high-pressure nitrogen with monitoring of humidity and device for its implementation
RU2300062C2 (en) Method and device for drying gas pipelines
CN102359860A (en) Clean vacuum system for engine plume test study and vacuum pumping repressing method thereof
CN103846242B (en) Decompressor and Minton dryer
RU2534145C1 (en) Gas drying method and gas drying unit for its implementation
CN108506731A (en) A kind of SF6 gases recycling stocking system and method
JP2016176866A (en) Method and device for leakage inspection
US10976104B2 (en) Means and methods for selective shelf temperature control
RU2731778C1 (en) Device for conducting pneumo-vacuum tests of sealed structures
CN108398343A (en) A kind of car expansion tank reliability detecting system and detection method
CN211450362U (en) Air supply device capable of reliably monitoring micro-positive pressure of isolated-phase enclosed bus
RU2239489C2 (en) Method and device for moisture removal from adsorber

Legal Events

Date Code Title Description
PC43 Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions

Effective date: 20181225