RU2335347C1 - Установка плазменного напыления - Google Patents

Установка плазменного напыления Download PDF

Info

Publication number
RU2335347C1
RU2335347C1 RU2007100774/12A RU2007100774A RU2335347C1 RU 2335347 C1 RU2335347 C1 RU 2335347C1 RU 2007100774/12 A RU2007100774/12 A RU 2007100774/12A RU 2007100774 A RU2007100774 A RU 2007100774A RU 2335347 C1 RU2335347 C1 RU 2335347C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cathode
anode
plasma
powder material
sprayed
Prior art date
Application number
RU2007100774/12A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2007100774A (ru
Inventor
Николай Васильевич Галышкин (RU)
Николай Васильевич Галышкин
Владимир Михайлович Коротких (RU)
Владимир Михайлович Коротких
Original Assignee
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова" (АлтГТУ)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова" (АлтГТУ) filed Critical Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова" (АлтГТУ)
Priority to RU2007100774/12A priority Critical patent/RU2335347C1/ru
Publication of RU2007100774A publication Critical patent/RU2007100774A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2335347C1 publication Critical patent/RU2335347C1/ru

Links

Landscapes

  • Nozzles (AREA)
  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

Установка относится к плазменному нанесению покрытий из порошковых материалов на рабочие поверхности различных изделий для придания этим поверхностям заданных свойств. В корпусе размещены катод и анод, имеющий сквозное отверстие, симметричное относительно оси корпуса. Основной источник электрического питания подключен к катоду и аноду. Система подачи плазмообразующего газа выполнена в виде отверстий, расположенных вокруг катода в держателе катода. Система подачи напыляемого порошкового материала также выполнена в виде отверстий и расположена в стенке сопла. Сопло установлено последовательно с анодом и шайбой из жаропрочного материала с образованием цилиндрического канала транспортировки плазмы к системе подачи напыляемого порошкового материала. Сопло связано с анодом дополнительного источника электрического питания, катод которого предназначен для присоединения к напыляемой поверхности. Использование изобретения способствует повышению качества напыляемого покрытия и снижению потерь порошкового материала. 1 ил.

Description

Изобретение относится к устройствам плазменного нанесения покрытий из порошковых материалов на рабочие поверхности различных изделий для придания этим поверхностям заданных свойств.
Известна установка плазменного напыления, содержащая основной и дополнительный источники электрического питания, корпус с катодом и анодом, имеющим сквозное отверстие, симметричное относительно оси корпуса, системы подачи плазмообразующего газа и подачи напыляемого порошкового материала, выполненные в виде отверстий, расположенных вокруг катода в держателе катода, шайбу из жаропрочного материала. Анод подключен к основному источнику электрического питания, а катод - к дополнительному источнику электрического питания, в свою очередь связанному с основным источником электрического питания. Шайба электрически соединена с анодом и установлена последовательно с ним с образованием электрического канала транспортировки плазмы и порошкового материала из области электрического разряда к напыляемой поверхности. В качестве плазмообразующего газа использован воздух (патент RU 2196010, МПК7 В05В 7/22).
Недостатком описанной установки плазменного напыления является неудовлетворительное качество получаемого покрытия и большие потери порошкового материала. Неудовлетворительное качество покрытия обусловлено неоднородностью напыляемой смеси плазмообразующего газа и порошкового материала, получаемой в условиях больших градиентов температур в области электрического разряда и поступления порошкового материала, то есть в условиях неоднородного и неравномерного нагрева порошкового материала в области электрического разряда. Большие потери порошкового материала обусловлены его оседанием на стенках корпусов в области электрического разряда и генерации плазмы, а также на внутренних поверхностях установки при дальнейшей транспортировке смеси плазмообразующего газа и порошкового материала.
Известна установка плазменного напыления, выбранная в качестве наиболее близкого аналога, содержащая основной источник электрического питания, корпус с катодом и анодом, имеющим сквозное отверстие, системой подачи плазмообразующего газа, выполненной в виде отверстий, расположенных вокруг катода в держателе катода, шайбу из жаропрочного материала, систему подачи напыляемого порошкового материала, выполненную в виде отверстий, сопло, установленное последовательно с анодом и шайбой с образованием цилиндрического канала транспортировки плазмы к системе подачи порошкового материала, расположенной в стенке сопла. Катод и анод подключены к основному источнику электрического питания. Отверстие анода размещено симметрично относительно оси корпуса (патент RU 2262392, МПК7 В05В 7/22).
Недостатком этой установки является пониженное качество нанесенного покрытия и повышенные потери порошкового материала вследствие неравномерности напыления, обусловленной не достаточно высокой скоростью истечения из сопла напыляемой смеси.
Задачей изобретения является повышение качества напыляемого покрытия и снижение потерь порошкового материала.
Эта задача решается тем, что в установке плазменного напыления, содержащей основной источник электрического питания, корпус с катодом и анодом, имеющим сквозное отверстие, системой подачи плазмообразующего газа, выполненной в виде отверстий, расположенных вокруг катода в держателе катода, шайбу из жаропрочного материала, систему подачи напыляемого порошкового материала, выполненную в виде отверстий, сопло, установленное последовательно с анодом и шайбой с образованием цилиндрического канала транспортировки плазмы к системе подачи напыляемого порошкового материала, расположенной в стенке сопла, причем катод и анод подключены к основному источнику электрического питания, а отверстие анода размещено симметрично относительно оси корпуса, согласно изобретению сопло связано с анодом дополнительного источника электрического питания, катод которого предназначен для присоединения к напыляемой поверхности.
Повышение качества покрытия, получаемого посредством предложенной установки плазменного напыления, и снижение потерь порошкового материала достигаются за счет повышения скорости истечения из сопла образовавшейся напыляемой смеси, причем ионизация этой смеси позволяет улучшить равномерность напыления и сократить потери порошкового материала вследствие создания разности потенциалов между напыляемым порошковым материалом и напыляемой поверхностью благодаря введению дополнительного источника питания, анод которого присоединен к соплу, а катод предназначен для подсоединения к напыляемой поверхности.
Изобретение поясняется чертежом, на котором изображен общий вид установки плазменного напыления.
Установка плазменного напыления содержит основной источник 1 электрического питания, катод 2 и анод 3 со сквозным отверстием 4. Катод 2 и анод 3 размещены в корпусе 5 и подключены к основному источнику 1 электрического питания. Отверстие 4 анода 3 симметрично относительно оси корпуса 5. В корпусе 5 расположена и система подачи плазмообразующего газа, выполненная в виде отверстий 6, размещенных вокруг катода 2 и держателя катода 7. Последовательно с анодом 3 и шайбой 8, выполненной из жаропрочного электрически изолирующего материала, установлено сопло 9 с образованием цилиндрического канала транспортировки плазмы к системе подачи напыляемого порошкового материала, выполненной в виде отверстий 10 и расположенной в боковой стенке сопла 9. Анод дополнительного источника 11 электрического питания присоединен к соплу 9, а катод дополнительного источника 11 электрического питания предназначен для присоединения к напыляемой поверхности 12.
Предлагаемая установка плазменного напыления работает следующим образом.
Основной источник 1 электрического питания инициирует электрический межэлектродный дуговой разряд между катодом 2 и анодом 3. При этом одновременно через отверстия 6 осуществляется подача плазмообразующего газа. Мощность дугового разряда зависит от свойств напыляемого порошкового материала, напыляемой поверхности, расхода плазмообразующего газа и других факторов. Плазмообразующий газ в виде ионизированной плазменной струи проходит через отверстие 4 в аноде 3 и через отверстие шайбы 8 попадает в сопло 9, где захватывает порошковый материал, поступающий через отверстия 10, выполненные в стенке сопла 9. Отверстия анода 3, шайбы 8 и сопла 9 образуют цилиндрический канал транспортировки плазмы. Плазма локализуется в объеме канала транспортировки плазмы, который обеспечивает обмен энергией между составляющими плазменного потока и порошковым материалом, способствует равномерной подаче порошкового материала во все области плазменного потока, концентрирует и направляет энергию плазменного потока в направлении напыляемой поверхности 12. Разность потенциалов между ионизированной плазмой и напыляемой поверхностью 12, благодаря введению дополнительного источника 11 электрического питания, приводит к существенному ускорению плазменного потока в направлении обрабатываемой детали, на поверхность 12 которой наносится покрытие. В связи с этим достигается более прочное сцепление напыляемого порошкового материала с напыляемой поверхностью 12; частицы плазмы, имеющие одноименный заряд, равномернее распределяются по напыляемой поверхности 12, и за счет сил притяжения разноименных зарядов напыляемый порошковый материал полностью осаждается на напыляемой поверхности 12.
Таким образом, предложенное изобретение позволяет повысить качество напыляемого покрытия и уменьшить потери порошкового материала.

Claims (1)

  1. Установка плазменного напыления, содержащая основной источник электрического питания, корпус с катодом и анодом, имеющим сквозное отверстие, системой подачи плазмообразующего газа, выполненной в виде отверстий, расположенных вокруг катода в держателе катода, шайбу из жаропрочного материала, систему подачи напыляемого порошкового материала, выполненную в виде отверстий, сопло, установленное последовательно с анодом и шайбой с образованием цилиндрического канала транспортировки плазмы к системе подачи порошкового материала, расположенной в стенке сопла, причем катод и анод подключены к основному источнику электрического питания, а отверстие анода размещено симметрично относительно оси корпуса, отличающаяся тем, что сопло связано с анодом дополнительного источника электрического питания, катод которого предназначен для присоединения к напыляемой поверхности.
RU2007100774/12A 2007-01-09 2007-01-09 Установка плазменного напыления RU2335347C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007100774/12A RU2335347C1 (ru) 2007-01-09 2007-01-09 Установка плазменного напыления

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007100774/12A RU2335347C1 (ru) 2007-01-09 2007-01-09 Установка плазменного напыления

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2007100774A RU2007100774A (ru) 2008-07-20
RU2335347C1 true RU2335347C1 (ru) 2008-10-10

Family

ID=39927741

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007100774/12A RU2335347C1 (ru) 2007-01-09 2007-01-09 Установка плазменного напыления

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2335347C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2753844C1 (ru) * 2020-07-20 2021-08-24 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теоретической и прикладной механики им. С.А. Христиановича Сибирского отделения Российской академии наук (ИТПМ СО РАН) Установка плазменного напыления покрытий

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2753844C1 (ru) * 2020-07-20 2021-08-24 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теоретической и прикладной механики им. С.А. Христиановича Сибирского отделения Российской академии наук (ИТПМ СО РАН) Установка плазменного напыления покрытий

Also Published As

Publication number Publication date
RU2007100774A (ru) 2008-07-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10730063B2 (en) Plasma transfer wire arc thermal spray system
CN102017057B (zh) 用于基板的等离子体辅助处理的等离子体处理装置和方法
US7655111B2 (en) Plasma processing apparatus and plasma processing method
JPH04232276A (ja) 物品を直流アーク放電支援下の反応で処理する方法及び装置
JPH10507227A (ja) 大型基体上に均一な薄い被膜を形成するための装置および方法
US11515125B2 (en) Upper electrode and plasma processing apparatus
JP5453271B2 (ja) 大気圧下における超高周波プラズマ補助cvdのための装置および方法、並びにその応用
JP2006511715A (ja) アノードガス供給装置を備えたマグネトロンスパッタリング装置
KR101650795B1 (ko) 플라즈마 성막 장치
KR101497854B1 (ko) 성막 방법
JP2008503036A (ja) 媒体インジェクタ
JP2005539143A (ja) プラズマ溶射装置
US20190085449A1 (en) Apparatus and method
CN102245798A (zh) 溅镀装置及溅镀方法
CN1891852B (zh) 溅射装置
RU2335347C1 (ru) Установка плазменного напыления
US20090123662A1 (en) Plasma Coating Device and Method
US20180342379A1 (en) Atmospheric cold plasma jet coating and surface treatment
KR20100080912A (ko) 스퍼터링 장치 및 성막 방법
US10186401B2 (en) Plasma-chemical coating apparatus
KR100457455B1 (ko) 박막 증착 속도를 조절하는 샤워헤드를 구비한 화학 기상증착 장치.
KR20110083832A (ko) 플라즈마 처리 장치
RU2262392C1 (ru) Установка плазменного напыления
US6302056B1 (en) Device for coating substrates with a material vapor in negative pressure or vacuum
EP2038911A2 (en) Device and method for thin film deposition using a vacuum arc in an enclosed cathode-anode assembly

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20090110