RU2322718C1 - Гермоввод - Google Patents

Гермоввод Download PDF

Info

Publication number
RU2322718C1
RU2322718C1 RU2006135066/09A RU2006135066A RU2322718C1 RU 2322718 C1 RU2322718 C1 RU 2322718C1 RU 2006135066/09 A RU2006135066/09 A RU 2006135066/09A RU 2006135066 A RU2006135066 A RU 2006135066A RU 2322718 C1 RU2322718 C1 RU 2322718C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
insulator
current lead
hermetically sealed
bushing
sleeve
Prior art date
Application number
RU2006135066/09A
Other languages
English (en)
Inventor
Сергей Анатольевич Барнашов (RU)
Сергей Анатольевич Барнашов
Владимир Александрович Загайнов (RU)
Владимир Александрович Загайнов
рцев Александр Сергеевич Коло (RU)
Александр Сергеевич Колоярцев
Алексей Евгеньевич Чумаков (RU)
Алексей Евгеньевич Чумаков
Серафим Николаевич Шошин (RU)
Серафим Николаевич Шошин
Виктор Митрофанович Ишков (RU)
Виктор Митрофанович Ишков
Иван Михайлович Маюков (RU)
Иван Михайлович Маюков
Original Assignee
Российская Федерация в лице Федерального агентства по атомной энергии
Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики" - ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Российская Федерация в лице Федерального агентства по атомной энергии, Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики" - ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ" filed Critical Российская Федерация в лице Федерального агентства по атомной энергии
Priority to RU2006135066/09A priority Critical patent/RU2322718C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2322718C1 publication Critical patent/RU2322718C1/ru

Links

Landscapes

  • Connections Arranged To Contact A Plurality Of Conductors (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области изготовления миниатюрных гермовводов, в частности к конструкциям спаев металл-керамика высокой степени герметичности и может быть использовано в электровакуумных приборах. Технический результат - создание металлокерамического узла высокой степени герметичности. Гермоввод состоит из токоввода, изолятора и втулки. Токоввод выполнен в виде цилиндрического тонкостенного контакта с глухим отверстием. Материалом изолятора является неметаллизированная корундовая или форстеритовая керамика, а соединение соосно расположенных составных частей гермоввода происходит посредством активного медно-титанового припоя. 1 ил.

Description

Изобретение относится к области изготовления миниатюрных гермовводов, в частности к конструкциям спаев металл-керамика высокой степени герметичности.
Гермовводы находят широкое применение во всех изделиях электровакуумного приборостроения.
Известна конструкция гермоввода (см. А.С. №1812557 от 09.10.90 г. «Узел ввода», опубликованное в БИ №16 от 30.04.93), состоящая из токоввода, изолятора и втулки.
Недостатком вышеуказанного устройства является выполнение его по типу металл-стекло, что не позволяет добиться высокой степени герметичности, температуростойкости и прочности соединения.
Это устройство является наиболее близким по технической сущности к заявляемой конструкции и поэтому выбрано в качестве прототипа.
Решаемой задачей изобретения является создание гермоввода высокой степени герметичности.
Техническим результатом заявляемого устройства является возможность получения надежного паяного соединения, что упрощает технологический процесс изготовления.
Технический результат достигается тем, что в гермовводе, содержащем втулку с изолятором, в котором размещен токоввод, новым является выполнение токоввода в виде цилиндрического тонкостенного контакта с глухим отверстием, который расположен соосно изолятору и втулке с образованием между токовводом и изолятором, изолятором и втулкой зазоров, заполненных путем капиллярного течения активным медно-титановым припоем, посредством которого соединены все элементы гермоввода, при этом изолятор выполнен керамическим неметаллизированным.
На чертеже представлена конструкция заявляемого устройства.
Гермоввод состоит из токоввода 1, втулки 4, изготовленных из сплава 29НК, изолятора 3, соединенных между собой припоем 2.
Новая совокупность существенных признаков позволяет создать гермоввод с высокой степенью герметичности 10-9 м3·Па/с.
Токоввод представленной конструкции, изготовленный в виде цилиндрического тонкостенного контакта 1 с глухим отверстием, обладает податливостью и возможностью деформироваться при выполнении спая, обеспечивает уменьшение напряжений, вызванных различием в температурных коэффициентах линейного расширения материалов токоввода и изолятора, предотвращая растрескивание последнего. Выполнение зазора L, равного единицам мкм, между изолятором 3 и токовводом 1, изолятором 3 и втулкой 4, обеспечивающего капиллярное течение припоя 2, позволяет добиться поставленной задачи по герметичности.
Использование в качестве материала изолятора неметаллизированной корундовой (ВК94-1) или форстеритовой (ВФ 52.42-1) керамики совместно с активным медно-титановым припоем обеспечивает высокое смачивание керамики, позволяет добиться надежного паяного соединения и исключить технологические операции по металлизации керамического изолятора, что в итоге ведет к упрощению технологического процесса изготовления гермоввода и уменьшению его себестоимости.
На предприятии изготовлены гермовводы, которые нашли применение в приборах автоматики. Проведены испытания, подтвердившие работоспособность данной конструкции.

Claims (1)

  1. Гермоввод, содержащий втулку с изолятором, в котором размещен токоввод, отличающийся тем, что токоввод выполнен в виде цилиндрического тонкостенного контакта с глухим отверстием, который расположен соосно изолятору и втулке с образованием между токовводом и изолятором, изолятором и втулкой зазоров, заполненных путем капиллярного течения активным медно-титановым припоем, посредством которого соединены все элементы гермоввода, при этом изолятор выполнен керамическим неметаллизированным.
RU2006135066/09A 2006-10-03 2006-10-03 Гермоввод RU2322718C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006135066/09A RU2322718C1 (ru) 2006-10-03 2006-10-03 Гермоввод

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006135066/09A RU2322718C1 (ru) 2006-10-03 2006-10-03 Гермоввод

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2322718C1 true RU2322718C1 (ru) 2008-04-20

Family

ID=39454117

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006135066/09A RU2322718C1 (ru) 2006-10-03 2006-10-03 Гермоввод

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2322718C1 (ru)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2460162C1 (ru) * 2011-05-10 2012-08-27 Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" имени академика М.Ф. Решетнёва" Способ изготовления сборных изделий и способ подготовки сборных изделий перед нанесением покрытия на их поверхности
RU2487788C2 (ru) * 2011-07-07 2013-07-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" - Госкорпорация "Росатом" Конструкция проволочного припоя и способ ее изготовления, герметичный соединитель и способ его изготовления
RU180384U1 (ru) * 2018-01-30 2018-06-09 Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Научно-Производственное Объединение "Техномаш" Металлокерамический гермоввод
RU2759276C1 (ru) * 2021-01-11 2021-11-11 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Способ изготовления герметичного вакуумного электрического вводного узла в оболочке прибора

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2460162C1 (ru) * 2011-05-10 2012-08-27 Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" имени академика М.Ф. Решетнёва" Способ изготовления сборных изделий и способ подготовки сборных изделий перед нанесением покрытия на их поверхности
RU2487788C2 (ru) * 2011-07-07 2013-07-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" - Госкорпорация "Росатом" Конструкция проволочного припоя и способ ее изготовления, герметичный соединитель и способ его изготовления
RU180384U1 (ru) * 2018-01-30 2018-06-09 Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Научно-Производственное Объединение "Техномаш" Металлокерамический гермоввод
RU2759276C1 (ru) * 2021-01-11 2021-11-11 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Способ изготовления герметичного вакуумного электрического вводного узла в оболочке прибора

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI102567B (fi) Kapasitiivinen voima-anturi
US5050034A (en) Pressure sensor and method of manufacturing same
JP5746187B2 (ja) 圧力センサマウントを備えた圧力トランスミッタ
US4174145A (en) High pressure electrical insulated feed thru connector
JP2508321B2 (ja) 圧電アクチュエ―タおよびその製造方法
RU2322718C1 (ru) Гермоввод
JP2000036548A (ja) 二重構造の貫通接続組立体およびその製造方法
CA1096024A (en) Package fpr light-triggered thyristor
KR101311315B1 (ko) 압력 센서 및 그 제조 방법
JP2015534083A (ja) 温度センサシステムおよび温度センサシステムの製造方法
RU2538093C1 (ru) Гермоввод
JP6898461B2 (ja) 脆性材料のための接合
US11385118B2 (en) Pressure sensor with external vertical electrical interconnection system
KR101857733B1 (ko) 금속 세라믹 접합체, 격막 진공계, 금속과 세라믹의 접합방법, 및 격막 진공계의 제조방법
CN106908190B (zh) 一种高可靠的压力传感器隔离墙气密性电气穿墙封接方法
US9672962B2 (en) Bushing of an electrical conductor
US9478726B2 (en) Actuator module having a multi-layer actuator arranged in a housing and a continuously extremely low leakage current at the actuator surface
CN202534656U (zh) 一种组合式的深低温工作的探测器封装结构
CN102637764B (zh) 一种组合式的深低温工作的探测器封装结构及制作方法
JP6058450B2 (ja) 金属セラミック接合体、隔膜真空計、金属とセラミックとの接合方法、および、隔膜真空計の製造方法
RU2489765C1 (ru) Способ изготовления газонаполненного разрядника
CN208753297U (zh) 电子模块
RU180384U1 (ru) Металлокерамический гермоввод
JP2002228891A (ja) 光通信用パッケージ及びその製造方法
WO2004109248A1 (en) A method for forming a pressure proof assembly between a component and house and such an assembly