RU2296302C1 - Micro-mechanical vibration gyroscope - Google Patents
Micro-mechanical vibration gyroscope Download PDFInfo
- Publication number
- RU2296302C1 RU2296302C1 RU2005135894/28A RU2005135894A RU2296302C1 RU 2296302 C1 RU2296302 C1 RU 2296302C1 RU 2005135894/28 A RU2005135894/28 A RU 2005135894/28A RU 2005135894 A RU2005135894 A RU 2005135894A RU 2296302 C1 RU2296302 C1 RU 2296302C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- base
- disk
- oscillations
- elastic elements
- elastic
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5705—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis
- G01C19/5712—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis the devices involving a micromechanical structure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области точного приборостроения и может быть использовано при создании таких средств измерения угловой скорости движения основания, как вибрационные гироскопы.The invention relates to the field of precision instrumentation and can be used to create such means of measuring the angular velocity of the base, such as vibration gyroscopes.
Известны микромеханические вибрационные гироскопы (МВГ) [Soderkvist J. Micromachined gyroscopes. - Sensors and Actuators A, 43, 1994, pp.65-71].Known micromechanical vibration gyroscopes (MVG) [Soderkvist J. Micromachined gyroscopes. - Sensors and Actuators A, 43, 1994, pp. 65-71].
Принцип действия МВГ состоит в следующем. Инерционный диск, имеющий упругую связь с основанием, совершает первичные угловые колебания (угловые вибрации), создаваемые системой возбуждения, вокруг оси, перпендикулярной плоскости диска. Под воздействием угловой скорости основания вокруг оси чувствительности, направление которой лежит в плоскости диска, возникают силы Кориолиса, вызывающие вторичные колебания инерционного диска вокруг ортогональной оси, лежащей в плоскости диска, измеряемые системой съема.The principle of action of the MHG is as follows. The inertial disk, which has an elastic connection with the base, performs primary angular oscillations (angular vibrations) created by the excitation system around an axis perpendicular to the plane of the disk. Under the influence of the angular velocity of the base around the axis of sensitivity, the direction of which lies in the plane of the disk, Coriolis forces arise, causing secondary oscillations of the inertial disk around the orthogonal axis lying in the plane of the disk, measured by the removal system.
Наибольшая чувствительность прибора достигается при обеспечении максимальной амплитуды первичных колебаний и при совмещении собственных частот первичных и вторичных колебаний диска в подвесе. Основные проблемы при возбуждении первичных колебаний заключаются в обеспечении устойчивости этих колебаний при различных условиях эксплуатации, стабилизации их амплитуды и снижении нелинейной зависимости амплитуды колебаний от частоты возбуждения.The greatest sensitivity of the device is achieved by ensuring the maximum amplitude of the primary oscillations and by combining the natural frequencies of the primary and secondary disk vibrations in the suspension. The main problems in the excitation of primary oscillations are to ensure the stability of these oscillations under various operating conditions, stabilize their amplitude and reduce the non-linear dependence of the amplitude of the oscillations on the excitation frequency.
Известна конструкция МВГ [Лестев А.М., Попова И.В., Пятышев Е.Н. и др. Особенности комплексирования объемной микромеханики и БИС в измерительных системах // Материалы Х Санкт-Петербургской международной конференции по интегрированным системам, С.-Петербург, 2003. - С.217-225], чувствительный элемент которого содержит основание и инерционный диск, закрепленный на основании с помощью внутреннего упругого подвеса. Инерционный диск выполнен из кремниевой пластины одинаковой толщины. Упругий подвес состоит из четырех прямых упругих элементов, имеющих равную длину и ширину, высота элементов равна толщине диска. Упругие элементы расположены радиально в плоскости диска под равными углами к оси чувствительности. Внутренняя часть упругих элементов закреплена на основании, а наружная часть соединена с инерционным диском. Инерционный диск совершает первичные колебания вокруг оси, перпендикулярной плоскости диска. Колебания возбуждаются системой электростатического возбуждения колебаний, состоящей из двигателей возбуждения и датчиков углового положения. Измерение выходных колебаний инерционного диска осуществляется системой емкостного съема, состоящей из электродов, расположенных на основании под инерционным диском.The known construction of the MVG [Lestev A.M., Popova I.V., Pyatyshev E.N. and other Features of the integration of volumetric micromechanics and LSI in measuring systems // Materials of the X St. Petersburg International Conference on Integrated Systems, St. Petersburg, 2003. - S.217-225], the sensitive element of which contains a base and an inertial disk, fixed based on an internal elastic suspension. The inertial disk is made of a silicon wafer of the same thickness. An elastic suspension consists of four straight elastic elements having equal length and width, the height of the elements is equal to the thickness of the disk. The elastic elements are located radially in the plane of the disk at equal angles to the axis of sensitivity. The inner part of the elastic elements is fixed to the base, and the outer part is connected to the inertial disk. The inertial disk makes primary oscillations about an axis perpendicular to the plane of the disk. The oscillations are excited by an electrostatic oscillation excitation system consisting of excitation motors and angular position sensors. The measurement of the output oscillations of the inertial disk is carried out by a capacitive pick-up system consisting of electrodes located on the base under the inertial disk.
К недостаткам конструкции относится то, что упругие элементы подвеса имеют неподвижное крепление как к основанию, так и к инерционному диску. Вследствие этого при совершении первичных колебаний упругие элементы подвеса кроме изгибных деформаций подвергаются деформациям растяжения, возникающим из-за невозможности смещения опор в радиальном направлении. Наличие усилий растяжения приводит к тому, что характеристика восстанавливающей силы упругости по оси первичных колебаний становится нелинейной и описывается кубической параболой.The disadvantages of the design include the fact that the elastic elements of the suspension are fixedly mounted both to the base and to the inertial disk. As a result of this, when performing primary oscillations, the elastic suspension elements, in addition to bending deformations, are subjected to tensile deformations arising from the impossibility of displacing the supports in the radial direction. The presence of tensile forces leads to the fact that the characteristic of the restoring elastic force along the axis of primary vibrations becomes nonlinear and is described by a cubic parabola.
Особенностью систем с нелинейной восстанавливающей силой является возникновение нескольких устойчивых периодических режимов, при которых одному значению частоты соответствуют различные амплитуды колебаний, и возможность перехода колебательной системы из одного режима в другой. Эти свойства нелинейной системы обуславливают такие явления, как неустойчивость первичных колебаний и нестабильность амплитуды колебаний вследствие несовпадения амплитудно-частотных характеристик при увеличении и уменьшении частоты момента возбуждения.A feature of systems with nonlinear restoring force is the emergence of several stable periodic modes in which different oscillation amplitudes correspond to one frequency value and the possibility of the transition of an oscillatory system from one mode to another. These properties of a nonlinear system cause such phenomena as instability of primary oscillations and instability of the oscillation amplitude due to mismatch of the amplitude-frequency characteristics with increasing and decreasing frequency of the excitation moment.
Известно техническое решение [Fujita Т. et al. Disk-shaped bulk micromachined gyroscope with vacuum sealing // Sensors and Actuators, 82, 2000, pp.198-204], позволяющее уменьшить растягивающие усилия в упругих элементах подвеса МВГ. В данном случае упругие элементы выполняются зигзагообразными по форме меандра. Однако при этом существенно увеличивается общая (приведенная) длина элементов подвеса, что приводит к значительному снижению жесткости подвеса по оси чувствительности и повышению чувствительности к линейным и угловым вибрациям.A technical solution is known [Fujita T. et al. Disk-shaped bulk micromachined gyroscope with vacuum sealing // Sensors and Actuators, 82, 2000, pp.198-204], which allows to reduce the tensile forces in the elastic elements of the MVG suspension. In this case, the elastic elements are zigzag in the shape of a meander. However, this significantly increases the total (reduced) length of the suspension elements, which leads to a significant decrease in the suspension stiffness along the sensitivity axis and an increase in sensitivity to linear and angular vibrations.
Следующая проблема при разработке упругого подвеса заключается в повышенной чувствительности к вибрациям, обусловленной неравножесткостью конструкции. Неравножесткость конструкции выражается в том, что направление вынужденных линейных колебаний инерционного диска не совпадает с направлением вибраций основания. Это приводит к возникновению вторичных угловых колебаний инерционного диска на частоте вибрации и на собственной частоте вторичных колебаний, что вызывает существенную погрешность прибора. При совпадении частоты вибрации основания с половиной частоты вторичных колебаний происходит резонансное усиление вторичных колебаний и сбой в работе прибора. Известно [Сайдов П.И., Слив Э.И., Чертков Р.И. Вопросы прикладной теории гироскопов. - Л.: Судпромгиз, 1961. - 427 с.] два пути решения указанной проблемы. Согласно первому требуется использование упругого подвеса, обладающего настолько большой линейной жесткостью при сохранении заданной угловой жесткости, что линейные колебания не будут вызывать сколько-нибудь значимой погрешности. Однако создание подобной конструкции весьма затруднительно. Более достижимым следует считать второй путь, согласно которому необходимо добиваться одинаковой линейной жесткости упругого подвеса по всем направлениям.The next problem when developing an elastic suspension is the increased sensitivity to vibrations due to the uneven rigidity of the structure. The unequal rigidity of the design is expressed in the fact that the direction of the forced linear oscillations of the inertial disk does not coincide with the direction of vibration of the base. This leads to the appearance of secondary angular oscillations of the inertial disk at the vibration frequency and at the natural frequency of the secondary oscillations, which causes a significant error of the device. When the vibration frequency of the base coincides with half the frequency of the secondary vibrations, the resonant amplification of the secondary vibrations and a malfunction of the device occur. It is known [Saidov P.I., Drain E.I., Chertkov R.I. Questions of the applied theory of gyroscopes. - L .: Sudpromgiz, 1961. - 427 p.] Two ways to solve this problem. According to the first, the use of an elastic suspension having such a large linear stiffness while maintaining a given angular stiffness is required that linear vibrations will not cause any significant error. However, the creation of such a design is very difficult. More achievable should be considered the second way, according to which it is necessary to achieve the same linear stiffness of the elastic suspension in all directions.
В качестве прототипа по наибольшему числу общих существенных признаков принят МВГ [Попова И.В., Лестев A.M., Пятышев Е.Н. и др. Микромеханические датчики и системы, практические результаты и перспективы развития // Материалы XII Санкт-Петербургской международной конференции по интегрированным системам, С.-Петербург, 2005. - С.262-267], чувствительный элемент которого содержит основание и инерционный диск, выполненный в виде кремниевой пластины одинаковой толщины и закрепленный на основании с помощью внутреннего упругого подвеса. Упругий подвес состоит из двух групп элементов, по четыре упругих элемента в каждой группе. Упругие элементы каждой группы имеют равную длину и ширину, высота упругих элементов равна толщине диска. Упругие элементы в каждой группе представляют собой ломаную линию, состоящую из трех отрезков со скруглением в местах их присоединения друг к другу, внутренний и наружный отрезки расположены радиально диску под равными углами к оси чувствительности. Внутренние отрезки упругих элементов через подвижный промежуточный диск закреплены на основании. Наружные отрезки одной группы упругих элементов соединены непосредственно с инерционным диском. Наружные отрезки второй группы упругих элементов соединены с подвижным электродом двигателя возбуждения первичных колебаний, который присоединяется к инерционному диску упругим элементом. Таким образом, можно считать, что в данной конструкции роль упругого подвеса инерционного диска выполняет только первая группа упругих элементов, а вторая группа играет вспомогательную роль поддержания подвижного электрода двигателя возбуждения.As a prototype for the largest number of common essential features adopted MVG [Popova I.V., Lestev A.M., Pyatyshev E.N. and other Micromechanical sensors and systems, practical results and development prospects // Materials of the XII St. Petersburg International Conference on Integrated Systems, St. Petersburg, 2005. - P.262-267], the sensitive element of which contains the base and inertial disk, made in the form of a silicon wafer of the same thickness and fixed to the base using an internal elastic suspension. An elastic suspension consists of two groups of elements, four elastic elements in each group. The elastic elements of each group have an equal length and width, the height of the elastic elements is equal to the thickness of the disk. The elastic elements in each group are a broken line consisting of three segments with rounding at the points of their connection to each other, the inner and outer segments are located radially to the disk at equal angles to the axis of sensitivity. The internal segments of the elastic elements through the movable intermediate disk are fixed to the base. The outer segments of one group of elastic elements are connected directly to the inertial disk. The outer segments of the second group of elastic elements are connected to the movable electrode of the primary vibration excitation engine, which is attached to the inertial disk by an elastic element. Thus, we can assume that in this design the role of the elastic suspension of the inertial disk is played only by the first group of elastic elements, and the second group plays the auxiliary role of maintaining the movable electrode of the excitation motor.
В данном случае устраняется указанный для предыдущего аналога недостаток, связанный со значительным увеличением общей длины упругих элементов подвеса.In this case, the drawback indicated for the previous analogue is eliminated, associated with a significant increase in the total length of the elastic elements of the suspension.
Недостатками конструкции-прототипа являются невысокая чувствительность к измеряемой угловой скорости и ограниченная область использования, обусловленные следующими обстоятельствами:The disadvantages of the prototype design are the low sensitivity to the measured angular velocity and the limited area of use, due to the following circumstances:
1) Конструкция инерционного диска вследствие наличия большого выреза для двигателя возбуждения по существу разделена на две части, имеющие упругую связь через упругие элементы подвеса. При этом инерционный диск становится нежестким, и его части, играющие роль подвижных электродов системы емкостного съема, могут колебаться с различными частотами, что приводит к значительной погрешности МВГ.1) The design of the inertial disk due to the presence of a large cutout for the excitation motor is essentially divided into two parts having an elastic connection through the elastic elements of the suspension. In this case, the inertial disk becomes non-rigid, and its parts, which play the role of the moving electrodes of the capacitive pick-up system, can oscillate with different frequencies, which leads to a significant error in the MHG.
2) Радиальное расположение внутренних и наружных отрезков упругих элементов не позволяет при проектировании изменять собственные частоты линейных колебаний и добиваться равножесткости конструкции, сохраняя сильную чувствительность МВГ к линейным вибрациям основания.2) The radial arrangement of the internal and external segments of the elastic elements does not allow designing to change the natural frequencies of linear vibrations and to achieve equal rigidity of the structure, while maintaining the strong sensitivity of the MHG to linear vibrations of the base.
3) Расположение мест крепления к основанию с одной стороны упругих элементов первой группы и размещение с другой стороны от них упругих элементов второй группы, поддерживающих подвижный электрод двигателя возбуждения, исключают возможность совмещения частот первичных и вторичных колебаний посредством изменения углового положения упругих элементов подвеса в плоскости диска.3) The location of the attachment points to the base on the one side of the elastic elements of the first group and the placement on the other side of them of the elastic elements of the second group supporting the movable electrode of the excitation motor exclude the possibility of combining the frequencies of primary and secondary vibrations by changing the angular position of the elastic suspension elements in the plane of the disk .
Задачей предлагаемого изобретения является увеличение чувствительности и повышение эксплуатационных характеристик МВГ.The task of the invention is to increase the sensitivity and increase the operational characteristics of the MHG.
Согласно изобретению указанная задача решается тем, что для крепления инерционного диска к основанию используется две пары упругих элементов, имеющих форму ломаной линии, построенной из трех отрезков с закруглением в местах присоединения отрезков друг к другу, основанию и инерционному диску. Упругие элементы расположены в плоскости диска в его центральном отверстии так, что внутренние и наружные отрезки упругих элементов попарно находятся под равными углами к оси чувствительности прибора. При этом внутренние или наружные отрезки упругих элементов направлены не радиально диску. Излом ломаных линий упругих элементов в каждой паре направлен в разные стороны, создавая, таким образом, зеркальную симметрию упругого подвеса.According to the invention, this problem is solved in that for fastening the inertial disk to the base, two pairs of elastic elements are used that have the shape of a broken line constructed of three segments with a rounding at the points of connection of the segments to each other, the base and the inertial disk. The elastic elements are located in the plane of the disk in its central hole so that the inner and outer segments of the elastic elements are pairwise at equal angles to the sensitivity axis of the device. In this case, the internal or external segments of the elastic elements are directed not radially to the disk. The fracture of the broken lines of the elastic elements in each pair is directed in different directions, thus creating a mirror symmetry of the elastic suspension.
В процессе колебаний диска растяжение упругих элементов компенсируется их изгибом в месте соединения отрезков, что значительно снижает нелинейность подвеса. Равенство частот первичных и вторичных колебаний для обеспечения максимальной чувствительности достигается изменением углового расположения упругих элементов относительно оси чувствительности. Расположение отрезков упругих элементов не радиально диску влияет на линейные частоты конструкции, позволяя создать равножесткий упругий подвес.During disk oscillations, the stretching of the elastic elements is compensated by their bending at the junction of the segments, which significantly reduces the non-linearity of the suspension. Equality of frequencies of primary and secondary vibrations to ensure maximum sensitivity is achieved by changing the angular location of the elastic elements relative to the axis of sensitivity. The location of the segments of the elastic elements not radially to the disk affects the linear frequencies of the structure, allowing you to create an equally rigid elastic suspension.
В инерционном диске выполнены прорези, в которых размещена система электростатического возбуждения колебаний. Упругий подвес полностью размещен в центральном отверстии диска, вследствие чего инерционный диск представляет собой монолитную конструкцию, исключающую взаимные перемещения различных частей диска.Slots are made in the inertial disk, in which the system of electrostatic excitation of oscillations is placed. The elastic suspension is completely placed in the central hole of the disk, as a result of which the inertial disk is a monolithic design that excludes mutual movements of different parts of the disk.
Предлагаемая конструкция МВГ сокращает габариты прибора, увеличивает жесткость подвеса инерционного диска, уменьшает возможность его деформаций во время изготовления и эксплуатации, позволяет эффективно уменьшить нелинейность первичных угловых колебаний для достижения максимальной чувствительности МВГ и достичь равножесткости подвеса для снижения влияния вибраций основания на погрешность МВГ.The proposed design of the MVG reduces the dimensions of the device, increases the rigidity of the suspension of the inertial disk, reduces the possibility of its deformation during manufacture and operation, can effectively reduce the nonlinearity of primary angular oscillations to achieve maximum sensitivity of the MVG and to achieve equal rigidity of the suspension to reduce the effect of vibration of the base on the error of the MVG.
Сущность изобретения поясняется чертежами, где на фиг.1 и 2, представленных в проекционной связи, обозначены:The invention is illustrated by drawings, where figure 1 and 2, presented in projection communication, are indicated:
1 - ось первичных колебаний;1 - axis of primary vibrations;
2 - ось чувствительности;2 - axis of sensitivity;
3 - ось вторичных колебаний;3 - axis of secondary vibrations;
4 - основание, которое используется как опорная поверхность для крепления инерционного диска 5 и на котором расположены электроды системы емкостного съема выходных колебаний 9;4 - the base, which is used as a supporting surface for mounting the
5 - инерционный диск, который крепится к основанию 4 с помощью упругого подвеса 6;5 - inertial disk, which is attached to the
6 - внутренний упругий подвес, состоящий из четырех упругих элементов равной длины и прямоугольного сечения, имеющих форму ломаной линии, построенной из трех отрезков с закруглением в местах присоединения отрезков друг к другу, основанию 4 и инерционному диску 5, расположенных под равными углами к оси чувствительности прибора 2 и прикрепленных внутренними отрезками к основанию 4, а наружными отрезками к диску 5;6 - internal elastic suspension, consisting of four elastic elements of equal length and rectangular cross section, having the shape of a broken line constructed of three segments with a rounding at the points of connection of the segments to each other,
7 - двигатели возбуждения, закрепленные на основании 4;7 - excitation motors fixed on the basis of 4;
8 - датчики углового положения, закрепленные на основании 4;8 - sensors of angular position, mounted on the
9 - система емкостного съема выходных колебаний с электродами на основании 4.9 - system of capacitive removal of output oscillations with electrodes based on 4.
Функционирует микромеханический вибрационный гироскоп представленной конструкции следующим образом.The micromechanical vibration gyroscope of the presented design functions as follows.
Инерционный диск 5 с внутренним упругим подвесом 6 закреплен на основании 4. На двигатели возбуждения 7, закрепленные на основании 4, подается переменное электрическое напряжение с частотой, равной собственной частоте первичных колебаний, что обеспечивает колебания инерционного диска 5 вокруг оси 1. Датчики углового положения 8, также закрепленные на основании 4, служат для определения амплитуды колебаний и совместно с двигателями возбуждения 7 представляют собой систему электростатического возбуждения первичных колебаний инерционного диска 5. При наличии угловой скорости основания, действующей по оси чувствительности 2, возникают кориолисовы силы, заставляющие инерционный диск 5 колебаться относительно оси выходных колебаний 3. Амплитуда выходных колебаний, величина которой является мерой измеряемой угловой скорости, определяется системой емкостного съема выходных колебаний 9 с электродами на основании 4.The
Представленная конструкция упругого подвеса 6 состоит из четырех упругих элементов, имеющих форму ломаной линии, построенной из трех отрезков с закруглением в местах присоединения отрезков друг к другу, основанию 4 и инерционному диску 5. Упругие элементы имеют равную длину и ширину, высота их равна толщине диска 5. Упругие элементы составляют две группы, зеркально отображающие друг друга. Внутри каждой группы излом ломаной линии упругих элементов направлен в разные стороны. Внутренние (фиг.3), наружные (фиг.1) или внутренние и наружные (фиг.4) отрезки упругих элементов могут быть расположены не радиально диску, что позволяет настраивать собственные частоты линейных колебаний упругого подвеса и создавать равножесткую конструкцию, что решает задачу повышения чувствительности прибора. Дополнительным средством настройки собственных частот линейных колебаний является установление равенства длин отрезков упругих элементов (фиг.5).The presented design of the
Технико-экономические преимущества изобретения по сравнению с базовым объектом, характеризующим существующий уровень техники и совпадающим в данном случае с прототипом, заключаются в увеличении чувствительности и повышении эксплуатационных характеристик МВГ.Technical appraisal and economic advantages of the invention in comparison with the basic object characterizing the existing level of technology and coinciding in this case with the prototype are to increase the sensitivity and increase the operational characteristics of the MHP.
В настоящее время разрабатывается техническая документация для МВГ данной конструкции.Currently, technical documentation is being developed for the MVG of this design.
Claims (2)
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005135894/28A RU2296302C1 (en) | 2005-11-15 | 2005-11-15 | Micro-mechanical vibration gyroscope |
| PCT/RU2006/000558 WO2007058565A1 (en) | 2005-11-15 | 2006-10-23 | Micromechanical oscillating gyroscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005135894/28A RU2296302C1 (en) | 2005-11-15 | 2005-11-15 | Micro-mechanical vibration gyroscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2296302C1 true RU2296302C1 (en) | 2007-03-27 |
Family
ID=37999231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005135894/28A RU2296302C1 (en) | 2005-11-15 | 2005-11-15 | Micro-mechanical vibration gyroscope |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2296302C1 (en) |
| WO (1) | WO2007058565A1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2535248C1 (en) * | 2013-08-21 | 2014-12-10 | Открытое акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Micromechanical gyroscope |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023122722A (en) * | 2022-02-24 | 2023-09-05 | 株式会社東芝 | sensor |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0771965A (en) * | 1993-07-06 | 1995-03-17 | Tokimec Inc | Gyroscope |
| ATE476638T1 (en) * | 1999-09-17 | 2010-08-15 | Kionix Inc | ELECTRICALLY DISCONNECTED MICRO-MANUFACTURED GYRO |
| RU18768U1 (en) * | 2001-03-12 | 2001-07-10 | Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | MICROMECHANICAL VIBRATION GYROSCOPE |
-
2005
- 2005-11-15 RU RU2005135894/28A patent/RU2296302C1/en not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-10-23 WO PCT/RU2006/000558 patent/WO2007058565A1/en active Application Filing
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| БУРЦЕВ В.А. и др. Особенности комплексирования объемной микромеханики и БИС в измерительных системах. Материалы Х Санкт-Петербургской международной конференции по интегрированным навигационным системам. Санкт-Петербург, 26-28 мая 2003, с.217-225. * |
| ПОПОВА И.В. и др. Микромеханические датчики и системы, практические результаты и перспективы развития. Материалы XII Санкт-Петербургской международной конференции по интегрированным навигационным системам, Санкт-Петербург, 23-25 мая 2005, с.262-267. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2535248C1 (en) * | 2013-08-21 | 2014-12-10 | Открытое акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Micromechanical gyroscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2007058565A1 (en) | 2007-05-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6513380B2 (en) | MEMS sensor with single central anchor and motion-limiting connection geometry | |
| KR101823325B1 (en) | Improved gyroscope structure and gyroscope | |
| US8549918B2 (en) | Inertial sensors using piezoelectric transducers | |
| US6722197B2 (en) | Coupled micromachined structure | |
| JP6627912B2 (en) | Piezoelectric rotating MEMS resonator | |
| US6715352B2 (en) | Method of designing a flexure system for tuning the modal response of a decoupled micromachined gyroscope and a gyroscoped designed according to the method | |
| JP2009520970A (en) | Microsystem comprising at least two mechanically coupled vibrating masses, and more particularly a microgyro | |
| JP6696530B2 (en) | Coupling suspension in a piezoelectric gyroscope | |
| FI126070B (en) | Improved ring gyroscope design and gyroscope | |
| JP4661865B2 (en) | Mechanical decoupling device for monolithic differential vibration sensor | |
| RU2296302C1 (en) | Micro-mechanical vibration gyroscope | |
| JP2000074673A (en) | Compound movement sensor | |
| JPH085382A (en) | Angular-velocity sensor | |
| Yu et al. | Finite element analysis and optimization of dither mechanism in dithered ring laser gyroscope | |
| JP6787437B2 (en) | Piezo ring gyroscope | |
| JP4623547B2 (en) | Non-reaction type displacement expansion positioning device | |
| RU2269746C1 (en) | Micromechanical vibratory gyroscope | |
| JP6740965B2 (en) | Vibration type angular velocity sensor | |
| RU2289788C1 (en) | Micromechanical vibration gyroscope | |
| RU2761764C1 (en) | Micromechanical vibration gyroscope | |
| RU2234679C2 (en) | Angular velocity micromechanical sensor | |
| RU2444703C1 (en) | Vibration gyroscope | |
| US11725941B2 (en) | Sensing device | |
| RU1820214C (en) | Laser gyroscope | |
| EP1498692A1 (en) | Gyroscope and method for determining angular motion |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| HK4A | Changes in a published invention | ||
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20201116 |