RU2282583C2 - Carbon polymer - Google Patents
Carbon polymer Download PDFInfo
- Publication number
- RU2282583C2 RU2282583C2 RU2003135857/15A RU2003135857A RU2282583C2 RU 2282583 C2 RU2282583 C2 RU 2282583C2 RU 2003135857/15 A RU2003135857/15 A RU 2003135857/15A RU 2003135857 A RU2003135857 A RU 2003135857A RU 2282583 C2 RU2282583 C2 RU 2282583C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- carbon
- polymer
- carbon atoms
- friction
- substrate
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/02—Elements
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/05—Preparation or purification of carbon not covered by groups C01B32/15, C01B32/20, C01B32/25, C01B32/30
Abstract
Description
Область техникиTechnical field
Изобретение относится к углеродным материалам, которые могут быть использованы в нанотехнологии, в медицинской технике, электронике, машиностроении и т.д.The invention relates to carbon materials that can be used in nanotechnology, in medical technology, electronics, mechanical engineering, etc.
Предшествующий уровень техникиState of the art
Получение материалов с новыми свойствами является одной из наиболее актуальных задач в современной науке.Obtaining materials with new properties is one of the most urgent tasks in modern science.
Известно углеродное покрытие на основе алмазоподобного материала с аморфной структурой, который содержит включения алмазной фазы и представляет собой чистый углерод (заявка РФ N 96110601).A carbon coating based on a diamond-like material with an amorphous structure is known, which contains inclusions of the diamond phase and is pure carbon (RF application N 96110601).
Известен также подшипник качения (заявка РФ N 2000109596), содержащий внутреннее и наружное кольцо и тела качения, при этом на тела качения и/или на дорожку качения нанесено покрытие из алмазоподобного углерода в смеси с металлом, содержащее чередующиеся слои.Also known is a rolling bearing (RF application N 2000109596) containing an inner and an outer ring and a rolling body, while the rolling bodies and / or the raceway are coated with diamond-like carbon in a mixture with metal containing alternating layers.
Известен также способ формирования антифрикционных и противоизносных покрытий на трущихся поверхностях элементов пар трения (патент РФ N 2139456), включающий нанесение слоя эпилама из растворов на основе перфторполиокси-алкиленкарбоновых кислот, при котором на трущиеся поверхности элементов пар трения наносят стекловидную пленку двуокиси кремния.There is also a method of forming anti-friction and anti-wear coatings on the friction surfaces of friction pair elements (RF patent N 2139456), comprising applying an epilam layer from solutions based on perfluoropolyoxyalkylene carboxylic acids, in which a glassy silicon dioxide film is applied to the friction surfaces of the friction pair elements.
Известна также конструкция роликового подшипника (патент США N 6234679), в котором применено покрытие, содержащее углеродный азотированный слой и подложку, расположенную между наружным слоем и основанием.Also known is the design of a roller bearing (US Pat. No. 6,234,679), in which a coating comprising a carbon nitrided layer and a substrate located between the outer layer and the base is applied.
Известно также полиморфное соединение углерода объемно-центрированной кубической структуры с определенными параметрами решетки (патент РФ N 2108288).A polymorphic carbon compound of a volume-centered cubic structure with certain lattice parameters is also known (RF patent N 2108288).
Известен также углеродный полимер, где структура углерода из линейных углеродных цепочек, образующих пленку, ориентирована нормально к плоскости поверхности (V.A.Levchenko, V.G.Babaev, M.B.Guseva, V.N.Matveenko. The carbon films as a unique orienter for epitropic liquid crystals. The 10th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, Nitrides & Silicon Carbide, 12-17 September 1999, Prague Hilton Atrium Czech Republic, c.62).A carbon polymer is also known, where the carbon structure of linear carbon chains forming the film is oriented normally to the surface plane (VALevchenko, VGBabaev, MBGuseva, VNMatveenko. The carbon films as a unique orienter for epitropic liquid crystals. The 10 th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, Nitrides & Silicon Carbide, 12-17 September 1999, Prague Hilton Atrium Czech Republic, p. 62).
Известен также поликристаллический абразивный углеродный материал (патент России N 2136483), содержащий Sp1/Sp2/Sp3 гибридизации.Polycrystalline abrasive carbon material is also known (Russian patent N 2136483) containing Sp 1 / Sp 2 / Sp 3 hybridization.
Наиболее близким к заявляемому изобретению является углеродный материал тетракарбон с перпендикулярно ориентированными атомами углерода к плоскости пленки (патент США N 6355350). Материал имеет поликристаллическую структуру с плотной упаковкой атомов углерода, при этом минимальное расстояние между цепочками углерода составляет от 4,8 Ангстрема (прототип).Closest to the claimed invention is a carbon material tetracarbon with perpendicularly oriented carbon atoms to the plane of the film (US patent N 6355350). The material has a polycrystalline structure with a tight packing of carbon atoms, while the minimum distance between the carbon chains is from 4.8 Angstroms (prototype).
Недостатками известных материалов являются:The disadvantages of the known materials are:
- низкие трибологические свойства, в частности большой коэффициент трения;- low tribological properties, in particular a large coefficient of friction;
- недостаточно высокая износостойкость;- insufficiently high wear resistance;
- недостаточно высокая прочность;- insufficiently high strength;
- недостаточная твердость;- insufficient hardness;
- недостаточная задиростойкость;- insufficient scoring resistance;
- недостаточная температурная стабильность;- insufficient temperature stability;
- низкая коррозионная стойкость.- low corrosion resistance.
Раскрытие изобретенияDisclosure of invention
Целью изобретения является повышение трибологических свойств материала, в частности уменьшение трения, а также увеличение твердости, износостойкости, плотности упаковки атомов, задиростойкости и температурной стабильности.The aim of the invention is to increase the tribological properties of the material, in particular the reduction of friction, as well as an increase in hardness, wear resistance, atom packing density, scoring resistance and temperature stability.
Указанная цель достигается тем, что углеродный полимер с гомеотропно ориентированными атомами углерода выполнен в виде монокристаллической структуры с плотной упаковкой атомов углерода и sp-sp3 гибридизацией.This goal is achieved in that the carbon polymer with homeotropically oriented carbon atoms is made in the form of a single crystal structure with a dense packing of carbon atoms and sp-sp 3 hybridization.
Указанная цель достигается также тем, что расстояние между соседними атомами углерода в одной цепочке составляет более 1,21 Å.This goal is also achieved by the fact that the distance between adjacent carbon atoms in one chain is more than 1.21 Å.
Указанная цель достигается также тем, что полимер имеет двух- или трехмерную структуру линейно-цепочечного углерода с гомеотропным типом ориентации атомов углерода и расстоянием между цепочками углерода от 3,97 до 5,11 Å.This goal is also achieved by the fact that the polymer has a two- or three-dimensional structure of a linear-chain carbon with a homeotropic type of orientation of carbon atoms and a distance between carbon chains from 3.97 to 5.11 Å.
Указанная цель достигается также тем, что в монокристаллической структуре и/или на поверхности монокристаллической структуры расположены адсорбционные центры, содержащие группы химических элементов (N) (ОН), (NHx) по отдельности или в комбинации друг с другом.This goal is also achieved by the fact that in the single crystal structure and / or on the surface of the single crystal structure there are adsorption centers containing groups of chemical elements (N) (OH), (NHx) individually or in combination with each other.
Указанная цель достигается также тем, что плотность полимера составляет от 2,6 г/см3 до 3,4 г/см3.This goal is also achieved by the fact that the polymer density is from 2.6 g / cm 3 to 3.4 g / cm 3 .
Указанная цель достигается также тем, что углеродный полимер выполнен в виде пленки.This goal is also achieved by the fact that the carbon polymer is made in the form of a film.
Указанная цель достигается также тем, что полимер является тромборезистентным биосовместимым материалом.This goal is also achieved by the fact that the polymer is a thromboresistant biocompatible material.
Указанная цель достигается также тем, что полимер соединен с другими материалами посредством атомов углерода и/или адсорбционных центров.This goal is also achieved by the fact that the polymer is connected to other materials through carbon atoms and / or adsorption centers.
Краткое описание чертежейBrief Description of the Drawings
Заявляемое изобретение поясняется чертежами, где на фиг.1 показано строение углеродного полимера, а на фиг.2 дается структура углеродного полимера с легирующими элементами.The invention is illustrated by drawings, where Fig. 1 shows the structure of a carbon polymer, and Fig. 2 shows the structure of a carbon polymer with alloying elements.
Полимер 1 (фиг.1) содержит гомеотропно ориентированные атомы углерода 2 и выполнен в виде монокристаллической структуры с плотной упаковкой атомов углерода, большей чем у алмаза. Расстояние между соседними атомами углерода 2 в одной цепочке 3 составляет более 1,21 ангстрема, а расстояние между цепочками - от 3,97 до 5,11 ангстрем. Монокристаллическая структура полимера содержит sp-sp3 гибридизацию.Polymer 1 (Fig. 1) contains homeotropically
На поверхности монокристаллической структуры расположены адсорбционные центры 4 (фиг.2), связанные с атомами углерода 2. Адсорбционные центры 5 могут быть расположены в объеме монокристаллической структуры и связаны с атомами углерода 2 и 6.On the surface of the single crystal structure, there are adsorption centers 4 (FIG. 2) associated with
Адсорбционные центры 4 и 5 состоят из групп химических элементов (N) (ОН), (NHx), связанных с атомами углерода 3 по отдельности или в комбинации друг с другом.
Плотность упаковки атомов углерода превышает плотность упаковки атомов в алмазе и плотность полимера составляет от 2,6 г/см3 до 3,4 г/см3. Полимер может быть выполнен в виде пленки. Полимер может быть скреплен с другими материалами (металлами, композитами, керамикой и т.п.) посредством атомов углерода и/или адсорбционных центров.The packing density of carbon atoms exceeds the packing density of atoms in diamond and the polymer density is from 2.6 g / cm 3 to 3.4 g / cm 3 . The polymer may be made in the form of a film. The polymer can be bonded to other materials (metals, composites, ceramics, etc.) through carbon atoms and / or adsorption centers.
Осуществление изобретенияThe implementation of the invention
Монокристаллический углеродный полимер 1 (фиг.1) получают методом импульсной конденсации углеродной плазмы в сочетании с дополнительным облучением подложки ионами инертного газа.Monocrystalline carbon polymer 1 (Fig. 1) is obtained by pulsed condensation of carbon plasma in combination with additional irradiation of the substrate with inert gas ions.
Способ получения углеродного полимерного покрытия осуществляется в вакуумной камере (ВК). Корпус ВК выполнен так, что помимо основного источника плазмы в корпусе находится еще два дополнительных, что позволяет в динамике расширять технологические возможности получаемых материалов. В центре корпуса ВК располагают многофункциональный, управляемый термостолик, на котором закрепляют материалы для осаждения углеродного полимерного покрытия. Углеродный полимер с монокристаллической структурой получают испарением графита из графитовой мишени, расположенной в ВК совместно с источником плазмы и имеющей чистоту 99-99,9999%. Для этого в корпусе ВК создают углеродную плазму с синтезируемым пучком ионов инертного газа. Испарение графита из графитового электрода производят импульсным дуговым разрядом в вакуумной камере, которую предварительно вакуумируют до давления 12 торр. Самообразующийся вокруг катода, в процессе испарения графита, поток плазмы из атомов и кластеров углерода направляют для осаждения к поверхности материала подложки, относительно которой угол потока плазмы изменяют в зависимости от четности импульса. Вместе с процессом испарения графита и формирования переменного плазменного потока происходит процесс активации поверхности материала инертным газом с энергией 100-3000 эВ. Генерируют плазму с плотностью 1×1014 см-3. Длительность импульса устанавливают не более 900 мкс и не менее 100 мкс. Частоту импульса устанавливают в зависимости от технологии использования покрытия не менее 1 Гц и не более 10 Гц. Формирование монокристаллического полимера на подложке производят при давлениях в вакуумной камере 1×10-1-1×10-3 Па и рабочих температурах подложки (в зависимости от материала) от 0° до 300°С. Таким образом, создают необходимые условия, при которых происходит захват поверхностью подложки материала углеродных кластеров в виде атомов углерода, объединенных в строго линейную цепочку, и их равномерный рост. Равномерное покрытие углеродного полимера в виде пленки на рабочей поверхности материала подложки получают с плотностью от 2,6 г/см3 до 3,4 г/см3. Устройство ВК и способ получения углеродного полимера с монокристаллической структурой обеспечивают нанесение атомно-гладкой пленки на поверхности различных материалов и независимо от рельефа поверхности.A method of obtaining a carbon polymer coating is carried out in a vacuum chamber (VK). The VK case is made so that in addition to the main plasma source, there are two additional sources in the case, which allows the dynamics to expand the technological capabilities of the materials obtained. In the center of the VK housing there is a multifunctional, controlled thermostat, on which materials are fixed for the deposition of a carbon polymer coating. A carbon polymer with a single crystal structure is obtained by evaporation of graphite from a graphite target located in the VC together with the plasma source and having a purity of 99-99.9999%. For this, a carbon plasma with a synthesized beam of inert gas ions is created in the VC case. The evaporation of graphite from a graphite electrode is produced by a pulsed arc discharge in a vacuum chamber, which is pre-vacuum to a pressure of 12 torr. The plasma flow from carbon atoms and clusters that forms around the cathode during the evaporation of graphite is directed for deposition to the surface of the substrate material, relative to which the angle of the plasma flow varies depending on the parity of the pulse. Along with the process of graphite evaporation and the formation of an alternating plasma flow, the surface of the material is activated by an inert gas with an energy of 100-3000 eV. Plasma with a density of 1 × 10 14 cm -3 is generated. The pulse duration is set to not more than 900 μs and not less than 100 μs. The pulse frequency is set depending on the technology of using the coating at least 1 Hz and not more than 10 Hz. The formation of a single-crystal polymer on a substrate is carried out at pressures in a vacuum chamber of 1 × 10 -1 -1 × 10 -3 Pa and operating temperatures of the substrate (depending on the material) from 0 ° to 300 ° C. Thus, the necessary conditions are created under which the surface of the substrate captures carbon clusters in the form of carbon atoms, combined in a strictly linear chain, and their uniform growth. A uniform coating of the carbon polymer in the form of a film on the working surface of the substrate material is obtained with a density of from 2.6 g / cm 3 to 3.4 g / cm 3 . A VK device and a method for producing a carbon polymer with a single crystal structure provide the deposition of an atomically smooth film on the surface of various materials and regardless of the surface topography.
Получаемая монокристаллическая структура углеродного полимера подтверждается методами электронной дифракции, Оже-спектроскопии, спектроскопии с использованием комбинационного рассеяния и атомно-силовой микроскопии.The resulting single-crystal structure of the carbon polymer is confirmed by electron diffraction, Auger spectroscopy, Raman spectroscopy and atomic force microscopy.
Монокристаллический полимер 1 имеет хорошую адгезию и может быть нанесен на различного типа подложки (металлы, диэлектрики, керамика и др.).The single crystal polymer 1 has good adhesion and can be deposited on various types of substrates (metals, dielectrics, ceramics, etc.).
Полимер 1 характеризуется одноосной текстурой и анизотропной электропроводностью, туннельно прозрачен, имеет низкий коэффициент трения, твердость, близкую к алмазной, и прекрасную адгезию к подложкам.Polymer 1 is characterized by a uniaxial texture and anisotropic electrical conductivity, is tunnel transparent, has a low coefficient of friction, a hardness close to diamond, and excellent adhesion to substrates.
Адсорбционные центры 4 располагают как на поверхности монокристаллической структуры 1, так и в объеме монокристаллической структуры 1. В качестве адсорбционных центров используются группы химических элементов (N), (ОН), (NHx).The
В таблице 1 приведены основные отличия заявляемого углеродного полимера от сходных материалов.Table 1 shows the main differences of the inventive carbon polymer from similar materials.
Заявляемое изобретение - углеродный полимер в отличие от тетракарбона благодаря своей структуре (плотной упаковке атомов углерода, монокристаллической структуре, гибридизации) позволяет достичь нового результата - более высоких триботехнических параметров, к примеру - уменьшения трения. Так, у тетракарбона коэффициент трения составляет 0,1, а у заявляемого углеродного полимера 0,05-0,06. Посредством предлагаемого технического решения достигнут результат, удовлетворяющий давно существующим потребностям (снижение трения, повышение эксплуатационных характеристик - повышение износостойкости, задиростойкости и т.п.).The claimed invention - a carbon polymer, in contrast to tetracarbon, due to its structure (tight packing of carbon atoms, single crystal structure, hybridization) allows to achieve a new result - higher tribological parameters, for example - reduce friction. So, for tetracarbon, the friction coefficient is 0.1, and for the inventive carbon polymer is 0.05-0.06. By means of the proposed technical solution, a result was achieved that satisfies long-standing needs (reduction of friction, increase of operational characteristics - increase of wear resistance, scoring resistance, etc.).
Основные отличия заявляемого углеродного полимера.Table 1:
The main differences of the inventive carbon polymer.
Промышленная применимостьIndustrial applicability
При анализе изобретения на соответствие критерию «новизна» выявлено, что часть признаков заявленной совокупности является новой, следовательно, изобретение соответствует критерию «новизна».When analyzing the invention for compliance with the criterion of "novelty", it was revealed that part of the features of the claimed combination is new, therefore, the invention meets the criterion of "novelty".
При анализе изобретения на соответствие критерию «изобретательский уровень» выявлено, что техническое решение анализируемого объекта ново, следовательно, признаки соответствуют критерию «изобретательский уровень», поскольку оно представляет собой новую совокупность признаков как сочетание известных признаков и нового технического свойства, а также представляет собой новую структуру и связи элементов. Кроме того, посредством предлагаемого устройства достигнут результат, удовлетворяющий давно существующим потребностям (снижение трения, повышение эксплуатационных характеристик - повышение износостойкости, задиростойкости и т.п.).When analyzing the invention for compliance with the criterion of "inventive step", it was revealed that the technical solution of the analyzed object is new, therefore, the features meet the criterion of "inventive step", since it represents a new set of features as a combination of well-known features and a new technical property, and also represents a new structure and communication elements. In addition, by means of the proposed device, a result was achieved that meets long-standing needs (reduction of friction, increase of operational characteristics - increase of wear resistance, scoring resistance, etc.).
Изобретение может использоваться в промышленности, может быть тиражировано и, следовательно, соответствует критерию «промышленная применимость».The invention can be used in industry, can be replicated and, therefore, meets the criterion of "industrial applicability".
Достоинства заявляемого технического решения заключаются в создании оптимальных микроструктур, наилучшим образом удовлетворяющих условиям работы антифрикционных покрытий и позволяющих достигнуть высоких триботехнических параметров.The advantages of the proposed technical solution lies in the creation of optimal microstructures that best meet the working conditions of antifriction coatings and allow achieving high tribological parameters.
Claims (1)
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2003135857/15A RU2282583C2 (en) | 2003-12-11 | 2003-12-11 | Carbon polymer |
PCT/RU2004/000487 WO2005056473A1 (en) | 2003-12-11 | 2004-12-08 | Carbon polymer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2003135857/15A RU2282583C2 (en) | 2003-12-11 | 2003-12-11 | Carbon polymer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2003135857A RU2003135857A (en) | 2005-05-20 |
RU2282583C2 true RU2282583C2 (en) | 2006-08-27 |
Family
ID=34676080
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2003135857/15A RU2282583C2 (en) | 2003-12-11 | 2003-12-11 | Carbon polymer |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2282583C2 (en) |
WO (1) | WO2005056473A1 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2632297C2 (en) * | 2015-12-23 | 2017-10-03 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)" (МАИ) | Nanocomposite material with biological activity |
CN109811306A (en) * | 2019-02-27 | 2019-05-28 | 台州学院 | A kind of carbon coating material with matrix surface with vertically oriented relationship |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2744089C1 (en) * | 2019-10-15 | 2021-03-02 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Владимирский Государственный Университет имени Александра Григорьевича и Николая Григорьевича Столетовых" (ВлГУ) | Method for producing stabilized linear carbon chains in a liquid |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2069454C1 (en) * | 1993-10-19 | 1996-11-20 | Российский научный центр "Курчатовский институт" | Method of manufacture of thin-filmed carbon target |
JPH09505529A (en) * | 1993-11-23 | 1997-06-03 | プラスモテッグ エンジニアリング センター | Abrasive material for precision surface treatment and manufacturing method thereof |
JP3410574B2 (en) * | 1994-03-31 | 2003-05-26 | 株式会社メガチップス | Single crystal carbon thin film, axially oriented polycrystalline carbon thin film, diaphragm for loudspeaker, heat sink for semiconductor laser device, and tool forming method |
RU2095464C1 (en) * | 1996-01-12 | 1997-11-10 | Акционерное общество закрытого типа "Тетра" | Method and apparatus for preparing biocarbon |
-
2003
- 2003-12-11 RU RU2003135857/15A patent/RU2282583C2/en not_active IP Right Cessation
-
2004
- 2004-12-08 WO PCT/RU2004/000487 patent/WO2005056473A1/en active Application Filing
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
РОСТ КРИСТАЛЛОВ, под ред. К.Гудмана, т.1, Москва, Мир, 1977, с.341-347. * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2632297C2 (en) * | 2015-12-23 | 2017-10-03 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)" (МАИ) | Nanocomposite material with biological activity |
CN109811306A (en) * | 2019-02-27 | 2019-05-28 | 台州学院 | A kind of carbon coating material with matrix surface with vertically oriented relationship |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2003135857A (en) | 2005-05-20 |
WO2005056473A1 (en) | 2005-06-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Ramm et al. | Pulse enhanced electron emission (P3e™) arc evaporation and the synthesis of wear resistant Al–Cr–O coatings in corundum structure | |
EP3064810B1 (en) | Piston ring and its production method | |
CA2885593C (en) | Wear resistant coating | |
Wang et al. | Fabrication of CrAlN nanocomposite films with high hardness and excellent anti-wear performance for gear application | |
JP2620976B2 (en) | Sliding member | |
KR20060134859A (en) | Composite coating for finishing of hardened steels | |
EP3054200B1 (en) | Piston ring | |
Larhlimi et al. | Magnetron sputtered titanium carbide-based coatings: A review of science and technology | |
KR20150077451A (en) | Component having a coating and method for the production thereof | |
JP4122387B2 (en) | Composite hard coating, method for producing the same, and film forming apparatus | |
RU2282583C2 (en) | Carbon polymer | |
ES2345910T3 (en) | MULTI-STRUCTURE OF A THIN FILM, COMPONENT THAT INCLUDES STRUCTURE AND ITS DEPOSITION METHOD. | |
KR20230082022A (en) | Hard carbon coating with improved adhesion by HiPIMS and manufacturing method thereof | |
CN113621926A (en) | Low-stress diamond-like wear-resistant coating and preparation method thereof | |
CN109338322B (en) | Surface coating of sliding vane of compressor and preparation method thereof | |
Perrone | State-of-the-art reactive pulsed laser deposition of nitrides | |
US7192483B2 (en) | Method for diamond coating substrates | |
US20040091750A1 (en) | Coating for a handle | |
Precht et al. | Structure and tribological properties of carbon and carbon nitride films, obtained by the ARC method | |
JP2002513088A (en) | Low friction coating for cutting tools | |
Erdemir et al. | Tribology of Diamond and Diamond‐Like Carbon Films: An Overview | |
JP3295968B2 (en) | Method for producing a material having a hard low friction layer on the surface | |
KR101637945B1 (en) | Nitride coating layer and the method thereof | |
JP2006169614A (en) | Metal-diamond-like-carbon (dlc) composite film, forming method therefor and sliding member | |
KR100345923B1 (en) | WC-TiAIN SUPERLATTICE COATING LAYER, APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20081212 |