RU2258913C2 - Емкостный датчик избыточного давления - Google Patents

Емкостный датчик избыточного давления Download PDF

Info

Publication number
RU2258913C2
RU2258913C2 RU2001130374/28A RU2001130374A RU2258913C2 RU 2258913 C2 RU2258913 C2 RU 2258913C2 RU 2001130374/28 A RU2001130374/28 A RU 2001130374/28A RU 2001130374 A RU2001130374 A RU 2001130374A RU 2258913 C2 RU2258913 C2 RU 2258913C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
membrane
capacitor
rod
pressure
sensor
Prior art date
Application number
RU2001130374/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2001130374A (ru
Inventor
цкий С.В. Гад (RU)
С.В. Гадяцкий
Е.П. Емцев (RU)
Е.П. Емцев
А.В. Заворотный (RU)
А.В. Заворотный
ров Р.Х. Мухомодь (RU)
Р.Х. Мухомодьяров
Г.А. Савельев (RU)
Г.А. Савельев
Original Assignee
Открытое акционерное общество "Энгельское опытно-конструкторское бюро "Сигнал" им.А.И.Глухарева (ОАО ЭОКБ "Сигнал" им.А.И.Глухарева)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое акционерное общество "Энгельское опытно-конструкторское бюро "Сигнал" им.А.И.Глухарева (ОАО ЭОКБ "Сигнал" им.А.И.Глухарева) filed Critical Открытое акционерное общество "Энгельское опытно-конструкторское бюро "Сигнал" им.А.И.Глухарева (ОАО ЭОКБ "Сигнал" им.А.И.Глухарева)
Priority to RU2001130374/28A priority Critical patent/RU2258913C2/ru
Publication of RU2001130374A publication Critical patent/RU2001130374A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2258913C2 publication Critical patent/RU2258913C2/ru

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области авиационного приборостроения, а именно к датчикам давления, устанавливаемым на борту летательных аппаратов, и может быть использовано в самолетных бортовых системах и в других комплексах измерения. Емкостный датчик избыточного давления содержит корпус со штуцером и мембраной, емкостный преобразователь, включающий в себя эталонный конденсатор и измерительный конденсатор. В верхней части корпуса датчика размещена дополнительная мембрана, геометрические размеры которой идентичны геометрическим размерам мембраны, размещаемой в корпусе датчика. Обе мембраны соединены друг с другом при помощи штока, проходящего по оси через сквозные отверстия подвижного и эталонного конденсаторов. Неподвижный электрод жестко соединен с эталонным конденсатором при обеспечении их электроизоляции от корпуса при помощи стеклянных втулок. Своим наружным торцем он образует обкладку подвижного конденсатора, вторая обкладка которого закреплена на штоке. Резьбовая втулка - упор несет внутри себя элементы подвижного и эталонного конденсаторов, а ее торец предохраняет мембрану от воздействия перегрузочного давления. Внутренняя полость датчика вакуумирована, а в крышке выполнено отверстие, сообщающее надмембранную полость дополнительной мембраны с атмосферой. Технический результат: использование двух одинаковых мембран, связанных по оси жестким штоком, что обеспечивает компенсацию температурной погрешности датчика, позволяя одновременно улучшить линейность его характеристики. 3 ил.

Description

Изобретение относится к области авиационного приборостроения, а именно, к датчикам давления, устанавливаемым на борту летательных аппаратов, и может быть использовано в самолетных бортовых системах и других комплексах измерения, требования к надежности которых сопоставимы с требованиями, предъявляемыми к объектам аэрокосмической техники.
Известен датчик избыточного давления, конструкция которого описана в книге Д.И.Агейкина и др. «Датчики контроля и регулирования». М.: Машиностроение, 1965, стр.635, фиг.у.101.
Целью предлагаемого изобретения и является создание конструкции, отличающейся высокой точностью и надежностью работы.
Упомянутый датчик давления содержит корпус с мембраной, штуцер, кожух, электроразъем, емкостный преобразователь, состоящий из чувствительного к давлению измерительного и нечувствительного к давлению эталонного конденсаторов.
Подвижный электрод измерительного конденсатора закреплен на штоке мембраны, а электроды эталонного конденсатора имеют форму колец.
Подвижный электрод измерительного конденсатора соединен в одно целое со штоком при помощи спекаемой стеклянной втулки.
Неподвижный электрод измерительного конденсатора закреплен посредством стеклянной втулки на штоке в гнезде верхнего основания с образованием воздушного зазора между данным электродом и верхним основанием, а электроды эталонного конденсатора посредством спекания стеклянных столбиков закреплены в нескольких точках, равномерно расположенных по окружностям этих электродов, в гнездах верхнего и нижнего оснований соответственно.
Подвижный электрод измерительного конденсатора имеет диаметр в 1,2 раза меньше диаметра неподвижного электрода измерительного конденсатора, а его токопровод выполнен тонким из упругого материала, расположен у основания штока мембраны и соединен с неподвижным электродом эталонного конденсатора.
Однако в процессе производства датчика выявились существенные недостатки конструкции, обуславливающие необходимость отбраковки части полностью изготовленных датчиков, причем возможность его применения в качестве датчика избыточного давления исключена.
Изобретение поясняется чертежами, где на фиг.1 представлен продольный разрез датчика избыточного давления, на фиг.2 показан поперечный разрез датчика избыточного давления, на фиг.3 - продольный разрез по сечению, указанному на фиг.1.
Датчик избыточного давления (см. фиг.1) содержит корпус со штуцером 1, с мембраной 2, приваренной к корпусу через промежуточное основание 3. Кожух 4, приваренный к основанию 3, несет на себе дополнительную мембрану 5, геометрические размеры которой идентичны размерам мембраны 2, поскольку обе они изготавливаются при помощи одних и тех же приспособлений по одинаковой технологии. Кожух 4, являющийся внешним образующим элементом датчика, соединен с крышкой 6. Элементы датчика 3, 4 и 6 выполняют функцию экранирования измерительного и эталонного конденсаторов, размещенных внутри них. Для закрепления внутри датчика эталонного конденсатора использована резьбовая втулка - упор 7, торец которой предохраняет мембрану 2 от воздействия перегрузочного давления.
Внутри втулки - упора 7, на ее противоположной от мембраны стороне размещен корпус неподвижного электрода 8. Внутри корпуса 8 на изолирующих втулках 9 (см. фиг.1 и 2) установлен образующий обкладку конденсатора неподвижный электрод 10. К корпусу неподвижного электрода 8 присоединен корпус эталонного электрода 11, внутри которого на таких же втулках 9 (см. фиг.2) размещен эталонный электрод 12, своим торцем образуя обкладку эталонного конденсатора. Неподвижный 10 и эталонный 11 электроды имеют осевые сквозные отверстия, через которые проходит шток 13, закрепленный своей нижней частью на мембране 2 и своей верхней частью на мембране 5.
На штоке 13 закреплен подвижный электрод 14, изолированный от штока 13 при помощи стеклянной втулки 15.
К подвижному электроду 14 присоединен токопровод 16, выполненный в виде изогнутой пластины (см. фиг.1). В стенке кожуха 4 размещен электрогермовывод 17, обеспечивающий электрическую связь с подвижным электродом 14.
Электрическая связь с неподвижным 10 и эталонным 11 электродами обеспечивается при помощи изогнутых проволочных электрических выводов 18 и 19, размещенных в электрогермовыводах 20 и 21 (см. фиг.3).
Отличительной особенностью предложенной конструкции является использование двух одинаковых мембран, связанных по оси жестким штоком. Это прежде всего обеспечивает компенсацию температурной погрешности датчика, обуславливаемую тем, что температурные изменения геометрических размеров мембран взаимокомпенсируются, т.к. деформации, обусловленные изменением температуры, всегда направлены навстречу друг другу.
При изменении температуры окружающей среды закрепленный на штоке 13 подвижный электрод 14 сохраняет свое положение относительно неподвижного электрода 10, определяемое только значением величины измеряемого давления Ризм. Кроме того, применение двух одинаковых мембран 2, 5, расположенных симметрично относительно плоскости, перпендикулярной перемещению штока 13, позволяет существенно улучшить линейность характеристики, поскольку одинаковое отклонение от линейности характеристик каждой мембраны в отдельности взаимно погашается, уменьшая область нелинейности.
Работа емкостного датчика избыточного давления осуществляется следующим образом. Измеряемое давление Ризм. поступает в корпус со штуцером, деформируя мембрану 2 и связанную с ней штоком 13 мембрану 5, находящуюся под действием атмосферного давления (см. фиг.1, 3).
Величина перемещения подвижного электрода 14, закрепленного на штоке 13, определяется разностью между измеряемым давлением Ризм. и атмосферным давлением Ратм., вызывая изменение емкости чувствительного к давлению конденсатора, пропорционального измеряемой разности давлений.
Емкость измерителя, т.е. чувствительного к давлению конденсатора, образованного неподвижным электродом 10 и подвижным электродом 14, изменяется, в то время как емкость эталонного конденсатора, образованного неподвижным электродом 10 и эталонным электродом 12, сохраняется неизменной. Для дальнейшего преобразования измеряемого перепада давления в электрический сигнал используется изменение отношений емкостей эталонного (12-10) и измерительного (14-10) конденсаторов.
Для повышения точности измерения избыточного давления и исключения воздействия окружающей среды на работу емкостного измерителя в предлагаемом датчике полость, в которой размещены подвижный, неподвижный и эталонный электроды, вакуумирована. Электрическая связь с устройством формирования выходного сигнала емкостного датчика давления осуществляется при помощи проволочных электрических выводов 16, 18 и 19 через электрогермовыводы 17, 20 и 21, содержащие в конструкции стеклянные втулки - изоляторы, исключающие электрическую связь с кожухом 4.
Работа емкостного датчика избыточного давления осуществляется следующим образом.
Измеряемое давление Ризм. (см. фиг.1, 3)поступает в корпус со штуцером 1, деформируя мембрану 2 и связанную с ней штоком 13 мембрану 5, на которую воздействует давление окружающей атмосферы, проходящее в полость через отверстие в крышке 6.
Перемещение подвижного электрода 14, закрепленного на штоке 13, соединяющем мембраны 2 и 5, определяется значением измеряемого избыточного давления, что определяет изменение значения емкости чувствительного к давлению конденсатора пропорционально измеряемому давлению Ризм.
Емкость измерителя, т.е. чувствительного к давлению конденсатора, образованного неподвижным электродом 10 и подвижным электродом 14, изменяется, тогда как емкость эталонного конденсатора, образованного неподвижным электродом 10 и эталонным электродом 12, сохраняется неизменной в процессе измерения избыточного давления. Изменение отношений емкостей эталонного и измерительного конденсаторов используется для дальнейшего преобразования в электрический сигнал.
Включение в конструкцию датчика дополнительной мембраны, закрываемой снаружи крышкой с образованием полости, которая через отверстие связана с окружающей атмосферой, позволяет измерять избыточное давление при отвакуумированной внутренней полости датчика. Предложенное техническое решение позволяет создать датчик, отличающийся повышенной точностью измерения избыточного давления, обусловленной закреплением штока в двух центрах противолежащих идентичных мембран.

Claims (1)

  1. Емкостный датчик избыточного давления, содержащий корпус со штуцером и мембраной, емкостный преобразователь, состоящий из чувствительного к давлению и нечувствительного к давлению эталонного конденсаторов, образованных электроизолированными электродами, при этом подвижный электрод закреплен на штоке мембраны, а электроды эталонного конденсатора имеют форму колец, и токопровод подвижного электрода измерительного конденсатора выполнен в виде изогнутой пластины, отличающийся тем, что в верхней части корпуса датчика размещена дополнительная мембрана, геометрические размеры которой идентичны геометрическим размерам мембраны, размещаемой в корпусе датчика, соединенные друг с другом при помощи штока, проходящего по оси датчика через сквозные отверстия подвижного и эталонного конденсаторов, неподвижный электрод жестко соединен с эталонным конденсатором при обеспечении их электроизоляции от корпуса при помощи электроизолирующих втулок, образуя своим наружным торцом обкладку конденсатора, вторая обкладка которого образована торцом подвижного электрода, закрепленного на штоке, резьбовая втулка - упор несет внутри себя элементы подвижного и эталонного конденсаторов, а ее торец предохраняет мембрану от воздействия перегрузочного давления, причем внутренняя полость датчика вакуумирована, а в крышке выполнено отверстие, сообщающее надмембранную полость дополнительной мембраны с атмосферой.
RU2001130374/28A 2001-11-09 2001-11-09 Емкостный датчик избыточного давления RU2258913C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2001130374/28A RU2258913C2 (ru) 2001-11-09 2001-11-09 Емкостный датчик избыточного давления

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2001130374/28A RU2258913C2 (ru) 2001-11-09 2001-11-09 Емкостный датчик избыточного давления

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2001130374A RU2001130374A (ru) 2003-09-10
RU2258913C2 true RU2258913C2 (ru) 2005-08-20

Family

ID=35846290

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2001130374/28A RU2258913C2 (ru) 2001-11-09 2001-11-09 Емкостный датчик избыточного давления

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2258913C2 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102543439A (zh) * 2011-12-29 2012-07-04 山东泰开互感器有限公司 带分压屏蔽的分体倒立式标准电容器
RU2470273C1 (ru) * 2011-07-21 2012-12-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева" (НГТУ) Интегральный датчик абсолютного давления

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2470273C1 (ru) * 2011-07-21 2012-12-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева" (НГТУ) Интегральный датчик абсолютного давления
CN102543439A (zh) * 2011-12-29 2012-07-04 山东泰开互感器有限公司 带分压屏蔽的分体倒立式标准电容器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0830577B1 (en) Magnetic relative position transducer with slotted shield
US4432238A (en) Capacitive pressure transducer
US4322775A (en) Capacitive pressure sensor
MXPA01011531A (es) Dispositivos medidores de presion de proceso con compensacion de error mejorada.
CN109974916B (zh) 一种变极距型电容式三维力传感器结构
US4229776A (en) Capacitive capsule for aneroid pressure gauge
US3027769A (en) Diaphragm type capacitance transducer
JPS5829862B2 (ja) 圧力測定装置
US10288510B2 (en) Footed pressure measuring device
CN108398161A (zh) 一种温度压力一体变送器
US3213360A (en) Electronic gauging system
CN110553763B (zh) 一种共平面悬浮式全隔离传感器
CN211553656U (zh) 气体密度计
RU2258913C2 (ru) Емкостный датчик избыточного давления
US3754446A (en) Apparatus for measuring fluid characteristics
RU167905U1 (ru) Емкостный датчик перепада давления
CN110780105B (zh) 石墨烯电流传感器
CN111829648A (zh) 一种压电式噪声传感器探头
US2807167A (en) Pressure gage with temperature compensation
US3534612A (en) Pressure difference transducers
US4175443A (en) Wet-wet differential pressure transducer
RU160222U1 (ru) Высоковольтный измерительный преобразователь тока и напряжения
CN219064753U (zh) 一种冗余式压力传感器
US2908881A (en) Electrical transducer
US3346830A (en) High resolution pressure transducer

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20201110